JPS6026212B2 - 環状自動処理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は例えば写真の現像処理等を全自動で行なうのに
好適な環状自動処理装置に関するものである。

通常フオトマスクに代表されるガラスプレート（主に半
導体製造用フオトマスク）の現像処理は、該プレートを
バスケットに装填して処理槽浸漬方式によるバッチ処理
で行なっている。

ところが、従来の浸贋処理は処理槽を直線状に配置して
なり、次槽へのバスケット搬送は各槽に入っているもの
を同時に移動する方式であって送り機構も各檀間に設け
ていて個々の原動機で駆動させ、ラックによる搬送を行
なっていた。

これがため、従来の乾板現像装置では各処理槽ごとでの
処理時間が単独に設定できなかったことから製品品質の
向上がむずかしいこと、および各処理槽ごとでの時間設
定を個々に設定すれば原動機数が檀に対応して必要とな
ってしまって装置のコストアップならびに設置スペース
増大等で多大の不利益が生じていた。

更に、従来例ではキャリア装置の往復動が頻繁になって
しまうことおよび処理時間の木目細かな設定がむずかし
いうえ処理量での制約が生じて処理能率が劣る欠点があ
った。

本発明は上記従来例の欠点に鑑み、各処理槽を円周状に
配置したうえ被処理プレートを装填したバスケットを予
め任意の処理時間に設定したプログラムに従って一周で
きるように構成したトラバーサによって移送し、乳剤乾
板の現像・水洗・定着・水洗・乾燥の各工程が各々の処
理時間にマッチして調節できる環状自動処理装置を開発
したことにあり、次にこれを図示の一実施例について説
明する。

第１図において１は円周上に間隔的に配した処理槽でこ
の実施例によれば搬入コンベア（ローダ）２から搬出コ
ンベア（アンローダ）３までの２７００の円周区分にお
いて処理槽１が等間隔に１１個配してあり、この各処理
槽内には被処理物を装填したバスケット４が順次送り込
めるようになしてある。

彼処理物が装填されたバスケット４は搬入コンベア−２
との対応位置においてトラバーサアーム５によって吊り
あげられ、次の処理槽に向けて反時計方向にトラバーサ
移送部６の回転機構にて順次送られる。トラバーサ移送
部６は第３，４図で詳記するように、中央にメインシャ
フト７を存してこれを上下に平歯車８，９を配しこの平
歯車には更に小歯車８ａおよび小歯車ｇａ，９ｂが対設
してある。

小歯車８ａ，９ａにはそれぞれゼネバホイ−ルー０，１
１が直結してあり、このゼネバホィールには更にゼネバ
ドラィバ１２，１３が対設してある。そしてゼネバドラ
ィバ１２，１３は減速機１４に連結していて減速機１４
は変速可能のモーター１５に連結してある。一方、小歯
車９ｂには傘歯車１６を介してトラバーサアーム５を上
下動させるための駆動シャフトト１７が連結してあり、
この駆動シャフト１７が連結してあり、この駆動シャフ
トには電磁クラッチ１８を介してクラッチ状のアーム１
９が取り付けてある。

上記において図示で駆動シャフト１７は一部しか示して
いないが、これは円周等分割の位置で放射状に定めて処
理槽１に応じて必要数配設してあり、トラバーサ２０は
この実施例では６基設けてある。

トラバーサ２０は円板状としたフレーム２１，２１′の
両側周緑に凹設のガイド２２に沿ってこのフレーム周縁
をエンドレスに移行できる構成をなしており、かつトラ
バーサ５はトラバーサ２０のガイド２０′に沿って上下
に駆動でき、この上下動はトラバーサアーム５に設けて
あるアームガイド５′が他のアーム１９との係鞍で行な
える。

トラバーサアーム５には更に槽間移送用の突起５ａが設
けてあり、この突起は糟間移送用ホイ−ル２３に突設の
フック２４と着脱可能のもとで係俵できていわゆる駆動
シャフト１７の回転によってトラバーサアーム５がアー
ム１９で上死点位置に押し上げられた関係において突起
５ａがフック２４と係倭でき、この関係においてホイル
２３の間欠回転方向にトラバーサアーム５がトラバーす
２０をして間欠的に移送できる。なお、上記実施例での
ゼネバドライバ１２．１３対ゼネバドライバ１０，１１
との対設はゼネバドライバ側の向きにおいて１８０ｏず
らせて配設してあり、糟間移送ホイル２３と駆動シャフ
ト１７との作動に位相差が保てるようになしてある。

本発明の装置は更に第１，２図で示すように処理槽１の
上方にフィルターユニット２５が対設してあって、この
ユニット内には高性能フィルター２６、赤色蜜光灯２７
、ルーパー２８およびプレイフィルター２９を取り付け
たファン３０が装着してある。３１はダクトを示す。

本発明の装置は上述の如く構成してなり、トラバーサア
ーム５がトラバーサ移送部６の駆動をもって周岡方向に
順次間欠送りでき、しかもこの間欠送りが１台のモータ
ー１５でまかなえるうえコンピュータで制御できる移送
指示でモーター１５のスピードおよび電磁クラッチ１８
の切り替えが適切に行なえて対応する処理槽１ごとへの
被処理物浸濃時間が調節自在のもとで適格に加減でき、
処理装置のレベルアップおよび小型化が大きく改善でき
た。

次に本発明処理の具体例について述べれば、処理槽１を
１１槽円周１廉等分のうち１１箇所に等間で配し、ドラ
バーサ２０は６基として彼処理物を装填したバスケット
４を搬入コンベア２側よりトラバーサ２０側に供給して
トラバーサアーム５による吊り上げと移送を行なう。

トラバーサアーム５は間欠送りの槽間移送ホイル側フッ
ク２４で次の処理槽（例えば水洗一１）へ送り出しての
ち駆動シャフト１７で回転するアーム１９にてバスケッ
ト浸債方向に降下でき、該バスケットの浸糟はトラバー
サア−ム５の降下中の時間をもって行ない、この浸債時
間を駆動シャフト１７の回転速度での浸債時間よりも必
要とする場合はクラッチ１８を浸濃位置で切断して行な
う。

よってこの操作は被処理物の処理条件に見合わせて組ん
だプログラムにて自動で行なうことができる。次いで処
理槽各ポジションでの作業進行を写真乾板現像処理の場
合の一例について示せば次の通りである。１ローダ部よ
りバスケットをくわえる処理時間２水洗−１（純水溢水
槽への浸水） ２分３現 像（写真乳剤現像液に浸
濃） ５分４水洗−２（純水溢水槽への浸涜）
０．９８５定 着（写真処理用定着液に浸糟） ３分
６水洗−３（純水溢水槽への浸糟） ３分７パッキ
ング除去（５％苛性ソーダ液に浸濃）○‐５分８水洗−
‐４（純水溢水槽への浸債） ４分９水洗−５（
〃 ） ４分１０メタノール−１（低
濃度メタノールに浸糟）２分１１メタノール−２（中濃
度 〃 ） ２分 １２メタノール−３（高濃度 〃 ） ２分 １３アンローダコンベアにバスケットを置く１４ローダ
部へ空トラバーサを移動する１５ 〃 １６ 〃 以上の如くであって各セクションでの処理時間は全く任
意に調整でき、この処理時間を極端に短か〈する場合は
６基中のトラバーサを１基もしくは数基取り外して行な
うことができる。

よって上記と逆の場合ではトラバーサ数を増加すること
でも可調できる。更に、上記処理にあたって各処理槽は
フィルターユニット２５で外気と遮断して浄化してある
から、処理雰囲気が周囲の塵挨または駆動機構から発生
する塵挨からシャフトできて処理製品の品質向上がより
高められる。

よって本発明によれば、従来の直線式装置に比べて設置
スペースが横長に必要がなく、またローダ・アンローダ
の長さ設置角度を考慮すれば工場レイアウトが極めて合
スペースで行なえ、また機構が簡単となって保守および
経済性にすぐれ全自動フオトマスト現像装置等において
その貢献度が甚大である。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図は一部を
欠教して示す平面図、第２図は同上の縦断説明図、第３
図はトラバーサ移送部の断面説明図、第４図は同上の構
成説明図である。 １・・・処理槽、２・・・搬送コンベア、３・・・搬出
コンベア、４…バスケット、５…トラバーサアーム、５
′・・・アームガイド、５ａ・・・突起、６・・・トラ
バーサ移送部、７・・・メインシャフト、８，９・・・
平歯車、８ａ，９ａ，９ｂ・・・４・歯車、１０，１１
・・・ゼネバホイール、１２，１３…ゼネバドライバ、
１４・・・減速機、１５・・・モータ、１６・・・傘歯
車、１７・・・駆動シャフト、１８・・・電磁クラッチ
、１９・・・アーム、２０…トラバーサ、２０′，２２
…ガイド、２１，２１′…フレーム、２３…ホイル、２
４…フック、２５…フイルターユニツト、２６…フィル
ター、２７・・・赤色蟹光灯、２８…ルーバー、２９…
プレフイルター、３０…フアン、３１・・・ダクト。 第２図 第１図 図 の 船 図 マ 舵

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 処理槽を適宜数円周状に配列し、上記処理槽配列の
   中央部には処理用バスケツトがトラバーサで順次上記処
   理槽に間欠送りできるトラバーサ移送部を対設し、上記
   トラバーサには更に上記バケツトの上下動調節ができる
   トラバーサアームを設け、上記バスケツトによる処理時
   間が上記トラバーサ移送部による間欠送り時間とこの間
   欠送りとは別途に該移送部のクラツチ付駆動シヤフトに
   よる該バスケツトの降下設定とで個々に調節できるよう
   に構成してなる環状自動処理装置。