JPS60261202A - 超電導キヤビテイの製造方法 - Google Patents
超電導キヤビテイの製造方法Info
- Publication number
- JPS60261202A JPS60261202A JP11669184A JP11669184A JPS60261202A JP S60261202 A JPS60261202 A JP S60261202A JP 11669184 A JP11669184 A JP 11669184A JP 11669184 A JP11669184 A JP 11669184A JP S60261202 A JPS60261202 A JP S60261202A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- aluminum
- cavity
- pipe
- coating layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P11/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing waveguides or resonators, lines, or other devices of the waveguide type
- H01P11/008—Manufacturing resonators
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は粒子加速器用空洞共振器を超電導材料にて製造
する方法の改良に関するものである。
する方法の改良に関するものである。
従来空洞共振器（超電導キャピテイという）の製造方法
としては次の如き工程により行っているものである。
としては次の如き工程により行っているものである。
（１）Ｎｂにオブ）の板をスピニング加工、絞り加工及
び削シ加工等を行って第２図に示す如き３種のキャビテ
ィ部品即ち両端にフランジ部２．２′と中央部にキャピ
テイ本体３とをつ〈シ、この部品を互に電子ビーム溶接
法によって接合した後、その内面をフッ酸と硫酸の混酸
にて電解研磨を行い、内面を平滑にすると共に不純物を
除去してキャビティ１をえているものである。
び削シ加工等を行って第２図に示す如き３種のキャビテ
ィ部品即ち両端にフランジ部２．２′と中央部にキャピ
テイ本体３とをつ〈シ、この部品を互に電子ビーム溶接
法によって接合した後、その内面をフッ酸と硫酸の混酸
にて電解研磨を行い、内面を平滑にすると共に不純物を
除去してキャビティ１をえているものである。
なお上記の溶接は内面の平滑性を出来うる限り向上せし
めるため内面よシミ子ビームをあて、溶接するものであ
る。又Ｎｂはその融点が２４１５℃と高く且つ耐食性に
優れているため高品位のメッキ膜の得られる電気メッキ
による薄膜を形成することが困難である。
めるため内面よシミ子ビームをあて、溶接するものであ
る。又Ｎｂはその融点が２４１５℃と高く且つ耐食性に
優れているため高品位のメッキ膜の得られる電気メッキ
による薄膜を形成することが困難である。
（２） Ｎｂのパイプを液圧バルジ加工法によシ拡管し
て製品化する。然し一度に必要の形状に拡管することは
出来えないため、その途中において真空焼鈍を行いなが
ら少しづつ拡げなければならず、この焼鈍に時間と美大
な費用を要するため必然的に高価なものとなる。
て製品化する。然し一度に必要の形状に拡管することは
出来えないため、その途中において真空焼鈍を行いなが
ら少しづつ拡げなければならず、この焼鈍に時間と美大
な費用を要するため必然的に高価なものとなる。
このようにＮｂを焼鈍、溶接等を行うに際し高温に加熱
されるため、Ｎｂは酸化及び脆化）串、をうけやすい。
されるため、Ｎｂは酸化及び脆化）串、をうけやすい。
これを防止するため真空焼鈍、電子ビーム溶接を必要と
するものであシ、そのために高価なものとなる。又Ｎｂ
の加工中にその表面からＦｅ、塵埃等の不純物が入シ超
電導状態を破壊することが考えられるため表面を上記の
如くフッ酸と硫酸との混酸にて電解研磨を行うことが必
要なのである。然しこの電解研磨は危険性を伴うと共に
工程の複雑な点から生産性を向上することが出来ない。
するものであシ、そのために高価なものとなる。又Ｎｂ
の加工中にその表面からＦｅ、塵埃等の不純物が入シ超
電導状態を破壊することが考えられるため表面を上記の
如くフッ酸と硫酸との混酸にて電解研磨を行うことが必
要なのである。然しこの電解研磨は危険性を伴うと共に
工程の複雑な点から生産性を向上することが出来ない。
本発明にかかる現状に鑑み鋭意研究を行った結果、超電
導性を必要とする部分を電気的操作によシ薄膜に形成し
、安価にして且つ共振特性に優れた超電導キャビティの
製造方法を開発したものである。即ち本発明方法は所望
形状を有するアルミニウム又はアルミニウム合金（以下
、アルミニウム合金も含めてアルミニウムと称す）の・
母イブの外周面にＮｂの薄膜を形成せしめた執その外側
にＣｕの薄膜を介してＣｕ被覆層を設け、該Ｃｕの表面
を平滑として拡管加工を行い断面十字型中空体となした
後、前記アルミニウムを溶解せしめたことを特徴とする
ものである。
導性を必要とする部分を電気的操作によシ薄膜に形成し
、安価にして且つ共振特性に優れた超電導キャビティの
製造方法を開発したものである。即ち本発明方法は所望
形状を有するアルミニウム又はアルミニウム合金（以下
、アルミニウム合金も含めてアルミニウムと称す）の・
母イブの外周面にＮｂの薄膜を形成せしめた執その外側
にＣｕの薄膜を介してＣｕ被覆層を設け、該Ｃｕの表面
を平滑として拡管加工を行い断面十字型中空体となした
後、前記アルミニウムを溶解せしめたことを特徴とする
ものである。
本発明方法におけるＮｂの薄膜は薄くすることが好まし
く且つ不純物の混入するのを忌避するため、Ａｔの外周
面にスパッタリング加工によシ厚さ５〜６μ程度の被膜
を設けるものである。
く且つ不純物の混入するのを忌避するため、Ａｔの外周
面にスパッタリング加工によシ厚さ５〜６μ程度の被膜
を設けるものである。
次に本発明方法の実施例を第１図の（４）乃至←）によ
シ説明する。
シ説明する。
第２図（４）に示す如く高さ１μ程度の粗表面を有する
外径１００５ｍ、長さ６００ｍ、肉厚３ｍｍのアルミニ
ウムパイプ１１を回転せしめながら何回にもわけてその
表面にＮｂをス・臂ツタリング加工によ！Ｄ ０３）に
示す如く厚さ１〜２μのＮｂ薄膜１２を形成する。その
外側にＣｕをスパッタリング加工又はフラッシュメッキ
加工により （Ｃ）に、示す如く厚さ５〜６μのＣｕの
薄膜１３を密着せしめる。
外径１００５ｍ、長さ６００ｍ、肉厚３ｍｍのアルミニ
ウムパイプ１１を回転せしめながら何回にもわけてその
表面にＮｂをス・臂ツタリング加工によ！Ｄ ０３）に
示す如く厚さ１〜２μのＮｂ薄膜１２を形成する。その
外側にＣｕをスパッタリング加工又はフラッシュメッキ
加工により （Ｃ）に、示す如く厚さ５〜６μのＣｕの
薄膜１３を密着せしめる。
次に電気メツキ法によっての）に示す如く該薄膜上に厚
さ２ｍ以上好ましくは２〜３ｍ＋のＣｕ被覆層１４を設
ける。なおこの場合Ｎｂ薄膜面に直接Ｃｕの被覆層を設
けると該Ｃｕ被覆層がよく密着しないため、Ｃｕの薄膜
を介することによｊｊｌｌＮｂの薄膜とＣｕの被覆層と
を強力に密着することが出来る。
さ２ｍ以上好ましくは２〜３ｍ＋のＣｕ被覆層１４を設
ける。なおこの場合Ｎｂ薄膜面に直接Ｃｕの被覆層を設
けると該Ｃｕ被覆層がよく密着しないため、Ｃｕの薄膜
を介することによｊｊｌｌＮｂの薄膜とＣｕの被覆層と
を強力に密着することが出来る。
又Ｎｂの薄膜は高融点にして高純度のものを必要とする
と共に製品を安価にするためなるべく薄くしなければ方
らない。従って化学メッキ法による場合には被膜が厚く
なシ且つ０２等の不純物が入り易く高純度のものをうる
ことか出来ない。
と共に製品を安価にするためなるべく薄くしなければ方
らない。従って化学メッキ法による場合には被膜が厚く
なシ且つ０２等の不純物が入り易く高純度のものをうる
ことか出来ない。
然る後肢被覆層面を研磨加工して（Ｅ）に示す如く平滑
面１５をうる。
面１５をうる。
然る後アルミニウム・やイゾの内側から液圧をかけてバ
ルジ加工による拡管を行って（Ｆ）に示す如く断面十字
型状の中空体１６をうるものである。
ルジ加工による拡管を行って（Ｆ）に示す如く断面十字
型状の中空体１６をうるものである。
なお上記のバルジ加工を行う場合には焼鈍工程を途中に
入れ徐々に拡管率を上げて行って所定の形状にするもの
である。
入れ徐々に拡管率を上げて行って所定の形状にするもの
である。
この拡管工程はＮｂがＡＬとＣｕとの間にサンＰウィッ
チ状にはさみこんで密着されているため拡管率２．７以
上の如き大きな変形加工を行うにおいて、その熱処理に
よってＮｂが脆化するようなことは全くない。
チ状にはさみこんで密着されているため拡管率２．７以
上の如き大きな変形加工を行うにおいて、その熱処理に
よってＮｂが脆化するようなことは全くない。
次いで最終工程として内面のアルミニウムを塩酸又は水
酸化す） ＩＪウム溶液にて溶解せしめて本発明方法に
よるキャビティ１７をうるものである。
酸化す） ＩＪウム溶液にて溶解せしめて本発明方法に
よるキャビティ１７をうるものである。
本発明方法によれば次の如き効果をうるものである。
（１） Ｎｂの如き高価な超電導材料を厚さ１〜２μの
薄膜として使用するためキャビティを安価に生産するこ
とが出来る。
薄膜として使用するためキャビティを安価に生産するこ
とが出来る。
（２）外面よシ超電導材料をスノセッタして加工するた
め超電導部分の良否を容易に判定することが出来ると共
に優れたＮｂ被膜を設けることが出来る。
め超電導部分の良否を容易に判定することが出来ると共
に優れたＮｂ被膜を設けることが出来る。
（３）超電導特性を必要とする部分のみスパッタリング
によ、９Ｎｂを耐着せしめるため不純物の混入すること
がなく、超電導特性を低下せしめることがない。
によ、９Ｎｂを耐着せしめるため不純物の混入すること
がなく、超電導特性を低下せしめることがない。
（４）熱伝導性のよいＣｕ材料を構造材として用いるた
め熱処理による超伝導性の破壊が生じ難イｊ［ く、高度の一等有するキャビティを安定してうることか
出来る。
め熱処理による超伝導性の破壊が生じ難イｊ［ く、高度の一等有するキャビティを安定してうることか
出来る。
第１図の（Ａ）乃至Ｃ）は本発明方法によるキャビティ
の工程を示す概略説明図、第２図は従来方法によるキャ
ビティの概略説明図である。 １・・・従来方法によるキャビティ、２．２’・・・フ
ランジ部、３・・・キャビティ本体、ノー・・・アルミ
ニウム管、１２・・・Ｎｂ薄膜、１３・・・Ｃｕ薄膜、
１４・・・Ｃｕ被覆層、１５・・・Ｃｕ平面層、１６・
・・キャビティ状中空体、１７・・・本発明方法による
キャビティ 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 １ 事件の表示 特願昭５９−１１６６９１号 ２、発明の名称 超’＆Ｓキャビティの製造方法 ；３ 補正をする者 事件上の関係 特許出願人 （５２９） 古河′さ気工朶株式会社 ４、代理人 ７、補正の内容 （１） 明細書第７０第１０行においてｒ（Ｆ）ｊとあ
るをｒ（Ｇ）ｊと訂正する。
の工程を示す概略説明図、第２図は従来方法によるキャ
ビティの概略説明図である。 １・・・従来方法によるキャビティ、２．２’・・・フ
ランジ部、３・・・キャビティ本体、ノー・・・アルミ
ニウム管、１２・・・Ｎｂ薄膜、１３・・・Ｃｕ薄膜、
１４・・・Ｃｕ被覆層、１５・・・Ｃｕ平面層、１６・
・・キャビティ状中空体、１７・・・本発明方法による
キャビティ 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 １ 事件の表示 特願昭５９−１１６６９１号 ２、発明の名称 超’＆Ｓキャビティの製造方法 ；３ 補正をする者 事件上の関係 特許出願人 （５２９） 古河′さ気工朶株式会社 ４、代理人 ７、補正の内容 （１） 明細書第７０第１０行においてｒ（Ｆ）ｊとあ
るをｒ（Ｇ）ｊと訂正する。
Claims (3)
- （１）所望形状を有するアルミニウム又はアルミニウム
合金パイプの外周面にＮｂの薄膜を形成せしめた後、そ
の外側にＣｏの薄膜を介してＣＵ被覆層を設け、該Ｃｕ
の表面を平滑として拡管加工を行い断面十字型中空体と
なった後、前記アルミニウム又はアルミニウム合金を溶
解することを特徴とする超電導キャビティの製造方法。 - （２） Ｎｂの薄膜をスパッタリング加工によシ得るこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の超電導キャ
ビティの製造方法。 - （３）拡管加工をバルジ加工によシ得るする゛ことを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の超電導キャビティ
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11669184A JPS60261202A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | 超電導キヤビテイの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11669184A JPS60261202A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | 超電導キヤビテイの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60261202A true JPS60261202A (ja) | 1985-12-24 |
Family
ID=14693471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11669184A Pending JPS60261202A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | 超電導キヤビテイの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60261202A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4765055A (en) * | 1985-08-26 | 1988-08-23 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Method of fabricating a superconducting cavity |
| US5500995A (en) * | 1993-06-14 | 1996-03-26 | Istituto Nazionale Di Fisica Nucleare | Method of producing radiofrequency resonating cavities of the weldless type |
| WO2006129602A1 (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | High Energy Accelerator Research Organization | 銅電鋳によって製作した銅／ニオブ複合管材とその製造方法及び複合管材から製造された超伝導加速空洞 |
-
1984
- 1984-06-08 JP JP11669184A patent/JPS60261202A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4765055A (en) * | 1985-08-26 | 1988-08-23 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Method of fabricating a superconducting cavity |
| US5500995A (en) * | 1993-06-14 | 1996-03-26 | Istituto Nazionale Di Fisica Nucleare | Method of producing radiofrequency resonating cavities of the weldless type |
| WO2006129602A1 (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | High Energy Accelerator Research Organization | 銅電鋳によって製作した銅／ニオブ複合管材とその製造方法及び複合管材から製造された超伝導加速空洞 |
| EP1892322A1 (en) * | 2005-05-30 | 2008-02-27 | Nomura Plating Co., Ltd | Copper/niobium composite piping material produced by copper electroforming, process for producing the same and superconducting acceleration cavity produced from the composite piping material |
| EP1892322A4 (en) * | 2005-05-30 | 2012-01-11 | Nomura Plating Co Ltd | COPPER GALVANOPLASTY COPPER / NIOBIUM COMPOSITE CONNECTION MATERIAL, PROCESS FOR PRODUCING THE SAME, AND SUPERCONDUCTING ACCELERATION CAVITY PRODUCED FROM THE MATERIAL |
| JP4993605B2 (ja) * | 2005-05-30 | 2012-08-08 | 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 | 銅電鋳によって製作した銅／ニオブ複合管材とその製造方法及び複合管材から製造された超伝導加速空洞 |
| US8470155B2 (en) | 2005-05-30 | 2013-06-25 | High Energy Accelerator Research Organization | Copper/niobium composite piping material produced by copper electroforming, process for producing the same and superconducting acceleration cavity produced from the composite piping material |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4790471A (en) | Method of cladding tubing and plate products | |
| JPH07112122B2 (ja) | 超電導キャビティの製造方法 | |
| US2914641A (en) | Welding dissimilar metal members | |
| JPH08129980A (ja) | Ｘ線管用陽極 | |
| JPS58187285A (ja) | 金属部品の溶接方法 | |
| JP5320068B2 (ja) | 共振器用中空体の製造方法 | |
| JP5203626B2 (ja) | エピタキシャル薄膜形成用のクラッド配向金属基板及びその製造方法 | |
| US20070157450A1 (en) | Bonding method of metal surfaces | |
| US2908969A (en) | Method of cladding steel with titanium or zirconium | |
| JPS60261202A (ja) | 超電導キヤビテイの製造方法 | |
| US3482726A (en) | Pressure weld seal for a composite glass body and method of forming said seal | |
| US4869422A (en) | Subassembly for use in manufacturing a clad steel plate | |
| JP3240211B2 (ja) | 銅−アルミニウム異種金属継手材 | |
| JPS60261203A (ja) | 超電導キヤビテイの製造方法 | |
| JPH02250402A (ja) | 超電導キャビティの製造方法 | |
| JPS6245407A (ja) | 金属箔の製造方法 | |
| JP2819370B2 (ja) | 耐食性クラッドパイプの製造方法 | |
| JPH06234079A (ja) | 冷却孔付き銅板の製造方法 | |
| JPH02250403A (ja) | 超電導キャビティの製造方法 | |
| JP4519981B2 (ja) | 固相拡散接合スパッタリングターゲット組立て体及びその製造方法 | |
| JPH1163853A (ja) | 加熱炉管および加熱炉管の製造方法 | |
| JPH04315524A (ja) | 銅材とアルミニウム材との接合用部材及びその製造方法 | |
| JPS59140914A (ja) | ナツト及びその製造方法 | |
| JP2002367799A (ja) | 超電導クラッド成形体の製造方法およびその方法で製造された超電導クラッド成形体 | |
| JPS63104490A (ja) | 超電導キヤビテイの製造方法 |