JPS60254618A - 回路の接続関係抽出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、アート・ワーク・データ（マスク・データ）
から回路構成を高速で抽出したい場合に用いて好適な回
路の接続関係抽出方法に関する。

〔従来の技術〕

従来、半導体装置を製造するのに用いるマスクを作成し
た場合、その誤りの有無を調べるのに、マスク・データ
を電算機にかけて回路を検出し、その検出結果と元のマ
スク設計データとを比較することに依り、それ等の間に
相違点が見出されれば、作成したマスクに誤りが在るも
のと判断している。

さて、前記マスク・データから回路の接続関係を抽出す
る場合、多数のマスク、例えば、フィールド部分に関す
るマスク、アルミニウム配線部分に関するマスク、多結
晶シリコン部分に関するマスク等、種々のマスクから成
る２層（２枚のマスク）分のマスクを選択し、そのマス
クに於けるパターンの重なり状態から、例えば、ＡＮＤ
、ＯＲ。

ＮＯＲ等の領域を抽出し、トランジスタ部分或いは配線
部分等を認識し、次に、別の２層或いは前記最初に選択
した２層のうちの１層或いは該２層に関して得られた結
果と新たな１層とを選択して同様な抽出を行い、以後、
同様な抽出を繰り返し、それ等を最後に組合せて回路の
接続関係を知るようにしている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前記従来の技術に依れば、回路を抽出するまでの処理が
複雑であり、処理に要する時間は膨大なものである。

また、その処理過程も半導体装置の製造プロセスに対応
して変える必要があり、成る程度その面での知識を持つ
者でなければ実施することは不可能であった。

本発明は、マスク・データから回路を抽出するに際し、
・全層（全部のマスク）のデータを一括して処理し、一
度の走査で回路の接続関係を抽出できるようにする。

〔問題点を解−決するための手段〕

本発明に於ける回路の接続関係抽出方法では、スリット
法を適用してアート・ワーク・データから回路の接続関
係を抽出するに際し、選択されたスリット内に於いて一
つのパターンを構成し且つ番号を有する２本の線分を処
理することに依りスリット走査方向とは反対側で前記ス
リットに隣接する別のスリット内の前記と同様の２本の
線分を抽出し、それ等線分が有する番号の差をめ、その
値を用いて電気的な接続関係を判別している。

〔作用〕

前記構成に依ると、多層のデータを一括して処理するこ
とができミ全体を一回だけ走査すれば回路の接続関係を
抽出できる。

〔実施例〕

第１図は本発明を実施して接続関係を抽出しようとして
いる回路の一例を表す回路図である。

図に於いて、Ｑｌ乃至Ｇ４はトランジスタをそれぞれ示
している。

本発明では、第１図に見られるような回路を表現する場
合、各トランジスタＱ１乃至Ｑ４に於ける各端子がどの
ように結合されているかで表し、それを次のようなリス
トにする。

ゲート端子　゛イース端矛　ドレイン端子ＱＩ　Ｂ　Ｄ
　Ａ Ｃ３ＣＤ　Ａ Ｃ３Ｅ　Ｆ　Ｄ Ｑ４　Ｇ　ＨＦ このリスト及び第１図から判るように、等電位である配
線ネットにそれぞれＡ、Ｂ、Ｃ・・・・の如く名前を持
たせ、各トランジスタＱ乃至Ｑ４に於ける各端子がどの
配線ネットに接続されているかを表すことに依り回路を
表現するようにしている。

本発明では、スリット法を適用することに依って前記リ
ストをマスク・データから抽出する方法を採っている関
係上、ここで、スリット法の概略について説明する。

第２図はスリット法を実施する場合を説明する為の半導
体装置のパターンを表す要部平面図である。

図に於いて、ＰＩ、Ｐ２・・・・−はパターン、Ｔ１．
Ｔ２・・・・は各パターンの頂点、Ｇｌ。

Ｇ２・・・・はグリッドをそれぞれ示している。

図から判るように、各パターンＰｉ、−Ｐ２・・・・の
頂点ＴＩ、Ｔ２・・・・から垂線゛（グリッドＧｌ、Ｇ
２・・・・）を下ろし、相隣る２本のグリッド間（スリ
ット）毎に「処理」を行い、原則として左端のスリット
から右端のスリットまで順に処理し、各素子、例えば、
トランジスタ等の抽出或いは接続関係を知得することが
できる。

本発明に於ける前記「処理」の内容は後の説明で明らか
になるが、相隣るスリット間に於いて、その接続関係を
効率的に認識することが可能である。

第３図は本発明に於けるパターン・データの構造を解説
する為゛の説明図である。

図に於いて□、Ｇ及びＧ′はグリッド、Ｓはスリット、
ＶＲＩ、’ＶＲ２は線分（ベクトル）、ＶＬｌ　、　’
　Ｖ　Ｌ’　２は線分（ベクトル）をそれぞれ示してい
る。

さて、本発明では、各パターンをグリッドＧ及びＧ′と
平行な辺以外の辺を左回りのベクトルとして表すことに
している。

従って、スリットＳ内で下から順に線分を検索し、右向
き線分ＶＲＩ或いはＶＲ２が現れれば、そこからがパタ
ーン内、左向き線分が現れれば、そこまでがパターン内
とすることができる。

また、相隣る二つのスリット間に於いて、成るパターン
の接続関係の様子は、大別すると第４図（ａ）、　（ｂ
ｌ、　Ｔｃ）に見られる３種となる。尚、図では、第１
図乃至第３図に関して説明した部分と同部分は同記号で
指示してあり、また、スリットに依り走査は左から右に
行うものとする。

図に於いて、ＳＬは左側スリット、ＳＲは右側スリット
をそれぞれ示している。

第４図Ｔａ）は配線ネット名を発生させる必要がある場
合であり、右側スリットＳＲに存在するパターンと接続
されるパターンが隣接する左側スリン）ＳＬに存在しな
い為、右側スリットＳＲに存在するパターンに新たな配
線ネット名を付与しなければならず、図ではＡを付けて
いる。

第４図（ｂ）は配線ネット名を継続させる必要がある場
合であり、右側スリットＳＲに存在するパターンと接続
されるパターンが隣接する左側スリットＳＬに一つだけ
存在しているので、左側スリン）ＳＬに在るパターンが
持っている配線ネット名Ｂを右側スリットＳＲに存在す
るパターンにも付与する。

第４図（Ｃ）は配線ネット名を一致させる必要がある場
合であり、右側スリットＳＲに存在するパターンが隣接
する左側スリン）ＳＬに複数存在しているので、左側ス
リン１−３Ｌに存在する複数のパターンが持っている配
線ネット名を全て同じ名前に統一し、更に、それ等のパ
ターンと接続されている右側スリットＳＲに存在するパ
ターンにも同じ名前を付与する。

本発明では、隣接するスリット間に在るパターンの接続
が、前記３種類のうち、どれに該当するかを効率的に知
得することを問題にしている。

第５図は本発明一実施例を説明する為のモデルを表す説
明図であり、第１図乃至第４図Ｔａ）〜（Ｃ１に関して
説明した部分と同部分は同記号で指示しである。尚、本
発明は全層のマスク・データ層を一括して処理できるこ
とが大きな特徴であるが、ここでは、理解を容易にする
為、先ず、単層の場合について説明する。

さて、左側スリットＳＬ内に存在する線分には各層毎に
下から順に線分番号１．２・・・・を付与し、右側スリ
ットＳＲ内に存在する線分には層の区別なく線分番号１
．２・・・・を付与する。

ここでは、単層を取り扱っているので、左側スリットＳ
Ｌ内の線分も下から順に１．２・・・・なる番号が付く
ことになる。

最初、右側スリン）ＳＲ内の最下位の線分から処理を行
い、一つの線分の処理を終了した後、次なる線分の処理
へと移り、最上位の線分を処理したところで１スリツト
内の処理を完了する。

例えば、右側スリットＳＲ内の処理線分が右向きの場合
、左側スリットＳＬ内の線分のうち、同層のもので且つ
Ｙ座標値が等しく、同じ向きの線分があれば、その線分
を、若し、なければＹ座標値がすぐ上の線分か或いはす
ぐ下の線分のうち、同じ向きの線分を見つけて、その線
分番号と右側スリットＳＲ内の線分番号とをスタッカに
格納する操作を行う。今ミこの段階では、右側スリット
ＳＲ内の一番下の線分、即ち、番号が１であるものから
処理していることになっていて、その線分ｌから抽出さ
れる左側スリン）ＳＬ内の線分も１であるから、この二
つの値（１，１）が記憶されるものである。

次に、右側スリンｌ−３Ｒ内の処理線分が変更されて、
同じ層に於ける線分の処理が行われるのは必ず左向きで
ある。即ち、処理線分が左向きのときは、必ず、その線
分と対になる右向きの線分番号が記憶されている。この
左向きの線分を処理する場合も、前記右向きの線分の場
合と同様な操作に依って行われ、まず、左側スリン）Ｓ
Ｌ内の線分を見つけ、その線分番号と前記スタッカに記
憶しておいた左側スリットＳＬ内の線分番号の差を採り
、その値をＸとする。今、この段階では、右側スリン）
ＳＲ内の線分２を処理しているのであり、この線分２か
ら抽出される左側スリットＳＬ内の線分も２である。従
って、記憶される二つの値は（２，２）である。これは
、左向きの線分であるから、パターンはここまでである
と判る。

前記説明から、右側スリン１−３Ｒ内に於ける線分１及
び線分２で形成されるパターンは、左側スリットＳ上内
に於ける線分ｌと線分２とで形成さ゛れるパターンと接
続していることが判り、図の（ａｌに見られるように、
ｘ＝２−１＝Ｌ即ち、Ｘ−１であり、配線ネット名の継
続と判断する。

次に、右側スリン）ＳＲ内の線分３を処理し、左側スリ
ン）ＳＬ内の線分３が抽出され、（３゜３）が記憶され
、また、右側スリットＳＲ内の線分４を処理すると、左
側スリンｌ−３Ｌ内の線分６が抽出され、（４，６）が
記憶され、従って、図の（ｂｌに見られるように、Ｘ＝
６−３＝３となって（ｘ＋１）／２＝２であるから、左
側スリットＳＬ内の二つのパターンと接続されているこ
とが判る。即ち、ｘ＞ｌの場合は複数のパターンと接続
されている。

次に、右側スリン１−３Ｒ内の線分５に関しては右側ス
リットＳ上内に該当する線分が存在せず、図の（Ｃ１に
見られるようにｘ＝−１であり、この場合は、線分５と
６との間のパターンに新たな配線ネット名を付与するこ
とになる。

右側スリ７）ＳＲ内の線分処理が全て終了した後、左側
スリン）ＳＬ内に記号７及び８で指示されているように
、右側スリットＳＲ内のどの線分とも接続されなかった
線分が残った場合、即ち、図の！ｄ）の場合、そのパタ
ーンは、そこで終了していると判断する。

前記実施例は、簡明にする為、単層の場合を例示したの
であるが、実際の半導体装置では、多結晶シリコン層、
フィールド層、配線層等が混在しているものである。然
しなから、その場合であっても、各層に対応する記憶を
することに依り、前記と同様に処理することが可能であ
る。

第６図は多層を一括して処理する場合を説明する為のモ
デルを表す説明図であり、第１図乃至第５図に関して説
明した部分と同部分は同記号で指示しである。

この実施例は、実線の線分で表される層と、１点鎖線の
線分で表される層と、破線の線分で表される層の３層が
存在する場合を説明するものである。

この場合の線分番号の付は方は第５図の実施例と全く同
様であり、左側スリットＳＬ内の線分には各層毎に下か
ら順に番号を付与し、右側スリットＳＲ内の線分には全
層一括して下から順に番号を付与する。

先ず、右側スリットＳＲ内の線分１は、これは実線であ
るから、左側スリン１−３Ｌ内の線分１が選択され（実
線、１．１）と層の区別をして記憶する。

次に、右側スリットＳＲ内の線分２をアドレスすると破
線の線分である。然しなから、左側スリン）ＳＬ内には
破線の線分が存在しない為、（破線、２．Ｏ）を記憶す
る。

次に、右側スリットＳＲ内の線分３を選択すると、これ
も破線の線分であり、左側スリットＳＬ内に破線の線分
が存在せず、従って、（破線、３゜０）となる。また、
この線分は左向きである為、記憶されている線分（破線
、２．Ｏ）との間で新たな配線ネット名を発生する。

次に、右側スリ、、　）　Ｓ　Ｒ内の線分４を見ると、
これは１点鎖線の線分であり、左側スリットＳＬ内の線
分ｌが選択され、（１点鎖線、４．　１）となる。

次に、右側スリットＳＲ内の線分５は実線の線分である
為、（実線、５．６）となり、これは左向きであるから
線分（実線、１．１）との間で接続を調べる。ｘ＝６−
１＝５、（ｘ＋１）、／２＝３となり、左側スリットＳ
Ｌ内の３個のパターンと右側スリットＳＲ内の１個のパ
ターンとの接続が存在している。

最後に、右側スリＺ　トＳＲ内の線分６では（１点鎖線
、６．２）となり、線分（１点鎖線、４゜１）との間で
ｘ＝２−１＝１となり、配線ネットの継続であると判断
される。

前記のような処理を左端のスリットから右端のスリット
まで行うことに依り、全体の接続の様子が知得される。

第７図は回路の接続関係を抽出する場合の過程全体を表
すフロー・チャートである。

〔発明の効果〕

本発明に於ける回路の接続関係抽出方法では、スリット
法を適用してアート・ワーク・データから回路の接続関
係を抽出するに際し、選択されたスリット内に於いて一
つのパターンを構成し且つ番号を有する２本の線分を処
理することに依りスリット走査方向とは反対側で前記ス
リットに隣接する別のスリット内の前記と同様の２本の
線分を抽出し、それ等線分が有する番号の差をめ、その
値を用いて電気的な接続関係を判別するようにしている
。

このような構成を採ると、所定スリット内に何層の線分
が在っても、それに隣接するスリット内の線分の情報と
右向き線分番号を記憶するスタッカを各層毎に対応して
備えておくことに依り、多層のデータを一括して最下位
の線分から順に最上位の線分まで選択するのみで効率的
に処理することができ、それに依り、全体を一度だけ走
査するのみで、回路の接続関係を抽出することが可能で
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を適用して接続関係を抽出しようとしで
いる回路の一例を示す回路図、第２図はスリット法を実
施する場合を説明する為の半導体装置のパターンを示す
要部平面図、第３図は本発明に於けるパターン・データ
の構造を解説する為の説明図、第４図（ａ）乃至（Ｃ）
は回路接続関係の基本的な分類を示す説明図、第５図は
本発明一実施例を解説する為のモデルの説明図、第６図
は本発明に於ける他の実施例を解説する為のモデルの説
明図、第７図は本発明を実施する場合のフロー・チャー
トをそれぞれ表している。 図に於いて、Ｑｌ乃至Ｇ４はトランジスタ、Ａ乃至Ｈは
回路に於いて等電位になる部分に付与した名前、Ｐ、１
．Ｐ２・・・・はパターン、Ｔｌ。 Ｔ２・・・・は頂点、Ｇｌ、Ｇ２・・・・はグリッド、
ＶＲＩ、ＶＨ２，ＶＬＩ、ＶＬ２はベクトル、Ｓはスリ
ット、Ｇ、Ｇ’はグリッド、ＳＲは右側スリット、ＳＬ
は左側スリット、１乃至８は線分番号をそれぞれ示して
いる。 第２図 第３図 （ａ） 第４図 （ｂ） （Ｃ） 第５図 第６図 窮７図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. スリット法を適用してアート・ワーク・データから回路
   の接続関係を抽出するに際し、選択されたスリット内に
   於いて一つのパターンを構成し且つ番号を有する２本の
   線分を処理することに依りスリット走査方向とは反対側
   で前記スリットに隣接する別のスリット内の前記と同様
   の２本の線分を抽出し、それ等線分が有する番号の差を
   め、その値を用いて電気的な接続関係を判別することを
   特徴とする回路の接続関係抽出方法。