JPS60250235A - ねじ表面の検査方法及び検査装置 - Google Patents

ねじ表面の検査方法及び検査装置

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JPS60250235A
JPS60250235A JP10623484A JP10623484A JPS60250235A JP S60250235 A JPS60250235 A JP S60250235A JP 10623484 A JP10623484 A JP 10623484A JP 10623484 A JP10623484 A JP 10623484A JP S60250235 A JPS60250235 A JP S60250235A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ねじ表面の検査方法及び検査装置に係り、特
に、油井用等の使用目的で製造される鋼管等のねじ切削
部の品質検査を自動的に行う際に用いるのに91適な、
ねじ表面の検査方法及び検査装置の改良に関−4る。
石油掘削等の使用目的で!′1造される14費には、通
常、その筐長手方向両端にねじが切削加工されており、
使用時には、一般に、両端の管外周面に2− M4ねじが形成された管と管のねじ部同十を、両端の内
周面に細ねじが切削加工されたカップリングと称Jる継
手で接続して使用Aるか、或いは、片端ずつに、管外周
面に雄ねじが切削加Tされたねじ部と管内周面に自ねじ
が切削加Tされたねじ部をそれぞれ有覆る管と管とを直
接ねじ込み接続して使用覆るようにされている。
このように油井用鋼管は、管と管とを連続的に接続して
地中深く吊下げて実用に供せられるものであるが、この
場合、管には大きな引張り力が作用しており、特にその
ねじ接続部には一層苛酷な応力が集中Jることになる。
従って、このような苛酷な用途に用いられる鋼管のねじ
接続部分の欠陥はΦ大な事故を招く危険性があり、ねじ
切削加工に際しては、充分な品質検査が要求される。
このため従来は、u4管のねじ切削工程において、ねじ
切削後に、各種のねじ要素ゲージを用いて、ねじ有効イ
¥、テーパ、リード、ねじ山高さ、ねじ山形状等の各種
ねじ要素を検査刃るねじ要素検査と、人間の目視により
、ねじ要素検査では発見することができない、ねじ切削
1iI−げ面のびびり等の微細な品質欠陥を検査する外
観検査とが一般的に行われている。しかしながら、人間
の目視による外観検査では、ねじ切削什モげ面における
微細な品質欠陥を発見することができないことがあると
いう問題点を有していた。
又、従来人手に頼っていたねじ要素検査は、近年、ねじ
部に直接センサプローブを接触させて、ねじ形状を三次
元測定−4ることによって、各種ねじ要素の自動検査が
可能になりつつあり、この分野での自動化は@速に進歩
しつつある。しかしながら、このようなねじ要素の計測
に関する分野での自動化の進歩に化較して、ねじ切削仕
上げ面の品質検査の分野においては、適当な検査方法や
検査装置が開発又は実用イヒされておらず、その自動化
が著しく遅れており、依然として熟練を要する人間の目
視による外観検査に頼らざるを得ないという問題点を有
していた。
このような問題点を解潤覆る4うのとして、発明者の一
部は、既に特願昭58−167901にお=3− いて、切削加工面に、その切削むらの周期間隔より大き
tI゛スポット状の光線を照射し、前記切削加工面から
反IJ=1される散乱光の空間的な輝度の明暗を検出し
て、前記散乱光がおりな(縞状の濃淡模様の有無又は淵
淡強用の空間的な変化から、びびり等の品質欠陥の有無
又は程度を検出することを特徴と−4る切削加工面の性
状検査方法を提案している。
このような切削加工面の性状検査方法によれば、切削加
−「面におけるびびり等の品質欠陥の有無又は程度を確
実に検出力ることができ、自動化も可能となるという優
れた効果を有−4るが、散乱光がおりな−づ縞状の濃淡
模様の有無又は濃淡強度の空間的な変化から、びびり等
の品質欠陥の有無又は程度を精度良く検出覆ることが、
必ずしも容易ではなかった。
本発明は、前記従来の問題点を解消でるべくなされたも
ので、ねじ表面におけるびびり等の品質欠陥の有無又は
程度を高精度で検出でることができ、自動化も可能なね
じ表面の検査方法を提供す4− ることを第1の目的と覆る。
本発明は、又、前記第1の目的に加えて、少ないメモリ
容隼で検査を迅速に行うことができるねじ表面の検査装
置を提供することを第2の目的と覆る。
本発明は、ねじ表面の検査方法において、ねじ表面に、
ねじ軸方向に広がりを有−4る少なくとも1本の帯状光
束を照射し、ねじ表面の照光された部分に発生覆る周期
的な反射パターンを、ねじ軸方向に走査してその画像信
号を得、該画像信号の自己相関演算を行って自己相関画
像信号を形成し、ねじの、ねじ軸を中心と覆る回転中に
該自己相関画像信号内に生ずる変化又は変化量を検出し
て、ねじ表面のびびり等の品質欠陥の有無又は程度を検
出4るようにして、前記第1の目的を達成したものであ
る。
本発明は、又、ねじ表面の検査装置において、ねじ表面
に、ねじ軸方向に広がりを有する、複数の亙いに平行な
帯状光束を窯口・1する照光手段と、ねじ表面の照光さ
れた部分に発生する格子状の反Q]パターンを、ねじ軸
方向に走査してその1ilnfli日を得る陽像手段と
、該画像信号の自己相関演算を行って自己相関画像(,
413を形成でる画像相関手段と、ねじ軸を中心として
ねじを回転させるねじ同転手「9と、ねじの回転中に該
自己相関画像信号内に生ずる変化又は変化量を検出覆る
検出手段と、を備え、該検出手段による検出結果から、
ねじ表面のびびり等の品質欠陥の有無又は程度を検出−
4るようにして、前記第2の目的を)¥成したものであ
る。
以下、本発明の詳細な説明−づる。
一般に、ねじのびびりは、その切削過程にお1プる工作
機械本体、切削1月もしくは被加工物の振動によって引
き起こされて発生することが解っている。即ち、びびり
の原因は、工作機械本体(切削1口)と被加工物間の相
対撮動であるが、びびりは、工作機械本体と被加工物系
の自励振動に1止置しているので、−目発生し始めると
1トめることができない。このようイン時、被加工物、
例えば油井用w4管には、ねじ山に沿ってねじ切削方向
に周期的な切削むらが発生し、その周期は、工作機械本
体と被加工物間の相対振動数と切削速度によって変化す
る。又、切削むらの大きさも、工作機械本体と被+10
 T物量の相対振動や(筋幅の大きさによって変化づる
。更に、びびり以外にも、ねじ切削仕上げ而の晶質に影
響を及ぼすものとして、切削下見の幾何学的形状と送り
yI勅から定まる仕上げ面の幾何学的形状や、切削工具
切刃の稜の持つ微妙な粗さや欠損により仕上げ面に形成
される粗さ曲線等もある。
従って、本発明においては、前駅のようなねじの切削加
丁面の品質欠陥の有無又は程度を検出するに際して、第
1図乃至第3図に示すような原理を用いている。即ち、
例えば片端もしくは両端に切削加工されI=ねじ切削部
を有する鋼管10のねじ切削部10△に対して、第1図
に示す如く、面光源20とスリット付フィルタ22を組
合わせたもの、あるいは、光源自体に帯状光栄を発生さ
せる機能を持たせたものから、ねl;刺IA方向(第1
図の横方向)に広がりを右する少なくとも1本の 7− 帯状光束を、ねじ軸Aにほぼ直角な方向から照射し、ね
じ切削部10Aでの反則パターンを、水平走査線の方向
がねじ@A力方向一牧】るように配設されたテレビカメ
ラ24によって岡影して、画@信号を胃る。この時、テ
レビカメラ24は、水平走査方向には移動してもよいが
、垂直方向位置は、ねじ切削部10Aに対して不変と覆
る。
このテレビカメラ24によって倣形される反射パターン
は、スリツl−何フィルタ22のスリットの数で決定さ
れる帯状光束の数が1本である場合には、ねじ軸へ方向
にねじ山のピッチで周期的に明暗が変化する縞状の反射
パターンとなる。又、帯状光束の数が複数本である場合
には、ねじ軸へ方向にねじ山のピッチを有し、ねじ軸A
と垂直な方向(第1図の縦方向)に帯状光束の間隔で定
まる周期で明暗が変化4る格子状の反射パターンとなる
。しかしながら、本発明においては、帯状光束の数は1
本であっても複数本であっても問題ではない1.従って
、以後は、帯状光束の数が複数本である場合を例にとっ
て説明づる。
8− 次に、この状態で、ねじ切削部10Aを、ねじ軸Aを中
心として矢印B方向に回転させると、反射パターンは、
ねじ+hのピッチに応じてねじ軸へ方向に移動すると共
に、ねじ面のびびりによって、縦方向に移動・変形でる
。従って、例えば第2図(びびりの成分Cを含む場合)
に示すような、テレビカメラ24で撮影された移動変形
中の反射パターンの画像信号を、画像相関手段によって
自己相関処理する。
ここで、両陳の自己相関処理を行っているのは、ねじの
回転中に発生する反射パターンの変化の中から、ねじ山
のピッチに応じた移動変化の影響を取除いて、ねじ面の
びびり等の周期的な品質欠陥による反射パターンの変化
のみを取出すためである。
この@像信号の自己用8演鐸を行って自己相関画像信号
を形成する画像相関手段としては、例えば、従来から知
られている、超音波光変調器とフーリエ変検光学系を用
いた光学的相関演算を行い、ディスプレイ装置の画面中
央に入力画像の水平定前方向自己相関画像のみを表示層
るものを用いたり、父は、特開昭57−91 (11”
36で開示されているような、超音波光変調器を右する
光学的相関器によって各水平走査毎の画像出力信号の一
次元自己相関関数を検出し、ディスプレイ両面十で画像
に構成し表示するものを用いることができる。
なお、画像相関手段の種類はこれらに限定されず、画像
の自己相関が可能であれば、その方式は特に問題でない
この自己相関処理によって街られる自己相関画像の一例
は、第3図(第2図に対応)に示J如くであり、この自
己相関画像イ^月の特徴としては、画面の水平走査線方
向の移動は相関出力画像に現われイ)゛いこと、テレビ
カメラ24の画角内に入った入力画像の自己相関出力画
像は、入力画像が画角内のどの11′/置にあっても、
ディスプレイ画面の中央を中心とした![石対称形に現
われること等がある。3 このような特徴により、反則パターンの自己…関画像は
、ねじ山のピッチによる格子パターンの横移動がなくな
り、目つ、ディスプレイ画面の中央に常時表示される。
ここで、ねじ而がびびり等の欠陥を持たない場合には、
ねじ10を回転しても帯状光束は一定条件で反則されて
、相関画像は静1−シだ格子パターンとなる。この良品
の相関画像を、以後基準パターンと称°づる。一方、h
じ面にびびりがある場合には、第3図に符号りで示づ如
く、基準パターンにびびりの自己相関パターンが小なっ
て表われ、この相関パターンは、ねじの回転によって、
ランダムな弯形や明暗の点滅を繰返4.、しかしながら
、この自己相関パターンわ基t■パターンと同様に、横
方向に移動することはない。
第3図に示した如く、基準パターンとびびりの相関パタ
ーンとは、ディスプレイ画面内の同一範囲内に表われる
ため、M?パターンが明確に表われるディスプレイ両面
範囲をフレームメモリ等で記憶しておぎ、各フレーム毎
に同一箇所のY4IIl¥を比較して、イの変化量の大
小によってびびりを検WJることが可能である。
−] 1− 前記相関パターンは横方向に不変であり、且つ、ねじの
ピッチで決まる周期的パターンとなっている。又、帯状
光束を複数本どした場合には、縦方向に6帯状光束の間
隔で繰返される格子状パターンとなるため、これらの繰
返しの周期で構成される二次元格子の各格子内のそれぞ
れ一定づつを測定し、びびりの検査を行うことも充分可
能である。
この場合には、が1記フレームメモリで画面全体を記憶
しておく必要がなく、メモリの減少化と検査の高速化が
同時に期待できる。
更に又、ねじがテレビカメラの画角内を上下に動くよう
な場合には、相関画像も上下に変1II−dるので、輝
点検出場所の設定が困Iとなるが、基準パターンの輝点
位置とびびりの相関パターンとの相対lit置は殆ど変
わらないので、1!準パターンの輝点を)6跡(れば、
これをMlとして、びびりの検出が可能となる。
本発明は、以トのような原理に基づいてなされたもので
ある。
以下、図面を弁照して、本発明が採用されIC鋼12− 胃管端部のねじ検T1装置の実施例を詳細にル1明覆る
本実施例は、第4図及び第5図に示づ如く、鋼管10の
ねじ切削部10Aの表面に、ねじ−11方向に広がりを
有(る複数の平行な帯状光束を照tJJ′するための面
光源20及びスリット付フィルタ22と、ねじ表面の照
光された部分に発生づる格子状の反則パターンを、ねじ
軸方向に走査してその画fil (;j Qを得るテレ
ビカメラ24と、検査時にねじ軸を中心として鋼管10
を所定の回転速度で回転させるためのターニングローラ
30と、前記テレビカメラ24を制御11″4るための
カメラコントローラ32を介して入力される画像イハ号
の自己相関画像を行って自己相関画像信号を形成し、ね
じの回転中に該自己相関画像信号内に生じる変化又は変
化量を検出層る画像信号処理装置34と、から+に構成
されている。
図において、36及び38は、前記ねじ切削部10A、
面光源20、スリット付フィルタ22及びテレビカメラ
24に外部光線が侵入するのを防If−4るための下側
暗箱及びト側暗箱、40は、Iii+記ト側暗箱38を
&gIlff1Qの外(¥の大小に応じてト下方向に移
動するだめの1−明暗′f?U昇降装岡、42は、検査
時に鋼管10先端のねじ切削部10Aを暗箱の中に挿入
覆るための入側テーブルローラ、44△、44F3及び
46A、46Bは、前駅暗箱内における鋼管10の先端
位置を検出して、前記入側テーブルローラ42を制御す
るたV)の、投受光Qllの2紺の位置検出センサであ
る。
前記画像イi月処理装置34は、例えば第6図に詳細に
示づ如く、カメラ」ントローラ32から入力される画像
信号の自己相関処理を11つだめの、例えば特開昭57
−91086に開示されたようなテレビ画像アナログ相
関駅間34Aと、該テレビ画像アナログ相関装置34A
より出力されるテLノご画像信号を画像に変換−4るデ
ィスプレイ装置34′Bと、前記テレビ画像アナログ相
関装置34△から出力される萌出第3図に示したような
テレビ画@(r+号より、びびりによる相関値をM準パ
ターンから弁別するためのデータ演算装置34Gと、前
記びびりによる相関1直をねじ検査とほぼ同時に表示覆
ると共に、善報を出力するための表示警報装暇34r)
と、から構成されている。
前記ト側暗箱昇降装置40は、萌出第4図に詳細に示し
た如く、前記+側暗箱38の側面に固着されlニギャボ
ゝンクス40Aと、ト端が該ギヤボックス40A内のギ
ヤと噛合するようにされたスクリュ40Bと、該スクリ
140Bを回転づるためのギA7ボツクス40Cと、該
ギヤボックス40C内のギヤを回転駆a−4るための昼
時用モータ40Dと、から構成されている。従って、u
AAl2O外径の大小に応じて、ト側暗箱38が1下に
移動され、侵入光が極力減らされると共に、ねじ切削部
10△面ヒの被測定部と、面光源20、スリット付フィ
ルタ22及びテレビカメラ24との距離が調節可能なよ
うになっている。
以下作用を説明する。
すし検査装置の被検査体であるw4菅10は、ヒ流側搬
送装両(図示省略)によって、当該ねじ検査装置の入側
テーブルローラ42−ヒに搬入され、15− テーブルローラ駆動モータ(図示省略)によって、暗箱
の中に送り込まれる。暗箱の中には、鋼管10の先端部
を検出づる位置検出センサ44A、44B及び46 A
、46Bが配設されており、まず、位置検出センサ44
A、44Bによる先端部検出により、入側テーブルロー
ラ42が減速制御され、更に、(l”/ 四検出センサ
46A、46Bによる先端部検出によって、入側テーブ
ルローラ42が停止制御される。このようにして、tA
管10の最先端部が所定の位置にあるように鋼管10が
停止Fされると、鋼管10の下面が入側テーブルローラ
42に接触しない高ざまでターニングローラ30がト昇
して、tA管10を所定の回転速度で回転せしめるべく
、ターニングローラ30が回転する。又、M4管10の
外(¥に合わせて、」−側暗箱昇陣装置40によりト側
暗箱38が昇降され、面光11!20、スリット付フィ
ルタ22及びテレビカメラ24の位置も調整され、前記
画像イハ月処理装置34によりねじ表面の自動検査が行
われる。
ねじ切削部10Aの表面検査が行われ、ねじ表 16− 面の合否判定が1テわれた後、鋼管10は、入用リテー
ブルローラ42の逆回転によって、暗箱の外側に搬出さ
れ、他の搬出Rib(図示省略)によって、入側テーブ
ルローラ42より下流側の搬送ラインに搬出される。
本実施例により得られたii[ii#信号の例を第7図
乃至第10図に示づ。第7図及び第8図は、びびり等の
品質欠陥のない18着のねじ部の画像信号を自己相関処
理した結果をディスプレイ装置34F3に写したものの
連続画像写真であり、格子状パターンの明暗模様が第7
図と第8図で変化していないことが明らかである。一方
第9図及び第10図は、ねじ切削面にびびりが発生した
鋼管のねじ部の画*tgqを自己相関処理した結果をデ
ィスプレイ装置3411に写したものの連続画像写真で
あり、ねじ山のピッチ間隔【よって、発生している格子
状の基本パターンは変化していないが、びびりによる相
関値が基本パターンに重ね合わされており、びびりにに
る相関パターンがねじの回転により変化していることが
明らかである。
本実施例においては、面光源20、スリット付フィルタ
22及びテレビカメラ24を固定し、鋼管10を回転せ
しめてねじ検査を行うようにしていたので、信号線等を
固定則することができ、構成が簡略である。なお、本発
明によるねじ検査装置の構成はこれに限定されず、鋼管
10を固定し・、相ηに一体化した面光源20、スリブ
トイ1フイルタ22及びテレビカメラ24を鋼管10の
回りに回転させるようにしたり、あるいは、鋼管10と
面光源20及びスリット付フィルタ22を固定配向し、
テレビカメラ24のみを移動させて、ねじ検査を行うよ
うに構成力ることも可能である。
前記実施例においては、本発明が、fA菅讐端部のねじ
仕トげ而のびびり等の性状検査に適用されていたが、本
発明の適用範囲はこれに限定されず、他の部材のねじ検
査にも同様に適用することができる。又、ねじ検査以外
の他の対象物の検査であってb、切削加工面上に周11
114のある欠陥が存在鱒るものであれば、その欠陥の
有無が検出可能であることは明らかである。
以上説明した通り、本発明によれば、ねじ表向における
びびり等の品質欠陥の有無又は程度を、高精度で検出て
ることができ、自動化も可能であるという優れた効果を
有力る。
【図面の簡単な説明】 第1図は、本発明に係るねじ表面の検査方法の原理を説
明づるための斜視図、第2図は、InIしく、びびりを
含む画像信号の一例を示1線図、第3図は、同じく、第
2図に対応−4る自己相関処理画像信号の一例を示J線
図、第4図は、本発明が採用されl=鋼管管端部のねじ
検査装置の実施例の構成を示−4断面図、第5図は、第
4図のv−v線に沿う断面図、第6図は、前記実施例で
用いられている画像イへ月処理装置の構成を示すブロッ
ク線図、第7図及び第8図は、びびり等の品質欠陥のな
い鋼管のねじ部の画像信号を自己相関処理した結果を示
A連続画際′4′真、第9図及び第10図は、ねじ表面
にびびりが発生し/、= uA管のねじ部の画lIj!
仇弓を自己H1関処即り、た結果を示′1連続画ti 
w Pfである1、  19− 10・・・!14晋、 10△・・・ねじ切削部、 20・・・面光源、 22・・・スリット付フィルタ、 A・・・ねし軸、 24・・・テレビカメラ、 30・・・ターーングローラ、 32・・・カメラ」ントローラ、 34・・・画像信号処理装貿。 34A・・・テレビ画像アナログ相関装置、34tl・
・・ディスプレイ装置、 340・・・データ演葬装置、 34 r)・・・表示警報装置。 代理人 高 矢 論 (ばか1名) −20− 第1図 第7図 第6図 第9図 第10図 昭和59年特許願第106234号 2、発明の名称 ねじ表面の検査方法及び検査装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 (125)川崎製鉄株式会社 (ほか1名) 4、代理人 〒160 住 所 東京都新宿区西新宿−丁目12番11号山 銀
 ビ ル 6、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄、明細書の図面の簡単な
説明の欄及び図面。 7、補正の内容 (1)明細書第18頁第6行から第20行の[本実施例
により・・・明らかである。」を1本実施例により、び
びり等の品質欠陥のない鋼管のねじ部の画像信号を自己
相関処理した結果、格子状パターンの明暗模様が変化し
ないことが確認できた。 一方、ねじ切削面にびびりが発生した鋼管のねじ部の画
像信号を自己相関処理した結果、ねじ山のピッチ間隔に
よって、発生している格子状の基本パターンは変化しな
いが、びびりによる相関値が基本パターンに重ね合わさ
れており、びびりによる相関パターンがねじの回転によ
り変化することが確認できた。」と改める。 (2)明細書第20頁第14行から第20行の「ブロッ
ク線図、・・・連続画像写真である。」をrブロック線
図である。」と改める。 (3)図面第7図乃至第10図を削除する。 広九

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ねじ表面に、ねじ軸方向に広がりを有づる少なく
    とも1本の帯状光束を照射し、 ねじ表面の照光された部分に発生する周期的な反射パタ
    ーンを、ねじ軸方向に走査してその画像信号を得、 該画像信号の自己相関演算を行って自己相関画像信号を
    形成し、 ねじの、ねじ軸を中心とする回転中に該自己相関画像信
    号内に生ずる変化又は変化量を検出して、ねじ表面のび
    びり等の品質欠陥の有無又は程度を検出することを特徴
    とするねじ表面の検査方法。
  2. (2)ねじ表面に、ねじ軸方向に広がりを有でる、複数
    の互いに平行な帯状光束を照射する照光手段と、 ねじ表面の照光された部分に発生する格子状の反射パタ
    ーンを、ねじ軸方向に走査してその画像 1− 1ハ号を得る搬像手段と、 該画像信号の自己相関演算を行って自己相関画像信号を
    形成する両像相関手段と、 ねじ軸を中心としてねじを回転させるねじ回転手段と、 ねじの回転中に該自己相関画像信号内に生ずる変化又は
    変化量を検出する検出手段と、を備え、該検出手段によ
    る検出結果から、ねじ表面のびびり等の品質欠陥の有無
    又は程度を検出−4るようにされていることを特徴とす
    るねじ表面の検査装置。
JP10623484A 1984-05-25 1984-05-25 ねじ表面の検査方法及び検査装置 Granted JPS60250235A (ja)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2606879A1 (fr) * 1986-05-29 1988-05-20 Rengo Co Ltd Dispositif pour la detection de defauts dans un carton ondule simple-face
GB2407867A (en) * 2003-11-07 2005-05-11 Agilent Technologies Inc Detecting a homogenous surface by the autocorrelation of the optical images of the surface
JP2010014547A (ja) * 2008-07-03 2010-01-21 Sumitomo Heavy Ind Ltd 表面検査方法、及びびびりマーク検査装置
JP2010523988A (ja) * 2007-04-12 2010-07-15 ファウ・ウント・エム・ドイチュラント・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 雄ねじを光学計測するための方法および装置
WO2011093372A1 (ja) * 2010-01-29 2011-08-04 住友金属工業株式会社 欠陥検査装置
WO2021014645A1 (ja) * 2019-07-25 2021-01-28 三菱電機株式会社 検査装置及び方法、並びにプログラム及び記録媒体

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2606879A1 (fr) * 1986-05-29 1988-05-20 Rengo Co Ltd Dispositif pour la detection de defauts dans un carton ondule simple-face
GB2407867A (en) * 2003-11-07 2005-05-11 Agilent Technologies Inc Detecting a homogenous surface by the autocorrelation of the optical images of the surface
GB2407867B (en) * 2003-11-07 2006-08-16 Agilent Technologies Inc Homogeneous and plain surface detection in optical navigation systems
US7382935B2 (en) 2003-11-07 2008-06-03 Avago Technologies Ecbu Ip Pte Ltd Homogeneous and plain surface detection in optical navigation systems
JP2010523988A (ja) * 2007-04-12 2010-07-15 ファウ・ウント・エム・ドイチュラント・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 雄ねじを光学計測するための方法および装置
JP2010014547A (ja) * 2008-07-03 2010-01-21 Sumitomo Heavy Ind Ltd 表面検査方法、及びびびりマーク検査装置
WO2011093372A1 (ja) * 2010-01-29 2011-08-04 住友金属工業株式会社 欠陥検査装置
US9121833B2 (en) 2010-01-29 2015-09-01 Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation Defect inspecting apparatus
WO2021014645A1 (ja) * 2019-07-25 2021-01-28 三菱電機株式会社 検査装置及び方法、並びにプログラム及び記録媒体
JPWO2021014645A1 (ja) * 2019-07-25 2021-12-09 三菱電機株式会社 検査装置及び方法、並びにプログラム及び記録媒体

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