JPS60249342A - 電気特性測定装置 - Google Patents
電気特性測定装置Info
- Publication number
- JPS60249342A JPS60249342A JP59103740A JP10374084A JPS60249342A JP S60249342 A JPS60249342 A JP S60249342A JP 59103740 A JP59103740 A JP 59103740A JP 10374084 A JP10374084 A JP 10374084A JP S60249342 A JPS60249342 A JP S60249342A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- needle
- transformer
- oscillator
- movable part
- Prior art date
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- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、電気特性測定装置に関し、特に被測定物を検
出する検出針を有する電気特性測定装置に関するもので
ある。
出する検出針を有する電気特性測定装置に関するもので
ある。
一般に半導体素子製造工程において、個々のチップに切
断する前のウェハ状態でＩＣチップの特性をテストする
ための装置としてＩＣテスタ及びウエハプローバが使わ
れている。実際のテストはＩＣテスタで行われるが、こ
のＩＣテスタとウェハ上のＩＣチップとの電気的コンタ
クトを行うのがウエハプローバである。このクエハプロ
ーバは内部にグローブ針と呼ばれる針を有し、この針が
実際にはウェハ上のＩＣチップのボンディングパッドに
接触し電気的なコンタクトを行っている。
断する前のウェハ状態でＩＣチップの特性をテストする
ための装置としてＩＣテスタ及びウエハプローバが使わ
れている。実際のテストはＩＣテスタで行われるが、こ
のＩＣテスタとウェハ上のＩＣチップとの電気的コンタ
クトを行うのがウエハプローバである。このクエハプロ
ーバは内部にグローブ針と呼ばれる針を有し、この針が
実際にはウェハ上のＩＣチップのボンディングパッドに
接触し電気的なコンタクトを行っている。
通常この様なウエハブローバは、プローブ針の下方に工
Ｃｙ−ップが存在するか否かを検出するためにエツジセ
ンス針という検出針を持っている。
Ｃｙ−ップが存在するか否かを検出するためにエツジセ
ンス針という検出針を持っている。
エツジセンス針は一般に可動部と固定部より成り、セン
ス回路から電圧が印加される構成になっている。したが
ってエツジセンス針の可動部とウェハが接触すると、可
動部と固定部が離間し、この電流の遮断を検知してプロ
ーブ針とウェハとの接触を検知する。このためこの様な
クエハプローバではエツジセンス針がＩＣチップ内の素
子や配線に触れると、ウェハの特性テストに直接関係の
ないウエハプローバのセンス回路の電圧がこれらの素子
等に印加されるため、正しいテストが不可能である。
ス回路から電圧が印加される構成になっている。したが
ってエツジセンス針の可動部とウェハが接触すると、可
動部と固定部が離間し、この電流の遮断を検知してプロ
ーブ針とウェハとの接触を検知する。このためこの様な
クエハプローバではエツジセンス針がＩＣチップ内の素
子や配線に触れると、ウェハの特性テストに直接関係の
ないウエハプローバのセンス回路の電圧がこれらの素子
等に印加されるため、正しいテストが不可能である。
従来この種の装置は上記の欠点を補うために、エツジセ
ンス針の先端を絶縁したり、あるいはＩＣチップ表面の
絶縁膜部分にエツジセンス針を位置させる様にしていた
。しかしながら前者は絶縁物が破損や摩耗し易く、後者
はＩＣチップ表面内にスペースがない場合使用不可能と
なる等の欠点があった。
ンス針の先端を絶縁したり、あるいはＩＣチップ表面の
絶縁膜部分にエツジセンス針を位置させる様にしていた
。しかしながら前者は絶縁物が破損や摩耗し易く、後者
はＩＣチップ表面内にスペースがない場合使用不可能と
なる等の欠点があった。
また第１図に示すように、可動部６と固定部４より構成
されるエツジセンス針と、センス回路（コントローラ６
）の間にリレー５な追加し、テスト時にはエツジセンス
針とセンス回路６を切り離す方法もあるが、ウエハプロ
ーバは被テスト素子によっては非常に高速でテスト状態
と非テスト状態になるため、このリレーの信頼性、耐久
性に問題があった。尚第１図において、１はウェハ、２
はウェハ１な保持し、不図示のウェハステージによ＋）
ｘ、ｙ、ｚ方向に移動可能なウェハチャックである。
されるエツジセンス針と、センス回路（コントローラ６
）の間にリレー５な追加し、テスト時にはエツジセンス
針とセンス回路６を切り離す方法もあるが、ウエハプロ
ーバは被テスト素子によっては非常に高速でテスト状態
と非テスト状態になるため、このリレーの信頼性、耐久
性に問題があった。尚第１図において、１はウェハ、２
はウェハ１な保持し、不図示のウェハステージによ＋）
ｘ、ｙ、ｚ方向に移動可能なウェハチャックである。
〔発明の目的〕
本発明は上述のウエハプローバのエツジセンス方式の欠
点を除去する目的でなされたものであり、エツジセンス
針とセンス回路を電気的に接続又は切り離しを行うこと
を特徴とする。
点を除去する目的でなされたものであり、エツジセンス
針とセンス回路を電気的に接続又は切り離しを行うこと
を特徴とする。
以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第２図は、本発明の一実施例の概略構成図であり、第１
図と同様な部材には同一の参照符号を附しである。
図と同様な部材には同一の参照符号を附しである。
図において、１はウェハ、２はウェハ１を保持し、不図
示のウェハステージによりＸｙｚ方向に移動可能なウェ
ハチャック、６はエツジセンス針の可動部、４はエツジ
センス針の固定部、７は変成器、８は電流計、９は外部
からＯＮ、ＯＦＦのコントロール可能な発振器、１０は
発振器９のＯＮ。
示のウェハステージによりＸｙｚ方向に移動可能なウェ
ハチャック、６はエツジセンス針の可動部、４はエツジ
センス針の固定部、７は変成器、８は電流計、９は外部
からＯＮ、ＯＦＦのコントロール可能な発振器、１０は
発振器９のＯＮ。
ＯＦＦをコントロールするコントローラである。
次に上述のような構成を有する電気特性測定装置の作動
について説明する。
について説明する。
ウェハ１のテスト前には、発振器９はコントローラ１０
からの指令により所定の周波数で発振を行っている。こ
の状態において、ウェハ１を所定のテスト位置に移動さ
せると、この時もしエツジセンス針の可動部６がウェハ
１上にあれば、エツジセンス針の可動部３は、ウェハ１
の上昇により上方に押し上げられ、エツジセンス針の固
定部４から離れる。これを発振器９側から見ると、変成
器７の２次側電流が流れなくなるため、変成器７の１次
側電流の増加が認められる。
からの指令により所定の周波数で発振を行っている。こ
の状態において、ウェハ１を所定のテスト位置に移動さ
せると、この時もしエツジセンス針の可動部６がウェハ
１上にあれば、エツジセンス針の可動部３は、ウェハ１
の上昇により上方に押し上げられ、エツジセンス針の固
定部４から離れる。これを発振器９側から見ると、変成
器７の２次側電流が流れなくなるため、変成器７の１次
側電流の増加が認められる。
すなわちエツジセンス針可動部６とエツジセンス針固定
部４との接続状態は電流計８により検出され、これはコ
ントローラ１０に伝えられる。次いでコントローラ１０
の指令により、発振器９は発振を停止し、この事により
ウェハ１はセンス回路（コントローラ１０）からの影響
を受けなくなり、この後ウェハテストが実行される。
部４との接続状態は電流計８により検出され、これはコ
ントローラ１０に伝えられる。次いでコントローラ１０
の指令により、発振器９は発振を停止し、この事により
ウェハ１はセンス回路（コントローラ１０）からの影響
を受けなくなり、この後ウェハテストが実行される。
以上説明したように本発明の構成によれば、リレーの様
な機械的動作を行う部品を用いずにエツジセンスが可能
となるため、ウエノ１プローバとして信頼性、耐久性の
向」−が”Ｔ Ｋｌとなる。
な機械的動作を行う部品を用いずにエツジセンスが可能
となるため、ウエノ１プローバとして信頼性、耐久性の
向」−が”Ｔ Ｋｌとなる。
なお以上本発明をウエハプローバに適用した場合につい
て説明を行って来たが、これは本発明の一実施例にすぎ
ず、他の電気特性測定装置にも適用できるのは明らかで
ある。この他の電気特性測定装置としてはＩＣ等のトリ
ミング装置、半導体ウェハーの比抵抗測定器奪が考えら
れる。
て説明を行って来たが、これは本発明の一実施例にすぎ
ず、他の電気特性測定装置にも適用できるのは明らかで
ある。この他の電気特性測定装置としてはＩＣ等のトリ
ミング装置、半導体ウェハーの比抵抗測定器奪が考えら
れる。
第１図は従来のウエハプローバの概略構成図、第２図は
本発明の一実施例の概略構成図である。 １はウェハ、２はウェハチャック、６はエツジセンス針
可動部、４はエツジセンス針固定部、５はリレー、６は
コントローラ、７は変成器、８は電流計、９は発振器、
１０はコントローラである。
本発明の一実施例の概略構成図である。 １はウェハ、２はウェハチャック、６はエツジセンス針
可動部、４はエツジセンス針固定部、５はリレー、６は
コントローラ、７は変成器、８は電流計、９は発振器、
１０はコントローラである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 離間可能な複数の部分から構成された検出手段と、 一方が前記検出手段に接続された変成器と、前記変成器
の他方に接続された電源と、前記変成器と前記電源の間
に接続された電流計と、 前記電流計の電流変化により前記電源の電圧を遮断する
制御部を有することを特徴とする特許性測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59103740A JPS60249342A (ja) | 1984-05-24 | 1984-05-24 | 電気特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59103740A JPS60249342A (ja) | 1984-05-24 | 1984-05-24 | 電気特性測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60249342A true JPS60249342A (ja) | 1985-12-10 |
Family
ID=14362011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59103740A Pending JPS60249342A (ja) | 1984-05-24 | 1984-05-24 | 電気特性測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60249342A (ja) |
-
1984
- 1984-05-24 JP JP59103740A patent/JPS60249342A/ja active Pending
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