JPS60248512A - ワ−クチヤツクヘツドが傾くタ−ンテ−ブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ０発明の目的 産粟↓■剋且分！ 本発明は、一つの工程を経たワークを他の工程に送るた
め、Ｉニ！、３−所淀誼１−か−ら所定位置一般に、一
つの工程を経たＩＣ等のワークを他の工程に送るため、
ワークを所定位置から所定位置まで運ぶ作業を繰り返し
て行う場合、従来搬送ユニットのワークチャックヘッド
を、第５図に示すように上下と水平の動きを組合せてピ
ックアップ式のゲート運動させている。即ち第５図にお
いてワーク（１８）を（Ｃ）位置から（Ｆ）位置まで搬
送する場合、まずワーク（１８）は（Ｃ）位置で真空チ
ャック、機械的チャック等によりチャックされる。そし
てワーク（１８）をチャックしているヘッド（１９）は
（Ａ）方向に（Ｄ）位置まで上昇した後、（Ｂ）方向に
（Ｅ）位置まで水平に動（。次に（Ｅ）位置から（Ｆ）
位置まで（Ａ′）方向に下降すれば、ワ−ク（１８）は
チャックヘッド（１９）のゲート運動により（Ｃ）位置
から（Ｆ）位置まで搬送される。そして搬送を終えたチ
ャックヘッド（１９）は、逆に（Ｆ）位置から（Ｅ）位
置、（Ｄ）位置を経て（Ｃ）位置に戻り上記同様、ワー
ク（１Ｂ）の搬送を繰り返す。

く　“しよ４と　る 例えば、リードフレームに多数の素子をマウントし、夫
々樹脂モールドして形成酸された個々のＩＣ等の半導体
装置を分離してその樹脂モールド面に、社標等のマーク
を捺印する場合、その工程に高速性が要求されている。

ところが、従来のピックアップ式のゲート運動による搬
送・供給方式は高速搬送に追従できず高速性が満たされ
ない。

口８発明の構成 ゛の 本抛明は、間欠回転するターンテーブルと、ワークを真
空チャックする平面部にカム等の従動部を一体に形成す
ると共に平面部が回動して傾斜するように上記ターンテ
ーブル周縁に枢支される複数のワークチャックヘッドと
、所定位置に固定され、上記ターンテーブルと共にその
位置まで回転してきた上記ワークチャックヘッドのカム
等の従動部に当接することによりワークチャックヘッド
を所定角度だけ回動させてその平面部を傾斜させるカム
等の機構と、ワークを真空吸引により上記ワークチャッ
クヘッドにチャックさせ、かつ、ワーク取出し位置にあ
るワークチャックヘッドに真空圧を伝えない真空チャッ
ク機構とを具備し、ワークの高速搬送に応するものであ
る。

実１貫 本考案の一実施例を第１図と第２図に示す正面図及び平
面図を参照しながら説明する。図において（１）は間欠
回転するターンテーブル、（２）はその回転軸、（３）
は回転軸（２）を軸支する支持台、（４）は回転軸（２
）に連結されている駆動源、（５）は略鉤型のワークチ
ャックヘッド、（６）は所定位置に固定され、ワークチ
ャックヘッド（５）を所定角度だけ傾斜させる板カム、
（７）はＩＣ等のワーク、（８）はワーク（７）の供給
シュート、（９）は各ワークチャックヘッド（５）の真
空チャック機構で、第１図の破線で示す矢印によりワー
クチャックヘッド（５）に真空を伝える経路を示す。

上記構成を更に詳しく述べる。

ターンテーブル（１）の回転軸（２）は支持台（３）に
ベアリング（１０）によって滑動自在に支持されており
、その下端部が駆動源（４）に連結している。ワークチ
ャックヘッド（５）は略鉤型の平面部（５ａ）でワーク
（７）をチャックすると共に鉤型の屈曲部（５ｂ）を中
心にして回動できるように、ターンテーブル（１）の周
縁に沿って設けられた複数のワークプレート（１５）に
枢支される。又ワークチャックヘッド（５）の下端には
後述する板カム（６）が当接するローラ（５ｃ）がカム
従動部として設けられており、ローラ（５ｃ）が板カム
（６）に当接した時、ワークチャックヘッド（５）は屈
曲部（５ｂ）を中心に回動して平面部（５ａ）が第１図
右部に示す如（傾斜する。そして、ワークチャックヘッ
ド（５）が板カム（６）から外れた時、第３図のその正
面図にも示す如く、その平面部側方端とワークプレート
（１５）前端に設けられたバネ架け（１１）の間に橋梁
される引っ張りバネ（１２）によって平面部（５ａ）が
水平に保たれている。ここで、平面部（５８）の水平度
は第３図に示すようにワークプレー）　（１５）の前端
に設けられたストツパ（１３）によって調節される。板
カム（６）はターンテーブル（１）の下方の所定位置に
あって、ターンテーブル（１）と共にその位置まで回転
してきたワークチャックヘッド（５）のローラ（５Ｃ）
が当接することによりワークチャックヘッド（５）の平
面部（５ａ）を所定角度だけ傾斜させるように配設され
ている。供給シュート（８）は傾斜したワークチャック
ヘッド（５）の平面部（５ａ）の延長方向に連続的に配
置され、ワーク（７）は供給シュート（８）から自重落
下により、傾斜している平面部（５ａ）上に連続的に供
給される。供給シュート（８）上の先頭のワーク（７）
はゴムローラ（１４）　（１４）で挟持され、ゴムロー
ラ（１４）　（１４）がワーク（７）の落下方向に１個
分だけ回転することにより、ワーク（７）は１個ずつ切
り出されてワークチャックヘッド（５）の平面部（５ａ
）に供給される。真空チセソク機構（９）は各ワークチ
ャックヘッド（５）毎に個別に設けられており、真空吸
引を行わせる配管（９ａ）がワークチャックヘッド（５
）から第１図に示す破線矢印に従って設けられている。

そこで、上記配管（９ａ）は、ワークチャックヘッド（
５）と同数だけあり（第１図と第２図で１個のみ示し他
を省略）、これらは第１図に示すように１個のセンター
バルブ（１６）を経て外部の真空ポンプ（図示せず）に
接続されている。上記センターバルブ（１６）は、回転
軸（２）に固定されてターンテーブル（１）と共に回転
する回転部（１６ａ　）と、支持台（３）に固定されて
上面が回転部（１６ａ　）の下面に摺接している固定部
（１６ｂ　）とから成る。そして、第１図Ａ−Ａ線断面
である第４図により、センターバルブ（１６）の形状を
示すと、回転部（１６ａ　）には上記各配管（９ａ）か
ら回転部（１６ａ　）の下面まで通じている連通孔（１
６ａ’）が形成され、固定部（１６ｂ　）には上記各連
通孔（１６ａ’）に衝合し回転部（１６ａ　）の下面か
ら外部に通じている連通孔（１６ｂ’）が形成されてい
る。ここで、第４図に示すように上記各連通孔（１６ｂ
’　）の、回転部（１６ａ　）との衝合部には円弧状の
長穴（１６ｂ”）が形成されており、タンテーブル（１
）と共に回転部（ｌｅａ　）が回転する時、その各連通
孔（１６ａ’）は長穴（１６ｂ”）に沿って摺動し真空
吸引はほぼ連続的に各ワークチャックヘッド（５）に伝
えられる。即ち、もし上記長穴（１６ｂ″）を円周に沿
って連続形成して回転部（１６ａ　）を回転させた時、
真空吸引は連続的に各ワークチャックヘッド（５）に伝
えられるが、ワーク（７）の載っていないワークチャッ
クヘッド（５）があれば、他のワークチャックヘッド（
５）の真空圧が保たれない。そこで、上記長穴（１６ｂ
”）をワークチャックヘッド（５）毎に個別に設けてお
けば、上記真空圧は保たれる。更に、ワーク（７）の取
り出し位置にあるワークチャックヘッド（５）に対し真
空吸引が伝えられないようその位置に通じる長穴は塞が
れる。

上記構成に基づ（本発明の動作例としてＩＣの捺印工程
を次に示す。

まず、ターンテーブル（１）は第２図に示す矢印（Ｒ）
の方向に間欠回転し、板カム（６）の固定位置（Ｐｌ）
でワークチャックヘッド（５）にワークとしてのＩＣ（
７）が供給されるものとする。即ち、位置（Ｐｌ）まで
回転してその位置で一旦停止したワークチャックヘッド
（５）は、板カム（６）により回動しながら平面部（５
ａ）が、所定角度だけ傾斜し、そこにＩＣ（７）が供給
シュートく８）から１個ずつ供給される。そして、再び
ターンテーブル（１）と共に、ＩＣ（７）の供給されて
いるワークチャックヘッド（５）が位置（Ｐ２）まで回
転した時、その位ｆ（Ｐ２）で停止させてＩＣ（７）の
捺印面上のゴミをブラシ等で除去する。更に、ブラシ等
で除去されなかったＩＣ（７）の捺印面上のゴミを、位
ｉ！（Ｐｇ）で水素炎加熱により焼き切った後、ＩＣ（
７）は位置（Ｐ４）で捺印され、位ｆｉｆｅ’ｓ）で取
り出される。この時、ＩＣ（７）は第１図に示すように
位置（Ｐ５）でエアープロー（１７）により取り出され
、同時に先に述べたように位置（Ｐ５）にあるワークチ
ャックヘッド（５）に真空圧は伝えられない。

ハ１発明の効果 本発明によれば、ＩＣ等のワークを所定位置から所定位
置に搬送する際、所定位置で板カム等により傾斜させな
がらワークチャックヘッドを周縁に複数個配設したター
ンテーブルを間欠回転させ、ターンテーブルと共に間欠
回転するワークチャックヘッドによりワークを搬送する
ようにしたから、所定位置で傾斜するワークチャックヘ
ッドに対しワークをその自重落下により供給でき、しか
もワークチャックヘッドを間欠回転させながらそこに供
給されたワークに新たな作業を加えることができ高速性
に優れる。

又、板カム等に従ってワークチャックヘッドが傾斜する
ため、振動が少なく、高速性に優れている。更に、真空
吸引によりワークをワークチャックヘッドに保持してい
るため、複雑なチャック機構を必要としない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の正面図で、第２図はその平
面図、第３図は第１図に含まれるワークチャックヘッド
の正面図、第４図は第１図Ａ−Ａ線切断断面図、第５図
は従来のビックアンプ式のワーク搬送方式の動作説明図
である。 （１）・−・・ターンテーブル、（５）・・−ワークチ
ャックヘッド、（５ａ）　一平面部、（５ｃ）　−・カ
ム従動部、（６）−・平面部を傾斜させる機構、（７）
　−ワーク、（９）　（１６）−真空チャック機構。 第２　図 Ｊ１５　図 ら

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）間欠回転するターンテーブルと、ワークをチャッ
   クする平面部に従動部を一体に形成すると共に平面部が
   回動して傾斜するように上記ターンテーブル周縁に枢支
   される複数のワークチャックヘッドと、所定位置に固定
   され、上記ターンテーブルと共にその位置まで回転して
   きた上記ワークチャックヘッドの従動部に当接すること
   によりワークチャックヘッドを所定角度だけ回動させて
   その平面部を傾斜させる機構と、ワークを真空吸引によ
   り上記ワークチャックヘッドにチャックさせ、かつ、ワ
   ーク取出し位置にあるワークチャックヘッドに真空圧を
   伝えない真空チャック機構とを具備したことを特徴とす
   るワークチャックヘッドが傾（ターンテーブル。