JPS60246943A - クリ−ンル−ム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はクリーンルームに関する。

（従来の技術） 近時、マイクロエレクトロニクスやバイオテクノロジー
に係る開発研究所や超精密機械部品や医薬品の製造工場
等においては、超清浄空間を創出するクリーンルーム（
防塵室）か広く利用されている。このクリーンルームに
は、密閉した所定圧の部屋内に天井全体から格子床全体
に向けて空気を送って空調ダクトを介して再び天井に戻
して空気を循環させ、その間に天井のフィルター等で空
気を清浄化する垂直方式のもの、壁からこれに対向する
壁へ空気を流して壁のフィルター等で清浄度を出す水平
方式のもの等種々のものがある。

（発明が解決しようとする問題点） ところでクリーンルームの性能はフィルターの性能や換
気回数に依存されるが、その他の重要な性能決定要因と
しては「空気の円滑な流れ」である。これは、空気か障
遺物に当って渦を作るとそこに塵埃が滞留して、これか
結合し合って大きくなって製品等に付着するからである
。この空気の流れを左右するものか天井部である。天井
高か趨に定っている場合、最も空気を円滑に流すには、
吹出口及び吸込口をどこのどの位置に設置したらよいか
、また設備のレイアウト等をどのようにしたらよいかと
いう課題は、現在のところ未解決である。換言すれば、
吹出口、吸込口や設備のレイアウト等が定まっている場
合、最適な天井高はいくらにしたらよいかという課題は
未解決である。

勿論側々にクリーンルームを施工して、そこで実験を繰
り返すことで上記の課題は解決できる。しかしながら個
々に天井高に応じたクリーンルームを施工して実験資料
を収集することは実際上内勤である。

（発明の目的） 本発明の目的は個々のクリーンルー、ムを施工すること
なく１のクリーンルームで様々な天井高に応じた吹出口
の配Ｍ等の最適な条件をめることができるようにするこ
と眞ある。

（間顯点を解決するための手段） 本発明に、天井部と、この天井部を昇降口」能に吊持す
る手段と、上記天井部を蔓内する案内手段と、上記天井
部の外周部に配設した気密手段とを具備するものである
。

（実施例） 以下本発明の一実馳例を図面に基づいて説゛明する。

第１〜４図において、クリーンルームの天井Ｍ１は天井
フレーム２とこのフレームの下方に位Ｉ（するフィルタ
ー部３とからなり、このフィルター部は吊りボルト４に
よって天井フレームに固定しである。天井フレーム２は
支持金具５を介してワイヤロープ６・・・Ｋより昇降可
能に吊持してあり、このワイヤロープは支持枠７に取り
伺けた滑車８・・・にそれぞれ掛回し、′＃端を巻取り
軸９に軸支しであるローラ１０，１０．１０に巻回しで
ある。

この巻゛取り軸に軸着しである伝達車１１はモータ１２
の駆動車１３と歯合している。したがってモータ１２の
駆動により、ワイヤロープ６を巻取りまたは巻戻し、こ
れによって天井部１の吊下は位置を設定する。天井７レ
ーム２の両側に起立しである側枠２ａ、２ａは補強枠２
ｂ、２ｂで補強し、枠上端部にはガイドローラ１４　１
４ａ　１４ａが固定板２ｃ、２ｃに取り付けである。各
ガイドローラは、ＰＯ版からなる側ｉ１５，１５ａのう
ち側枠２　ａ、２　ａｌｊ、ｉ］（第１図両側）の側ｍ
　ｒ；　５　ａ。

１５ａの外側にこの壁に沿って配設したＨＥ；ｆＸのガ
イドレール３６．１６を走行自在である。カイ−トロー
ラ１４け第５図に示すように固定板２ｃの中−央部に位
ｉθし、カイトレール１６のフランジＴ６ａ外１／４＋
　（右側面）を走行自在であり、この方イドローラの１
０１１方に位置するガイドローラ１４ａ＋４ａはフラン
ジの縁部を走行自在である。ガイドレ−ラー４．１４ａ
とガイドレール１６とけ天井部１の耐震用振れＩ］−め
の機能をも有している。

また天井部１か所定の位置より下方に降下するととを防
１１・するために、各ガイドレール１６．１６にカイト
ローラ１４ａの走行を阻止するストッパ１７．１７（枦
、１図）を２＞け、さらに天井フレーム２を支持枠８に
取り付けた安全チェーン１８゜１８で保持しである。な
お、安全チェーンの長さ＼ は天井部１の昇降を妨げないものに設定しである。

また第１〜３図に示すように天井部１の九周部全周にゴ
ム製気密材１９を取り付け、この気密材で天井部と側壁
１５，１５ａとの間隙を密閉している。気密材１９け第
６，７図に示すように内部が中空であるチューブ状のも
ので、天井部１の四隅に対応するコーナ一部分にエア出
入れバイブ１９ａ・・・が立上っている（第３図）。こ
のパイプ１９ａの上端開口部はキャップ２０で封止し、
気密材１９内を所定圧に保持している。気密材１９の取
付は基部１９ｂは、フィルター部３のｈ枠３ａの外周上
面に取り付けである取付は枠２１の溝内に圧着しである
。天井部１を昇降する場合には、天井部と側壁１５．１
５ａとの間は所定の間隙をあけておくことが必要となる
ので、キャップ２゜を抜き取って、真空ポンプ２２（第
３図）に接続しであるホース２３の先端を開口部に差込
み、夏空ホンフで気密材Ｉ９内のエアを抜き取って気密
材を第６図鎖ｌ＠に示すように偏平にして、気密材と壁
との間に間隙をあけろ。

第１１．２図において、天井部１のフィルター部３から
流出す尤空気は格子床２４を辿り、床下からダクトを経
て空調機へ送られる。

次に作用について説明する。

天井高が予め定まっている場合には、モータ１２を駆動
させて天井部ｌの吊下げｆ＋”ｌ　楢を第１１ン：１実
線の位置から下方に所定焼散まで附ろす。天井部１を移
動させる際、気密材１９内のエアを真空ボ／プ２２で吸
い取り、気密材を偏平にして天井部の下齢が円滑に行え
るようにする。移動終了後は、再ひホンダ２２で気密拐
１９内にエアを送って気密材内を所定圧に設定して気密
を保持させる。

天井部１をセットした後、気流分布、塵埃分布及び温度
　４度分布を測定する。同様にして天井部１の位置を変
えて上記の測定をする。この場合、炊出ロ、吸込み口の
配置位置及び８９′備機器のレイアウトは変更しない。

こうすれば、天井高の違いによる上記各種の測定資料を
収第でき、最適な天井高をめることができる。また逆に
天井部１の位置はそのままにして吹出口、吸込み口等の
配置を神々変更させて、最適な配置を選択できる。

本発明は、上側に示すような空気が天井部１から床２４
へ流れる垂直方式のクリーンルームに限られず、空気か
一方の側壁から他方の０ｉｌｌ壁へ流れる水平方式のク
リーンルーム等にも適用できるものである。水平方式で
は、天井部１にはフィルター部に代えて天井板をそして
格子床に代えて床板をそれぞれ張設しておく。そして水
平方式のり壁にはフィルター部を設け、他方のｒ＋Ｊ動
側壁はパンチングメタルボードを用い、静止状態ではボ
ードの上下端をボルト等の固定手段で固定し、かつ気密
手段としては上記気密材を用いる。

なお、気密材１９の使用個所は必ずしも天井部１の外周
に限られない。

（発明の効果） 以上税明したように本発明によれば、一つのクリーンル
ーム内で天井高の違いによる神々の気流分布等の測定か
できて、一定の吹出口附の条件に対して最適な天井高を
めることかでき、所に一定の天井高に対して最適な吹出
口等の配置条件をめることかでき、そのためクリーンル
ームを例えば実験用として利用した場合、測定資料に基
づいた需要者に対して最も望ましいクリーンルームの設
計を提供できる。そして設備機器等のレイアウトの変更
に伴って天井高を変える必要か牛じた場合でも、即時に
対応できる。

【図面の簡単な説明】

第１図ｈ　ＭＩ　Ｎｊｉ　Ｉｉ図、第２図は側断面図、
第３図は第２図Ｉｌｌ　−ＩＩＩ線拡大り面図、館４図
は第１図■−■線断面図、第５図はガイドローラとカイ
トレール七の位置Ｊｕｌ係を示す拡大平面図、第６図は
第３図■−■紳拡大断面図、卯、７図は気％・材のコー
ナ一部分の拡大曲面図である。 １・・・・・・・・・天井部　２・・・・・・・・・天
井フレーム３・・・・・・・・・フィルター部　６・・
・・・・・・・ワイヤローフ１２・・・・・・・・・モ
ータ １４．１４ａ・・・・・・・・・ガイドローラ１５．１
５ａ・・・・・・・・・側壁 １６・・・・・・・・・ガイドレール １９・・・・・・・・・気密材　２２・・・・・・・・
・真空ホンダ２４・・・・・・・・・床。 以　上 見５図　第７図 １４／１ １４°−第６図 手紐補正書（自発〕 昭本日５９年５月２テ日 特許庁長官　若　杉　オロ　夫　殿 １、＄件の表示　了、ソー／６つ・“／ユｒ昭４ｇ５９
年５月２１日提出の待訂順 ２　発明の名称 クリーンルーム ３、補正ケする者 事件との関係　特許出願人 東京都中央区京橘二丁目１６番１号 （２２９）清水建設株式会社 代表取締役吉野照蔵 ４、代理入

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）　天井部と、 この天井部を昇降可能に吊持する吊持手段と、上記天井
   部を案内する案内手段と、 天井部の外周部に配設した気密手段と を具備するクリーンルーム。 （２、特許請求の範囲第１項において、気密手段は天井
   部の外周全周に取り付けた収縮可能のチューブからなる
   ことを特徴とするクリーンルーム。