JPS60242954A - 面取り加工方法 - Google Patents

面取り加工方法

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JPS60242954A
JPS60242954A JP9905584A JP9905584A JPS60242954A JP S60242954 A JPS60242954 A JP S60242954A JP 9905584 A JP9905584 A JP 9905584A JP 9905584 A JP9905584 A JP 9905584A JP S60242954 A JPS60242954 A JP S60242954A
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JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
polishing
face
chamfering
outer edge
Prior art date
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Pending
Application number
JP9905584A
Other languages
English (en)
Inventor
Masashi Makino
牧野 正志
Toshiharu Okada
俊治 岡田
Noriyuki Inagaki
典之 稲垣
Kunio Nakada
中田 邦夫
Takeichi Yoshida
吉田 竹一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP9905584A priority Critical patent/JPS60242954A/ja
Publication of JPS60242954A publication Critical patent/JPS60242954A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明の面取り加工方法は、主としてフロンピーディス
クヘッドの面取り加工に利用されるものである。
従来例の構成とその問題点 フロッピーディスクヘッド(被加工物)Aは第1図に示
す如く、セラミックスなとの脆性材料からなる略直方体
形状のものであるが、フロッピーディスクを傷付けない
ようにこれに対向する面(加工対象面)1の外縁部2に
は全周にわたって曲面状の面取り加工が施されている。
そして前記面1のフラット部3と曲面状の面取り部2a
との継ぎ目の滑らかさが高精度で要求されている。
第2図は前記ヘッドAの加工対象面1の短軸Y方向にお
ける断面プロフィルを示すが、前記ヘッドAの機能上こ
の短軸方向における前記継ぎ目の滑らかさとして、a 
/b = O,0003mm10.020mmという規
格が実用許容値として定められている。これを継ぎ目に
おける面取り部2aの曲面の傾斜角度θに換算すると0
.86°となり、前記曲面を0.83゜以下の傾斜角度
θで形成しなければならないことになる。
このような高精度の面取り加工を行う従来法としては、
第3図及び第4図に示す方法がある。
この従来法は、回転円盤18上に弾性シート4を介在さ
せて研磨シート6を配設した研磨装置6と、被加工物A
に自転、揺動及び自転軸方向の付勢力を与える被加工物
保持装置7とを用いて面取り加工を行なうものである。
前記被加工物保持装置7は3個の被加工物Aを同時に面
取り加工できるように3本のホルダ8を備え、これらホ
ルダ8の夫々に被加工物A°をその加工対象面1が下に
なるように保持させている。
前記ホルダ8はその中心線を自転軸yとして自転するこ
とにより被加工物Aに自転を与えている。
9は前記ホルダ8を自転させるためのモータである。前
記ホルダ8はホルダ支持体10に上下動可能に支支され
ると共にバネ11によって下方に付勢されている。この
結果、被加工物Aは自転軸y方向に付勢され、その加工
対象面1の外縁部2は所定弾性荷重下、前記研磨シート
5に常に圧接する。前記ホルダ支持体10は揺動アーム
12の先端部に取付けられ、揺動アーム12の揺動に伴
って所定角度範囲l内で揺動する。この結果ホルダ8ひ
いては被加工物Aに、図にσで示される揺動中心線回り
の揺動が与えられる。尚、第3図及び第4図において、
13は揺動アーム12に揺動を与えるクランク機構、1
4は被加工物保持装置7全体を機枠15に対し上下動さ
せるシリンダ装置、16は前記研磨装置6の回転円盤1
8を回転駆動するモータである。
従来法は上述のように被加工物Aに自転、揺動及び自転
軸y方向の付勢力を与えつつ、その加工対象面1の外縁
部2を前記研磨装置6の研磨シート5に圧接させること
によって面取り加工を行っている。そして被加工物Aの
揺動範囲を、第4図に示す如く、前記揺動中心線αを通
り研磨シート6に垂直な垂直線v′の片側にのみ存する
ように定めて、被加工物Aのフラット部3(第1図参照
)が研磨シート5に接触して研磨痕跡が付けられるのを
回避している。又被加工物Aが第4図仮想線で示すよう
に前記垂直線V′に最も近付いた揺動位置において、前
記加工対象面1にフラット部3面取シ部2aとの継ぎ目
における傾斜曲面の加工が行なわれるのであるが、この
とき研磨シート6の下の弾性シート40弾性変形によっ
て、前記傾斜曲面の傾斜角度θが0.86°に下の高精
度の面取り加工が可能になる。
しかし上記従来法は次のような問題点を有している。
■ 上記従来法は弾性シート4の弾性変形を利用して、
前記傾斜曲面の滑らかさを出すことを基本的な加工原理
としているため、被加工物Aの自転軸P′が前記垂直線
V′に一致する揺動角度o0の位置を通過させるように
して被加工物Aを揺動させると、揺動角度OOの位置に
おいて加工対象面1のフラット部3が研磨面に接触し、
スクラッチが発生するという問題がある。そこで上述の
ように被加工物Aの揺動範囲を前記垂直線Vの片側にの
み定めている(例えば20〜36°)。
このように片側揺動によって面取り加工を行うと、第5
図に示すように、加工対象面1におけるフラット部3と
面取り部2aとの境界線dが、仮想線で示す理想線から
傾斜してし1い、例えばこのようなフロッピーディスク
ヘッドを実機に組み込んだ場合、その出力特性が極めて
不安定な状態となる。
■ ■で述べたように被加工物Aは片側揺動によって面
取り加工されるが、その揺動範囲の一端を00 左側に
更に近付けることが困難であるので、前記傾斜曲面の傾
斜台度θの微小化の要請に応えることが困難である。
■ 前記弾性シート40弾性係数2表面硬さなどの初期
のばらつきやその経年変化によって、前記傾斜曲面の傾
斜角度θが大きく影響を受け、製品の品質が不安定にな
る。
■ フロッピーディスクヘッドはそれが取付けられる機
種毎に、面取り部2aの曲面形状の規格が異なっている
。このように面取り部2aの曲面形状が異なる種々の被
加工物Aに対応させるためには、前記弾性シート4を種
々取揃えることが必要である上に、被加工物への種類寸
法が異々る毎に、トライアンドエラー的に弾性シート4
を選択したシ、加工条件を決めることが必要である。
発明の目的 本発明は上記従来法の諸問題点を一挙に解消することが
できる面取り加工方法を提供することを目的とする。
発明の構成 本発明は上記目的を達成するため、平面状の加工対象面
1を有する被加工物Aの前記加工対象面1の外縁部2に
曲面状の面取シ加工を行う方法において、支持板23上
を走行する研磨テープ22の研磨面21に、これに対し
加工対象面1が鋭角φに交叉するようにして被加工物A
の前記外縁部2を接触させる一方、被加工物Aをその加
工対象面1に垂直な自転軸Pの回シに自転させると共に
、に揺動させ、更に前記外縁部2が前記研磨面21に圧
接されるように、被加工物Aを前記自転軸P方向に変位
可能に配すると共に、これを研磨面Z側に向は付勢して
、前記面取り加工を行うことを特徴とする。
実施例の説明 、 以下本発明を図面に示す実施例に基き具体的に説明する
第6図及び第7図は本発明方法を実施する装置を示して
いる。研磨装置20としては、剛性の支持板23上を研
磨テープ22を走行させ、研磨テープ22の一端部を捲
き取90−ラ24aに、他端部を捲き戻しローラ24b
に夫々捲回したものが用いられる。前記支持板23のガ
イド面23aは平面に形成されている。前記捲き取シロ
ーラ24aは駆動モータ19aによって回転せしめられ
、研磨テープ22を矢印方向に所定の速度で走行させる
。他方、前記捲き戻しローラ24bは、テープ捲き戻し
時に、駆動モータ19bによって回転せしめられ、研磨
テープ22を捲き戻す。前記支持板23上において、被
加工物Aはその外縁部2力く゛研磨テープ22に接触し
て面取シ加工を施されるが、第7図及び第8図に示す如
く、研磨面21は水平面に対し傾斜角φを有する傾斜面
となっテイル。尚、25a 、26bはテンシロンロー
ラである。又前記研磨テープ22として、ポリエステル
製基布土に酸化クロムの砥粒を塗布したものを用いると
好適である。
被加工物保持装置26は前記被加工物Aを着脱可能に保
持するホルダ27を備え、このホルダ27に被加工物A
をその加工対象面1が下になるように保持させている。
前記ホルダ27はホルダ支持体28に回転自在且つ上下
動自在に保持されている。29は前記ホルダ27を回転
駆動するモータで、この回転は1対のブーl730a、
30b及びタイミングベルト31を経てホ、ルダ27に
伝えられる。これによってホルダ27はその中心線を自
転軸Pとして自転することにより、被加工物Aに自転を
与えている。前記ホルダ支持体28にはバネ32が内装
されており、このバネ32によってホルダ27を下方に
向は付勢している。そして被加工物Aは前記自転軸P方
向に変位可能に配されると共に、その加工対象面1の外
縁部2が常に前記研磨テープ22の研磨面21に接触す
るように付勢される。又前記加工対象面1は前記研磨面
21に対し鋭角(前記傾斜角、後記隙間角に一致する。
)φに交叉している。
前記ホルダ支持体28は略「形の揺動アーム33の先端
部に取付けられている。この揺動アーム33はその基端
部において、水平方向の揺動中心線0回りに揺動するよ
うに、機枠34に支持されている。前記揺動中心線Qは
前記被加工物Aが前記研磨テープ22の走行方向に対し
左右の方向に揺動するようにその方向が定められる。3
5は揺動アーム33に揺動を与えるクランク機構、36
はこれを駆動するモータである。
前記被加工物Aが揺動する面、すなわち揺動面Fは、前
記自転軸Pを含む鉛直面に設定されている。又その揺動
中心線Qは被加工物Aの加工対象面1より若干下方に位
置するように定められている。更に被加工物Aの揺動範
囲αは、第6図に示す如く、鉛直方向の揺動基準位置V
に対し左右対称の所定角度範囲、例えば±30°にある
本発明方法は上記装置を用いて以下のように実施するこ
とができる。
先ず支持板23のガイド面23a上に所定速度で研磨テ
ープ22を走行させる。次いで被加工物Aを前記ホルダ
27にセットし、この被加工物Aに自転軸2回りの自転
、前記揺動面F内の揺動。
自転軸P方向の付勢力を与えて、その加工対象面1の外
縁部2を研磨テープ22の研磨面21に圧接させる。こ
のとき前記加工対象面1と前記研磨面21との間には鋭
角の隙間角φが形成され、この隙間角φは被加工物Aの
揺動中においても確保される。又被加工物Aは自転しつ
つ、前記揺動基準位置Vの左右に揺動して面取り加工を
施される。
尚、面取シ加工の加工条件としては、例えば研磨テープ
22の走行速度を10m/分、被加工物Aの自転速度を
20 Or 、p 、m、揺動角度αを±30°、揺動
同期を40秒とすることができる。又被加工物Aが1揺
動すると面取り加工作業が完了するように構成すると好
適である。
本発明は上記実施例に示す外、種々の態様に構成するこ
とができる。
例えば励記支持板23を曲面のガイド面23aを有する
ものとすることができる。
又第9図に示す如く、前記被加工物保持装置26を複数
本のホルダ27、ホルダ支持体28、揺動アーム33を
有する構造として複数個の被加工物Aを前記ホルダ27
に保持せしめて、これらを同時に面取り加工できるよう
に構成することができる。前記複数個の被加工物Aは研
磨テープ22の走行方向に対し左右の方向に並列に配し
、夫々の加工条件が同一となるようにする。尚、前記複
数本の揺動アーム33は第9図に仮想線で示す如く、互
いに平行な関係を保って揺動する。39はこれら揺動ア
ーム39を連結するリンクである。
発明の効果 本発明は上記構成を有するので、次のような効果を奏す
ることができる。
■ 本発明方法は第8図にφで示す如く、被加工物の加
工対象面と研磨テープの研磨面との間に鋭角の隙間角が
形成される加工法を採用しているので、被加工物を揺動
角が00 となる揺動基準位置の左右両側に揺動させて
も前記加工対象面にスクラッチが生じない。
そして被加工物を揺動角0°を通過するように揺動させ
ているため、従来例における加工対象面の境界線が理想
線から傾斜してし捷うという欠点を改善することができ
ると共に、加工対象面の境界線近くの傾斜角度の微小化
を図ることができる。
■ 本発明方法は基本的には剛性支持板のガイド面上で
行う研磨加工法であシ、被加工物と研磨テープの研磨面
との幾何学的位置関係によって、被加工物の面取り部の
曲面形状が決定されるので、弾性シートの弾性変形を利
用した従来法と異なり、前記曲面形状が安定する結果、
製品の品質を安定させることができる。
■ 前記加工対象面と前記研磨面との為す角度(隙間角
)φは、前記面取り部の曲面形状を決定する上で重要な
ファクターとなるが、本発明ではこの隙間角φを支持板
のガイド面により正確に設定できるので、製品の品質を
良好なものとすることができる。
又種類2寸法が異なる被加工物に対しては、前記隙間角
φを調整することにより対処できるが、本発明では支持
板の傾斜角の調整やガイド面の曲率の選定によって、容
易且つ迅速にこれを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明方法の被加工物の1例であるフロッピー
ディスクヘッドの斜視図、第2図はそのY軸方向の断面
を示す斜視図、第3図は従来法に用いられる装置を示す
側面図、第4図はその要部の拡大正面図、第5図は従来
法により加工された被加工物の加工対象面を示す平面図
、第6図は本発明方法に用いられる装置の1例を示す正
面図、第7図はその側面図、第8図は本発明方法の原理
を示す側面図、第9図は本発明方法に用いられる他の装
置を示す正面図である。 1・・・・・・加工対象面、2・・・・・・外縁部、2
1・・・・・・研磨面、22・・・・・・研磨テープ、
23・・・・・・支持板、23a・・・・・・ガイド面
、A・・・・・・被加工物、P・・・・・・自転軸、φ
・・・・・・研磨面に対する加工対象面の交叉角(隙間
角)。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図 @ 4 図 V′ 灯3図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 0)平面状の加工対象面を有する被加工物の前記加工対
    象面の外縁部に曲面状の面取り加工を行う方法において
    、支持板上番走行する研磨テープの研磨面に、これに対
    し加工対象面が鋭角に交叉するようにして被加工物の前
    記外縁部を接触させる一方、被加工物をその加工対象面
    に垂直な自転軸の回りに自転させると共に、前記研磨テ
    ープの走行方向に対し左右の方向に揺動させ、更に前記
    外縁部が前記研磨面に圧接されるように、被加工物を前
    記自転軸方向に変位可能に配すると共に、これを研磨面
    側に向は付勢して、前記面取り加工を行うことを特徴と
    する面取り加工方法。 (2) 昧支持板が平面のガイ゛ド面を備えたものであ
    る特許請求の範囲第1項記載の面取り加工方法。 (3) 倫軛支持板が曲面のガイド面を備えたもの−q
    ある特許請求の範囲第1項記載の面取り加工方法\・
JP9905584A 1984-05-17 1984-05-17 面取り加工方法 Pending JPS60242954A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0215966A (ja) * 1988-06-30 1990-01-19 Nec Kansai Ltd 研磨装置及び研磨方法
US7993485B2 (en) * 2005-12-09 2011-08-09 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for processing a substrate
CN112207668A (zh) * 2020-09-26 2021-01-12 郑州竹蜻蜓电子科技有限公司 一种半导体器件制造的芯片角磨装置及其使用方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58169323A (ja) * 1982-03-30 1983-10-05 Sanshin Shoko:Kk フレキシブルディスクヘッドの自動r面取研摩方法及びその装置

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