JPS6023460B2 - カラ−受像管の螢光面形成方法 - Google Patents
カラ−受像管の螢光面形成方法Info
- Publication number
- JPS6023460B2 JPS6023460B2 JP13819777A JP13819777A JPS6023460B2 JP S6023460 B2 JPS6023460 B2 JP S6023460B2 JP 13819777 A JP13819777 A JP 13819777A JP 13819777 A JP13819777 A JP 13819777A JP S6023460 B2 JPS6023460 B2 JP S6023460B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive resin
- light
- resin film
- crab
- exposure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
- G03F7/091—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers characterised by antireflection means or light filtering or absorbing means, e.g. anti-halation, contrast enhancement
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Architecture (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、カラー受像管の蟹光面形成方法、すなわち、
フェースパネル内面への蟹光体の塗布方法に関するもの
である。
フェースパネル内面への蟹光体の塗布方法に関するもの
である。
ブラックマトリックスタイプのカラー受像管は第１図に
示す如く、蟹光体ドットーあるいはストライプの隙間を
光吸収性物質２で被覆した構造をしている。
示す如く、蟹光体ドットーあるいはストライプの隙間を
光吸収性物質２で被覆した構造をしている。
そしてシャドウマスクの孔部を通過して蟹光面に到達す
る電子ビーム径よりもドット径が４・さし、構造になっ
ているネガタィプのブラックマトリックス管が一般的で
ある。この蟹光面を作成するには、フェースパネルの内
面にネガタィプのホトレジスト膜を塗布した後シャドウ
マスクを装着し、電子ビームの偏向中心に相当するとこ
ろにおかれた光源から放射された光により、赤，緑，青
の蟹光体配設領域におけるホトレジスト膜部分を露光し
て、光硬化をおこさせ、未露光部分を現像により除去す
ることにより、マスクの孔数の３倍のホトレジストドッ
ト（仮ドット）を得ている。
る電子ビーム径よりもドット径が４・さし、構造になっ
ているネガタィプのブラックマトリックス管が一般的で
ある。この蟹光面を作成するには、フェースパネルの内
面にネガタィプのホトレジスト膜を塗布した後シャドウ
マスクを装着し、電子ビームの偏向中心に相当するとこ
ろにおかれた光源から放射された光により、赤，緑，青
の蟹光体配設領域におけるホトレジスト膜部分を露光し
て、光硬化をおこさせ、未露光部分を現像により除去す
ることにより、マスクの孔数の３倍のホトレジストドッ
ト（仮ドット）を得ている。
しかる後にこの仮ドットの上を含めてフェースパネル内
面に光吸収怪物質（例えば、アクアダックーアチメンＳ
）を塗布し、エッチング処理により上記仮ドットを分解
し、仮ドットの上の光吸収性物質とともに除去して閉口
マトリックスホール）を形成する。このマトリックスホ
ールに後光体を形成するのであるが、蟹光体ドット１は
第１図３に示すように隣接するマトリックスホールには
み出さないようにつけないといえない。
面に光吸収怪物質（例えば、アクアダックーアチメンＳ
）を塗布し、エッチング処理により上記仮ドットを分解
し、仮ドットの上の光吸収性物質とともに除去して閉口
マトリックスホール）を形成する。このマトリックスホ
ールに後光体を形成するのであるが、蟹光体ドット１は
第１図３に示すように隣接するマトリックスホールには
み出さないようにつけないといえない。
ネガタイプのブラックマトリックス管ではマスク孔が大
きいので、はみ出しが多く、はみ出しを防ごうとすると
ドット落が発生するなど問題が多い。第２図ａ，ｂは感
光性樹脂膜を露光した際の露光光線の輝度分布と、その
露光状態を示す拡大図である。
きいので、はみ出しが多く、はみ出しを防ごうとすると
ドット落が発生するなど問題が多い。第２図ａ，ｂは感
光性樹脂膜を露光した際の露光光線の輝度分布と、その
露光状態を示す拡大図である。
第２図ｂにおいて、フェースパネル４の内面には所定の
開口を有する光吸収性膜５および姿光体含有の感光性樹
脂膜６が形成されている。この感光性樹脂膜６に対して
露光光源７よりシャドウマスク８を光学マスクとして露
光がなされる。一般にシャドウマスク８の１個の開孔部
を通過した露光光線は、第２図ａに示すような輝度分布
を呈する。上述の仮ドットを得る場合には、真影部の直
径Ｄｍｉｎと半影部の直径Ｄｍｉｎとの任意のドットを
得るようにすることができるが、後光体ドットを得る場
合には蟹光体粒子表面での反射があるため、どうしても
Ｄｍａｘに近いところがドット径になってしまう。
開口を有する光吸収性膜５および姿光体含有の感光性樹
脂膜６が形成されている。この感光性樹脂膜６に対して
露光光源７よりシャドウマスク８を光学マスクとして露
光がなされる。一般にシャドウマスク８の１個の開孔部
を通過した露光光線は、第２図ａに示すような輝度分布
を呈する。上述の仮ドットを得る場合には、真影部の直
径Ｄｍｉｎと半影部の直径Ｄｍｉｎとの任意のドットを
得るようにすることができるが、後光体ドットを得る場
合には蟹光体粒子表面での反射があるため、どうしても
Ｄｍａｘに近いところがドット径になってしまう。
本発明は、上記の問題点にかんがみてなされたもので、
ネガタィプとポジタィプの感光性樹脂を用いることによ
り、Ｄｍｉｎを変えずにＤｍ松を小さくして、蟹光体ド
ットが隣接する蟹光体ドットにまではみ出すことのない
カラー受像管の蟹光面形成方法を提供することを目的と
する。
ネガタィプとポジタィプの感光性樹脂を用いることによ
り、Ｄｍｉｎを変えずにＤｍ松を小さくして、蟹光体ド
ットが隣接する蟹光体ドットにまではみ出すことのない
カラー受像管の蟹光面形成方法を提供することを目的と
する。
以下本発明を図面を用いて実施例とともに説明する。
第３図ａ，・ｂは本発明の一実施例を示す工程図であっ
て、まず所定の開口を有する光吸収性腹１１をフェース
パネル１２の内面に形成し、その後フェースパネル１２
の内面側に緑色蟹光体を含有するネガタィプのホトレジ
スト膜１３および緑色蟹光体を含むポジタィプのホトレ
ジスト膜１４を塗布する（同図ａ）。
て、まず所定の開口を有する光吸収性腹１１をフェース
パネル１２の内面に形成し、その後フェースパネル１２
の内面側に緑色蟹光体を含有するネガタィプのホトレジ
スト膜１３および緑色蟹光体を含むポジタィプのホトレ
ジスト膜１４を塗布する（同図ａ）。
その後、シャドウマスクを装着して緑の偏向中心に相当
する位置にある露光光源によって露光を行なう。この露
光は始めにポジタィプのホトレジスト膜１４を感光させ
、ポジタィプのホトレジスト膜１４の感光の終ったこと
ろからネガタィプのホトレジスト膜１３の露光を開始す
る。そして遂にはネガタイプのホトレジスト膜１３の露
光を完了する。その後、ポジタィプのホトレジスト膜１
４全部およびネガタィプのホトレジスト膜１３の未露光
部分を除去する（同図ｂ）。第４図，第５図を用いて露
光の変化を説明する。
する位置にある露光光源によって露光を行なう。この露
光は始めにポジタィプのホトレジスト膜１４を感光させ
、ポジタィプのホトレジスト膜１４の感光の終ったこと
ろからネガタィプのホトレジスト膜１３の露光を開始す
る。そして遂にはネガタイプのホトレジスト膜１３の露
光を完了する。その後、ポジタィプのホトレジスト膜１
４全部およびネガタィプのホトレジスト膜１３の未露光
部分を除去する（同図ｂ）。第４図，第５図を用いて露
光の変化を説明する。
第４図で蟹光体を含むポジタィプのホトレジスト膜１４
を感光させる露光量を５、蟹光体を含むネガタィプのホ
トレジスト膜１３を感光させる露光量（Ｄｍｉｎに相当
）を１０とすると、従来は露光時間がａで露光が完了し
たが、本発明ではポジタィプのホトレジスト膜１４の感
光に資される時間を加えて１．９とすることによりネガ
タイプのホトレジスト膜１３は１０の露光量を得る。し
たがって真影部の直径は従来同様Ｄｍｉｎとなる。これ
に対して半影の部分はポジタィプのホトレジスト膜１４
の感光に費やされる露光量が相対的に大きくなるため、
従来の露光時間ａのときのネガタィプのホトレジスト膜
１３の露光量７．５，５，３．３の部分は、露光時間１
．＄の本発明の場合はこれが夫々６．２５ ２．ふ ０
となる。すなわち第５図ａ，ｂに示す如く、従来の露光
量３．３に相当するところ（同図ａ）がＤｍ舷になるの
で、緑の蟹光体ドットを小さくすることができる（同図
ｂ）。繁光終了後、ポジタィプのホトレジスト膜１３の
感光したところはアルカリ性水溶液で現像できるが、ポ
ジタィプの未感光部のホトレジスト膜１４は縞杉で現像
されるのでそれと同時に除去することもできる。以上の
ようにして、緑の蟹光体ドットを隣接のマトリックスホ
ールにはみ出すことなく作成することができる。続いて
、青色蟹光体ドット，赤色蟹光体ドットについて上記と
同様の方法で行なうことにより蟹光面を作成することが
できる。
を感光させる露光量を５、蟹光体を含むネガタィプのホ
トレジスト膜１３を感光させる露光量（Ｄｍｉｎに相当
）を１０とすると、従来は露光時間がａで露光が完了し
たが、本発明ではポジタィプのホトレジスト膜１４の感
光に資される時間を加えて１．９とすることによりネガ
タイプのホトレジスト膜１３は１０の露光量を得る。し
たがって真影部の直径は従来同様Ｄｍｉｎとなる。これ
に対して半影の部分はポジタィプのホトレジスト膜１４
の感光に費やされる露光量が相対的に大きくなるため、
従来の露光時間ａのときのネガタィプのホトレジスト膜
１３の露光量７．５，５，３．３の部分は、露光時間１
．＄の本発明の場合はこれが夫々６．２５ ２．ふ ０
となる。すなわち第５図ａ，ｂに示す如く、従来の露光
量３．３に相当するところ（同図ａ）がＤｍ舷になるの
で、緑の蟹光体ドットを小さくすることができる（同図
ｂ）。繁光終了後、ポジタィプのホトレジスト膜１３の
感光したところはアルカリ性水溶液で現像できるが、ポ
ジタィプの未感光部のホトレジスト膜１４は縞杉で現像
されるのでそれと同時に除去することもできる。以上の
ようにして、緑の蟹光体ドットを隣接のマトリックスホ
ールにはみ出すことなく作成することができる。続いて
、青色蟹光体ドット，赤色蟹光体ドットについて上記と
同様の方法で行なうことにより蟹光面を作成することが
できる。
ポジタィプのホトレジスト膜１４の中にはネガタィプの
ホトレジスト膜１３と同一の姿光体を含ませることによ
り、ネガタィプのホトレジスト膜の感光した部分にこの
蟹光体がかぶっても同一のため問題なく、かえって、フ
ィリングの増加に役立つ効果がある。
ホトレジスト膜１３と同一の姿光体を含ませることによ
り、ネガタィプのホトレジスト膜の感光した部分にこの
蟹光体がかぶっても同一のため問題なく、かえって、フ
ィリングの増加に役立つ効果がある。
以上説明したように本発明のカラー受像管の蟹光面形成
方法は、蟹光体を含有せるネガタィプの感光性樹脂膜上
に蟹光体を含有せるポジタィプの感光性樹脂膜を塗布し
てから露光するものであるため、ネガタィプの感光性樹
脂膜の露光部は、真影部は従来と同様の径にして半影部
が従釆よりも小さくなり、蟹光面の蟹光体ドットを隣接
の蚤光体ドットまではみ出すことなく、またドット落す
ることなく形成できる。
方法は、蟹光体を含有せるネガタィプの感光性樹脂膜上
に蟹光体を含有せるポジタィプの感光性樹脂膜を塗布し
てから露光するものであるため、ネガタィプの感光性樹
脂膜の露光部は、真影部は従来と同様の径にして半影部
が従釆よりも小さくなり、蟹光面の蟹光体ドットを隣接
の蚤光体ドットまではみ出すことなく、またドット落す
ることなく形成できる。
第１図は蟹光体表面の拡大図、第２図ａ，ｂは感光性樹
脂膜の露光光線の輝度分布および露光状態を示す拡大図
、第３図ａ，ｂは本発明の一実施例を示す工程図、第４
図，第５図ａ，ｂは本発明の露光変化を示す図である。 １１・・・光吸収性腰、１２・・・フェースパネル、１
３・・・ネガタィプ感光性樹脂膜、１４・・・ポジタィ
プ感光性樹脂膜。第１図 第２図 第３図 第４図 第５図
脂膜の露光光線の輝度分布および露光状態を示す拡大図
、第３図ａ，ｂは本発明の一実施例を示す工程図、第４
図，第５図ａ，ｂは本発明の露光変化を示す図である。 １１・・・光吸収性腰、１２・・・フェースパネル、１
３・・・ネガタィプ感光性樹脂膜、１４・・・ポジタィ
プ感光性樹脂膜。第１図 第２図 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 所定の開口を有する光吸収性膜をフエースパネルの
内面に形成する工程と、前記フエースパネルの内面側に
螢光体を含有せるネガタイプの感光性樹脂膜および螢光
体を含有せるポジタイプの感光性樹脂膜を順次に形成す
る工程と、前記両感光性樹脂膜を所定のパターンで露光
する工程と、前記ポジタイプの感光性樹脂膜および前記
ネガタイプの感光性樹脂膜の未露光部分を除去する工程
とを備えたことを特徴とするカラー受像管の螢光面形成
方法。 ２ 両感光性樹脂膜に含有せられる両螢光体が同一の種
類のものからなることを特徴とする特許請求の範囲第１
項に記載のカラー受像管の螢光面形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13819777A JPS6023460B2 (ja) | 1977-11-16 | 1977-11-16 | カラ−受像管の螢光面形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13819777A JPS6023460B2 (ja) | 1977-11-16 | 1977-11-16 | カラ−受像管の螢光面形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5470761A JPS5470761A (en) | 1979-06-06 |
| JPS6023460B2 true JPS6023460B2 (ja) | 1985-06-07 |
Family
ID=15216341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13819777A Expired JPS6023460B2 (ja) | 1977-11-16 | 1977-11-16 | カラ−受像管の螢光面形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6023460B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0727969U (ja) * | 1992-12-28 | 1995-05-23 | 株式会社三ツ葉電機製作所 | 自動車用ウインドウオツシヤタンクにおけるモータポンプ取付け構造 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IE56082B1 (en) * | 1982-11-01 | 1991-04-10 | Microsi Inc | Photobleachable compositions |
| US5108874A (en) * | 1982-11-01 | 1992-04-28 | Microsi, Inc. | Composite useful in photolithography |
| US5188924A (en) * | 1984-05-14 | 1993-02-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pattern forming method utilizing material with photoresist film underlayer and contrast enhancement overlayer containing photosensitive diazonium salt |
-
1977
- 1977-11-16 JP JP13819777A patent/JPS6023460B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0727969U (ja) * | 1992-12-28 | 1995-05-23 | 株式会社三ツ葉電機製作所 | 自動車用ウインドウオツシヤタンクにおけるモータポンプ取付け構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5470761A (en) | 1979-06-06 |
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