JPS60233903A - マイクロ波共振空胴の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明はたとえばマイクロ波放電光源装置のマイクロ
波共振空胴の製造方法で、詳しくは一端が閉塞された金
属メツシュ筒状の光透過性部材からなるマイクロ波共振
空胴の製造方法に係るものである。

〔従来技術〕

従来、この種の形状を有するマイクロ波共振空胴は無い
が、たとえば日本フィルコン株式会社製の特殊金網・メ
ツシュベルト（昭和５６年３月版製品カタログ）として
済適用フィルタあるいは洗浄用カゴ等において使用され
るメツシュ金網が形状的に類似している。しかしながら
上記のものはマイクロ波共振空胴として用いることはメ
ツシュの開口率が低すぎて不可能であり、たとえば開口
率を高めるため極細線ワイヤを使用すると、成形加工時
にワイヤの交差部にずれが生じて均一なメ　′ツシュが
得られない。

〔発明の概要〕

この発明はマイクロ波放電光源装置に使用するマイクロ
波共振空胴であって、変形や不均一さのない開口率の高
いメツシュで、がっ熱応力変、形あるいは機械的強度の
高いマイクロ波共振を胴の製造方法を提供することにあ
る。

〔発明の実施例〕

以下この発明による製造方法を図について説明する。第
１図、第２図において、ｌは四辺形状の第１の平板状メ
ツシュ体、２は円板形状の第２の平板状メツシュ体であ
る。上記両メツシュ体１゜２はそれぞれ光透過性部材の
メツシュ部１ａ、、２ａと、その周囲に溶接代１ｂ、２
ｂとを有している。

また、メツシュ部１ａ、２ａはメツシュ素線１ｃ。

２ｃに電流が流れるので各交点部１ｄ、２ｄが電気導伝
性よく接続されており、メツシュ体はこの例では平板を
フォトエツチングしたステンレス製メツシュ部材全用い
ている。

第３図において、３は第１の平板状メツシュ体１をウレ
タンロール成形法によｐ曲成加工した筒状物で、筒状物
３の成形曲率は製品曲率よシ小さくし、後工程での溶接
作業性をよくするために所定のラップ量４を得られるよ
うにしである。また、ウレタン成形法は光透過性部材と
して重要なメツシュ部を損傷や変形させることもない。

上記のようにロール成形された筒状物゛３は第４図のよ
うにその接合部の溶接代１ｂ、１ｂｔ−たとえばスポッ
ト溶接５ａして筒体６を製作して後、筒体６の一方の開
口部（上部）の溶接代１ｂ内面に補強リング７を溶接５
ｂにより結合する。かくして補強リング７に第２の平版
状メツシュ体２の溶接代２ｂ’に溶接５ｃｌ、て筒体６
の開口部を閉塞すればこの発明のマイクロ波共振空胴が
完成する。

なお、上記補強リング７は第２の平板状メツシュ体２の
接合のための他、共振空胴として必要な強度を確保して
いる。

〔発明の効果〕

以上説明したようにこの発明によれば、第１の平板状メ
ツシュ体を筒状物に曲成し、その接合部全溶接して筒体
に加工してのち、筒体の一方の開口部を第２の平板状メ
ツシュ体で溶接により閉塞したことにより、共振空胴と
して必要な高い開口率と強度等に優れた信頼性の高いマ
イクロ波共振空胴を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は第１の平板状メツシュ体の平面図、第２図は第
２の平板状メツシュ体の平面図、第３図は第１の平板状
メツシュを筒状加工した斜視図、第４図は筒体に成形し
た正面図、第５図は完成品の共振空胴の部分破断正面図
である。 １・・・第１の平板状メツシュ体、２・・・第２の平板
状メツシュ体、ｌａ、２ａ・・・メツシュ部、ｌｂ’。 ２ｂ・・溶接代、ｌｃ、２ｃ・・・メツシュ素線、６・
・・筒体−５７・・・補強リング。 なお、図中、同一符号は同一部分又は相当部分を示す。 代理人　大　岩　増　雄 第１図 ｄ 第２図 Ｃ 第３図 第４図 第５図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）壁面に光透過性部材を有し、一端が閉塞された筒
   状のマイクロ波共振空胴の製造方法において、四辺形の
   第１の平板状メツシュ体を筒状物に曲成し、−その接合
   部を溶接して筒体に加工してのち、筒体の一方の開口部
   を第２の平板状メツシュ体で溶接によシ閉塞することを
   特徴とするマイクロ波共振を胴の製造方法。
2. （２）筒体は第１の平板状メツシュ体をロール成形して
   筒状に加工したのち、接合部を溶接することを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載のマイクロ波共振空胴の製
   造方法。