JPS60226404A - 高純度等軸状窒化けい素粉末の製造方法 - Google Patents
高純度等軸状窒化けい素粉末の製造方法Info
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- JPS60226404A JPS60226404A JP8008084A JP8008084A JPS60226404A JP S60226404 A JPS60226404 A JP S60226404A JP 8008084 A JP8008084 A JP 8008084A JP 8008084 A JP8008084 A JP 8008084A JP S60226404 A JPS60226404 A JP S60226404A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、嶋純度等軸状猷化けい素樹木の模造方法に関
する。
する。
電化けい木焼結体はＩｔ６諷構遺構造材て注目されてい
るか、これに用いられる原料の電化けい素扮木は尚ＡＦ
！ｔｃＩ）枯晶貞で専帽状の咳梼木であるものが慶望さ
れている。
るか、これに用いられる原料の電化けい素扮木は尚ＡＦ
！ｔｃＩ）枯晶貞で専帽状の咳梼木であるものが慶望さ
れている。
窒化けい−ｊｌｆ末の製造法とし工はいろいろ提案され
ているが、補えば（１）シリコンシイきドのような含８
を卓７ラン化合物ｒ熱分解する方法、（２１ハロｒン化
けい素またはシランとアンモニアとを高ｆａ！で反応さ
せ、その生成物を丹加熱する方法などがあげられる。こ
わらの方法は彼禰不純１勿の少ない尚純度の窒化けい＾
樹木が慢られるので好ましい７ｊ１１ｉであるか、加熱
条件により非ｄ＾實および／または結晶質の窒化けい菓
となる。
ているが、補えば（１）シリコンシイきドのような含８
を卓７ラン化合物ｒ熱分解する方法、（２１ハロｒン化
けい素またはシランとアンモニアとを高ｆａ！で反応さ
せ、その生成物を丹加熱する方法などがあげられる。こ
わらの方法は彼禰不純１勿の少ない尚純度の窒化けい＾
樹木が慢られるので好ましい７ｊ１１ｉであるか、加熱
条件により非ｄ＾實および／または結晶質の窒化けい菓
となる。
しかしながら得られた非＋ｉ＆ ｄの電化けい木籾木は
、ＩＩＡＪｇ＋醸索を★く食付するす末の婉襖物として
潜られ、そのため成形性、ｌｌＡ＃ｉ！Ｉ註に力９、塙
結捧ｊ京科とし℃は通していない。−カ、結１１ｍ１電
の窒化けい素栃木は、酸素、−一も少なくＩ妬純腿であ
るか％適音１￥ｒ伏の粗大粒子ぞＪんでおり、その′１
に優る万成についｃｔＩＲ究が行なわれ、加局を行なシ
リコンテトラアミド； １３１（ＮＨｔ）４などの言−
素れている。向えばｌ！１ＩＩｌｌ己ＪＩＡ桝粉末を耐
熱性容器などに光塙してＩＪｒＵ熱炉に挿入し、非酸化
性雰囲気中で加熱結ｄ＾化させると、光鷹体の内部は針
状粗大粒子の生成り；抑桐され、等軸状の磁化けい素粉
末が生成するにもかかわらず、いずれの場合も樹木完膚
え争の衣１１１１部に針状粗大粒子！多く含むノｄ ６
’形成され、４ｈ実上この表層と内部ｊ−との分離か十
分にできず、針状粗大粒子の混入は避けがたい欠点があ
る。これらの針状粗大粒子の生成原因は不明であるつを
、いずれも表！一部分に針状粗大粒子が多く生成し、内
Ｓ増では針状粗大粒子の生成が謔められないことから炉
内＃囲気の関与、あるいはダト闇（表層）特有のＪＪ４
綱が生じているものと、しねれる。
、ＩＩＡＪｇ＋醸索を★く食付するす末の婉襖物として
潜られ、そのため成形性、ｌｌＡ＃ｉ！Ｉ註に力９、塙
結捧ｊ京科とし℃は通していない。−カ、結１１ｍ１電
の窒化けい素栃木は、酸素、−一も少なくＩ妬純腿であ
るか％適音１￥ｒ伏の粗大粒子ぞＪんでおり、その′１
に優る万成についｃｔＩＲ究が行なわれ、加局を行なシ
リコンテトラアミド； １３１（ＮＨｔ）４などの言−
素れている。向えばｌ！１ＩＩｌｌ己ＪＩＡ桝粉末を耐
熱性容器などに光塙してＩＪｒＵ熱炉に挿入し、非酸化
性雰囲気中で加熱結ｄ＾化させると、光鷹体の内部は針
状粗大粒子の生成り；抑桐され、等軸状の磁化けい素粉
末が生成するにもかかわらず、いずれの場合も樹木完膚
え争の衣１１１１部に針状粗大粒子！多く含むノｄ ６
’形成され、４ｈ実上この表層と内部ｊ−との分離か十
分にできず、針状粗大粒子の混入は避けがたい欠点があ
る。これらの針状粗大粒子の生成原因は不明であるつを
、いずれも表！一部分に針状粗大粒子が多く生成し、内
Ｓ増では針状粗大粒子の生成が謔められないことから炉
内＃囲気の関与、あるいはダト闇（表層）特有のＪＪ４
綱が生じているものと、しねれる。
原料である含窒素７ラン化合備および／または井匈１１
化けい素初木の前処Ｊ！１１！を行なった９、あるいは
加熱結晶化条件ン待蔵することなどの方法々ことにより
、衣層の針状粗大粒子の生成を防止することｂ＝できる
、尚純度等軸拭績化けい素粉末の製造′）ｊ法を提供す
ることな目的とする。
化けい素初木の前処Ｊ！１１！を行なった９、あるいは
加熱結晶化条件ン待蔵することなどの方法々ことにより
、衣層の針状粗大粒子の生成を防止することｂ＝できる
、尚純度等軸拭績化けい素粉末の製造′）ｊ法を提供す
ることな目的とする。
本発明は會嵯索７ラン化合物及び／又は非晶質窒化けい
素を原料とし、これを非酸化性雰囲気中、加＃１結晶化
させ′″１１軸状繍化けい素粉末を製造するにあたり、
予め前記原料を結晶質で弄軸状の磁化けい＃Ａ＠木（以
下被償材料という）で破堕し、加熱することを％黴とす
る。
素を原料とし、これを非酸化性雰囲気中、加＃１結晶化
させ′″１１軸状繍化けい素粉末を製造するにあたり、
予め前記原料を結晶質で弄軸状の磁化けい＃Ａ＠木（以
下被償材料という）で破堕し、加熱することを％黴とす
る。
なお、本発明においχ、 ４ｊ＠状櫨化けい素とは１走
食型電子顕鐵鏡写真（８ＢＭ ）でホされる結晶粒子の
紋大長（Ｌ）と厳大長（Ｌ） Ｋ対しｍｒ＆な樹上の凧
大巾Ｂとの比（Ｌ／Ｂ）６”−２以下のものをいう。
食型電子顕鐵鏡写真（８ＢＭ ）でホされる結晶粒子の
紋大長（Ｌ）と厳大長（Ｌ） Ｋ対しｍｒ＆な樹上の凧
大巾Ｂとの比（Ｌ／Ｂ）６”−２以下のものをいう。
以下、本発明１に：詳＃ｌＫ祝明する。
半
ζカ発明の原料として使用するさ蝋素７ラン化合物およ
び／または非晶貞−化けい素樹木は、５ＩＣ１４，５ｉ
Ｈｒ４や、８１ＨＣ１，＋、ＢＩＨ，Ｃ１，，５ＬＨ３
Ｃｉ。
び／または非晶貞−化けい素樹木は、５ＩＣ１４，５ｉ
Ｈｒ４や、８１ＨＣ１，＋、ＢＩＨ，Ｃ１，，５ＬＨ３
Ｃｉ。
ｒｔ イＬ ８１Ｈａ 、ｆ！には５ＩＣｔ−１，、Ｃ
ｔ、 、８１（ＣＨ３）、Ｃｔなどのよ５なハロゲン化
けい素またはシランとアン反応生成物、ハロゲン化けい
素あるいは７ランと従来の等軸状磁化けい素粉末の製画
方法を、大別すると、次の５つの方法つ（あげられる。
ｔ、 、８１（ＣＨ３）、Ｃｔなどのよ５なハロゲン化
けい素またはシランとアン反応生成物、ハロゲン化けい
素あるいは７ランと従来の等軸状磁化けい素粉末の製画
方法を、大別すると、次の５つの方法つ（あげられる。
１）加熱・悪埋前に出発原料粉である含窒素７ラン化合
物および／または非−實一化けい素８を処理する方法で
あり、代々的なものとし℃は、Ｉｌ）ボールミル処理に
より出発原料粉の解砕な行なう（２）出発原料粉なブレ
ス成形する（３）ｍ１核となる結晶質セラミック畝扮を
出発鳳科Ｋｍ加し混合するなど６ｔあけられる。
物および／または非−實一化けい素８を処理する方法で
あり、代々的なものとし℃は、Ｉｌ）ボールミル処理に
より出発原料粉の解砕な行なう（２）出発原料粉なブレ
ス成形する（３）ｍ１核となる結晶質セラミック畝扮を
出発鳳科Ｋｍ加し混合するなど６ｔあけられる。
２）加熱処理条件を限定する方法であ夛、代表的なもの
としては（１）昇温速度な大にする、（２）低い結晶化
温度にて加熱する、（３１Ｎｇ中で加熱するなどがあげ
られる。
としては（１）昇温速度な大にする、（２）低い結晶化
温度にて加熱する、（３１Ｎｇ中で加熱するなどがあげ
られる。
５）１）および２）の方法の組合せなどがある。本発明
はこれらの方法を実施する＠に使用されるが、これらに
限られず、炉内雰囲気に−される原料粉末充填物の少く
ともその表面に対する液種等の処置が講じられていない
等軸状窒化けい素の製造方法であれば、いずれも本発明
が適用できる。特に好ましいのは、原料粉末に対し結晶
核材料となるセラミック微粉を添加混合し、その混合粉
末を加熱して等軸状窒化けい素粉末を製造する方法に対
して本発明を適用する場合である。単にセラミック微粉
な離船混合して加熱した場合は、その混合粉末充ｔｊＩ
４物の表層部に針状粗大粒子が認められるのに対し、本
発明を適用し、その混合粉末充填物の表層な液種材料で
液種し、加熱する仁とにょシ、表層に針状粗大粒子がな
く、結晶質で等軸状の窒化けい素微粉末が潜られる。
はこれらの方法を実施する＠に使用されるが、これらに
限られず、炉内雰囲気に−される原料粉末充填物の少く
ともその表面に対する液種等の処置が講じられていない
等軸状窒化けい素の製造方法であれば、いずれも本発明
が適用できる。特に好ましいのは、原料粉末に対し結晶
核材料となるセラミック微粉を添加混合し、その混合粉
末を加熱して等軸状窒化けい素粉末を製造する方法に対
して本発明を適用する場合である。単にセラミック微粉
な離船混合して加熱した場合は、その混合粉末充ｔｊＩ
４物の表層部に針状粗大粒子が認められるのに対し、本
発明を適用し、その混合粉末充填物の表層な液種材料で
液種し、加熱する仁とにょシ、表層に針状粗大粒子がな
く、結晶質で等軸状の窒化けい素微粉末が潜られる。
待晶核材料とし又はＩＰ均粒径１．５μｍ以下、好まし
くは０．８ Ｂ−以下の粒ぜのセラミックス粉末つλ用
いられる。
くは０．８ Ｂ−以下の粒ぜのセラミックス粉末つλ用
いられる。
またセラミックス粉末のＡ体列としてはＳｉ３Ｎ４、Ａ
ｔＮ 、ＣｏＯ２、Ｙ２Ｏ２，８１ａＮａ−ＹｓＯ３＊
があげられる。
ｔＮ 、ＣｏＯ２、Ｙ２Ｏ２，８１ａＮａ−ＹｓＯ３＊
があげられる。
これらの中８１３Ｎ、は咄の化合物成分の混入の好まし
くないものに対しては好Ａであり、４ｗ８でα柑か９０
％以上のものか用いられる。
くないものに対しては好Ａであり、４ｗ８でα柑か９０
％以上のものか用いられる。
またその他の結晶敷材料を用いたものも等軸状さ、らに
生成効串／ｌｔ低下するので好ましくない。
生成効串／ｌｔ低下するので好ましくない。
″−次に原料を結鵡化する方法について具体的に説明す
る。本発明において原料粉末充填物とは粉末、れるもの
ではない。まず原料粉末完」興体？耐熱性容−またはＺ
ｘＪ熱Ｐに入れ、その表面を晟壕材料で＠饅″ｆる。
る。本発明において原料粉末充填物とは粉末、れるもの
ではない。まず原料粉末完」興体？耐熱性容−またはＺ
ｘＪ熱Ｐに入れ、その表面を晟壕材料で＠饅″ｆる。
岐榎材料としてはα柑つ纂６０優以上、好ましくは９０
暢以上のものＯ′−用いられも。その粒度は初秋・・−
１ものであればよい６＝ ｓ平均粒径１μｍ以下のもの
６Ｌ好ましい。またその破覆材料の破撞厚さは５Ｑａｕ
ｉ以下好ましくは０．１〜２０關である。その厚さがＱ
、１ａｍ末調では句−にｍ煉することは１虐であり嫉憶
による効果も少なく、また２０鵡？こえると原料中の１
虞ｂ”−ＩＡ任しやすく、また谷−自体を有効にオＵ用
することはできない。
暢以上のものＯ′−用いられも。その粒度は初秋・・−
１ものであればよい６＝ ｓ平均粒径１μｍ以下のもの
６Ｌ好ましい。またその破覆材料の破撞厚さは５Ｑａｕ
ｉ以下好ましくは０．１〜２０關である。その厚さがＱ
、１ａｍ末調では句−にｍ煉することは１虐であり嫉憶
による効果も少なく、また２０鵡？こえると原料中の１
虞ｂ”−ＩＡ任しやすく、また谷−自体を有効にオＵ用
することはできない。
原料を破横材料で破覆する方法として原料表面次いで、
その耐熱ａｄ４またはＤ口燕炉を、非酸化ａ−雰囲處下
１２００〜１７５００好ましくはは、前記のガスの混合
ガスさらＫは真空Ｏ″ｈあげられる。
その耐熱ａｄ４またはＤ口燕炉を、非酸化ａ−雰囲處下
１２００〜１７５００好ましくはは、前記のガスの混合
ガスさらＫは真空Ｏ″ｈあげられる。
また加熱は度を前記のよ５に限足した理由は−１２００
℃未（−では残存ＬｊＡ素がφ臆に存在すること、また
、結晶化Ａ度Ｏ″−逐く、非晶質のものウー歩檜に残存
する。１７５０°Ｃなこえると粒子Ｏ−粗大化しβ相の
４化けい素つを多く生成するので好ましくないからであ
る。
℃未（−では残存ＬｊＡ素がφ臆に存在すること、また
、結晶化Ａ度Ｏ″−逐く、非晶質のものウー歩檜に残存
する。１７５０°Ｃなこえると粒子Ｏ−粗大化しβ相の
４化けい素つを多く生成するので好ましくないからであ
る。
本艷明に用いられる７７１１熱炉としてはバッチ式炉、
グツシャ一式の連続炉、あるいは転勤式等の炉があげら
れる。
グツシャ一式の連続炉、あるいは転勤式等の炉があげら
れる。
このような操作条件で結ｉ化すると、破機材料と生成し
た電化けい素粉末との境界０＝ ＠ｄｔｔ層として形成
され、岐偵材料の分離が容易にで隷るので被覆材料を分
別回収することＯ−できる。しかし、ＳＯ材料と生成し
た電化けい累粉末と同様のものであれば分別回収する必
要はない。
た電化けい素粉末との境界０＝ ＠ｄｔｔ層として形成
され、岐偵材料の分離が容易にで隷るので被覆材料を分
別回収することＯ−できる。しかし、ＳＯ材料と生成し
た電化けい累粉末と同様のものであれば分別回収する必
要はない。
央ｊｌ１１１例１
ＮＨ３、ｆｆス及びＮ、ガスをキャリヤーガスとし化け
い素初木Ｙ Ｏ、ｂ ／Ｊ［４’４１ｏｉ ／ＩＱ シ
、ボールミルで４時間晶合した。これｔアルミナルツボ
に光礪し、その表ａｎ？：第１表に示す窒化けい素勿木
で嫉偵し加熱処理した。
い素初木Ｙ Ｏ、ｂ ／Ｊ［４’４１ｏｉ ／ＩＱ シ
、ボールミルで４時間晶合した。これｔアルミナルツボ
に光礪し、その表ａｎ？：第１表に示す窒化けい素勿木
で嫉偵し加熱処理した。
４１表のＭＭｋ力・ら本＠明によって得られた鼠化けい
素粉末は、表ノ一部ｉｄよび内部とも針状粒子Ｏｔさま
れず鍼嘲な舒帽状績化けいＪ粉床であった。
素粉末は、表ノ一部ｉｄよび内部とも針状粒子Ｏｔさま
れず鍼嘲な舒帽状績化けいＪ粉床であった。
試験、％１０及び膚１１は破覆材料としてそれぞれ−ｆ
均程僅の大きいもの及びβ相の多い賦化けい＾粉末な用
いたところ、ＩｘＪ熱処理したルツボ内の４化けい素は
非晶質のものから生成した威綱な尋輔状１化けい４ｊ−
と岐横材料のｌ−と０１児全に２Ｍｌ１に分れており、
被覆材料を容易に分繊することかできた。
均程僅の大きいもの及びβ相の多い賦化けい＾粉末な用
いたところ、ＩｘＪ熱処理したルツボ内の４化けい素は
非晶質のものから生成した威綱な尋輔状１化けい４ｊ−
と岐横材料のｌ−と０１児全に２Ｍｌ１に分れており、
被覆材料を容易に分繊することかできた。
比較のために、電化けいＳ粉末の被蝋を実施しない場合
の結果も第１衣の試−１奮１２．、第１３に示した。得
られた生成櫃化けい素松末の内部は餓−な等軸状のα相
窒化けい素粉禾であった６％ ｓ表層部は針状粒子奮多
く＠み、かつ存在緻は減少するり１内部方向にも針状粒
子が認められた。生成した電化けい素粉水中の釘状粒子
存在何燕の境界層は不明瞭であり、Ｊ冥土分別は出来な
かった。
の結果も第１衣の試−１奮１２．、第１３に示した。得
られた生成櫃化けい素松末の内部は餓−な等軸状のα相
窒化けい素粉禾であった６％ ｓ表層部は針状粒子奮多
く＠み、かつ存在緻は減少するり１内部方向にも針状粒
子が認められた。生成した電化けい素粉水中の釘状粒子
存在何燕の境界層は不明瞭であり、Ｊ冥土分別は出来な
かった。
茜Ｎ２
彬２表に示す東件で合成した白色の非晶質粉末を用い、
α柑ｂｔｑ５憾で平均粒径が０．５μ隔の窒化；ケいＪ
Ａ粉末を５＆蝿暢副加しポールミルに【４− （ １時間１合した。この栃木をアルミナルツボに充填ｊｉ
；ｊ、：、その上面に平均粒径１＃隅で、α相合−９０
％の窒化けい素粉を２１ｍの厚さで被羨した。しかるは
ＫＮ、／Ｈ，＝９０／１０谷櫨囁の疼囲差中で４度１５
０００２時１４加熱処理な行なった。その結果をｄＸＺ
表に示した。本尭明によって得られた窒化けい木粉末は
表１−鄭分及び、内部ともに針状粒子に含まない等電状
畝細雪化けい素粉床であった。
α柑ｂｔｑ５憾で平均粒径が０．５μ隔の窒化；ケいＪ
Ａ粉末を５＆蝿暢副加しポールミルに【４− （ １時間１合した。この栃木をアルミナルツボに充填ｊｉ
；ｊ、：、その上面に平均粒径１＃隅で、α相合−９０
％の窒化けい素粉を２１ｍの厚さで被羨した。しかるは
ＫＮ、／Ｈ，＝９０／１０谷櫨囁の疼囲差中で４度１５
０００２時１４加熱処理な行なった。その結果をｄＸＺ
表に示した。本尭明によって得られた窒化けい木粉末は
表１−鄭分及び、内部ともに針状粒子に含まない等電状
畝細雪化けい素粉床であった。
比較のために電化けいぺ粉末の被８１を実施しない場合
り結末ｌｋ：＠２表に示したＯ−表層は針状粒子ｏＬ４
鍾に存在した。（試験Ａｆ２０及び２１）大施例５ ＮＨ３ガス及びＮ、ｉｆスｖ中キャリヤースとして含む
８１Ｃｊ４謔気とをＮＨ３／ ８１Ｃｔ４のモル比が４
１５の触合で直置１０００’ＵＫＩＪａ熱した石英責反
応管内に尋人し、文応させた。生成した白色の非晶質粉
末ｔ’ １ ｔｏｎ／ｃかにて金型ブレスを竹ない６ｕ
φに５０〜５５’の成形体を得た。この成形体をアルミ
ナルツボ内に並べた後平均粒偵５＃鴫で、αられた成形
棒状の電化けい素はｉｔ状粒子のない１細等軸状の磁化
けい素粉の集合体であｐ＃易に解砕すること０１できた
。
り結末ｌｋ：＠２表に示したＯ−表層は針状粒子ｏＬ４
鍾に存在した。（試験Ａｆ２０及び２１）大施例５ ＮＨ３ガス及びＮ、ｉｆスｖ中キャリヤースとして含む
８１Ｃｊ４謔気とをＮＨ３／ ８１Ｃｔ４のモル比が４
１５の触合で直置１０００’ＵＫＩＪａ熱した石英責反
応管内に尋人し、文応させた。生成した白色の非晶質粉
末ｔ’ １ ｔｏｎ／ｃかにて金型ブレスを竹ない６ｕ
φに５０〜５５’の成形体を得た。この成形体をアルミ
ナルツボ内に並べた後平均粒偵５＃鴫で、αられた成形
棒状の電化けい素はｉｔ状粒子のない１細等軸状の磁化
けい素粉の集合体であｐ＃易に解砕すること０１できた
。
比較のために電化けい＾粉末のｍ憬を付なわないで、同
様に試験した結果、１φられた成形体外表向は全面に針
状粒子〇−着集した伏線で生成しており、針状生成域の
曳１）￥６”＝不明瞭のため、内′ｈ−との分別は出来
なかった。
様に試験した結果、１φられた成形体外表向は全面に針
状粒子〇−着集した伏線で生成しており、針状生成域の
曳１）￥６”＝不明瞭のため、内′ｈ−との分別は出来
なかった。
実ｍ例４
実施向１に用いた白色の非晶貢礒化けい素粉末と央厖例
２の拭躾腐１８の原料粉末装填条件で製造した粉末９Ｉ
：＊盪比で１：１で晶合し、夷Ｍ利２とｔｒ４禄に行っ
たそのＩａ来は実施向２と同様であった。
２の拭躾腐１８の原料粉末装填条件で製造した粉末９Ｉ
：＊盪比で１：１で晶合し、夷Ｍ利２とｔｒ４禄に行っ
たそのＩａ来は実施向２と同様であった。
率発明の効果を列記すると次のとｊＩｆりである。
１）含貨素７ラン化合物及び／又は非軸＃１７を化けい
素の粉末ケ原料とし、これを結ｉ賞で尋軸状の錯化けい
素初木により被覆した傭加熱するという間車な手吹で針
状→の結晶を３脅しない尚純岐４軸状窒化けい素粉末ｏ
Ｌ効率よく得られる。
素の粉末ケ原料とし、これを結ｉ賞で尋軸状の錯化けい
素初木により被覆した傭加熱するという間車な手吹で針
状→の結晶を３脅しない尚純岐４軸状窒化けい素粉末ｏ
Ｌ効率よく得られる。
２） 生成−化けい′ａ栃木と、破偵した１化けい素、
粉末とＯ−二１−状趨となるので、被覆した値化けいＸ
９木を分離することＯ−できるので−建品質のものか優
られる。
粉末とＯ−二１−状趨となるので、被覆した値化けいＸ
９木を分離することＯ−できるので−建品質のものか優
られる。
５）被覆した４化けい木粉末と同様の品質の生成電化け
い素栃木である場合は分蟻することなくｄ６質のすぐれ
た窒化けい虞粉床６”−４られΦ。
い素栃木である場合は分蟻することなくｄ６質のすぐれ
た窒化けい虞粉床６”−４られΦ。
４）生成電化けい素物末は家初未であり、そのまま焼ｉ
材料として使用できる。
材料として使用できる。
６） １１１ｔ米のｔｅ直かそのまま利用でｆ！特別の
手設な必要としない。
手設な必要としない。
特軒出鵬人
工業技術院長
Claims (1)
- 含窒素７ラン化合物及び／父は非晶★電化けい素を原料
とし、これを非酸化性Ｗ囲気下、加熱結晶化させ”ｃ４
Ｐ＠Ｍ状菫化けい素粉末ケ製造するにあたり、予め前記
原料を結晶質で等軸状の電化けい素扮禾で破横した鏝加
熱することを特徴とする高純皺４！袖状窒化けいＸ粉末
の装造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8008084A JPS60226404A (ja) | 1984-04-23 | 1984-04-23 | 高純度等軸状窒化けい素粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8008084A JPS60226404A (ja) | 1984-04-23 | 1984-04-23 | 高純度等軸状窒化けい素粉末の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60226404A true JPS60226404A (ja) | 1985-11-11 |
| JPS6335566B2 JPS6335566B2 (ja) | 1988-07-15 |
Family
ID=13708236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8008084A Granted JPS60226404A (ja) | 1984-04-23 | 1984-04-23 | 高純度等軸状窒化けい素粉末の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60226404A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61191506A (ja) * | 1985-02-18 | 1986-08-26 | Toyo Soda Mfg Co Ltd | 高α型窒化珪素粉末の製造法 |
-
1984
- 1984-04-23 JP JP8008084A patent/JPS60226404A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61191506A (ja) * | 1985-02-18 | 1986-08-26 | Toyo Soda Mfg Co Ltd | 高α型窒化珪素粉末の製造法 |
| JPH0476924B2 (ja) * | 1985-02-18 | 1992-12-07 | Tosoh Corp |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6335566B2 (ja) | 1988-07-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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