JPS60225343A - X線管用回転陽極及びその製造方法 - Google Patents
X線管用回転陽極及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS60225343A JPS60225343A JP8009184A JP8009184A JPS60225343A JP S60225343 A JPS60225343 A JP S60225343A JP 8009184 A JP8009184 A JP 8009184A JP 8009184 A JP8009184 A JP 8009184A JP S60225343 A JPS60225343 A JP S60225343A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- graphite
- carbon
- ray tube
- graphite substrate
- rotating anode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
- H01J35/10—Rotary anodes; Arrangements for rotating anodes; Cooling rotary anodes
- H01J35/108—Substrates for and bonding of emissive target, e.g. composite structures
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発8AFiX線管用回転陽極とその製造方法に関し、
更に詳しくは、軽量かつ高強度なので高速回転が可能で
あるX#管用回転陽極とその製造方法に関する。
更に詳しくは、軽量かつ高強度なので高速回転が可能で
あるX#管用回転陽極とその製造方法に関する。
X線技術の進歩に伴ない、連続負荷又は瞬間的な高負荷
入力に耐え得るような熱容1大の回転陽極がめられてい
る、この要求VC,応じるものとして、近時、金属に比
べ比重が小さく (1,5〜1.92/d)熱放出能力
に優れる高密度黒鉛材を基体とし、その上に電子ビーム
が照射されるターゲツト板としてタングステンのような
高融点金員板を一体的に接合した構造の回転陽極が開発
されている。
入力に耐え得るような熱容1大の回転陽極がめられてい
る、この要求VC,応じるものとして、近時、金属に比
べ比重が小さく (1,5〜1.92/d)熱放出能力
に優れる高密度黒鉛材を基体とし、その上に電子ビーム
が照射されるターゲツト板としてタングステンのような
高融点金員板を一体的に接合した構造の回転陽極が開発
されている。
そして、この回転陽極は真空容器内で高速回転して実用
に供される。
に供される。
しかしながら、上記した黒鉛基体の回転陽極の場合、該
黒鉛基体の機械的強度は他の金属材料に比べて大きくな
いので、高速回転時に変形、破損等の事故を起して回転
不良を起し易すい。そのため、回転陽極の回転数が制限
されざるを得なくなり、高速回転化のメリットであるハ
イパワーでかつ連続したX線の取得が困難になる。
黒鉛基体の機械的強度は他の金属材料に比べて大きくな
いので、高速回転時に変形、破損等の事故を起して回転
不良を起し易すい。そのため、回転陽極の回転数が制限
されざるを得なくなり、高速回転化のメリットであるハ
イパワーでかつ連続したX線の取得が困難になる。
また、高Hc空下での回転時、黒鉛基体から黒鉛の微粉
が離散し、これが具常放電を生じさせ、いわゆるX線管
としての耐電圧が低下するという不都合な小寒を招くこ
ともある。
が離散し、これが具常放電を生じさせ、いわゆるX線管
としての耐電圧が低下するという不都合な小寒を招くこ
ともある。
゛ このように、黒鉛基本は比重が小さく高速回転に好
適であシ、かつ熱放散能力にも優れるという利点を有し
ているにもかかわらず1機械的強度小。
適であシ、かつ熱放散能力にも優れるという利点を有し
ているにもかかわらず1機械的強度小。
黒鉛微粉を発生し易すいなどのことからその実用的価値
が大幅に減退せざるを得ないという問題を避は得ないで
いる。
が大幅に減退せざるを得ないという問題を避は得ないで
いる。
本発明は、黒鉛基体の有利な特性を生かしかつ不利な問
題を解決した新規な構造のX#!管用回転陽極とその製
造方法の提供を目的とする。
題を解決した新規な構造のX#!管用回転陽極とその製
造方法の提供を目的とする。
本発明のX線管用回転陽極は、黒鉛基体と、該基体の外
周を被包する炭素−炭素繊維複合体と。
周を被包する炭素−炭素繊維複合体と。
両者の上に配置される高融点金属板との一体的構造体で
あることを特徴とし、その製造方法は。
あることを特徴とし、その製造方法は。
黒鉛基体の外周に炭素繊維を巻回して繊維層を形成する
工程; 該繊維層及び/又は該黒鉛基体に、熱分解して炭素質物
になる液状物質を含浸する工程;加熱処理を施こして該
液状物質を炭素質物に転換して、及び/又は該液状物質
と該炭素繊維を黒鉛化して該黒鉛基体と炭素−ゝ炭素繊
維の一体的構造体を形成する工程; 該一体化IIIt造体の上面に高融点金員板を一体的に
接合する工程; とから成ることを特徴とする。
工程; 該繊維層及び/又は該黒鉛基体に、熱分解して炭素質物
になる液状物質を含浸する工程;加熱処理を施こして該
液状物質を炭素質物に転換して、及び/又は該液状物質
と該炭素繊維を黒鉛化して該黒鉛基体と炭素−ゝ炭素繊
維の一体的構造体を形成する工程; 該一体化IIIt造体の上面に高融点金員板を一体的に
接合する工程; とから成ることを特徴とする。
本発明の回転陽極の黒鉛基体としては、緻密で機械的強
度大、黒鉛微粉の発生が起シにくい、蓄熱性に富み、か
つ熱伝導性が良好であるという点から、高密度黒鉛が好
ましい。
度大、黒鉛微粉の発生が起シにくい、蓄熱性に富み、か
つ熱伝導性が良好であるという点から、高密度黒鉛が好
ましい。
炭素−炭素繊維複合体は、上記した黒鉛基体の外周を一
体的に被包して配置きれ、黒鉛基体の機械的強度の弱さ
を補光して全体としての強度向上に資する要素である。
体的に被包して配置きれ、黒鉛基体の機械的強度の弱さ
を補光して全体としての強度向上に資する要素である。
ここでいう炭素−炭素繊維複合体とは、繊維長方向の強
度が極めて高い炭素繊維又は黒鉛繊維を強化材とし、マ
トリックスが炭素又は黒鉛である複合体のことをいう。
度が極めて高い炭素繊維又は黒鉛繊維を強化材とし、マ
トリックスが炭素又は黒鉛である複合体のことをいう。
また。
本発明の炭素−炭素繊維接合体は、黒鉛化処理を施こさ
ない状態のものおよび黒鉛化処理を施して全体を黒鉛結
晶化した状態のものの両方を意味する。こわらはいずれ
も前記した高密度黒鉛に比べてはるかに機械的強[6C
優れた材料である。
ない状態のものおよび黒鉛化処理を施して全体を黒鉛結
晶化した状態のものの両方を意味する。こわらはいずれ
も前記した高密度黒鉛に比べてはるかに機械的強[6C
優れた材料である。
ターゲツト板を構成する高融点金属としては、従来から
用いられているタングステンもしくはタングステンとモ
リブデンの複合板が好適である。
用いられているタングステンもしくはタングステンとモ
リブデンの複合板が好適である。
本発明の回転陽極は次のようにして製造することができ
る。
る。
第1の工程は、所定の形状に加工した黒鉛基体の外局に
必要な引張強度を有する炭素繊維を幾重にも巻回し所定
厚みの繊維層を形成する工程である。
必要な引張強度を有する炭素繊維を幾重にも巻回し所定
厚みの繊維層を形成する工程である。
第2の工程は、第1の工程で製造した構造体に後述する
液状物質を含浸する工程である。具体的には、該液状物
質の中に該構造体を浸漬して、繊維層の空隙部分及び/
又は黒鉛基体の空孔に骸液状物質を充填する。用いる液
状物質は、後述する加熱処理時に熱分解して炭素質物に
転換するものであることが必要である。具体的には、タ
ール。
液状物質を含浸する工程である。具体的には、該液状物
質の中に該構造体を浸漬して、繊維層の空隙部分及び/
又は黒鉛基体の空孔に骸液状物質を充填する。用いる液
状物質は、後述する加熱処理時に熱分解して炭素質物に
転換するものであることが必要である。具体的には、タ
ール。
ピッチ、各種の合成樹脂液である。含浸処理は、密閉容
器中、減圧下で行なうことが好ましい。またこのとき、
溶融状liKなる温度下で行なうことはいうまでもない
。
器中、減圧下で行なうことが好ましい。またこのとき、
溶融状liKなる温度下で行なうことはいうまでもない
。
第3の1程は、第2の工程で製造し7ts造体を加熱処
理して廿浸されている液状物*ti素質物に転換する工
程及び/又は更に高い温度で処理して全体を黒鉛化する
工程である。
理して廿浸されている液状物*ti素質物に転換する工
程及び/又は更に高い温度で処理して全体を黒鉛化する
工程である。
加熱源iは液状物質が完全に炭素質物に転換する温度以
上に設定される。具体的[は1000℃以上である。こ
のとき、繊維層の空隙ib分及び/又鉱黒鉛基体の空孔
内の液状物質は熱分解して揮発成分1に放出し炭素質物
としてi個所に銭留1゛る。
上に設定される。具体的[は1000℃以上である。こ
のとき、繊維層の空隙ib分及び/又鉱黒鉛基体の空孔
内の液状物質は熱分解して揮発成分1に放出し炭素質物
としてi個所に銭留1゛る。
かくし1.繊維Mの部分においては、この炭素質物をマ
トリックスとし辰素繊維?r:強化材とする複合本が形
成される。また、加熱源iを更に高め、例えは熊鉛化炉
で2800℃以上の温度で処理すれは、炭素質物、炭素
繊維は黒鉛化され、該繊維層の部分は全体として無鉛−
黒鉛繊維複合体となる。
トリックスとし辰素繊維?r:強化材とする複合本が形
成される。また、加熱源iを更に高め、例えは熊鉛化炉
で2800℃以上の温度で処理すれは、炭素質物、炭素
繊維は黒鉛化され、該繊維層の部分は全体として無鉛−
黒鉛繊維複合体となる。
なおこのとき、加熱処理後に再び#工程の會浸処理を施
こし更に加熱処理するという工程操作を反復すれは、複
合体及び黒鉛基体は一層高緻密化してツ糺同上に貿する
ので有効である。
こし更に加熱処理するという工程操作を反復すれは、複
合体及び黒鉛基体は一層高緻密化してツ糺同上に貿する
ので有効である。
第4の工程は、第3の工程で製造した構造体の土に筒融
点金組のターゲツト板を接合する工程である。接合の方
法としては、従来の方法を適用すればよい。例え打1j
、1累のような不活性ガス雰囲気中における熱圧ブレス
法、ロウ付は法などである。
点金組のターゲツト板を接合する工程である。接合の方
法としては、従来の方法を適用すればよい。例え打1j
、1累のような不活性ガス雰囲気中における熱圧ブレス
法、ロウ付は法などである。
このようにして得られた一体化構造体の外周又は表面に
盾定の加工を施して本発明の回転陽極が得られる。
盾定の加工を施して本発明の回転陽極が得られる。
〔発F3J−1の火施例〕
直径100訓、厚み30酪、中央に8「の貫通孔を有す
る黒鉛、#14を筒密用二黒鉛で製造した。この基体の
外周を、単繊維の直径104m、引張強度70V4/m
rr?の炭素繊維のバンドルで巻回しfc0繊維層の厚
みは15m1ffとした。
る黒鉛、#14を筒密用二黒鉛で製造した。この基体の
外周を、単繊維の直径104m、引張強度70V4/m
rr?の炭素繊維のバンドルで巻回しfc0繊維層の厚
みは15m1ffとした。
ついでこれを密閉槽に入れ、温度300 ’C1減圧度
I X 10−2Torrの条n二で溶融ピッチを合法
したのち、これを炭化炉中にいれ、1000〜1200
℃の温度で加熱処理した。含浸−加熱処理の操作を3回
反復したところ、15%の重齢増が認められた。その後
、これを黒鉛化炉にいれて約3000℃の温度で黒鉛化
した。
I X 10−2Torrの条n二で溶融ピッチを合法
したのち、これを炭化炉中にいれ、1000〜1200
℃の温度で加熱処理した。含浸−加熱処理の操作を3回
反復したところ、15%の重齢増が認められた。その後
、これを黒鉛化炉にいれて約3000℃の温度で黒鉛化
した。
得られた黒鉛基体と黒鉛−黒鉛繊維複合体の上面を平?
ilに加工し、ここに、111!径130語、厚みio
m、中央[8−の貫通孔を有するタングステン板を載置
して全体を1600℃の窒素雰囲気炉中で、ポロンナイ
トライド粉を出力媒体として約300Kg/cs!の圧
力を印加して一体的vc接合した。
ilに加工し、ここに、111!径130語、厚みio
m、中央[8−の貫通孔を有するタングステン板を載置
して全体を1600℃の窒素雰囲気炉中で、ポロンナイ
トライド粉を出力媒体として約300Kg/cs!の圧
力を印加して一体的vc接合した。
最後に、外周、中央孔等の部分を機械加工して、全体の
直径125mの回転陽極とした。
直径125mの回転陽極とした。
この回転陽極t−X線管に実装して回転プせ、回転状襲
を観察したとCろ、回転数が15000rpmになって
も回転不良は認められなかった。またこの回転陽極をl
X l 0−6Torrの真空容器中にいれ。
を観察したとCろ、回転数が15000rpmになって
も回転不良は認められなかった。またこの回転陽極をl
X l 0−6Torrの真空容器中にいれ。
1500℃で6時間加熱処理して黒鉛微粉の飛散状態を
測定したところ、重緻比で0.lppm以下であった。
測定したところ、重緻比で0.lppm以下であった。
比較のため、黒鉛基体とターケラ)[(いずれも前記と
同じ材料)とからのみ成る回転陽極を製造して、同様の
試験を行なったところ、12000rpmで黒鉛基体の
変形に基づくガタッキが発生して回転不良になり、また
飛散黒鉛もI Oppmμ上であった。
同じ材料)とからのみ成る回転陽極を製造して、同様の
試験を行なったところ、12000rpmで黒鉛基体の
変形に基づくガタッキが発生して回転不良になり、また
飛散黒鉛もI Oppmμ上であった。
〔発明の効果J
以上の説明で明らかなように、本発明の回転陽極は、軽
量ではあるが強度不足の黒鉛基体f軽量かつ高強度の炭
素−炭素繊維複合体で被包することにより、全体として
軽量かつ高強度であるため。
量ではあるが強度不足の黒鉛基体f軽量かつ高強度の炭
素−炭素繊維複合体で被包することにより、全体として
軽量かつ高強度であるため。
高速回転が可能となってハイパワーxmの取得ができ、
また長時間運転が可能となる。更VCtd回転中の黒鉛
飛散現象が抑制され、その工業的価値は大である。
また長時間運転が可能となる。更VCtd回転中の黒鉛
飛散現象が抑制され、その工業的価値は大である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、 黒鉛基体と、骸基体の外周を被包する炭素−炭素
繊維複合体と1両者の上に配置される高融点金践板との
一体的構造体であることを特徴とするX線管用回転陽極
。 2 該黒鉛基体が高密度黒鉛から成る特許請求の範囲第
1項記載のX線管用回転陽極−3、該炭素−炭素繊維複
合体が黒鉛−黒鉛繊維複合体である特許請求の範囲第1
項記載のX線管用回転陽極。 4 黒鉛基体の外周に炭素繊維を巻回して繊維層を形成
する工程; 該繊維層及び/又は該黒鉛基体に、熱分解して炭素質物
になる液状物質を含浸する工程;加熱処理を施こして該
液状物質を炭素質物に転換して、及び/又は該液状物質
と該炭素繊維を黒鉛化して骸黒鉛基体と炭素−炭素繊維
の一体化構造体を形成する工程; 該一体化構造体の上面に高融点金楕板を一体的に接合す
る工程; とから成ることを特徴とするX線管用回転陽極の製造方
法。 5、 該液状物質がタール又はピンチである特許請求の
範囲第4項記載のX線管用回転陽極の製造方法。 6、核炭素−炭素繊紛複合体が黒鉛−黒鉛繊維複合体で
ある特許請求の範囲第4項記載のX線管用回転陽極の製
造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8009184A JPS60225343A (ja) | 1984-04-23 | 1984-04-23 | X線管用回転陽極及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8009184A JPS60225343A (ja) | 1984-04-23 | 1984-04-23 | X線管用回転陽極及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60225343A true JPS60225343A (ja) | 1985-11-09 |
Family
ID=13708526
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8009184A Pending JPS60225343A (ja) | 1984-04-23 | 1984-04-23 | X線管用回転陽極及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60225343A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2625035A1 (fr) * | 1987-12-22 | 1989-06-23 | Thomson Cgr | Anode tournante en materiau composite pour tube a rayons x |
-
1984
- 1984-04-23 JP JP8009184A patent/JPS60225343A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2625035A1 (fr) * | 1987-12-22 | 1989-06-23 | Thomson Cgr | Anode tournante en materiau composite pour tube a rayons x |
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