JPS60225015A - 位置測定装置 - Google Patents
位置測定装置Info
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- JPS60225015A JPS60225015A JP60065090A JP6509085A JPS60225015A JP S60225015 A JPS60225015 A JP S60225015A JP 60065090 A JP60065090 A JP 60065090A JP 6509085 A JP6509085 A JP 6509085A JP S60225015 A JPS60225015 A JP S60225015A
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- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 claims description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 21
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 4
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/3473—Circular or rotary encoders
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Vehicle Body Suspensions (AREA)
- Body Structure For Vehicles (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Crushing And Grinding (AREA)
- Eye Examination Apparatus (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、第一の物体と連結された目盛担持体の、少な
くとも一つの参照マークが設けられた目盛が走査ユニッ
トにより走査可能である、互に運動する二つの物体の相
対位置を測定するための位置測定装置に関する。
くとも一つの参照マークが設けられた目盛が走査ユニッ
トにより走査可能である、互に運動する二つの物体の相
対位置を測定するための位置測定装置に関する。
（産業上の利用分野）
この種の位置測定装置は、機械部品の相対位置を測定す
るだめの加工機械において、ならびにハンドリング自動
機械、いわゆる産業ロボットにおいても使用される。
るだめの加工機械において、ならびにハンドリング自動
機械、いわゆる産業ロボットにおいても使用される。
（従来技術）
位置測定装置において、基準位置を探知するために、互
に相対的に運動する機械部品または測定系部品を出発位
置から参照マークまで搬送させて、そこまで進んだ値を
探知して貯えるか、または基準位置に対する参照マーク
を“ゼロ′の値でフレアすることが知られている。この
ような方法は、ドイツ特許明細書１９６４３８１に記載
されている上うに、インクレメンタル長さ測定装置また
は角度測定装置で可能である。
に相対的に運動する機械部品または測定系部品を出発位
置から参照マークまで搬送させて、そこまで進んだ値を
探知して貯えるか、または基準位置に対する参照マーク
を“ゼロ′の値でフレアすることが知られている。この
ような方法は、ドイツ特許明細書１９６４３８１に記載
されている上うに、インクレメンタル長さ測定装置また
は角度測定装置で可能である。
しかしながら、これらの方法は、被測定物体が邪魔され
ないで相対運動できることを必要とする。なぜなら、測
定装置の構成部品が被測定物体とかたく結合され、かつ
これと共に参照マーりまで調整されなければならないか
らである。
ないで相対運動できることを必要とする。なぜなら、測
定装置の構成部品が被測定物体とかたく結合され、かつ
これと共に参照マーりまで調整されなければならないか
らである。
ドイツ特許公開公報１６７５ｆ３ｆ３７から、横機ベッ
トに固く締めつけられた機械スライダにおいて基準位置
の探知を許す機械の測定装置が公知である。第一に、そ
こでスライダを、基準位置よりおそくゼロにフレアされ
なければならない位置に搬送しなければならない。その
後、スライダを機械ベットに固く締めつける。引き続き
、測定装置の走査板を、参照マークに到達するまでスケ
ールに対して進める。参照マークに到達すると、測定装
置の電子計数器をゼロの値に設定する。それから、機械
スライダに対する締付を再びゆるめて、スライダを所望
の位置に搬送する。従って、参照マークの位置は別の作
業過程のための基準位置である。
トに固く締めつけられた機械スライダにおいて基準位置
の探知を許す機械の測定装置が公知である。第一に、そ
こでスライダを、基準位置よりおそくゼロにフレアされ
なければならない位置に搬送しなければならない。その
後、スライダを機械ベットに固く締めつける。引き続き
、測定装置の走査板を、参照マークに到達するまでスケ
ールに対して進める。参照マークに到達すると、測定装
置の電子計数器をゼロの値に設定する。それから、機械
スライダに対する締付を再びゆるめて、スライダを所望
の位置に搬送する。従って、参照マークの位置は別の作
業過程のための基準位置である。
出発位置として限定された基準位置を探知するための公
知の方法は、実際の作業過程の前に行なわれるが、前述
したインクレメンタル測定装置では、すでに作業過程が
行なわれて、例えば続いている作業過程が中断されると
き（はもはや可能ではない。このような続いている作業
過程の中断は、例えばハンドリング自動機械−全搬に産
業ロボットと呼ばれる−の場合、停電によル起とシうる
。そのとき、ロボットはその瞬間位置にとどまっている
が、測定も中断されるので、その最初の基準位置に関連
した測定値が停電により失われてしまう。しかしながら
、中断された作業過程を続行するために、基準位置を知
らなければならない。しかしながら、一般に１０ボツト
をその瞬間位置から最初の出発位置に戻すことは、例え
ばまさに工具が係合しているので除外される。
知の方法は、実際の作業過程の前に行なわれるが、前述
したインクレメンタル測定装置では、すでに作業過程が
行なわれて、例えば続いている作業過程が中断されると
き（はもはや可能ではない。このような続いている作業
過程の中断は、例えばハンドリング自動機械−全搬に産
業ロボットと呼ばれる−の場合、停電によル起とシうる
。そのとき、ロボットはその瞬間位置にとどまっている
が、測定も中断されるので、その最初の基準位置に関連
した測定値が停電により失われてしまう。しかしながら
、中断された作業過程を続行するために、基準位置を知
らなければならない。しかしながら、一般に１０ボツト
をその瞬間位置から最初の出発位置に戻すことは、例え
ばまさに工具が係合しているので除外される。
（解決すべき課題）
本発明の課題は、公知の装置の欠点を除去し、かつ未知
の瞬間位置で位置情報を失った後被測定物体を運動させ
ずに基準位置を再生することができる、冒頭に述べた種
類の位置測定装置を企てることである。
の瞬間位置で位置情報を失った後被測定物体を運動させ
ずに基準位置を再生することができる、冒頭に述べた種
類の位置測定装置を企てることである。
（課題の解決手段）
上記の課題は、被測定物体の任意の未知の瞬開位置で測
定と運動の中断後基準位置を再生するための次の特徴に
よシ解決される。
定と運動の中断後基準位置を再生するための次の特徴に
よシ解決される。
ａ）少なくとも一つの第一の参照マークが設けられた第
一の目盛担持体の第一の目盛を走査するために第一の走
査ユニットが第二の目盛担持体とかたく結合され、この
第二の目盛担持体が、少なくとも一つの第二の参照マー
クが設けられた第二の目盛を有し、 ｂ）少なくとも一つの第二の参照マークが設けられた第
二の目盛を走査するために第二の走査ユニットが第二の
物体とかたく結合され、Ｃ）第一の目盛担持体の少なく
とも一つの第一の参照ｉ−りを走査するために、および
第二の走査ユニツ）Ｋよシ第二の目盛担持体の少なくと
も一つの第二の参照マークを走査するために、第一の走
査ユニットが第二の目盛担持体と共に第一の目盛担持体
に対しかつ第二の物体に対し調整可能であシ、 ｄ）第一の走査ユニットと第二の目盛担持体の調整道程
が第一の参照マークと第二の参照マークの間の間隔に相
応して記録可能である。
一の目盛担持体の第一の目盛を走査するために第一の走
査ユニットが第二の目盛担持体とかたく結合され、この
第二の目盛担持体が、少なくとも一つの第二の参照マー
クが設けられた第二の目盛を有し、 ｂ）少なくとも一つの第二の参照マークが設けられた第
二の目盛を走査するために第二の走査ユニットが第二の
物体とかたく結合され、Ｃ）第一の目盛担持体の少なく
とも一つの第一の参照ｉ−りを走査するために、および
第二の走査ユニツ）Ｋよシ第二の目盛担持体の少なくと
も一つの第二の参照マークを走査するために、第一の走
査ユニットが第二の目盛担持体と共に第一の目盛担持体
に対しかつ第二の物体に対し調整可能であシ、 ｄ）第一の走査ユニットと第二の目盛担持体の調整道程
が第一の参照マークと第二の参照マークの間の間隔に相
応して記録可能である。
（発明の効果）
本発明で達成される利点は、特に、提案された位置測定
装置により、測定と運動の中断後未知の瞬間位置から基
準位置を、被測定物体を動かす必要もなく、簡単Ｋかつ
迅速に再生することができることにある。それ故に、工
具の形態のそのような被測定物体は、故障によシ測定過
程と加工過程を中断したときに加工片と係合したままで
ありうるので、故障を除いて基準位置を再び探知した後
１．中断された加工過程を直ちに再び続行することがで
きる。工具を加工片との保合位置から引込めてこの保合
個所を新規に正確に再びスタートさせることは時間がか
かシ、しかもむつかしく、かつ加工片を損傷させること
にもなシうる。さらに、例えば産業ロボットでは、個々
の作業方法の間のその都度の基準位置のプログラム制御
された基準位置が可能でらシ、それによってこのような
システムの作動の安全性が著しく高められる。
装置により、測定と運動の中断後未知の瞬間位置から基
準位置を、被測定物体を動かす必要もなく、簡単Ｋかつ
迅速に再生することができることにある。それ故に、工
具の形態のそのような被測定物体は、故障によシ測定過
程と加工過程を中断したときに加工片と係合したままで
ありうるので、故障を除いて基準位置を再び探知した後
１．中断された加工過程を直ちに再び続行することがで
きる。工具を加工片との保合位置から引込めてこの保合
個所を新規に正確に再びスタートさせることは時間がか
かシ、しかもむつかしく、かつ加工片を損傷させること
にもなシうる。さらに、例えば産業ロボットでは、個々
の作業方法の間のその都度の基準位置のプログラム制御
された基準位置が可能でらシ、それによってこのような
システムの作動の安全性が著しく高められる。
本発明の有利な発展例は実施態様項に記載されている。
以下、本発明の実施例を図面により詳細に説明する。
第１図に縦断面で示したインクレメンタル角度測定装置
が、ハウジングＧで、第二の被測定物体０． に、例え
ば加工機械（図示省略）の機械ベラＩｃ固定されている
。ノーウジングＧの内部には軸Ｗが軸受Ｌ１ により回
転可能に支承され、かつ第一のインクレメンタル目盛Ｔ
Ｉ と、この第一のインクレメンタル目盛Ｔ１ に絶対
的に付設された第一の参照マークＲ１１（１＝１゜２、
・・・、ｎ）とを有する第一の目盛板８１を担持してお
り、参照マークＲ１ｉにはその都度さらに識別するため
に第一のコードマークＣ１１が付設されている（第２図
）。第一のインクレメンタル目盛ＴＩ ％第一の参照マ
ークＲ１ｉおよび所属の第一のコードマークＯ１ｉが第
一の走査ユニツ）Ａ１ によシ光電的に走査されるが、
第一の走査ユニツ）ＡＩ は第一の照明ユニツ） Ｂｓ
、第一のコンデンサＫｌ 、第一の走査板ＡＰ、ならび
に第一の光電要素Ｐ、を有する。
が、ハウジングＧで、第二の被測定物体０． に、例え
ば加工機械（図示省略）の機械ベラＩｃ固定されている
。ノーウジングＧの内部には軸Ｗが軸受Ｌ１ により回
転可能に支承され、かつ第一のインクレメンタル目盛Ｔ
Ｉ と、この第一のインクレメンタル目盛Ｔ１ に絶対
的に付設された第一の参照マークＲ１１（１＝１゜２、
・・・、ｎ）とを有する第一の目盛板８１を担持してお
り、参照マークＲ１ｉにはその都度さらに識別するため
に第一のコードマークＣ１１が付設されている（第２図
）。第一のインクレメンタル目盛ＴＩ ％第一の参照マ
ークＲ１ｉおよび所属の第一のコードマークＯ１ｉが第
一の走査ユニツ）Ａ１ によシ光電的に走査されるが、
第一の走査ユニツ）ＡＩ は第一の照明ユニツ） Ｂｓ
、第一のコンデンサＫｌ 、第一の走査板ＡＰ、ならび
に第一の光電要素Ｐ、を有する。
放射状格子の形をした第一のインクレメンタル目盛ＴＩ
は、光を通すストリップと光を通さないストリップか
らなり、これらのストリップは交互に前後して続いてい
る。第一のインクレメンタル目盛Ｔ１ には、第一の走
査板ＡＰ、の上に第一の目盛走査フィールドが付設され
ておシ、その目盛は第一のインクレメンタル目盛Ｔ、と
同一である。第一の参照マークＲ１ｉは、それぞれ決め
られた不規則な直線分布を有する同一の直線群からなり
、この直線群には第一の走査板ＡＰ、上に、同一の直線
分布を有する参照マーク走査フィールドが付設されてい
る。第一のインクレメンタル目盛Ｔ、の目盛ゼロ点に対
する第一の蓼照マーク拘１の絶対的位置は、所属の第一
のコードマーク０１１により明らかにされるが、これら
の第一のコードマーク０１１はそれぞれ、所属の第一の
参照マークＲ１ｉの絶対位置を、コード化された情報と
して、例えばいわゆるノ（−コードとして含む。第一の
コードマークＣ１１には、第一の走査板Ａｒ１上に第一
のコードマーク走査フィールドが付設されている。第一
のインクレメンタル目盛ＴＩ １第一の参照マークＲｘ
ｉおよび第一のコードマークＣ１１ならびに所属の第一
の走査フィールドには、それぞれ一つの第一の光電要素
Ｐ１ が付設されている。
は、光を通すストリップと光を通さないストリップか
らなり、これらのストリップは交互に前後して続いてい
る。第一のインクレメンタル目盛Ｔ１ には、第一の走
査板ＡＰ、の上に第一の目盛走査フィールドが付設され
ておシ、その目盛は第一のインクレメンタル目盛Ｔ、と
同一である。第一の参照マークＲ１ｉは、それぞれ決め
られた不規則な直線分布を有する同一の直線群からなり
、この直線群には第一の走査板ＡＰ、上に、同一の直線
分布を有する参照マーク走査フィールドが付設されてい
る。第一のインクレメンタル目盛Ｔ、の目盛ゼロ点に対
する第一の蓼照マーク拘１の絶対的位置は、所属の第一
のコードマーク０１１により明らかにされるが、これら
の第一のコードマーク０１１はそれぞれ、所属の第一の
参照マークＲ１ｉの絶対位置を、コード化された情報と
して、例えばいわゆるノ（−コードとして含む。第一の
コードマークＣ１１には、第一の走査板Ａｒ１上に第一
のコードマーク走査フィールドが付設されている。第一
のインクレメンタル目盛ＴＩ １第一の参照マークＲｘ
ｉおよび第一のコードマークＣ１１ならびに所属の第一
の走査フィールドには、それぞれ一つの第一の光電要素
Ｐ１ が付設されている。
ハウジングＧから突出する軸Ｗが、加工機械の機械スラ
イダのスピンドルの形をした第一の被測定物体０． と
連結されている。軸Ｗ上には、ハウジングＧ内で第一の
走査ユニットムｌ が軸受Ｌｘ ＫよシハウジングＧに
対しかつ第一の目盛板ａｍ に対し回転可能に支承され
ている。
イダのスピンドルの形をした第一の被測定物体０． と
連結されている。軸Ｗ上には、ハウジングＧ内で第一の
走査ユニットムｌ が軸受Ｌｘ ＫよシハウジングＧに
対しかつ第一の目盛板ａｍ に対し回転可能に支承され
ている。
実際の測定過程で、軸Ｗ１従って第一の目盛板Ｓ、が、
ハウジングＧに関して固定した第一の走査ユニットの傍
を回転すると、第一のインクレメンタル目盛Ｔ１ が、
静止した第一の走査板ムＰ１上の所属の第一の目盛走査
フィールドに対して回転する。第一の照明ユニットＢ１
から出る光流が、互罠対して動かされる第一のインク
レメンタル目盛Ｔ１ および第一の目盛走査フィールド
の目盛によシ調整されて、所属の第一〇光電要素ＰＨの
上に落ち、その光電要素が周期的アナログ信号を生じ、
このアナログ信号が角度測定装置の分析装置（図示省略
）でパルスに変形される。このパルスを第一の入力端を
介して分析装置の差動計数器に計数するために供給して
、出力側に接続された表示ユニットに位置測定値として
デジタル形態で表示するか、または直接、加工機械の数
値制御装置に供給することができる。第一の目盛板ｓ１
の回転方向を区別するために、第一の走査板ＡＰ、の
第一の目盛走査フィールドが、第一のインクレメンタル
目盛Ｔｌ の目盛周期の四分の−だけ互にずらされた二
つの目盛を有する。
ハウジングＧに関して固定した第一の走査ユニットの傍
を回転すると、第一のインクレメンタル目盛Ｔ１ が、
静止した第一の走査板ムＰ１上の所属の第一の目盛走査
フィールドに対して回転する。第一の照明ユニットＢ１
から出る光流が、互罠対して動かされる第一のインク
レメンタル目盛Ｔ１ および第一の目盛走査フィールド
の目盛によシ調整されて、所属の第一〇光電要素ＰＨの
上に落ち、その光電要素が周期的アナログ信号を生じ、
このアナログ信号が角度測定装置の分析装置（図示省略
）でパルスに変形される。このパルスを第一の入力端を
介して分析装置の差動計数器に計数するために供給して
、出力側に接続された表示ユニットに位置測定値として
デジタル形態で表示するか、または直接、加工機械の数
値制御装置に供給することができる。第一の目盛板ｓ１
の回転方向を区別するために、第一の走査板ＡＰ、の
第一の目盛走査フィールドが、第一のインクレメンタル
目盛Ｔｌ の目盛周期の四分の−だけ互にずらされた二
つの目盛を有する。
軸Ｗに回転可能に支承された第一の走査ユニットＡ１
には、第二のインクレメンタル目盛Ｔ雰を有し、かつ第
二のインクレメンタル目盛ＴＩに絶対的に付設された第
二の参照マークＲ，１ｉ＝１．２、・・・ｏｎ）を有す
る第二の目盛板Ｓ！ が固定されており、参照マークＲ
ｘｉ ＫはさらＫｌｌ別するため罠それぞれ二つのコー
ドマーク０，１が付設されている（第５図）。第二のイ
ンクレメンタル目盛Ｔ！、第二の参照マークＲ１ｉおよ
び所属の第二のコードマークｃ！１が第二の走査ユニッ
トム！ Ｋより光電的に走査され、第二の走査ユニット
Ａ茸 はハウジングＧに固定状態に取９つけられ、かつ
第二の照明ユニットＢ！、第二のコンデンサに雪、第二
の走査板ＡＰ、ならびＫｗＪ二の光電要素Ｐ２ を有す
る。
には、第二のインクレメンタル目盛Ｔ雰を有し、かつ第
二のインクレメンタル目盛ＴＩに絶対的に付設された第
二の参照マークＲ，１ｉ＝１．２、・・・ｏｎ）を有す
る第二の目盛板Ｓ！ が固定されており、参照マークＲ
ｘｉ ＫはさらＫｌｌ別するため罠それぞれ二つのコー
ドマーク０，１が付設されている（第５図）。第二のイ
ンクレメンタル目盛Ｔ！、第二の参照マークＲ１ｉおよ
び所属の第二のコードマークｃ！１が第二の走査ユニッ
トム！ Ｋより光電的に走査され、第二の走査ユニット
Ａ茸 はハウジングＧに固定状態に取９つけられ、かつ
第二の照明ユニットＢ！、第二のコンデンサに雪、第二
の走査板ＡＰ、ならびＫｗＪ二の光電要素Ｐ２ を有す
る。
第二の目盛板Ｓ８ の第二のインクレメンタル目盛Ｔ！
、第二の参照マークＲ１１および第二のコードマーク０
ｘＩＦｉ、それぞれ第一の目盛板８１の第一のインクレ
メンタル目盛Ｔｌ １第一の参照マークＲ１ｉならびに
第一のコードマークＯｉｉと対応する。第二の走査板ム
Ｐ！上で、第二のインクレメンタル目盛Ｔ８ に第二の
目盛走査フィールドが、第二の参照マークＲ１１に第二
の参照ｉ−り走査フィールドが、および第二のコードマ
ークＣａｔに第二のコードマーク走査フィールドが付設
されている。第二の目盛板Ｓ２ の走査フィールドは第
一の目盛板ｓｌ の走査フィールドと対応する。第二の
インクレメンタル目盛Ｔｊｓ第二の参照マークＲ１１お
よび第二のコードマークＯｘｉならびに所属の走査フィ
ールドにそれぞれ第二の光電要素Ｐ！ が付設されてい
る。第二の目盛板８２ の回転方向を区別するために１
第二の走査板ＡＰ、上の第二の目盛走査フィールドが、
第二のインクレメンタル目盛Ｔ！ の目盛周期の四分の
−だけ互にずらされた二つの目盛を有する。
、第二の参照マークＲ１１および第二のコードマーク０
ｘＩＦｉ、それぞれ第一の目盛板８１の第一のインクレ
メンタル目盛Ｔｌ １第一の参照マークＲ１ｉならびに
第一のコードマークＯｉｉと対応する。第二の走査板ム
Ｐ！上で、第二のインクレメンタル目盛Ｔ８ に第二の
目盛走査フィールドが、第二の参照マークＲ１１に第二
の参照ｉ−り走査フィールドが、および第二のコードマ
ークＣａｔに第二のコードマーク走査フィールドが付設
されている。第二の目盛板Ｓ２ の走査フィールドは第
一の目盛板ｓｌ の走査フィールドと対応する。第二の
インクレメンタル目盛Ｔｊｓ第二の参照マークＲ１１お
よび第二のコードマークＯｘｉならびに所属の走査フィ
ールドにそれぞれ第二の光電要素Ｐ！ が付設されてい
る。第二の目盛板８２ の回転方向を区別するために１
第二の走査板ＡＰ、上の第二の目盛走査フィールドが、
第二のインクレメンタル目盛Ｔ！ の目盛周期の四分の
−だけ互にずらされた二つの目盛を有する。
しかしながら、インクレメンタル測定装置の場合、測定
のだめの出発位置として役立ちかつ故障後も再び再生で
きる基準位置を決めることは、測定を始めるために非常
に重要である。
のだめの出発位置として役立ちかつ故障後も再び再生で
きる基準位置を決めることは、測定を始めるために非常
に重要である。
測定を始める前に、または−例えば停電によシーインク
レメンタル位置測定装置で位置測定値が失われる故障で
も、相対的に運動する被測定物体０３、Ｏ，が静止して
いることから出発する。従って、第一の目盛板Ｅｌｌ
は、ハウジングＧＶＣ対するその目盛ゼロ点の位置が知
られてない位置に存在する。
レメンタル位置測定装置で位置測定値が失われる故障で
も、相対的に運動する被測定物体０３、Ｏ，が静止して
いることから出発する。従って、第一の目盛板Ｅｌｌ
は、ハウジングＧＶＣ対するその目盛ゼロ点の位置が知
られてない位置に存在する。
さて、この基準位置を得るために、ハウジングＧＫ関し
て第一の目盛板Ｓ１ の瞬間的位置を決めなければなら
ない。この目的のために、周知の、従って詳細には云い
表わさない仕方で分析装置の差動計数器をゼロの値にま
たは他の数値に調整し、そして同時圧、第一の走査ユニ
ットム１ を、ハウジングＧＫ固定されたモータＭによ
り逆転装置２を介して回転させることによシ較正作動方
式をスイッチオンする。最初に、例えば、固定した第二
の走査板ＡＰ２の第二の参照マーク走査フィールドが、
第一の走ｆユニツ）Ａ１ と同期して回転する第二の目
盛板Ｓ、上の第二の参照マークＲ１１を走査すれば、そ
の結果固定した第二の走査ユニットＡ！ の所属の第二
の光電要素Ｐ！ が信号を生じ、その信号が較正作動方
式において分析装置の差動計数器をスタートさせる。こ
の時点から、回転する第二の目盛板８！ の第二のイン
クレメンタル目盛Ｔ。
て第一の目盛板Ｓ１ の瞬間的位置を決めなければなら
ない。この目的のために、周知の、従って詳細には云い
表わさない仕方で分析装置の差動計数器をゼロの値にま
たは他の数値に調整し、そして同時圧、第一の走査ユニ
ットム１ を、ハウジングＧＫ固定されたモータＭによ
り逆転装置２を介して回転させることによシ較正作動方
式をスイッチオンする。最初に、例えば、固定した第二
の走査板ＡＰ２の第二の参照マーク走査フィールドが、
第一の走ｆユニツ）Ａ１ と同期して回転する第二の目
盛板Ｓ、上の第二の参照マークＲ１１を走査すれば、そ
の結果固定した第二の走査ユニットＡ！ の所属の第二
の光電要素Ｐ！ が信号を生じ、その信号が較正作動方
式において分析装置の差動計数器をスタートさせる。こ
の時点から、回転する第二の目盛板８！ の第二のイン
クレメンタル目盛Ｔ。
を、固定した第二の走査板ムＰｔ上の所属の第二の目盛
走査フィールドによシ走査したときに所属の第二〇光電
要素Ｐ！ から発生した周期的アナログ信号が分析され
て、計数ノ（ルスが差動計数器に第二の入力端を介して
供給される。
走査フィールドによシ走査したときに所属の第二〇光電
要素Ｐ！ から発生した周期的アナログ信号が分析され
て、計数ノ（ルスが差動計数器に第二の入力端を介して
供給される。
計数器始動後および第二のインクレメンタル目盛Ｔ！
の目盛増分の計数開始後、いつか、静止している第一の
目盛板Ｓ、 上に次に配置された第一の参照マークＲｘ
ｉが、回転する第一の走査板ＡＰｌ上の所属の第一の参
照マーク走査フィールドにより走査され、そして第一の
走査ユニツ）Ａｓ の所属の第一の光電要素Ｐ１ の信
号によシ第一の目盛板８１ の第一のインクレメンタル
目盛Ｔ１ の目盛増分の計数が始められる。第一のイン
クレメンタル目盛Ｔ１ と第二のインクレメンタル目盛
Ｔ！ の目盛増分を同時に計測することによシ、両方の
数列の差がゼロになるので差動計数器が停止される。同
時に、第一の走査板ＡＰＩ上の第一のコードマーク走査
フィールドが、走査された第一の参照マークＲ＋ｉに所
属の第一のコードマークＯｒｉから第一の参照マークＲ
１ｉの絶対的な位置の値を読取る。第二の参照マークＲ
１１を走査したときくい同時に第二の走査板ＡＰ、上に
ある所属の第二のコードマーク走査フィールドの付設さ
れた第二のコードマークＣ８１からこの第二の参照マー
クＲ１ｉの絶対的な位置の値が読取られる。第一の参照
マークＲ＋ｉと第二の参照マークＲｚｉのこれらの両方
の絶対的な位置の値が分析装置に供給される。第一の参
照マークＲ１ｉの絶対的な位置の値に、第二の参照マー
クＲｚｉの絶対的な位置の値ならびに両方の参照マーク
ＲＩｉ ＋ ＲＺ’の間の間隔に対応する差動計数器の
計数値が符号によって重畳される。分析装置では、今や
、第一の目盛板８ＩがハウジングＧＫ対して瞬間的にと
る絶対的な位置の値が定められている。モータＭを止め
て、それで較正過程を終了する。
の目盛増分の計数開始後、いつか、静止している第一の
目盛板Ｓ、 上に次に配置された第一の参照マークＲｘ
ｉが、回転する第一の走査板ＡＰｌ上の所属の第一の参
照マーク走査フィールドにより走査され、そして第一の
走査ユニツ）Ａｓ の所属の第一の光電要素Ｐ１ の信
号によシ第一の目盛板８１ の第一のインクレメンタル
目盛Ｔ１ の目盛増分の計数が始められる。第一のイン
クレメンタル目盛Ｔ１ と第二のインクレメンタル目盛
Ｔ！ の目盛増分を同時に計測することによシ、両方の
数列の差がゼロになるので差動計数器が停止される。同
時に、第一の走査板ＡＰＩ上の第一のコードマーク走査
フィールドが、走査された第一の参照マークＲ＋ｉに所
属の第一のコードマークＯｒｉから第一の参照マークＲ
１ｉの絶対的な位置の値を読取る。第二の参照マークＲ
１１を走査したときくい同時に第二の走査板ＡＰ、上に
ある所属の第二のコードマーク走査フィールドの付設さ
れた第二のコードマークＣ８１からこの第二の参照マー
クＲ１ｉの絶対的な位置の値が読取られる。第一の参照
マークＲ＋ｉと第二の参照マークＲｚｉのこれらの両方
の絶対的な位置の値が分析装置に供給される。第一の参
照マークＲ１ｉの絶対的な位置の値に、第二の参照マー
クＲｚｉの絶対的な位置の値ならびに両方の参照マーク
ＲＩｉ ＋ ＲＺ’の間の間隔に対応する差動計数器の
計数値が符号によって重畳される。分析装置では、今や
、第一の目盛板８ＩがハウジングＧＫ対して瞬間的にと
る絶対的な位置の値が定められている。モータＭを止め
て、それで較正過程を終了する。
今や、実際の測定過程の間、差動計数器は、第一の目盛
板Ｓ１ をハウジングＧＫ関して回転させながら、静止
している第一の走査板ＡＰＩ上の第一の目盛走査フィー
ルドにより、および所属の第一の光電要素Ｐｔ により
第一のインクレメンタル目盛Ｔ１ を走査したときに発
生される計数パルスが第一の入力端を介して貯えられる
。
板Ｓ１ をハウジングＧＫ関して回転させながら、静止
している第一の走査板ＡＰＩ上の第一の目盛走査フィー
ルドにより、および所属の第一の光電要素Ｐｔ により
第一のインクレメンタル目盛Ｔ１ を走査したときに発
生される計数パルスが第一の入力端を介して貯えられる
。
故障が発生したとき、例えば停電の場合に、たとえ第一
の目盛板８１ をその瞬間位置から動かすことができな
いとしても、第一の目盛板８Ｉのための基準位置を前述
の較正過程により有意に再生することができる。第一の
目盛板８Ｉ を動かすことができないのは、例えば正に
、加工機械のスピンドルを介して軸Ｗと作用結合してい
る工具が、故障が発生したときに被加工片に係合してい
るからである。
の目盛板８１ をその瞬間位置から動かすことができな
いとしても、第一の目盛板８Ｉのための基準位置を前述
の較正過程により有意に再生することができる。第一の
目盛板８Ｉ を動かすことができないのは、例えば正に
、加工機械のスピンドルを介して軸Ｗと作用結合してい
る工具が、故障が発生したときに被加工片に係合してい
るからである。
較正過程と再生過程の記載において、軸Ｗが第一の目盛
板Ｅ＋、と共にハウジングＧに関して静止していると仮
定したが、これは条件ではない。
板Ｅ＋、と共にハウジングＧに関して静止していると仮
定したが、これは条件ではない。
実際の測定過程においても、第一の走査ユニットム！
の、従って第二の目盛板Ｂ、の静止状態は同様に条件で
はない。第一の走査ユニットＡＩ が、従って第二の目
盛板Ｂ！ がハウジングＧに関して相対回転しても、実
際の測定過程では、測定過程になんら影響がない。なぜ
なら、この相対回転の際に、第二の目盛板８雪 の第二
のインクレメンタル目盛Ｔ！ を走査したときく得られ
た計数パルスが差動計数器の第二の入力端に供給され、
一方第一の目盛板Ｓ１ の第一のインクレメンタル目盛
ＴＩ を走査したときに得られた計数パルスが、実際の
測定の間、差動計数器の第一の入力端に導かれるからで
ある。第一の走査二二ッ）ＡＩ のこの相対運動の際に
得られた計数値が実際の測定の計数値に第一の走査ユニ
ットム１ の回転方向に応じて加算または引算で重畳さ
れる。それで、実際の測定過程の際のハウジングＧに関
する第一の走査ユニットＡ、と第二の目盛板日！ の休
止位置が任意であるので、較正過程または再生過程の後
に走査ユニットＡＩ を再生可能に位置決めするために
第一の走査ユニットＡ１ のためのハウジングＧの機械
的なストッパーは必要でない。その上、このようなスト
ッパーには摩耗がつきものである。
の、従って第二の目盛板Ｂ、の静止状態は同様に条件で
はない。第一の走査ユニットＡＩ が、従って第二の目
盛板Ｂ！ がハウジングＧに関して相対回転しても、実
際の測定過程では、測定過程になんら影響がない。なぜ
なら、この相対回転の際に、第二の目盛板８雪 の第二
のインクレメンタル目盛Ｔ！ を走査したときく得られ
た計数パルスが差動計数器の第二の入力端に供給され、
一方第一の目盛板Ｓ１ の第一のインクレメンタル目盛
ＴＩ を走査したときに得られた計数パルスが、実際の
測定の間、差動計数器の第一の入力端に導かれるからで
ある。第一の走査二二ッ）ＡＩ のこの相対運動の際に
得られた計数値が実際の測定の計数値に第一の走査ユニ
ットム１ の回転方向に応じて加算または引算で重畳さ
れる。それで、実際の測定過程の際のハウジングＧに関
する第一の走査ユニットＡ、と第二の目盛板日！ の休
止位置が任意であるので、較正過程または再生過程の後
に走査ユニットＡＩ を再生可能に位置決めするために
第一の走査ユニットＡ１ のためのハウジングＧの機械
的なストッパーは必要でない。その上、このようなスト
ッパーには摩耗がつきものである。
特に簡単な発展例では、第一の目盛板Ｓ！ にただ一つ
の第一の参照マークＲ，が、かつ第二の目盛板８重 に
ただ一つの第二の参照マークＲ。
の第一の参照マークＲ，が、かつ第二の目盛板８重 に
ただ一つの第二の参照マークＲ。
が設けられている。両方の参照マークＲ１＊ Ｒ１はそ
れぞれ両方のインクレメンタル目盛ＴＩ＋ＴＩの目盛ゼ
ロ点をなしていてコードマークによるコード化を必要と
しないので、両方の目盛板Ｓ１＋８！ の製造が単純化
される。
れぞれ両方のインクレメンタル目盛ＴＩ＋ＴＩの目盛ゼ
ロ点をなしていてコードマークによるコード化を必要と
しないので、両方の目盛板Ｓ１＋８！ の製造が単純化
される。
較正過程の際Ｋまたは再生過程の際に差動計数器で探知
された、第一の参照マークＲ１と第二の参照マークＲ−
の間の間隔に対する数値は、この場合には直接、第一の
目盛板日１ がハウジングＧに対し瞬間的にとる絶対的
な位置の値である。
された、第一の参照マークＲ１と第二の参照マークＲ−
の間の間隔に対する数値は、この場合には直接、第一の
目盛板日１ がハウジングＧに対し瞬間的にとる絶対的
な位置の値である。
第一の走査ユニットムｌ の回転は、第一の照明ユニツ
）Ｂｌ および第一〇光電要素Ｐｉ と接続された電線
Ｅのために、完全な円よ＃）着干大きく、シかも両方の
回転方向に交互の回動範囲にわたって較正過程または再
生過程の間行なわれる。この逆転作動によれば、個々の
作業方法の間で、例えばその都度の基準位置のプログラ
ム制御された検査が可能となる。
）Ｂｌ および第一〇光電要素Ｐｉ と接続された電線
Ｅのために、完全な円よ＃）着干大きく、シかも両方の
回転方向に交互の回動範囲にわたって較正過程または再
生過程の間行なわれる。この逆転作動によれば、個々の
作業方法の間で、例えばその都度の基準位置のプログラ
ム制御された検査が可能となる。
示されてない仕方で、第一の照明ユニツ） Ｂｌと第一
〇光電要素ＰＲの電流供給を、電線Ｅによる代シに、ス
リップリングによって行なうこともできる。この場合に
は、第一の走査ユニツ）Ａ＋ を第二の目盛板Ｓ！ と
共に逆転伝動装置ｚなしでただ一つの回転方向に任意の
多数の回転数だけ回転させることができる。
〇光電要素ＰＲの電流供給を、電線Ｅによる代シに、ス
リップリングによって行なうこともできる。この場合に
は、第一の走査ユニツ）Ａ＋ を第二の目盛板Ｓ！ と
共に逆転伝動装置ｚなしでただ一つの回転方向に任意の
多数の回転数だけ回転させることができる。
本発明は角度測定装置でも長さ測定装置でも使用可能で
あシ、シかも前述した光電的測定装置の外に例えば磁気
的、誘導的および容量的測定装置でも使用できる。
あシ、シかも前述した光電的測定装置の外に例えば磁気
的、誘導的および容量的測定装置でも使用できる。
第１図は角度測定装置の縦断面図、第２図は第一の目盛
板の部分平面図、第３図は第二の目盛板の部分平面図で
ある。 ０１・・・第一の物体 ０！・・・第二の物体８電・・
・第一の目盛担持体 Ｓ＝・・・第二の目盛担持体ＴＩ
・・・第一の目盛 Ｔ２・・・第二の目盛Ｒｓｉ ・・
・第一の参照マーク Ｒｚｉ ・・・第二の参照マーク
Ａ、・・・第一の走査ユニット Ａ！・・・第二の走査
ユニット代理人 江崎光好 代理人 江 崎 光 史
板の部分平面図、第３図は第二の目盛板の部分平面図で
ある。 ０１・・・第一の物体 ０！・・・第二の物体８電・・
・第一の目盛担持体 Ｓ＝・・・第二の目盛担持体ＴＩ
・・・第一の目盛 Ｔ２・・・第二の目盛Ｒｓｉ ・・
・第一の参照マーク Ｒｚｉ ・・・第二の参照マーク
Ａ、・・・第一の走査ユニット Ａ！・・・第二の走査
ユニット代理人 江崎光好 代理人 江 崎 光 史
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） 第一の物体と結合された目盛担持体の、少なく
とも一つの参照マークが設けられた目盛が走査ユニット
によシ走査可能である、相互に運動する二つの物体の相
対位置を測定するための位置測定装置において、測定と
運動の中断稜相互の被測定物体の任意の未知の瞬間位置
で基準位置を再生するために次の特徴、すなわち ａ）少なくとも−りの第一の参照マーク（Ｒ＋１）が設
けられた第一の目盛担持体（８１）の第一の目盛（ＴＩ
）を走査するための第一走査ユニン）（ＡＩ）が第二の
目盛担持体（Ｓ：）と固く結合され、この第二の目盛担
持体は、少なくとも一つの第二の参照１−ク（Ｒ１１）
が設けられた第二の目盛（Ｔ、）を有し、 ｂ）少なくとも一つの第二の参照マーク（Ｒ＊１）が設
けられた第二の目盛（Ｔｚ ）を走査するために、第二
の走査ユニツ） （Ａｍ）が第二の物体（０りと固く結
合され、 Ｃ）第一の目盛担持体（８＋）の少なくとも一つの第一
の参照マーク（Ｒ＋１ ）を走査するために１かつ第二
の走査ユニッ）（Ａ、）Ｋよシ第二の目盛担持体（Ｓり
の少なくとも一つの第二の参照マーク（Ｒ＋ｔ ）を走
査するために１第一の走査ユニット（ム１）が第二の目
盛担持体（８りと共に第一の目盛担持体（８１”） Ｋ
対しておよび第二の物体（０りに対して調整可能である
ことを特徴とする角度測定装置。 （２） 第二の目盛板の形態の第二の目盛相持体（Ｂｚ
）が第一の目盛板の形態の第一の目盛担持体（Ｓｔ ）
ｒｃ対し同心に回転可能に支承され、かつ第一の走査
ユニツ）（Ａ１）と共に駆動装置（Ｍ、Ｚ）により回転
可能である、特許請求の範囲第１項に記載の角度測定装
置。 （３） 第一の参照マーク（Ｒｕ ）にそれぞれ第一の
コードマーク（０１ｉ ）が、かつ第二の参照マーク（
Ｒｍｉ ）にそれぞれ第二のコードマーク（Ｏ鵞ｉ ）
が付設され、その際コード１−り（Ｏｓｉ 、 ０ｚｉ
）が所属の参照マーク（Ｒｔｔ ＊Ｒ冨ｉ ）の絶対的
な位置の値をコード化された形態で含む、特許請求の範
囲第１項に記載の角度測定装置。 （４１参照マーク（Ｒｌｉ 、 Ｒｍｉ ）がそれぞれ
、決められた不規則な直線分布を有する直線群からなる
、特許請求の範囲第３項に記載の角度測定装置。 （５）駆動装置がモータ（Ｍ）と逆転伝動装置（２）か
らなる、特許請求の範囲第２項に記載の角度測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19843412063 DE3412063A1 (de) | 1984-03-31 | 1984-03-31 | Positionsmesseinrichtung |
| DE3412063.7 | 1984-03-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60225015A true JPS60225015A (ja) | 1985-11-09 |
| JPH0464407B2 JPH0464407B2 (ja) | 1992-10-14 |
Family
ID=6232238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60065090A Granted JPS60225015A (ja) | 1984-03-31 | 1985-03-30 | 位置測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4667096A (ja) |
| EP (1) | EP0157239B1 (ja) |
| JP (1) | JPS60225015A (ja) |
| AT (1) | ATE50058T1 (ja) |
| DE (2) | DE3412063A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4810892A (en) * | 1984-10-08 | 1989-03-07 | Ag Fur Industrielle Elektronik Agie | Unit and method utilizing a data medium for determining the relative position between two parts |
| DE3809569A1 (de) * | 1988-03-22 | 1989-10-05 | Frankl & Kirchner | Positionsgeber |
| EP0440832B1 (de) * | 1990-02-05 | 1993-06-09 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Winkelmesstisch |
| ATE108274T1 (de) * | 1991-05-18 | 1994-07-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Interferentielle positionsmessvorrichtung. |
| DE9110524U1 (ja) * | 1991-08-26 | 1992-09-24 | Siemens Ag, 8000 Muenchen, De | |
| DE59105197D1 (de) * | 1991-11-04 | 1995-05-18 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale. |
| US5698851A (en) * | 1996-04-03 | 1997-12-16 | Placa Ltd. | Device and method for precise angular measurement by mapping small rotations into large phase shifts |
| DE19904471B4 (de) | 1999-02-04 | 2011-03-31 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Drehgeber |
| DE19907326B4 (de) | 1999-02-20 | 2013-04-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Winkelmeßsystem |
| US7152456B2 (en) * | 2004-01-14 | 2006-12-26 | Romer Incorporated | Automated robotic measuring system |
| US7693325B2 (en) * | 2004-01-14 | 2010-04-06 | Hexagon Metrology, Inc. | Transprojection of geometry data |
| US20060187573A1 (en) * | 2005-02-24 | 2006-08-24 | Electro-Sensors, Inc. | Sensor equipment guard |
| US7525276B2 (en) * | 2005-09-13 | 2009-04-28 | Romer, Inc. | Vehicle having an articulator |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH365231A (fr) * | 1959-03-06 | 1962-10-31 | Genevoise Instr Physique | Convertisseur analogique numérique |
| DE1673887A1 (de) * | 1968-01-16 | 1972-01-20 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Anordnung zur Bestimmung der Lage zweier relativ zueinander beweglicher Teile |
| US3483391A (en) * | 1969-01-23 | 1969-12-09 | Fred H Jensen | Spiral element rotary-sensing mechanism |
| DE1933254C3 (de) * | 1969-07-01 | 1979-08-16 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Inkrementales Längen- oder Winkelmeßsystem |
| GB1284641A (en) * | 1970-01-08 | 1972-08-09 | Ferranti Ltd | Improvements relating to measuring apparatus |
| DE3018496A1 (de) * | 1980-05-14 | 1981-11-19 | Walter Dipl.-Ing. Dr.-Ing. 8012 Ottobrunn Mehnert | Verfahren und vorrichtung zur messung eines winkels |
| DE3018527A1 (de) * | 1980-05-14 | 1981-11-19 | Walter Dipl.-Ing. Dr.-Ing. 8012 Ottobrunn Mehnert | Verfahren und vorrichtung zur messung einer laenge |
| DE3144334C2 (de) * | 1981-11-07 | 1985-06-13 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Wegmeßeinrichtung mit Referenzmarken |
| DE3311204A1 (de) * | 1983-03-26 | 1984-10-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung |
-
1984
- 1984-03-31 DE DE19843412063 patent/DE3412063A1/de active Granted
-
1985
- 1985-03-13 EP EP85102842A patent/EP0157239B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1985-03-13 AT AT85102842T patent/ATE50058T1/de not_active IP Right Cessation
- 1985-03-13 DE DE8585102842T patent/DE3575781D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1985-03-27 US US06/716,395 patent/US4667096A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-03-30 JP JP60065090A patent/JPS60225015A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0157239A2 (de) | 1985-10-09 |
| JPH0464407B2 (ja) | 1992-10-14 |
| US4667096A (en) | 1987-05-19 |
| DE3575781D1 (de) | 1990-03-08 |
| DE3412063C2 (ja) | 1987-12-23 |
| ATE50058T1 (de) | 1990-02-15 |
| EP0157239B1 (de) | 1990-01-31 |
| DE3412063A1 (de) | 1985-11-28 |
| EP0157239A3 (en) | 1987-08-26 |
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