JPS60221928A - 放電表示装置の製造方法 - Google Patents
放電表示装置の製造方法Info
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- JPS60221928A JPS60221928A JP59079218A JP7921884A JPS60221928A JP S60221928 A JPS60221928 A JP S60221928A JP 59079218 A JP59079218 A JP 59079218A JP 7921884 A JP7921884 A JP 7921884A JP S60221928 A JPS60221928 A JP S60221928A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
- H01J11/20—Constructional details
- H01J11/22—Electrodes, e.g. special shape, material or configuration
-
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
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- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
- H01J11/20—Constructional details
- H01J11/22—Electrodes, e.g. special shape, material or configuration
- H01J11/32—Disposition of the electrodes
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- H—ELECTRICITY
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J17/00—Gas-filled discharge tubes with solid cathode
- H01J17/02—Details
- H01J17/04—Electrodes; Screens
- H01J17/06—Cathodes
Landscapes
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業−1の利用う) !l!J’
本発明は、放電表ηく装置の製造方法特にそのLaB6
陰極の形成法に関Jる。
陰極の形成法に関Jる。
背景技術とその問題点
近年、放電表示装置特にXYマI〜ワックスの直流型放
電表月くパネル(プラズマ・ディスプレイ・パネルP
I) P )の開発が進められ′Cいる。この開発に於
て根本的問題となるのは、放電効率の+rtLL即ら低
消費電力で晶輝度を実現すること、電極その他の材料の
物理的、化学的安定化を図っ−ζ放電表示パネルの寿命
を延長させることの2点である。
電表月くパネル(プラズマ・ディスプレイ・パネルP
I) P )の開発が進められ′Cいる。この開発に於
て根本的問題となるのは、放電効率の+rtLL即ら低
消費電力で晶輝度を実現すること、電極その他の材料の
物理的、化学的安定化を図っ−ζ放電表示パネルの寿命
を延長させることの2点である。
すなわち、電極(特に陰極)材料、構造面での研究がそ
の鍵を握っていると君っCも過百ではない。
の鍵を握っていると君っCも過百ではない。
従来は、陽極及び陰極として共にNiを使用してきてい
る。Niは放電のスパッタリンクに対して弱く、Ni陰
極は数秒も経ないうちに劣化し′(シまう。
る。Niは放電のスパッタリンクに対して弱く、Ni陰
極は数秒も経ないうちに劣化し′(シまう。
この為、水銀11gを封入し電極表面に41着させるこ
とによっ゛ζスパッタリングを抑えてきた。しかし、水
銀を14人した場合、経時変化ご水銀の不均一分布が発
生ずるので、大容量の放電表示パネルでは長時間にわた
っ−ζ各表ボセルの放亀特矧を均一に保ことがゲ汗しい
。
とによっ゛ζスパッタリングを抑えてきた。しかし、水
銀を14人した場合、経時変化ご水銀の不均一分布が発
生ずるので、大容量の放電表示パネルでは長時間にわた
っ−ζ各表ボセルの放亀特矧を均一に保ことがゲ汗しい
。
また、例えばコックピット等の密室で使用する放電表示
パネルにおい′ζば危険性を考慮し゛ζ水銀を使用しな
いことが要求され°(いる。
パネルにおい′ζば危険性を考慮し゛ζ水銀を使用しな
いことが要求され°(いる。
一方、陰極材料としてLaB6が注目されている。
このLaB6は、(i)仕事関数が低く (γ係数が大
)放電効率が高いごと、(ii )共有結合物質である
ため、物理的、化学的安定性にすぐれること等の利点が
ある。
)放電効率が高いごと、(ii )共有結合物質である
ため、物理的、化学的安定性にすぐれること等の利点が
ある。
しかし乍ら、このLaBe陰極は未だ実用化に至ってい
ない。その理由は、薄膜蒸着法やプラズマ溶射法では′
M造工程が複116ごmlストM1なこと、特に大容量
、大画面での比較的均一な電極形成が難しいことによる
。また低コストで他のパネル構造と共に厚膜印刷法での
形成が出来ないことも原因しζいる。すなわち、Lac
e電極を厚膜目j刷法で形成する場合、印刷塗布後に8
00〜900’c 、 N 2雰囲気で焼成するのが一
般的である。しかし、放電表示パネルでは基板がガラス
のために600℃程度しか温度を」―げられないこと、
他の電極、バリア・などの構造物が酸化物系で通電空気
中で焼成すること等のために、 La8g陰極の形成が
困難゛ごある。またLa116は融点が2300℃程度
と高く、600°C程度の焼成温度では焼結されないた
め、形成後の抵抗は109Ωか或いはそれ以上になって
しまう。
ない。その理由は、薄膜蒸着法やプラズマ溶射法では′
M造工程が複116ごmlストM1なこと、特に大容量
、大画面での比較的均一な電極形成が難しいことによる
。また低コストで他のパネル構造と共に厚膜印刷法での
形成が出来ないことも原因しζいる。すなわち、Lac
e電極を厚膜目j刷法で形成する場合、印刷塗布後に8
00〜900’c 、 N 2雰囲気で焼成するのが一
般的である。しかし、放電表示パネルでは基板がガラス
のために600℃程度しか温度を」―げられないこと、
他の電極、バリア・などの構造物が酸化物系で通電空気
中で焼成すること等のために、 La8g陰極の形成が
困難゛ごある。またLa116は融点が2300℃程度
と高く、600°C程度の焼成温度では焼結されないた
め、形成後の抵抗は109Ωか或いはそれ以上になって
しまう。
厚膜印刷法を採用すればLaBG粒子同志の結合力を得
るために一般にフリットガラス等のバインダー物質が混
入されるが、このように形成後の抵抗が高いものに、さ
らにガラスバインダーを入れることば出来ない。
るために一般にフリットガラス等のバインダー物質が混
入されるが、このように形成後の抵抗が高いものに、さ
らにガラスバインダーを入れることば出来ない。
一方、本出願人は厚膜印刷性によってLaBe陰極を形
成できるようにしたLa1le陰極の形成法を開発した
。これはガラスバインダとしてイオン電気伝導のあるア
ルカリガラスを用いたLaBeペーストを作製し、これ
をNi等の一ト地電極上に印刷塗布し−ご500〜60
0℃、空気中で焼成する。その後、放電表示パネルのフ
リットシール、加熱排気、ガス封入、最終封止工程の後
、陽極及び陰極間に電圧を印加して高電流ガス放電によ
る活性化処理を施すものである。この活性化処理でLa
ce Itiif表面にはガラスが存在しなくなり L
aB6が表面に露出されると共にLaB6粒子表面が融
けて互いにつながった状態になり 1、aB6陰極が形
成される。
成できるようにしたLa1le陰極の形成法を開発した
。これはガラスバインダとしてイオン電気伝導のあるア
ルカリガラスを用いたLaBeペーストを作製し、これ
をNi等の一ト地電極上に印刷塗布し−ご500〜60
0℃、空気中で焼成する。その後、放電表示パネルのフ
リットシール、加熱排気、ガス封入、最終封止工程の後
、陽極及び陰極間に電圧を印加して高電流ガス放電によ
る活性化処理を施すものである。この活性化処理でLa
ce Itiif表面にはガラスが存在しなくなり L
aB6が表面に露出されると共にLaB6粒子表面が融
けて互いにつながった状態になり 1、aB6陰極が形
成される。
しかるに、LaBeペーストにおいて出来ればガラスバ
インダが無い方が望ましい。それは、Lace粒子表面
、LaB6粒子間をガラスバインダが埋め尽すので導伝
経路が形成され難く電極活性化が難しくなるごと、pb
金含有フリットガラスをバインダとすれば、析出した金
属鉛のスパッタリングにより、寿命特性に悪影響を及ぼ
ず憚れがあること等のためである。
インダが無い方が望ましい。それは、Lace粒子表面
、LaB6粒子間をガラスバインダが埋め尽すので導伝
経路が形成され難く電極活性化が難しくなるごと、pb
金含有フリットガラスをバインダとすれば、析出した金
属鉛のスパッタリングにより、寿命特性に悪影響を及ぼ
ず憚れがあること等のためである。
発明の目的
本発明は、」二連の点に鑑み、ガラスバインダ含有のL
aB6ペースI・を用いることなく良好なLa116陰
極の形成をI」能にした放電表示装置の製造方法を1是
4j(するもの”である。
aB6ペースI・を用いることなく良好なLa116陰
極の形成をI」能にした放電表示装置の製造方法を1是
4j(するもの”である。
発明の概要
本発明は、ガラスバインダ盆石の導電ペーストを塗布し
仮乾燥し、この導電ペースト層上にL a B’6ペー
スト或は電着等によってカラスバインダを含まないLa
56のJ背を形成して後、導電ペースト層及びLa11
6の層を同時焼成し、排気工程を経た後にIロ1電流ガ
ス放電によって焼成後のLaB6層を活性化処理してL
a11g陰極を形成する。
仮乾燥し、この導電ペースト層上にL a B’6ペー
スト或は電着等によってカラスバインダを含まないLa
56のJ背を形成して後、導電ペースト層及びLa11
6の層を同時焼成し、排気工程を経た後にIロ1電流ガ
ス放電によって焼成後のLaB6層を活性化処理してL
a11g陰極を形成する。
この発明の製法によれば、接着力の強いLaBe陰極が
形成されると同時に、形成時の活性化処理が容易になり
、またガラスバインダの影響が少なく寿命特性のよい放
電表示装置が得られる。
形成されると同時に、形成時の活性化処理が容易になり
、またガラスバインダの影響が少なく寿命特性のよい放
電表示装置が得られる。
実施例
先ず、第1図を用いて本発明に通用される放電表示装置
の一例を説明する。図ば、1−リガー放電方式の直流型
放電表示パネルに通用した場合である。この表示パネル
(11は前面ガラス基板(2)、背−ハiガラス基板(
3)及びこれらに挾まれたXYマトリックス形状の陽極
(4)、陰極(5)から成り、各陽極(4)は絶縁性の
バリア(6)によっ°C仕切られζいる。背面ガラス基
板(3)では陰極(5)の下部に絶縁誘電層(7)を介
して例えばA1よりなるトリガー電極(8)が陰極(5
)と平行に設りられる。この表示パネル+11の製造は
次のようにしてなされる。先ず前面ガラス基板(2)上
に陽極(4)と絶縁性のバリア(6)が厚膜印刷性によ
って形成される。また背面ガラス基& (31j−にト
リガー電極(8)、絶縁誘電層(7)及び陰極(5)が
順次厚膜印刷法によっ′ζ形成される。これら各構成部
はEll刷後、焼成される。次にこの2枚のガラス基板
(2)及び(3)を陽極(4)を陰極(5)とが互に直
交するように対向して配し、フリットシールされる。そ
の後、加熱排気、ガス封入(例えばNe−Arガス)及
び最終封止等の工程を経て完成される。
の一例を説明する。図ば、1−リガー放電方式の直流型
放電表示パネルに通用した場合である。この表示パネル
(11は前面ガラス基板(2)、背−ハiガラス基板(
3)及びこれらに挾まれたXYマトリックス形状の陽極
(4)、陰極(5)から成り、各陽極(4)は絶縁性の
バリア(6)によっ°C仕切られζいる。背面ガラス基
板(3)では陰極(5)の下部に絶縁誘電層(7)を介
して例えばA1よりなるトリガー電極(8)が陰極(5
)と平行に設りられる。この表示パネル+11の製造は
次のようにしてなされる。先ず前面ガラス基板(2)上
に陽極(4)と絶縁性のバリア(6)が厚膜印刷性によ
って形成される。また背面ガラス基& (31j−にト
リガー電極(8)、絶縁誘電層(7)及び陰極(5)が
順次厚膜印刷法によっ′ζ形成される。これら各構成部
はEll刷後、焼成される。次にこの2枚のガラス基板
(2)及び(3)を陽極(4)を陰極(5)とが互に直
交するように対向して配し、フリットシールされる。そ
の後、加熱排気、ガス封入(例えばNe−Arガス)及
び最終封止等の工程を経て完成される。
かかる放電表示パネル(1)においζば、陽極(4)と
陰極(5)に夫々選択的に駆動電圧が印加されることに
よっζ、その選択された陽極(4)と陰極(5)間の交
点で放電発光され、例えば線順次的に表示される。
陰極(5)に夫々選択的に駆動電圧が印加されることに
よっζ、その選択された陽極(4)と陰極(5)間の交
点で放電発光され、例えば線順次的に表示される。
特にこの表示パネル(11では陽極(4)及び陰極(5
1間の放電に先立つ°ζl IJガー電極(8)にトリ
ガー電圧が与えられ、これによって]・リガー電極(8
)に対応Jる部分の絶縁誘電層(7)−ヒに壁電圧が誘
起され、此処と選択された陰極(5)間で瞬時の放電が
なされ、陰極(5)に沿ったガス空間がイオン化される
ことによって以後の選択された陽極(4)及び陰極(5
月用のh交電を容易にしζいる。
1間の放電に先立つ°ζl IJガー電極(8)にトリ
ガー電圧が与えられ、これによって]・リガー電極(8
)に対応Jる部分の絶縁誘電層(7)−ヒに壁電圧が誘
起され、此処と選択された陰極(5)間で瞬時の放電が
なされ、陰極(5)に沿ったガス空間がイオン化される
ことによって以後の選択された陽極(4)及び陰極(5
月用のh交電を容易にしζいる。
本発明は、かかる放電表示パネルにお4Jる1会極(5
)をLaB5陰極で構成し、このLaB6陰極をガラス
バインダ含イjの1、aB6ペーストを用いることなく
形成するものである。以ト第2図を用い゛ζ本発明の実
施例を述べる。
)をLaB5陰極で構成し、このLaB6陰極をガラス
バインダ含イjの1、aB6ペーストを用いることなく
形成するものである。以ト第2図を用い゛ζ本発明の実
施例を述べる。
本実施例では、予めガラスバインダを含まず、LaB5
微粉末と適当なビークル(溶媒)の力からなるLaB6
ペーストを作製する。具体的には粗粉砕されたLaBe
焼結粉末をボールミルによってLaB5 @粉末とする
。このLaB6微粉末は数μm以ト好ましくは1〜3μ
mの平均粒径とし、粒iイ5μm以上の粒子が全体の5
%以上であるものとする。 LaBeを微粉末としたの
ち、不純物除去のために純水洗浄し、その後ビークルを
混合してLat36ペーストを冑る。
微粉末と適当なビークル(溶媒)の力からなるLaB6
ペーストを作製する。具体的には粗粉砕されたLaBe
焼結粉末をボールミルによってLaB5 @粉末とする
。このLaB6微粉末は数μm以ト好ましくは1〜3μ
mの平均粒径とし、粒iイ5μm以上の粒子が全体の5
%以上であるものとする。 LaBeを微粉末としたの
ち、不純物除去のために純水洗浄し、その後ビークルを
混合してLat36ペーストを冑る。
そして、先ず第2図Aに示すように背面ガラス基45
(3+上にトリガー電極(8)及び絶縁誘電層(7)を
形成した後、この絶縁誘電層(7)上に、形成すべき陰
極パターンに沿っ′ζガラスバインダが含有された4電
ヘ−71,1−例えば旧ペーストを印刷塗布しNiヘー
ストIWOωを形成する。このNIペーストr¥i 0
olは爾後電流供給用の土地電極となるものである。
(3+上にトリガー電極(8)及び絶縁誘電層(7)を
形成した後、この絶縁誘電層(7)上に、形成すべき陰
極パターンに沿っ′ζガラスバインダが含有された4電
ヘ−71,1−例えば旧ペーストを印刷塗布しNiヘー
ストIWOωを形成する。このNIペーストr¥i 0
olは爾後電流供給用の土地電極となるものである。
次に、第2図Bに承ずようにNiペースt・I# Oo
lを乾燥した後、このNiペースト層αω上に上記のL
aB6ペーストを印刷塗布してLaBeベースト層(1
1)を形成する。
lを乾燥した後、このNiペースト層αω上に上記のL
aB6ペーストを印刷塗布してLaBeベースト層(1
1)を形成する。
次に、第2図CにボずようにLaB6ペースト層(11
)を乾燥した後、NiペースI−1u (Ill)と
LaB+;ペースト1m(11)を同時に焼成する。こ
のときの焼成条件は、空気中、500〜600℃例えば
約560℃で行う。この焼成によってN目・地層(10
’)が形成される。また焼成中にNiペースト層0ωに
含有されζいたガラスバインダの一部がLaB5 If
m (11’)内に浸潤される。このガラスバインダの
浸潤によってガラスバインダが浸潤された部分のLaB
61fjf(Il’a)では、Nil□地層(I O’
)と LaB61m (11’)との間及び1.81
36粒子間の結合力が増すことになる。
)を乾燥した後、NiペースI−1u (Ill)と
LaB+;ペースト1m(11)を同時に焼成する。こ
のときの焼成条件は、空気中、500〜600℃例えば
約560℃で行う。この焼成によってN目・地層(10
’)が形成される。また焼成中にNiペースト層0ωに
含有されζいたガラスバインダの一部がLaB5 If
m (11’)内に浸潤される。このガラスバインダの
浸潤によってガラスバインダが浸潤された部分のLaB
61fjf(Il’a)では、Nil□地層(I O’
)と LaB61m (11’)との間及び1.81
36粒子間の結合力が増すことになる。
次に第2図りにボずようにLa86層(11′〕のガラ
スバインダが7%潤されない表面(ll’b)を除去′
4る。次いで前述のように例えばNiより成る陽極(4
)及びバリア(6)が形成された前面ガラス基板(2)
とこの背面ガラス基板(3)とのフリソシール、加熱υ
1気、所要ガスの封入及び最終封止を行って後、陽極(
4)及び旧下地電極(10’)間に所定電圧を印加し、
高電流でのガス放電による活性化処理(カソードフォー
ミング)を行う。この活性化処理でLaBsM (ll
’a)の表面(所謂放電面)にはガラスが存在しなくな
り LaBe自身が表面に昨出すると共に、さらに局部
的な熱効果によってLaB6粒子間で焼結が起こり即ら
、互いに融けてつながった状態になる。これによってL
aB5層の抵抗が一部がる。活性化時の電流値は2〜5
^/−である。斯<L、’CN1T地電極(10’ )
上にLaB5陰極(12)が形成される。
スバインダが7%潤されない表面(ll’b)を除去′
4る。次いで前述のように例えばNiより成る陽極(4
)及びバリア(6)が形成された前面ガラス基板(2)
とこの背面ガラス基板(3)とのフリソシール、加熱υ
1気、所要ガスの封入及び最終封止を行って後、陽極(
4)及び旧下地電極(10’)間に所定電圧を印加し、
高電流でのガス放電による活性化処理(カソードフォー
ミング)を行う。この活性化処理でLaBsM (ll
’a)の表面(所謂放電面)にはガラスが存在しなくな
り LaBe自身が表面に昨出すると共に、さらに局部
的な熱効果によってLaB6粒子間で焼結が起こり即ら
、互いに融けてつながった状態になる。これによってL
aB5層の抵抗が一部がる。活性化時の電流値は2〜5
^/−である。斯<L、’CN1T地電極(10’ )
上にLaB5陰極(12)が形成される。
かかる製法によれば、ト地の仮乾燥されたNiペースト
層00上にガラスバインダを含まないLaB6ペースト
層層(11)を印刷塗布して後、両層QOI及び(11
)を同時焼成することにより、Niペースト層(101
中のガラスバインダの一部がLaB61M (11’)
内に浸潤される。従って、このガラスバインダの浸潤に
より最終的に接着力の強いLaB6陰極(12)が得ら
れる。また、LaB6層 (11’ )に含まれるガラ
スバインダ量が充分少ないので、面電流ガス放電による
活性化時のガラスバインダの飛散量も少ないので、ガラ
スバインダ飛散による悪影響が少なくなり、結果として
放電表月く装置■の寿命をさらに向」ニさせることがで
きる。
層00上にガラスバインダを含まないLaB6ペースト
層層(11)を印刷塗布して後、両層QOI及び(11
)を同時焼成することにより、Niペースト層(101
中のガラスバインダの一部がLaB61M (11’)
内に浸潤される。従って、このガラスバインダの浸潤に
より最終的に接着力の強いLaB6陰極(12)が得ら
れる。また、LaB6層 (11’ )に含まれるガラ
スバインダ量が充分少ないので、面電流ガス放電による
活性化時のガラスバインダの飛散量も少ないので、ガラ
スバインダ飛散による悪影響が少なくなり、結果として
放電表月く装置■の寿命をさらに向」ニさせることがで
きる。
このように本実施例では厚l!3!印刷法によって良好
なLa5ts険極が形成できる。
なLa5ts険極が形成できる。
尚、上例ではト地のNiベースト喝上にガラスバインダ
を含まないLaB6ペーストを印刷塗布したが、このし
aBeペーストに代え°C電着法等によってNiペース
ト層上にLaB5の層を形成することもできる。
を含まないLaB6ペーストを印刷塗布したが、このし
aBeペーストに代え°C電着法等によってNiペース
ト層上にLaB5の層を形成することもできる。
また、上例ではトリガー放電方式の直流型放電表示パネ
ルに適用したが、その他の放電表示パネルの陰極形成に
も通用できる。
ルに適用したが、その他の放電表示パネルの陰極形成に
も通用できる。
発明の効巣
上述した本発明によれば、仮乾燥された導電ペースtu
ff上にガラスバインダを含まないしalsgの層を形
成し、同時焼成することにより、導電ペースト層中のガ
ラスバインダの一部がLaB5粉末内に浸潤する。この
結果、ガラスバインダ含有のLa86ペーストを用いる
ことなく接着力の強い良好なLan6陰極が形成できる
。そして、LaBe層に含まれるガラスバインダ量は実
質的に充分少ないので活性化工程が容易になる。また活
性化時のガラスバインダ飛散量も少なくなることから放
電表示装置の寿命がさらに向上するものである。
ff上にガラスバインダを含まないしalsgの層を形
成し、同時焼成することにより、導電ペースト層中のガ
ラスバインダの一部がLaB5粉末内に浸潤する。この
結果、ガラスバインダ含有のLa86ペーストを用いる
ことなく接着力の強い良好なLan6陰極が形成できる
。そして、LaBe層に含まれるガラスバインダ量は実
質的に充分少ないので活性化工程が容易になる。また活
性化時のガラスバインダ飛散量も少なくなることから放
電表示装置の寿命がさらに向上するものである。
なお、実験によればLaB5粉末の粒径が小さくなるほ
ど寿命は向上し、且つ同じ粒径とした場合にもガラスバ
インダ含有のLaBeペーストを用いた場合に比して本
発明の方が寿命は伸びる。
ど寿命は向上し、且つ同じ粒径とした場合にもガラスバ
インダ含有のLaBeペーストを用いた場合に比して本
発明の方が寿命は伸びる。
第1図は本発明に適用される放電表示装置の一例を示す
構成し1、第2図IA−Dは本発明によるLa5s陰極
の形成法の一例をボず工程図である。 (2)は前面ガラス基板、(3)は背面ガラス基板、(
4)は陽極、(5)は陰極、(6)はバリア、(7)は
絶縁誘電1昔、(8)はトリガー電極、ateはNiヘ
ースト層、(11)はLaBeペースト層、(12)は
La8g陰極である。 同 松隈秀盛・“)、1 第2図
構成し1、第2図IA−Dは本発明によるLa5s陰極
の形成法の一例をボず工程図である。 (2)は前面ガラス基板、(3)は背面ガラス基板、(
4)は陽極、(5)は陰極、(6)はバリア、(7)は
絶縁誘電1昔、(8)はトリガー電極、ateはNiヘ
ースト層、(11)はLaBeペースト層、(12)は
La8g陰極である。 同 松隈秀盛・“)、1 第2図
Claims (1)
- ガラスバインダ含有の導電ペーストを塗布し仮乾燥する
工程と、該導電ペースト層十にガラスノ\インダを含ま
ないL a 116の層を形成する工程と、」−記導電
ベース1層及び」1記La116の1−を同時焼成Jる
」二稈と、1ノ1気工程を経た後に1111電流ガス放
電にまって」−記焼成後のLaB5層を活性化処理して
1.aRG陰極を形成する工程をイ1し“C成る放電表
示装置の製造方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59079218A JPS60221928A (ja) | 1984-04-19 | 1984-04-19 | 放電表示装置の製造方法 |
CA000478803A CA1240360A (en) | 1984-04-19 | 1985-04-11 | Method of producing discharge display device |
US06/721,956 US4600397A (en) | 1984-04-19 | 1985-04-11 | Method of producing discharge display device |
KR1019850002553A KR930001175B1 (ko) | 1984-04-19 | 1985-04-16 | 방전 표시장치의 제조방법 |
DE8585302739T DE3576606D1 (de) | 1984-04-19 | 1985-04-18 | Verfahren zur herstellung von anzeigeentladungsgeraeten. |
EP85302739A EP0159199B1 (en) | 1984-04-19 | 1985-04-18 | Methods of producing discharge display devices |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59079218A JPS60221928A (ja) | 1984-04-19 | 1984-04-19 | 放電表示装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60221928A true JPS60221928A (ja) | 1985-11-06 |
Family
ID=13683782
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59079218A Pending JPS60221928A (ja) | 1984-04-19 | 1984-04-19 | 放電表示装置の製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4600397A (ja) |
EP (1) | EP0159199B1 (ja) |
JP (1) | JPS60221928A (ja) |
KR (1) | KR930001175B1 (ja) |
CA (1) | CA1240360A (ja) |
DE (1) | DE3576606D1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6445037A (en) * | 1987-08-14 | 1989-02-17 | Yoshifumi Amano | Manufacture of cathode device in discharge display element |
JPH0264133U (ja) * | 1988-11-01 | 1990-05-14 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61284030A (ja) * | 1985-06-10 | 1986-12-15 | Hitachi Ltd | 気体放電表示パネル用陰極 |
JPS6489242A (en) * | 1987-09-30 | 1989-04-03 | Mitsubishi Electric Corp | Electrode for discharge light source |
US5209688A (en) * | 1988-12-19 | 1993-05-11 | Narumi China Corporation | Plasma display panel |
US5468169A (en) * | 1991-07-18 | 1995-11-21 | Motorola | Field emission device employing a sequential emitter electrode formation method |
TW368671B (en) * | 1995-08-30 | 1999-09-01 | Tektronix Inc | Sputter-resistant, low-work-function, conductive coatings for cathode electrodes in DC plasma addressing structure |
RU2161838C2 (ru) * | 1997-06-24 | 2001-01-10 | Тарис Технолоджис, Инк. | Холодноэмиссионный пленочный катод и способы его получения |
US6025038A (en) * | 1998-08-26 | 2000-02-15 | Board Of Regents Of The University Of Nebraska | Method for depositing rare-earth boride onto a substrate |
US6077617A (en) * | 1998-08-26 | 2000-06-20 | Board Of Regents Of The University Of Nebraska | Rare-earth boride thin film system |
DE19841900A1 (de) * | 1998-09-11 | 2000-03-30 | Schott Glas | Verfahren zum Aufbringen von metallischen Leiterbahnen als Elektroden auf eine Kanalplatte für großflächige Flachbildschirme |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2172207A (en) * | 1936-09-19 | 1939-09-05 | Siemens Ag | Glow cathode |
US4126809A (en) * | 1975-03-10 | 1978-11-21 | Owens-Illinois, Inc. | Gas discharge display panel with lanthanide or actinide family oxide |
FR2445605A1 (fr) * | 1978-12-27 | 1980-07-25 | Thomson Csf | Cathode a chauffage direct et tube electronique haute frequence comportant une telle cathode |
DE3106368A1 (de) * | 1980-02-22 | 1982-01-07 | Okaya Electric Industries Co, Ltd., Tokyo | Plasma-anzeige |
US4317750A (en) * | 1980-08-22 | 1982-03-02 | Ferro Corporation | Thick film conductor employing nickel oxide |
JPS57180046A (en) * | 1981-04-28 | 1982-11-05 | Okaya Denki Sangyo Kk | Panel for displaying dc gas discharge |
-
1984
- 1984-04-19 JP JP59079218A patent/JPS60221928A/ja active Pending
-
1985
- 1985-04-11 CA CA000478803A patent/CA1240360A/en not_active Expired
- 1985-04-11 US US06/721,956 patent/US4600397A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-04-16 KR KR1019850002553A patent/KR930001175B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1985-04-18 DE DE8585302739T patent/DE3576606D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1985-04-18 EP EP85302739A patent/EP0159199B1/en not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS6445037A (en) * | 1987-08-14 | 1989-02-17 | Yoshifumi Amano | Manufacture of cathode device in discharge display element |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3576606D1 (de) | 1990-04-19 |
EP0159199B1 (en) | 1990-03-14 |
EP0159199A3 (en) | 1987-04-29 |
EP0159199A2 (en) | 1985-10-23 |
CA1240360A (en) | 1988-08-09 |
KR930001175B1 (ko) | 1993-02-20 |
US4600397A (en) | 1986-07-15 |
KR850007531A (ko) | 1985-12-04 |
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