JPS60221928A - 放電表示装置の製造方法 - Google Patents

放電表示装置の製造方法

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JPS60221928A
JPS60221928A JP59079218A JP7921884A JPS60221928A JP S60221928 A JPS60221928 A JP S60221928A JP 59079218 A JP59079218 A JP 59079218A JP 7921884 A JP7921884 A JP 7921884A JP S60221928 A JPS60221928 A JP S60221928A
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lab6
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paste
cathode
glass binder
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Shin Kawakubo
伸 川久保
Eiji Munemoto
宗本 英治
Akihiko Okuhora
明彦 奥洞
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Sony Corp
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    • H01J11/20Constructional details
    • H01J11/22Electrodes, e.g. special shape, material or configuration
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02Manufacture of electrodes or electrode systems
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    • HELECTRICITY
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    • H01J17/02Details
    • H01J17/04Electrodes; Screens
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業−1の利用う) !l!J’ 本発明は、放電表ηく装置の製造方法特にそのLaB6
陰極の形成法に関Jる。
背景技術とその問題点 近年、放電表示装置特にXYマI〜ワックスの直流型放
電表月くパネル(プラズマ・ディスプレイ・パネルP 
I) P )の開発が進められ′Cいる。この開発に於
て根本的問題となるのは、放電効率の+rtLL即ら低
消費電力で晶輝度を実現すること、電極その他の材料の
物理的、化学的安定化を図っ−ζ放電表示パネルの寿命
を延長させることの2点である。
すなわち、電極(特に陰極)材料、構造面での研究がそ
の鍵を握っていると君っCも過百ではない。
従来は、陽極及び陰極として共にNiを使用してきてい
る。Niは放電のスパッタリンクに対して弱く、Ni陰
極は数秒も経ないうちに劣化し′(シまう。
この為、水銀11gを封入し電極表面に41着させるこ
とによっ゛ζスパッタリングを抑えてきた。しかし、水
銀を14人した場合、経時変化ご水銀の不均一分布が発
生ずるので、大容量の放電表示パネルでは長時間にわた
っ−ζ各表ボセルの放亀特矧を均一に保ことがゲ汗しい
また、例えばコックピット等の密室で使用する放電表示
パネルにおい′ζば危険性を考慮し゛ζ水銀を使用しな
いことが要求され°(いる。
一方、陰極材料としてLaB6が注目されている。
このLaB6は、(i)仕事関数が低く (γ係数が大
)放電効率が高いごと、(ii )共有結合物質である
ため、物理的、化学的安定性にすぐれること等の利点が
ある。
しかし乍ら、このLaBe陰極は未だ実用化に至ってい
ない。その理由は、薄膜蒸着法やプラズマ溶射法では′
M造工程が複116ごmlストM1なこと、特に大容量
、大画面での比較的均一な電極形成が難しいことによる
。また低コストで他のパネル構造と共に厚膜印刷法での
形成が出来ないことも原因しζいる。すなわち、Lac
e電極を厚膜目j刷法で形成する場合、印刷塗布後に8
00〜900’c 、 N 2雰囲気で焼成するのが一
般的である。しかし、放電表示パネルでは基板がガラス
のために600℃程度しか温度を」―げられないこと、
他の電極、バリア・などの構造物が酸化物系で通電空気
中で焼成すること等のために、 La8g陰極の形成が
困難゛ごある。またLa116は融点が2300℃程度
と高く、600°C程度の焼成温度では焼結されないた
め、形成後の抵抗は109Ωか或いはそれ以上になって
しまう。
厚膜印刷法を採用すればLaBG粒子同志の結合力を得
るために一般にフリットガラス等のバインダー物質が混
入されるが、このように形成後の抵抗が高いものに、さ
らにガラスバインダーを入れることば出来ない。
一方、本出願人は厚膜印刷性によってLaBe陰極を形
成できるようにしたLa1le陰極の形成法を開発した
。これはガラスバインダとしてイオン電気伝導のあるア
ルカリガラスを用いたLaBeペーストを作製し、これ
をNi等の一ト地電極上に印刷塗布し−ご500〜60
0℃、空気中で焼成する。その後、放電表示パネルのフ
リットシール、加熱排気、ガス封入、最終封止工程の後
、陽極及び陰極間に電圧を印加して高電流ガス放電によ
る活性化処理を施すものである。この活性化処理でLa
ce Itiif表面にはガラスが存在しなくなり L
aB6が表面に露出されると共にLaB6粒子表面が融
けて互いにつながった状態になり 1、aB6陰極が形
成される。
しかるに、LaBeペーストにおいて出来ればガラスバ
インダが無い方が望ましい。それは、Lace粒子表面
、LaB6粒子間をガラスバインダが埋め尽すので導伝
経路が形成され難く電極活性化が難しくなるごと、pb
金含有フリットガラスをバインダとすれば、析出した金
属鉛のスパッタリングにより、寿命特性に悪影響を及ぼ
ず憚れがあること等のためである。
発明の目的 本発明は、」二連の点に鑑み、ガラスバインダ含有のL
aB6ペースI・を用いることなく良好なLa116陰
極の形成をI」能にした放電表示装置の製造方法を1是
4j(するもの”である。
発明の概要 本発明は、ガラスバインダ盆石の導電ペーストを塗布し
仮乾燥し、この導電ペースト層上にL a B’6ペー
スト或は電着等によってカラスバインダを含まないLa
56のJ背を形成して後、導電ペースト層及びLa11
6の層を同時焼成し、排気工程を経た後にIロ1電流ガ
ス放電によって焼成後のLaB6層を活性化処理してL
a11g陰極を形成する。
この発明の製法によれば、接着力の強いLaBe陰極が
形成されると同時に、形成時の活性化処理が容易になり
、またガラスバインダの影響が少なく寿命特性のよい放
電表示装置が得られる。
実施例 先ず、第1図を用いて本発明に通用される放電表示装置
の一例を説明する。図ば、1−リガー放電方式の直流型
放電表示パネルに通用した場合である。この表示パネル
(11は前面ガラス基板(2)、背−ハiガラス基板(
3)及びこれらに挾まれたXYマトリックス形状の陽極
(4)、陰極(5)から成り、各陽極(4)は絶縁性の
バリア(6)によっ°C仕切られζいる。背面ガラス基
板(3)では陰極(5)の下部に絶縁誘電層(7)を介
して例えばA1よりなるトリガー電極(8)が陰極(5
)と平行に設りられる。この表示パネル+11の製造は
次のようにしてなされる。先ず前面ガラス基板(2)上
に陽極(4)と絶縁性のバリア(6)が厚膜印刷性によ
って形成される。また背面ガラス基& (31j−にト
リガー電極(8)、絶縁誘電層(7)及び陰極(5)が
順次厚膜印刷法によっ′ζ形成される。これら各構成部
はEll刷後、焼成される。次にこの2枚のガラス基板
(2)及び(3)を陽極(4)を陰極(5)とが互に直
交するように対向して配し、フリットシールされる。そ
の後、加熱排気、ガス封入(例えばNe−Arガス)及
び最終封止等の工程を経て完成される。
かかる放電表示パネル(1)においζば、陽極(4)と
陰極(5)に夫々選択的に駆動電圧が印加されることに
よっζ、その選択された陽極(4)と陰極(5)間の交
点で放電発光され、例えば線順次的に表示される。
特にこの表示パネル(11では陽極(4)及び陰極(5
1間の放電に先立つ°ζl IJガー電極(8)にトリ
ガー電圧が与えられ、これによって]・リガー電極(8
)に対応Jる部分の絶縁誘電層(7)−ヒに壁電圧が誘
起され、此処と選択された陰極(5)間で瞬時の放電が
なされ、陰極(5)に沿ったガス空間がイオン化される
ことによって以後の選択された陽極(4)及び陰極(5
月用のh交電を容易にしζいる。
本発明は、かかる放電表示パネルにお4Jる1会極(5
)をLaB5陰極で構成し、このLaB6陰極をガラス
バインダ含イjの1、aB6ペーストを用いることなく
形成するものである。以ト第2図を用い゛ζ本発明の実
施例を述べる。
本実施例では、予めガラスバインダを含まず、LaB5
微粉末と適当なビークル(溶媒)の力からなるLaB6
ペーストを作製する。具体的には粗粉砕されたLaBe
焼結粉末をボールミルによってLaB5 @粉末とする
。このLaB6微粉末は数μm以ト好ましくは1〜3μ
mの平均粒径とし、粒iイ5μm以上の粒子が全体の5
%以上であるものとする。 LaBeを微粉末としたの
ち、不純物除去のために純水洗浄し、その後ビークルを
混合してLat36ペーストを冑る。
そして、先ず第2図Aに示すように背面ガラス基45 
(3+上にトリガー電極(8)及び絶縁誘電層(7)を
形成した後、この絶縁誘電層(7)上に、形成すべき陰
極パターンに沿っ′ζガラスバインダが含有された4電
ヘ−71,1−例えば旧ペーストを印刷塗布しNiヘー
ストIWOωを形成する。このNIペーストr¥i 0
olは爾後電流供給用の土地電極となるものである。
次に、第2図Bに承ずようにNiペースt・I# Oo
lを乾燥した後、このNiペースト層αω上に上記のL
aB6ペーストを印刷塗布してLaBeベースト層(1
1)を形成する。
次に、第2図CにボずようにLaB6ペースト層(11
)を乾燥した後、NiペースI−1u (Ill)と 
LaB+;ペースト1m(11)を同時に焼成する。こ
のときの焼成条件は、空気中、500〜600℃例えば
約560℃で行う。この焼成によってN目・地層(10
’)が形成される。また焼成中にNiペースト層0ωに
含有されζいたガラスバインダの一部がLaB5 If
m (11’)内に浸潤される。このガラスバインダの
浸潤によってガラスバインダが浸潤された部分のLaB
61fjf(Il’a)では、Nil□地層(I O’
 )と LaB61m (11’)との間及び1.81
36粒子間の結合力が増すことになる。
次に第2図りにボずようにLa86層(11′〕のガラ
スバインダが7%潤されない表面(ll’b)を除去′
4る。次いで前述のように例えばNiより成る陽極(4
)及びバリア(6)が形成された前面ガラス基板(2)
とこの背面ガラス基板(3)とのフリソシール、加熱υ
1気、所要ガスの封入及び最終封止を行って後、陽極(
4)及び旧下地電極(10’)間に所定電圧を印加し、
高電流でのガス放電による活性化処理(カソードフォー
ミング)を行う。この活性化処理でLaBsM (ll
’a)の表面(所謂放電面)にはガラスが存在しなくな
り LaBe自身が表面に昨出すると共に、さらに局部
的な熱効果によってLaB6粒子間で焼結が起こり即ら
、互いに融けてつながった状態になる。これによってL
aB5層の抵抗が一部がる。活性化時の電流値は2〜5
^/−である。斯<L、’CN1T地電極(10’ )
上にLaB5陰極(12)が形成される。
かかる製法によれば、ト地の仮乾燥されたNiペースト
層00上にガラスバインダを含まないLaB6ペースト
層層(11)を印刷塗布して後、両層QOI及び(11
)を同時焼成することにより、Niペースト層(101
中のガラスバインダの一部がLaB61M (11’)
内に浸潤される。従って、このガラスバインダの浸潤に
より最終的に接着力の強いLaB6陰極(12)が得ら
れる。また、LaB6層 (11’ )に含まれるガラ
スバインダ量が充分少ないので、面電流ガス放電による
活性化時のガラスバインダの飛散量も少ないので、ガラ
スバインダ飛散による悪影響が少なくなり、結果として
放電表月く装置■の寿命をさらに向」ニさせることがで
きる。
このように本実施例では厚l!3!印刷法によって良好
なLa5ts険極が形成できる。
尚、上例ではト地のNiベースト喝上にガラスバインダ
を含まないLaB6ペーストを印刷塗布したが、このし
aBeペーストに代え°C電着法等によってNiペース
ト層上にLaB5の層を形成することもできる。
また、上例ではトリガー放電方式の直流型放電表示パネ
ルに適用したが、その他の放電表示パネルの陰極形成に
も通用できる。
発明の効巣 上述した本発明によれば、仮乾燥された導電ペースtu
ff上にガラスバインダを含まないしalsgの層を形
成し、同時焼成することにより、導電ペースト層中のガ
ラスバインダの一部がLaB5粉末内に浸潤する。この
結果、ガラスバインダ含有のLa86ペーストを用いる
ことなく接着力の強い良好なLan6陰極が形成できる
。そして、LaBe層に含まれるガラスバインダ量は実
質的に充分少ないので活性化工程が容易になる。また活
性化時のガラスバインダ飛散量も少なくなることから放
電表示装置の寿命がさらに向上するものである。
なお、実験によればLaB5粉末の粒径が小さくなるほ
ど寿命は向上し、且つ同じ粒径とした場合にもガラスバ
インダ含有のLaBeペーストを用いた場合に比して本
発明の方が寿命は伸びる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に適用される放電表示装置の一例を示す
構成し1、第2図IA−Dは本発明によるLa5s陰極
の形成法の一例をボず工程図である。 (2)は前面ガラス基板、(3)は背面ガラス基板、(
4)は陽極、(5)は陰極、(6)はバリア、(7)は
絶縁誘電1昔、(8)はトリガー電極、ateはNiヘ
ースト層、(11)はLaBeペースト層、(12)は
La8g陰極である。 同 松隈秀盛・“)、1 第2図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ガラスバインダ含有の導電ペーストを塗布し仮乾燥する
    工程と、該導電ペースト層十にガラスノ\インダを含ま
    ないL a 116の層を形成する工程と、」−記導電
    ベース1層及び」1記La116の1−を同時焼成Jる
    」二稈と、1ノ1気工程を経た後に1111電流ガス放
    電にまって」−記焼成後のLaB5層を活性化処理して
    1.aRG陰極を形成する工程をイ1し“C成る放電表
    示装置の製造方法。
JP59079218A 1984-04-19 1984-04-19 放電表示装置の製造方法 Pending JPS60221928A (ja)

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CA000478803A CA1240360A (en) 1984-04-19 1985-04-11 Method of producing discharge display device
US06/721,956 US4600397A (en) 1984-04-19 1985-04-11 Method of producing discharge display device
KR1019850002553A KR930001175B1 (ko) 1984-04-19 1985-04-16 방전 표시장치의 제조방법
DE8585302739T DE3576606D1 (de) 1984-04-19 1985-04-18 Verfahren zur herstellung von anzeigeentladungsgeraeten.
EP85302739A EP0159199B1 (en) 1984-04-19 1985-04-18 Methods of producing discharge display devices

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DE (1) DE3576606D1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6445037A (en) * 1987-08-14 1989-02-17 Yoshifumi Amano Manufacture of cathode device in discharge display element
JPH0264133U (ja) * 1988-11-01 1990-05-14

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61284030A (ja) * 1985-06-10 1986-12-15 Hitachi Ltd 気体放電表示パネル用陰極
JPS6489242A (en) * 1987-09-30 1989-04-03 Mitsubishi Electric Corp Electrode for discharge light source
US5209688A (en) * 1988-12-19 1993-05-11 Narumi China Corporation Plasma display panel
US5468169A (en) * 1991-07-18 1995-11-21 Motorola Field emission device employing a sequential emitter electrode formation method
TW368671B (en) * 1995-08-30 1999-09-01 Tektronix Inc Sputter-resistant, low-work-function, conductive coatings for cathode electrodes in DC plasma addressing structure
RU2161838C2 (ru) * 1997-06-24 2001-01-10 Тарис Технолоджис, Инк. Холодноэмиссионный пленочный катод и способы его получения
US6025038A (en) * 1998-08-26 2000-02-15 Board Of Regents Of The University Of Nebraska Method for depositing rare-earth boride onto a substrate
US6077617A (en) * 1998-08-26 2000-06-20 Board Of Regents Of The University Of Nebraska Rare-earth boride thin film system
DE19841900A1 (de) * 1998-09-11 2000-03-30 Schott Glas Verfahren zum Aufbringen von metallischen Leiterbahnen als Elektroden auf eine Kanalplatte für großflächige Flachbildschirme

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2172207A (en) * 1936-09-19 1939-09-05 Siemens Ag Glow cathode
US4126809A (en) * 1975-03-10 1978-11-21 Owens-Illinois, Inc. Gas discharge display panel with lanthanide or actinide family oxide
FR2445605A1 (fr) * 1978-12-27 1980-07-25 Thomson Csf Cathode a chauffage direct et tube electronique haute frequence comportant une telle cathode
DE3106368A1 (de) * 1980-02-22 1982-01-07 Okaya Electric Industries Co, Ltd., Tokyo Plasma-anzeige
US4317750A (en) * 1980-08-22 1982-03-02 Ferro Corporation Thick film conductor employing nickel oxide
JPS57180046A (en) * 1981-04-28 1982-11-05 Okaya Denki Sangyo Kk Panel for displaying dc gas discharge

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6445037A (en) * 1987-08-14 1989-02-17 Yoshifumi Amano Manufacture of cathode device in discharge display element
JPH0264133U (ja) * 1988-11-01 1990-05-14

Also Published As

Publication number Publication date
DE3576606D1 (de) 1990-04-19
EP0159199B1 (en) 1990-03-14
EP0159199A3 (en) 1987-04-29
EP0159199A2 (en) 1985-10-23
CA1240360A (en) 1988-08-09
KR930001175B1 (ko) 1993-02-20
US4600397A (en) 1986-07-15
KR850007531A (ko) 1985-12-04

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