JPH01272028A - ガス放電表示パネルの電極形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、種々の画像情報を表示するためのガス放電
表示パネルに配設される電極の形成方法（こ開する。

（従来の技術） 従来、密閉された空間内に種々のガスを封入し、放電に
より発光させて種々の情報を表示するためのガス放電表
示パネル（以下、単にパネルと称する場合も有る。）が
広く用いられている。

以下、図面を参照して、従来知られているガス放電表示
パネルの構造につき、簡単な作製工程に従って説明する
。

第２図は、従来、最も広く知られでいるパネルを説明す
るため、当該装置の要部を切り欠いて斜視的に示す説明
図である。

まず、この種の装置では、例えばガラス、セラミックス
またはその他任意好適な絶縁材料からなる背面板１１ヲ
下地として、例えばニッケル（Ｎｉ）またはその他の金
属粒子を含む導体ペーストを厚膜印刷する。然る後、当
該ペーストを焼成し、複数の平行なストライブ状のカソ
ード電極１３が形成される。

次に、上述した背面板１１に、カソード電極１３とは直
交する方向に、例えばガラスペーストのような絶縁ペー
ストを厚膜印刷した後、前述と同様に焼成して、複数の
平行な隔壁１５が形成される。

この隔壁１５は、前述したカソード電極１３の膜厚より
も充分に高くして設置すられ、放電空間を確保する構成
と成っている。

他方、前面板１７はガラスのように透明性を有する絶縁
材料を以って構成する。この前面板１７の、前述した背
面板１１と対向する面には、例えばＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕ
ｍ　Ｔｉｎ　０ｘｉｄｅ酸化イシジウム錫）のように透
明な導電性材料を被着させた後、所定の間隔及び巾を以
ってパターンニングし、アノード電極Ｉ９が形成されで
いる。このアノード電極１９は、上述した透明電極とし
て構成する代わりに、カソード電極１３と同様に、導体
ペーストを焼成して配設する場合も有る。

上述した種々の構成成分を形成し１．：後、第一パネル
基板１１の対向面ａに形成されたカソード電極１３と、
第二パネル基板１７の対向面すに形成されたアノード電
極１９とが隔壁１５を介して直交するように対向させる
。この状態で、隔壁１５により形成された放電空間（図
示せず）内に、例えばネオン（Ｎｅ）に微量のアルゴン
（Ａｒ）を混入させた放電ガスを充填して封止し、パネ
ルが完成する。

このようなパネルを動作させる際には、カソード電極１
３とアノード電極１９との間の放電空間に対して、これ
ら２つの電極間の距離と放電ガスの圧力とにより規定さ
れる放電開始電圧よりも大きな電圧を印加する。この電
圧印加により、カソード電圧１３とアノード電圧１９と
か直交する部分に相当する夫々の放電セル（図示せず）
で放電発光を行なう。

この発光動作に当って、大きな放電電圧を印加すること
により、各放電セルに供給される放電電流を増加させ、
発光輝度の向上ることが成されている。しかしなから、
係る場合には、印加する電圧を大きくすることにより、
カソード電極に対するスパッタリングが発生し、装曹寿
命が短くなったり、スパッタされた電極材料か前面板に
被着して放電セルが黒化し、視認性の低下を招く場合も
有った。

このような欠点を解決するため、上述のスパッタリング
を抑制する目的で、放電空間内に水銀（ｈ）を封入する
技術か知られでいる。この技術により効果を得るために
は、放電空間内に水銀を均一に介在させ、各放電セルに
おける動作条件を等価とする必要が有り、実用的な解決
策としては不充分である。これに加えで、水銀の使用は
パネルの使用環境を汚染する可能性も有り、他の技術を
要求されているのが現状である。

上述の要求に対処し得る技術の一例として、耐スパツタ
リング性を有する六ホウ化ランタン（Ｌａｓｓ）による
電極形成が注目されている。このＬａｃｅは仕事用数が
低く放電効率が高い、ざらに、放電開始電圧及び放電維
持電圧が低く、融点は約２３００（”Ｃ）程度であり、
物理・化学的に安定な化合物である。一般に、この材料
を電極として形成するに当っては薄膜蒸着法、プラズマ
溶射法等の被着技術により行なわれるが、電極形成に際
しての再現性が低く、特に表示パネルの大型化において
は限界を生じる。

この点を解消する技術として、文献１：特開昭６０−２
２１９２８号公報に開示される電極形成技術が知られて
いる。

この公報に開示されろ技術によれば、まず、ボールミル
を用いてＬａ５ｓの焼結粉末を約１〜３（ｕｍ）程度の
粒径にした後、純水で洗浄する。

次に、上述のＬａｃｅ粒子と適当な溶媒とのみから成る
Ｌａ５ｓペーストを調製する。

以下、上述の公報に開示される電極形成技術につき、図
面を参照して説明する。

第３図（Ａ）〜（Ｄ）は、電極形成の工程を説明するた
め、下地となる背面板１１の概略的断面により示す説明
図である。

まず、前述の背面板１１表面には、予め、ニッケル（Ｎ
ｉ）、ガラスバインダを含むＮ１ペースト２１ヲ厚膜印
刷し、第３図（Ａ）に示す状態を得る。

次に、上述のＮｉペースト２１の上に重ねで、前述の手
順により調製したＬａｃｅペースト２３を厚膜印刷する
（第３図（Ｂ））。

続いて、２層のペーストが印刷された背面板１１に対し
て、空気中、約５００〜６００（’Ｃ）の範囲内の所定
の温度（ガラスバインダの融点に相当する温度）で焼成
する。このような焼成により、Ｎｉペースト２１に対応
してＮｉ電極層２５、及びＬａＢ。ペースト２３に対応
してＬａ５ｓ電極層２７が形成され、第３図（Ｃ）に示
す状態を得る。

上述した状態では、Ｎｉペースト２１に添加されたガラ
ス成分（バインダ分）の一部がＮｉ′ＩＲ極層２５から
Ｌａｄ、電極層２７に浸潤し、これら２つの電極層間の
密着力及びＬａｃｇ粒子間の結合力が付与されることと
なる。尚、同図中、上述の浸潤によつ形成された界面に
破線を付して示す。

次に、第２図を参照して説明したパネルの組立て工程を
行なった後、アノード電極１９（第２図参照）と、上述
した２つの電極層２５及び２７との間に、例えば約２〜
５　（Ａ／ｃｍ２）程度の高電流ガス放電を行なう、こ
のような高電流を流す活性化処理によって、Ｌａｃｅ電
極層２７に浸潤したガラスがスパッタ除去され、Ｌａｄ
、粒子が電極表面に露出する。また、この活性化処理に
伴なう局部的な熱の発生により、Ｌａ５ｓ粒子同士が焼
結し、第３図（Ｄ）に示すカソード電極１３が形成され
る。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上述した従来の電極形成方法では、ニッ
ケルのような導電性に優れた導体ペーストを、予め、下
地に塗布した後、これに重ねてＬａ５ｓペーストを厚膜
印刷する必要が有る。これがため、工数の増加を招き、
２つのペーストの積層状態によって、得られる電極の特
性にばらつきを生じる場合も有った。

また、前述の活性化処理は、局部的な熱を電極に発生さ
せて行なわれる。従って、過大な熱が加えられることに
より、電極形成時またはパネル使用時に電極の損傷を主
しるなど、パネルの信頼性を低下させるという問題点が
有った。

この発明は、上述した従来の問題点に鑑み成されたもの
であり、工数を増やすことなく、耐久性に優れた電極を
形成するための方法を提供し、以って、高寿命であり、
かつ信頼性に優れたガス放電表示パネルを提供すること
を目的とする。

（課題を解決するための手段） この目的の達成を図るため、この発明のガス放電表示パ
ネルの電極形成方法によれば、六ホウ化ランタン（Ｌａ
Ｂ６）粒子の表面に金属層を無電解めっきした導体めっ
き粒子を含有して成る導電性ペーストを下地に厚膜印刷
する工程と、上述した導電性ペーストを焼成する工程と
を含むことを特徴としている。

（作用） この発明のガス放電表示パネルの電極形成方法によれば
、Ｌａｃｅ粒子に無電解めっきを施した導体めっき粒子
を調製し、この導体めっき粒子を含有する導電性ペース
トを用いて厚膜印刷した後、焼成する構成となっている
。

これがため、形成された電極を構成するＬａｄ。

粒子同士は、無電解めっきで被着された金属によって導
通を取ることが可能であり、効率良く放電発光を行なう
ことができる。

（実施例） 以下、図面ヲ参照して、この発明の実施例につき説明す
る。尚、以下参照する図面では、この発明の理解が容易
となる程度に概略的に示してあるに過ぎず、この発明は
、これら図示例にのみ限定されるものではないことを理
解されたい。

第１図（Ａ）〜（Ｄ）は、この発明の詳細な説明するた
め、各形成工程における構成成分の状態を概略的な断面
により、模式的に示す説明図である。これら図中、既に
説明した構成成分と同一の機能を有するものについでは
、同一の符号を付して示す。

まず、導体めっき粒子の断面により示す第１図（Ａ）を
参照して、導電性ペーストの調製につき説明する。

始めに、ボールミルを用いて、平均粒径が約３（ｕｍ）
のＬａ５ｓ粒子２９を得る。然る後、従来周知の無電解
めっき技術を用いて、上述のＬａｄ、粒子２９に金属層
３１ヲ被＠させ、第１図（Ａ）に示すような導体めっき
粒子３３が得られた。

以下、上述の金属層３１ヲ構成する金属の一例として、
ニッケルを無電解めっきする手順につき説明する。また
、以下に用いた薬品は化学的に純粋であり、市販品とし
て容易に入手し得るものである。

ます、塩化スズ（ＳｎＣ込２）１（（Ｊ／β）及び塩酸
（ＨＣｕ）　１　（ｍβ／β）の水溶液中（こ、前述の
工程で得られたＬａ８ａｍ子を懸濁し、数分間に亙って
充分に攪拌後、当該粒子を濾別回収する。

次に、このＬａ５ｓ粒子に対して、塩化パラジウム（Ｐ
ｄＣｕ２）０．１（９／１２　）及び塩酸（ＨＣ（１）
０．１　（ｍ　ｕ　／β）の水溶液中に、Ｌａ５ｇ粒子
を再度懸濁し、上述と同様に攪拌した後、濾別する。

このような手順により、無電解めっきの前処理を行ない
、触媒によって活性化されたＬａｃｅ粒子２９か得られ
る。

続いて、上述の活性化処理を行なったＬａｃｅ粒子２９
の表面に金属層３１ヲ被着させる。尚、この実施例では
、例えば文献ＩＩ　：　ｒ現場技術者のための実用めっ
き（Ｉ）増補版」　（日本ブレーティング協会編、第５
１５頁）に開示される、酸性浴下での無電解めっきを行
なった。この際に用いた無電解ニッケルめっき液組成の
一例とめつき浴の条件につき、次頁の表に示す。

実際に無電解めっきを行なうに当っては、約５０〜６５
（℃）の範囲内の所定の温度に保たれた純水に、前述し
たＬａｃｅ粒子２９を懸濁させ、攪拌しながら上記組成
のめっき液を徐々に滴下する。

このようにして、Ｌａｄｅ粒子２９の表面に、ニッケル
から成る金属層３１を被着させ、導体めっき粒子３３が
得られる。

従来周知のように、無電解めっきの膜厚は滴下するめっ
き液の量によって制御することができる。従って、この
実施例では、上述のめつき後の粒径を約３〜５　（ｕｍ
）の範囲内に揃え、従来の導体ペーストと同様に、ガラ
スバインダ及び溶媒とを加えて、導電性ペースト３５ソ
調製した。

次に、上述した導電性ペースト３５を用いて、背面板１
１ヲ下地として周知の厚膜印刷を行なう（第１図（Ｂ）
）。

続いて、上述した導電性ペースト３５を乾燥させ、ざら
に、図示していない絶縁ペーストを厚膜印刷した後、約
５００〜６００（”Ｃ）の範囲内の所定温度で従来と同
様に焼成を行ない、前述した導電めっき粒子３３を含む
Ｌａｄ、−Ｎｉ電極層３７と、図示していないａ！１５
とが得られる（第１図（Ｃ））。

次に、既に説明したようなパネルの組立て工程を経て、
第２図に示すようなガス放電表示パネルが得られる。

また、従来のガス放電表示パネルの作製では、形成され
た電極の特性を安定化させる目的で、所定の時間に亙っ
て、作製復のパネルに対して放電開始電圧と同程度の電
圧を印加する、所謂、エージングと呼ばれる工程が実施
されている。

一方、第１図（Ａ）からも理解できるように、この実施
例で用いた導体めっき粒子３３は、金属層３１によって
表面が被覆された状態に有る。これがため、第１図（Ｃ
）に示すＬａｃｅ−Ｎｉ電極層３７ヲ拡大して模式的に
示す第１図（Ｄ）からも理解できるように、当該電極層
３７の表面に露出した金属層３１は上述のエージングを
行なう際に、スパッタリング除去される。従って、この
工程によりＬａｃｅ粒子２９が露出し、導電性ペースト
に含有されたガラスバインダ３９と相俟って、Ｌａｖａ
−Ｎｉ電極層３７は優れた耐スパツタリング性を付与さ
れることとなる。また、同図からも理解できるように、
エージング時のスパッタリングに侵されない金属層３１
は、導体めっき粒子３３同士の間の導通を容易とする。

この実施例に係るＬａｃｅ　　Ｎｉ電極層３７を形成し
たガス放電表示パネルでは耐スパツタリング特性の向上
を図るのみならず、Ｎｉ含有の導体ペーストにより電極
形成した従来のパネルに比べて放電開始電圧が約４０〜
６０（Ｖ）程度低く、約１００〜１２０（）程度とする
ことができた。

以上、この発明の実施例につき詳細に説明したが、この
発明は、上述した実施例にのみ限定されるものではない
。

例えば、上述した実施例では、導体めっき粒子を構成す
る金属層をニッケルとして、所定の組成を有する活性化
処理溶液及び無電解めっき液を例示して説明した。しか
しながら、ニッケルをめっきする際の組成は、これにの
み限定されるものではなく、他の組成を有するものであ
っても良い。

ざらに、金属層を構成する金属は、二・νケルにのみ限
定して行なうものではなく、例えば銅、コバルトまたは
その他、無電解めっき可能な種々の金」を用いても上述
と同様の効果を得ることができる。

これら材料、数値条件及びその他の条件は、この発明の
目的の範囲内で、設計の変更及び変形を任意好適に行な
い得ること明らかである。

（発明の効果） 上述した説明からも明らかなように、この発明に係るガ
ス放電表示パネルの電極形成方法によれば、導体めっき
粒子を含有する導電性ペーストを用いて厚膜印刷した後
、焼成する構成となってあり、電極を構成するＬａｃｅ
粒子同士は、無電解めっきで被着された金属層によって
導通か取られ効率良く放電発光を行なうことが可能であ
る。

これがため、従来、最も広く行なわれている厚膜印刷技
術を用い、工数の増加を招くことなく、耐スパツタリン
グ特性と放電効率特性の向上を図ることが可能となる。

従って、この発明の方法を適用することにより、高寿命
であり、かつ信頼性の高いガス放電表示パネルを歩留り
良く作製し、優れた特性を有するガス放電表示パネルを
安価に提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）〜（Ｄ）は、この発明の方法の実施例を説
明するため、各工程毎に、概略的断面により示す説明図
、 第２図は、従来及び実施例に係るガス放電表示パネルの
全体構成を説明するため、要部を切り欠いて斜視的に示
す説明図、 第３図（Ａ）〜（Ｄ）は、従来の電極形成技術を説明す
るため、各工程毎に概略的断面により示す説明図である
。 １１・・・・背面板（下地）、ｕ・・・・カソード電極
１５・・・・隔壁、１７・・・・前面板、１９・・・・
アノード電極２１・・・・ニッケル（Ｎｉ）ペースト２
３・・・・六ホウ化ランタン（ＬａＢ５）ペースト２５
・・・・ニッケル（Ｎｉ）電極層 ２７・・・・六ホウ化ランタン（ＬａＢ６）電極層２９
・・・・六ホウ化ランタン（ＬａＢ６）粒子３１・・・
・金属層、邦・・・・導体めっき粒子３５・・・・導電
性ペースト ３７・・・・しａＢ、　　Ｎｉ電極層、３９・・・・ガ
ラスバインダ。 特許出願人　　　　沖電気工業株式会社３５：導電性ペ
ースト ３７’　Ｌａ５ｓ−Ｎｉ電極層 実施例の説明図 第１図 競 ３９ニガラスバインダ 実施例の説明図 第１図 従来技術の説明図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）六ホウ化ランタン（ＬａＢ＿６）粒子に金属層を
   無電解めっきした導体めっき粒子を含有して成る導電性
   ペーストを下地に厚膜印刷する工程と、 前記導電性ペーストを焼成する工程と を含むことを特徴とするガス放電表示パネルの電極形成
   方法。