JPS60218815A - 硬質磁性膜の製造方法 - Google Patents
硬質磁性膜の製造方法Info
- Publication number
- JPS60218815A JPS60218815A JP7535084A JP7535084A JPS60218815A JP S60218815 A JPS60218815 A JP S60218815A JP 7535084 A JP7535084 A JP 7535084A JP 7535084 A JP7535084 A JP 7535084A JP S60218815 A JPS60218815 A JP S60218815A
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- JP
- Japan
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- rare earth
- film
- hard magnetic
- laser
- magnetic film
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- Pending
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- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、希土類元素を含む硬質磁性膜にレーザを照射
して微細多極着磁を行なう硬質磁性膜の製造方法に関す
るものである。
して微細多極着磁を行なう硬質磁性膜の製造方法に関す
るものである。
近年、高保持力、高エネルギー積を有する希土類元素を
含む硬質磁性材料が発見されて以来、こ−の材料を厚膜
化して磁気エンコーダの高性能化やパルスモータの小型
高出力化に適用する動きが活発になった。このような用
途に適用する場合多極着磁して使用するが、この材料の
保持力は大きすぎるため、微細多極着磁が不可能で、一
つの磁極幅の最小値も３ｍｍ位が限度であった。現在は
数十μｍのオーダが要求されており、磁気エンコーダの
高性能化及びパルスモータの小型高出力化の障害となっ
ている。
含む硬質磁性材料が発見されて以来、こ−の材料を厚膜
化して磁気エンコーダの高性能化やパルスモータの小型
高出力化に適用する動きが活発になった。このような用
途に適用する場合多極着磁して使用するが、この材料の
保持力は大きすぎるため、微細多極着磁が不可能で、一
つの磁極幅の最小値も３ｍｍ位が限度であった。現在は
数十μｍのオーダが要求されており、磁気エンコーダの
高性能化及びパルスモータの小型高出力化の障害となっ
ている。
これを解決する方法として着磁とレーザによる部分熱消
磁方法を組み合わせた多極着磁方法が考えられるが、こ
の方法によれば一つの磁極幅もレーザの種類を選定すれ
ば数μｍとなり現在の要求−を満足する。ところがこの
方法を使って希土類元素を含む硬質磁性膜にレーザを照
射した場合、膜の表面でレーザ光が反射してしまうため
熱消磁を行えないという問題が残っている。
磁方法を組み合わせた多極着磁方法が考えられるが、こ
の方法によれば一つの磁極幅もレーザの種類を選定すれ
ば数μｍとなり現在の要求−を満足する。ところがこの
方法を使って希土類元素を含む硬質磁性膜にレーザを照
射した場合、膜の表面でレーザ光が反射してしまうため
熱消磁を行えないという問題が残っている。
このため、硬質磁性膜を予熱しておいてレーザの吸収効
率を高くしなければならなかったが、このようにすると
予熱時間中に硬質磁性膜の酸化が進んでその特性が低下
するという問題があった。
率を高くしなければならなかったが、このようにすると
予熱時間中に硬質磁性膜の酸化が進んでその特性が低下
するという問題があった。
これに対しては、真空容器中で行えばよいが装置が高価
になって実用的でない。また、一般に行われている例え
ば５ｉ０２等の酸化物で硬質磁性膜を被覆しても急熱に
より５ｉ０２が剥離してしまＩＩ）膜の温度上昇には効
果がなかった。
になって実用的でない。また、一般に行われている例え
ば５ｉ０２等の酸化物で硬質磁性膜を被覆しても急熱に
より５ｉ０２が剥離してしまＩＩ）膜の温度上昇には効
果がなかった。
本発明の目的は、空気中でしかも予熱なしに効率的にレ
ーザによって硬質磁性膜の加熱が行なえ、微細多極着磁
が容易な硬質磁性膜の製造方法を提供することにある。
ーザによって硬質磁性膜の加熱が行なえ、微細多極着磁
が容易な硬質磁性膜の製造方法を提供することにある。
以下、本発明の方法を実施例に基づいて具体的に説明す
る。
る。
まず、多層膜形成用肝スバ・ツタ装置の中の一つのター
ゲットに５ＬＩＩＣ０５（３ｔ×φ３０）板を、他のタ
ーゲットに５ＩＩＩＣＯ板をそれぞれセットして、Ｃｕ
板上に１０μｍの厚さにＳｍＣｏ５膜を付着した。
ゲットに５ＬＩＩＣ０５（３ｔ×φ３０）板を、他のタ
ーゲットに５ＩＩＩＣＯ板をそれぞれセットして、Ｃｕ
板上に１０μｍの厚さにＳｍＣｏ５膜を付着した。
次に、その上に１０００人厚のｓｍｃｏｌ＊を付着して
空気中に取り出した。この場合のスバ・ツタ条件はＲＦ
パワー５００Ｗ、アルゴン分圧０．０５Ｔｏｒｒを一定
に保って行なった。
空気中に取り出した。この場合のスバ・ツタ条件はＲＦ
パワー５００Ｗ、アルゴン分圧０．０５Ｔｏｒｒを一定
に保って行なった。
この試料の膜厚方向に２５ Ｋ Ｏｅの外部磁界をかけ
て一方向に着磁したあと、ＹＡＧレーザを使も１ビ一ム
径５μｍ、ビームエネルギー１０今一／ｃｍ２．照射時
間２ｍｓの条件で熱消磁を行ない、熱消磁部の幅をとツ
タ−法で測定した。熱消磁部幅の測定結果は４．８μｍ
と満足のいく値であった。
て一方向に着磁したあと、ＹＡＧレーザを使も１ビ一ム
径５μｍ、ビームエネルギー１０今一／ｃｍ２．照射時
間２ｍｓの条件で熱消磁を行ない、熱消磁部の幅をとツ
タ−法で測定した。熱消磁部幅の測定結果は４．８μｍ
と満足のいく値であった。
以上のように、希土類元素を磁性膜表面に被覆した後で
レーザ照射を行なえば、磁極幅の小さい微細多極着磁が
可能であることが確認された。
レーザ照射を行なえば、磁極幅の小さい微細多極着磁が
可能であることが確認された。
次に、５ｎＣｏ５ ＊ Ｓｍ２ Ｃｏ１７ ＋ （Ｓ＋
ｗｙ４ 、Ｐｒｏ、６ ） Ｃｏ５ 。
ｗｙ４ 、Ｐｒｏ、６ ） Ｃｏ５ 。
Ｓｎ＋ ２ （Ｇｏ、Ｃｕ、Ｚｒ）ｔ７＋ ＣｅＣｏ５
の膜の表面に種々の希土類元素含有量を有す膜を１００
０人付着し、上記実施例と同様に消磁実験を行なった。
の膜の表面に種々の希土類元素含有量を有す膜を１００
０人付着し、上記実施例と同様に消磁実験を行なった。
結果を表に示す。
この実験結果から明らか−なように、いずれも表面反覆
層中の希土類元素濃度が４５〜１００重量％であれば熱
消磁が良好に行なわれていることが分かる。希土類元素
濃度が４５％未満の場合、反射が大きいため熱消磁が全
く行われていない。
層中の希土類元素濃度が４５〜１００重量％であれば熱
消磁が良好に行なわれていることが分かる。希土類元素
濃度が４５％未満の場合、反射が大きいため熱消磁が全
く行われていない。
なお、本実施例では酸化処理を施さずにレーザ加熱を行
なったが、予め酸化処理を行なえばレーザ照射時間が短
（てすむことは明らかである。
なったが、予め酸化処理を行なえばレーザ照射時間が短
（てすむことは明らかである。
上述したように本発明によれば、希土類元素を４５〜１
００重量％含む皮覆層を希土類硬質磁性膜の表面に付着
したあと、レーザで加熱すれば効率的に加熱が行えるた
め微細多極着磁が容易に行なえ、これにより磁気エンコ
ーダやパルスモータの小型化、高性能化が達成できると
いう効果を奏するものである。
００重量％含む皮覆層を希土類硬質磁性膜の表面に付着
したあと、レーザで加熱すれば効率的に加熱が行えるた
め微細多極着磁が容易に行なえ、これにより磁気エンコ
ーダやパルスモータの小型化、高性能化が達成できると
いう効果を奏するものである。
特許出願人 株式会社 安川電機製作所代理人 手掘
益（ほか１名）
益（ほか１名）
Claims (1)
- １、希土類元素を含む硬質磁性膜の表面に希土類元素を
４５〜１００ｉ量％含む被覆層を形成し、その後硬質磁
性膜の加熱所望部分にレーザを照射することにより微細
多極着磁を行なうことを特徴とする硬質磁性膜の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7535084A JPS60218815A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | 硬質磁性膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7535084A JPS60218815A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | 硬質磁性膜の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60218815A true JPS60218815A (ja) | 1985-11-01 |
Family
ID=13573704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7535084A Pending JPS60218815A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | 硬質磁性膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60218815A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62252111A (ja) * | 1986-04-24 | 1987-11-02 | Seiko Epson Corp | 希土類磁石の多極着磁方法 |
| JPS6399509A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-30 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 多極着磁方法 |
| JPS6399510A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-30 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 多極着磁方法 |
| KR100345300B1 (ko) * | 1999-10-14 | 2002-07-25 | 한국과학기술연구원 | ＳｍＣｏ계 경자성 박막의 제조방법 |
-
1984
- 1984-04-13 JP JP7535084A patent/JPS60218815A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62252111A (ja) * | 1986-04-24 | 1987-11-02 | Seiko Epson Corp | 希土類磁石の多極着磁方法 |
| JPS6399509A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-30 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 多極着磁方法 |
| JPS6399510A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-30 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 多極着磁方法 |
| KR100345300B1 (ko) * | 1999-10-14 | 2002-07-25 | 한국과학기술연구원 | ＳｍＣｏ계 경자성 박막의 제조방법 |
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