JPS6021030A - 固体型エレクトロクロミツク表示素子 - Google Patents
固体型エレクトロクロミツク表示素子Info
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- JPS6021030A JPS6021030A JP58128443A JP12844383A JPS6021030A JP S6021030 A JPS6021030 A JP S6021030A JP 58128443 A JP58128443 A JP 58128443A JP 12844383 A JP12844383 A JP 12844383A JP S6021030 A JPS6021030 A JP S6021030A
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- G02F1/1524—Transition metal compounds
- G02F1/15245—Transition metal compounds based on iridium oxide or hydroxide
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電気化学的着消色現象よりなる固体エレクトロ
クロミック(以下1号(シと略す)表示素子に関する。
クロミック(以下1号(シと略す)表示素子に関する。
F″IC表示素子は視野角のないことおよび視認性の良
い(表示が明るい)ことを特徴として最近時計その他の
分野での表示素子として注目されている。EC表示素子
の中で薄膜を積層して成る固体型素子が素子の薄型化等
の有利性から盛んに研究されて来ている。本発明はこの
固体型エレクトロクロミック表示素子の信頼性、とりわ
け耐高温性の改善に関する。
い(表示が明るい)ことを特徴として最近時計その他の
分野での表示素子として注目されている。EC表示素子
の中で薄膜を積層して成る固体型素子が素子の薄型化等
の有利性から盛んに研究されて来ている。本発明はこの
固体型エレクトロクロミック表示素子の信頼性、とりわ
け耐高温性の改善に関する。
第1図に一般的固体型EC表示素子の構造を示す断面図
により示す。基板ガラス11上に下部電極となるインジ
ウム−錫酸化物(ITOと略す)12、酸化着色EC物
質である水酸化イリジウム(Ir (OH)n)13、
固体電解質である五酸化タンタル(T a2o5 )
14、還元着色1: C物1jgjである三酸化タング
ステン(WO3)15および上部ITO電極16を順次
真空蒸着又はイオンブレーティング法により形成する。
により示す。基板ガラス11上に下部電極となるインジ
ウム−錫酸化物(ITOと略す)12、酸化着色EC物
質である水酸化イリジウム(Ir (OH)n)13、
固体電解質である五酸化タンタル(T a2o5 )
14、還元着色1: C物1jgjである三酸化タング
ステン(WO3)15および上部ITO電極16を順次
真空蒸着又はイオンブレーティング法により形成する。
この構造において還元着色EC物質であるWO3は
WO3+ xH+十xe−−+ HxWO3で示される
プロトンH+と電子e−の二重注入により着色する。
プロトンH+と電子e−の二重注入により着色する。
また酸化着色EC物質であるI r (OL+ ) 、
はI r (0l−1) n−xH”−e−−+ Ir
0x(Ol−1)。−xなるプロトンH+と電子e−の
二重放出により着色する。そしてこれら2つのEC物質
は相補的にプロトンのやり取りを行ない゛、同時に着消
色し、透明なTa2 o、層を通して二重に着色が観察
される。
はI r (0l−1) n−xH”−e−−+ Ir
0x(Ol−1)。−xなるプロトンH+と電子e−の
二重放出により着色する。そしてこれら2つのEC物質
は相補的にプロトンのやり取りを行ない゛、同時に着消
色し、透明なTa2 o、層を通して二重に着色が観察
される。
この構造において着消色に寄与するH+はTa2O,、
WO3等の素子構成層中の水分によって供給される。
WO3等の素子構成層中の水分によって供給される。
ところでこの固体型+>C素子を高温試験に投入した場
合、素子の水分が減少し着色濃度が低下し、素子特性が
劣化してしまう。従来このような劣化を防ぐために有(
幾接着剤による接着封止等が行なわれているが必づ゛し
も十分な耐高温性は得られてない。
合、素子の水分が減少し着色濃度が低下し、素子特性が
劣化してしまう。従来このような劣化を防ぐために有(
幾接着剤による接着封止等が行なわれているが必づ゛し
も十分な耐高温性は得られてない。
本発明は素子表面に二酸化ケイ素または窒化シリコンを
被覆し、有機接着剤を介して封止ガラス板と貼り合せて
封止することにより素子の耐高温性を改善した。
被覆し、有機接着剤を介して封止ガラス板と貼り合せて
封止することにより素子の耐高温性を改善した。
本発明において二酸化ケイ素および窒化シリコンの被覆
はプラズマCVD、フォ)CVDおよび高周波イオンブ
レーティングにより行なったことを特徴とする。固体1
.、 CI)素子は膜中水分の散失、膜構造の変化等に
よる素子特性劣化を考慮すると素子構成後の二次加工は
出来るだけ低温において行なわれることが女子ましい。
はプラズマCVD、フォ)CVDおよび高周波イオンブ
レーティングにより行なったことを特徴とする。固体1
.、 CI)素子は膜中水分の散失、膜構造の変化等に
よる素子特性劣化を考慮すると素子構成後の二次加工は
出来るだけ低温において行なわれることが女子ましい。
したがって素子表面の無機化合物層の被覆も出来るだけ
低温で行ないたい。低温基板湯度で緻密かつ安定な膜を
得るにはプラズマCV I)法、フォトCVD法又は高
周波イオンブレーティング法が最適である。これらプラ
ズマCVD法およびフォ)CVD法は従来半導体素子の
パッシベーション膜形成法としては良く知られてし・る
がE C素子の封止層形成法としての利用は皆無である
。
低温で行ないたい。低温基板湯度で緻密かつ安定な膜を
得るにはプラズマCV I)法、フォトCVD法又は高
周波イオンブレーティング法が最適である。これらプラ
ズマCVD法およびフォ)CVD法は従来半導体素子の
パッシベーション膜形成法としては良く知られてし・る
がE C素子の封止層形成法としての利用は皆無である
。
本発明においては従来利用されてないこれらの被覆法を
用い、目的に合致した秀れた無機封止層を得られたこと
を特徴とする。
用い、目的に合致した秀れた無機封止層を得られたこと
を特徴とする。
本発明においてはまた素子表面と被覆膜との密着性を高
めるためにシランカップラー(γ −メタクリロキシプ
ロピル トリメトキシシラン)を介在させ素子の耐高温
性を改善したのももう一つの特徴である。
めるためにシランカップラー(γ −メタクリロキシプ
ロピル トリメトキシシラン)を介在させ素子の耐高温
性を改善したのももう一つの特徴である。
以下実施例により説明する。
実施例1
第2図に従来例の封止構造を示す。基板ガラス21上に
EC素子22を形成し、そのJ二にエポキシ樹脂26を
介して封止ガラス24と貼合わせ接着封止した。
EC素子22を形成し、そのJ二にエポキシ樹脂26を
介して封止ガラス24と貼合わせ接着封止した。
第3図に本発明側封止構造を示す。基板ガラス31上K
E C素子62を形成し、その上にプラズマCV I
)法により膜厚15μの二酸化ケイ素(SiO□)66
を被覆した。さらにその上にエポキシ樹脂34を介しソ
月止ガラス65と貼合わせ接着封止した。ここでEC素
子はいずれも第1図に示される構造から成る。
E C素子62を形成し、その上にプラズマCV I
)法により膜厚15μの二酸化ケイ素(SiO□)66
を被覆した。さらにその上にエポキシ樹脂34を介しソ
月止ガラス65と貼合わせ接着封止した。ここでEC素
子はいずれも第1図に示される構造から成る。
このように封止した素子の70℃高温試験結果を第4図
に示す。第4図においては注入電荷量の試験時間に対し
ての変化を示す。ここで注入電荷量は着色濃度に比例し
、素子の着色濃度を表わす。
に示す。第4図においては注入電荷量の試験時間に対し
ての変化を示す。ここで注入電荷量は着色濃度に比例し
、素子の着色濃度を表わす。
従来例(A)においてを」冒00時間足らずの短時間に
着色濃度が低下してし」:うのに対し本発明例(13)
では50011&間迄殆んど着色濃度は低下せず十分な
耐高温性を示した。
着色濃度が低下してし」:うのに対し本発明例(13)
では50011&間迄殆んど着色濃度は低下せず十分な
耐高温性を示した。
実施例2
第5図に示すように基板ガラス41上にEC素子42を
形成し、その上にプラズマCVD法により膜厚10μの
窒化シリコンC8”3N4)46を被覆した。さらにそ
の上に不飽和ポリエステル44を介して封止ガラス45
を貼り合わせ接着封止した。
形成し、その上にプラズマCVD法により膜厚10μの
窒化シリコンC8”3N4)46を被覆した。さらにそ
の上に不飽和ポリエステル44を介して封止ガラス45
を貼り合わせ接着封止した。
このように封止した素子の70℃高温試験の結果を第6
図に示す。従来例(A)に比べ本発明例(B)は僅かの
低下はあるものの600時間経過後も十分な着色濃度を
維持しずぐれた耐高温性を示した。
図に示す。従来例(A)に比べ本発明例(B)は僅かの
低下はあるものの600時間経過後も十分な着色濃度を
維持しずぐれた耐高温性を示した。
実施例3
第7図に示すように基板ガラス61上に1うC素子62
を形成しその上にシランカップラー(r−メタクリロキ
シプロピル トリメトキシシラy)66をスピンナーコ
ートにより、膜厚1.5/LのS i 02 をプラズ
マCVD法により1llI′+次被4夏した。さらにそ
の上にエポキシ樹脂65を介して封止ガラス66と貼合
わせ接着封止した。
を形成しその上にシランカップラー(r−メタクリロキ
シプロピル トリメトキシシラy)66をスピンナーコ
ートにより、膜厚1.5/LのS i 02 をプラズ
マCVD法により1llI′+次被4夏した。さらにそ
の上にエポキシ樹脂65を介して封止ガラス66と貼合
わせ接着封止した。
70℃高温試験結果を第8図に示す。シランカップラー
により素子表面と’S i 02の密着性が強化され5
00時間経過後も全く着色濃度が低下しない極めてすぐ
れた1flIl高渦性を示した。
により素子表面と’S i 02の密着性が強化され5
00時間経過後も全く着色濃度が低下しない極めてすぐ
れた1flIl高渦性を示した。
実施例4
第7図の封止構造において膜厚1μの5in264の形
成を高周波イオンブレーティングにより行ない、接着剤
65に不飽和ポリエステルを用いて封止した。このよう
に封止した素子の70℃試験結果を第9図に示す。60
0時間経過後20%程の注入電荷量の低下はあるものの
ある程度満足すべき耐高温性を示した。
成を高周波イオンブレーティングにより行ない、接着剤
65に不飽和ポリエステルを用いて封止した。このよう
に封止した素子の70℃試験結果を第9図に示す。60
0時間経過後20%程の注入電荷量の低下はあるものの
ある程度満足すべき耐高温性を示した。
実施例5
第7図の封止構造において膜厚1.5μの5in264
の形成をンオl−CV D法により行なt・、接着剤6
5にエポキシを用いて封止した。このように封止した素
子の70℃試験結果を第10図に示す。
の形成をンオl−CV D法により行なt・、接着剤6
5にエポキシを用いて封止した。このように封止した素
子の70℃試験結果を第10図に示す。
500時間経過後も殆んど注入電荷量の低下がなく極め
て秀れた面1高温性を示した。
て秀れた面1高温性を示した。
このように本発明実施例によれば、EC表示素子表面を
二酸化ケイ素又は窒化シリコンにより被覆し、接着剤を
介して封止ガラスと貼合わせ封止接着することにより、
さらに素子表面と無機酸化膜の間にシランカップラーを
介することkcより素子の耐高温性を改善することがで
きた。固体型エレクトロクロミック素子の実用化にあた
り本発明は有効な改良技術と思われる。
二酸化ケイ素又は窒化シリコンにより被覆し、接着剤を
介して封止ガラスと貼合わせ封止接着することにより、
さらに素子表面と無機酸化膜の間にシランカップラーを
介することkcより素子の耐高温性を改善することがで
きた。固体型エレクトロクロミック素子の実用化にあた
り本発明は有効な改良技術と思われる。
第1図は一般的なEC表示素子の断面図、第2図は従来
の封止構造を示す断面図、第3図、第5図、第7図はい
ずれも本発明の封止構造を示す断面図、第4図及び第6
図、第8図、第9図、第10図はいずれも本発明の表示
素子の特性を従来例と比較して示す←會咎喫老グラフで
ある。 61.41.61・・・・・・下部基板ガラス、65.
45.66・・・・・・上部基板ガラス、66・・・・
・・二酸化ケイ素、 43・・・・・・窒化シリコン、 64.44.65・・・・・・有機接着剤。 第1図 懸 第2図 第3図 第4図 B寺 向 (Hr ) 第5図
の封止構造を示す断面図、第3図、第5図、第7図はい
ずれも本発明の封止構造を示す断面図、第4図及び第6
図、第8図、第9図、第10図はいずれも本発明の表示
素子の特性を従来例と比較して示す←會咎喫老グラフで
ある。 61.41.61・・・・・・下部基板ガラス、65.
45.66・・・・・・上部基板ガラス、66・・・・
・・二酸化ケイ素、 43・・・・・・窒化シリコン、 64.44.65・・・・・・有機接着剤。 第1図 懸 第2図 第3図 第4図 B寺 向 (Hr ) 第5図
Claims (1)
- 下部基板ガラスに41−1成要素を積層して成る素子表
面上に二酸化ケイ素又&1、窒化シリコンを被覆し、有
機接着剤を介して上部基板カラスと貼り合わせ封止した
ことを特徴とする固体型エレクトロクロミック表示素子
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58128443A JPS6021030A (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 固体型エレクトロクロミツク表示素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58128443A JPS6021030A (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 固体型エレクトロクロミツク表示素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6021030A true JPS6021030A (ja) | 1985-02-02 |
Family
ID=14984847
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58128443A Pending JPS6021030A (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 固体型エレクトロクロミツク表示素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6021030A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0676059A1 (en) * | 1992-12-24 | 1995-10-11 | Sun Active Glass Electrochromics, Inc. | Electrochromic devices |
US5724177A (en) * | 1991-09-04 | 1998-03-03 | Sun Active Glass Electrochromics, Inc. | Electrochromic devices and methods |
US9782949B2 (en) | 2008-05-30 | 2017-10-10 | Corning Incorporated | Glass laminated articles and layered articles |
-
1983
- 1983-07-14 JP JP58128443A patent/JPS6021030A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5724177A (en) * | 1991-09-04 | 1998-03-03 | Sun Active Glass Electrochromics, Inc. | Electrochromic devices and methods |
US5757537A (en) * | 1991-09-04 | 1998-05-26 | Sun Active Glass Electrochromics, Inc. | Electrochromic devices and methods |
EP0676059A1 (en) * | 1992-12-24 | 1995-10-11 | Sun Active Glass Electrochromics, Inc. | Electrochromic devices |
EP0676059A4 (en) * | 1992-12-24 | 1995-11-29 | Sun Active Glass Electrochrom | ELECTROCHROME DEVICE. |
US9782949B2 (en) | 2008-05-30 | 2017-10-10 | Corning Incorporated | Glass laminated articles and layered articles |
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