JPS60201530A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 を磁性層とする所謂強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体の
製造方法に関するものである。

一般に、磁気記録媒体としては、強磁性粉末とバインタ
ーとを主成分とする磁性塗料を非磁性支持体に塗布する
ことによって得られるいわゆる塗布型の磁気記録媒体か
知られているが、高密度記録や短波長記録に対する要求
が高まるにつれ、非磁性支持体上にＣｏ　−　Ｎｉ合金
等の強磁性金属材料からなる金属薄膜を真空蒸着法やス
パッタ法、メッキ等の手法を用いて直接被着形成した強
磁性金属薄膜型磁気記録媒体が注目を集めている。

この強磁性金属薄膜型磁気記録媒体においては、磁性層
に例えば塩化ビニルー酢酸ビニル共重合体やポリウレタ
ン樹脂等の樹脂結着剤（バインダ）を混入する必要がな
いため磁性金属材料の充填密度を飛躍的に高めることが
でき、上記高密度記録を容易に達成し得るとともに、磁
性層の厚みを極めて薄くすることができるため記録減磁
や再生蒔の厚み損失等が著しく小さなものとなっている
。

しかしながら、上述の強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体
は、その優れた磁気特性にもかかわらす、付着強度、ク
ラック、耐食性、特性の均一性、生産性等の実用上の諸
問題のため、未だに磁気記録媒体としてほとんど実用化
されていない。特に、上記強磁性金属薄膜の付着強度の
不足による耐久性の悪さは実用上の大きな問題であり、
この付着強度の確保が強く望すれている。

そこで従来は、上記非磁性支持体上にあらかじめ金属材
料や樹脂材料等により下地膜を形成して上記強磁性金属
薄膜と非母性支持体の密着性の改善を図る等の対策が講
じられているが、満足できる結果は得られていない。

本発明は、上述の従来の実情に鑑みて提案されたもので
あって、強磁性金属薄膜の非磁性支持体に対する付着強
度が高く、また強磁性金属薄膜自体の膜質が強固な強磁
性金属薄膜型磁気記録媒体を製造することが可能な磁気
記録媒体の製造方法を提供することを目的とするもので
ある。

本発明に係る磁気記録媒体の製造方法は、非磁性支持体
上に電子線硬化性樹脂よりなる下塗層を形成し、未硬化
状態の下塗層上に強磁性金属薄膜を形成した後、電子線
を照射して上記下塗層を硬化することを特徴とするもの
であって、強磁性金属薄膜の付着強度を確保し耐久性の
高い磁気記録媒体を提供し得るものである。

すなわち、本発明においては、先ず非出性支持体を準備
し、この非磁性支持体上に電子線硬化性樹脂を塗布し下
塗層を形成する。なお、この時点では、上記下塗層に対
して電子線を照射していないので、この下塗層は未硬化
状態となっている。

上記非磁性支持体の素材としては通常使用されるもので
あれば如何なるものであってもよく、例えばポリエチレ
ンテレフタレート等のポリエステル類、ポリエチレン、
ポリプロピレン等のポリオレフィン類、セルローストリ
アセテート、セルロースダイアセテート、セルロースア
セテートブチレート等のセルロース誘導体、ポリ塩化ビ
ニル。

ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂、ポリカーボネー
ト、ポリイミド、ポリアミドイミド等のプラスチック等
が挙げられる。また、上記非磁性支持体の形態としては
、フィルム、テープ、シート。

ディスク、カード、ドラム等のいずれでも良い。

一方、上記下塗層に用いられる電子線硬化性樹脂として
は、電子線感受性の化合物であればいずれてもよく、特
に、放射線感応性の二重結合を２個以上有する放射線感
応性化合物、たとえば、（メタ）アクリル系オリゴマー
またはオリコ頁メタ）アクリレートが望ましい。かがる
化合物としては、特にアクリル酸またはメタクリル酸の
エステル類もしくはアミド類などが好ましい。

使用できるアクリル酸エステルまたはメタクリル酸エス
テルは、多価アルコールのポリアクリレート類またはポ
リメタクリレ−１・類を包含するものである。ここにお
いて、多価アルコールとしては、アルコール性水酸基を
２個以上含有する脂肪族、脂環式、芳香族、脂環式もし
くは芳香環式脂肪族または含窒素系およびポリオキシ酸
、単糖類等で、かつ、ジオール、トリオール、テトラオ
ール、ペンタオール、ヘキサオールなどの多価アルコー
ルが包含されている。

かかる多価アルコールのうち、脂肪族多価アルコールと
しては、直鎖状または分枝状の飽和もしくは不飽和脂肪
族炭集水素基に水酸基が結合して構成された主鎖に、場
合によって置換基が結合されているこ々からなる非置換
または置換脂肪族多価アルコールが包含されている。

その非置換飽和脂肪族多価アルコールの例としては、エ
チレングリコール、１−リメチレンクリコール、１．２
−プロパンジオール、１．３−ブタンジオール、１．４
−ブタンジオール等のブタンジオール、ベンタンジオー
ル、ネオペンチルグリコール、２−メチル−１，４−ブ
タンジオール、ヘキサンジオール、２−メチル−２，４
−ベンタンジオール、２，５−ジメチル−２，５−ヘキ
サンジオール、２−エチル−２−メチル−１，３−プｏ
／′８′ンジオール、ヘプタンジオール、２，２−ジエ
チル−１，３−プロパンジオール、オクタンジオール、
ノナンジオール、２−ｎ−ブチル−２−エチル−１，３
−７’ロバンジオール、ドデカンジオールなどの非置換
飽和脂肪族ジオール、クリセリン、ブタントリオール、
２−エチル−２−ヒト和キシメチルー１．３−プロパン
ジオール、ｌ。

２．６−１−リヒドロキシヘキサン、トリメチロールプ
ロパン、トリメチロールプロパンなどの非置換飽和脂肪
族トリオール、ペンタエリトリ１−−ル、メソエリトリ
ット、ジグリセリンなどの非置換飽和脂肪族テトラオー
ル、ジづンタエリトリフト、ソルビトールなどの非置換
飽和脂肪族へキサオールなどが挙げられる。

また、非置換不飽和脂肪族多価アルコールとしては、前
述したような水酸基が結合した炭化水素基からなる主鎖
中に二重結合および／または三重結合がそれぞれ１個も
しくはそれ以上含有されているものが挙げられ、それら
の好ましい具体例は、たとえば２−ブテン−１，４−ジ
オール、３−ヘキセン−２，５−ジオーノへ　２−ブチ
ン−１，４−ジオールなどのジオール類などが挙げられ
る。

脂肪族多価アルコールの別の例である置換飽和もしくは
不飽和脂肪族多価アルコールとしては、前述した非置換
飽和もしくは不飽和脂肪族多価アルコールの炭化水素基
に、置換基として、塩素、臭氷などのハロゲン原子、メ
ルカプト基、フェニル基などの芳香環式基などが結合し
ている置換脂肪族多価アルコールが挙げられる。かかる
多価アルコールとしては、例えば、３−クロロ−１，２
−フロパンジオール、３−メルカプト−１，２−プロパ
ンシオール、１−フェニル−１，２−エタンジオール、
２，２−ジフェニル−１，３−プロパンジオーノへ　１
．１，４．４−テトラフェニル−１，４−ブタンジオー
ル、２，３−ジブロモ−２−ブテン−１，４−ジオール
、１，１，４．４−テトラフェニル−２−ブチン−１，
４−ジオールなどのジオール類などが挙げられる。

また、多価アルコールの他の例である脂環式多価アルコ
ールとしては、前述したような脂肪族飽和もしくは不飽
和炭化水素基が単環もしくは多環を形成し、その環に直
接水酸基が結合してなる環状多価アルコールであって、
またその環には水酸基以外の置換基、例えば、塩素など
のハロゲン原子、メチル基、エチル基などの脂肪族炭化
水素残基などが結合されていてもよい。かかる脂環式多
価アルコールの例としては、例えば、シクロ−・キサン
ジオーノペデカリンジオール、１，４−ジメチル−１，
４−ヘキサンジオール、２−エチル−１，３−ジクロヘ
キサンジオール、２，２，４゜４−テトラメチル−１，
３−シクロブタンジオール、１−ヘキセンジオール、す
、、５−ジヒ１釦キシー１．２，３．４−テトラヒドロ
ナフタレンなどのジオール類などが挙げられる。

多価アルコールの更に別の例である芳香族多価アルコー
ルトシては、ベンゼン環、ナフタレン環などの芳香環に
直接水酸基が結合したものであって、場合により、その
芳香環に適当な置換基、例えば、塩素などのハロゲン原
子、メチル基、エチル基などの脂肪族炭化水素残基、ア
セチル基なとの酸残基が結合されているものが包含され
る。かかる多価アルコールのより好ましい例としては、
例工ば、カテコール、レゾルシノール、ハイドロキノン
、４−りａロレゾルシノール、メチルハイドロキノン、
ジヒドロキシナフタレン、ｌ、１−ビー２−ナフトール
、ビフェノールなどのジオール類、ピロガロール、１，
２．４−ベンゼントリオール、フロログルシノール、メ
チル−２，４゜６−１−リヒドロキシヘンゾエ−１・な
どのトリオール類などが挙げられる。

また多価アルコールの更に別の例である脂環式もしくは
芳香環式脂肪族多価アルコールとしては、前述したよう
な脂環式または芳香環基に、前述したような直鎖状また
は分枝状の飽和もしくは不飽和脂肪族炭化水素基が、酸
素などの他の原子を介するか才たは介さずに結合したも
のであって、その環式基および脂肪族炭化水素基のいず
れか一方かまたは両方に水酸基が結合したものが包含さ
れる。また、これらの環式基または脂肪族炭化水素基に
は適当な置換基、たとえば、塩素などのハロゲン原子な
どが結合していてもよい。かかる多価アルコールの例と
しては、例えば、１．４−シクロヘキサンジメタツール
、３−シクロヘキサンー１．１−ジメタツール、ジ（β
−ヒト狛キンエトキシ）ベンゼン、ヒドロキシベンジル
アルコール、１．１−メチレンジー２−ナフト−ル、２
，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）ブタン、ｌ、１
−ビス（４−ヒドロキシフェニル）シクロヘキサン、ビ
ス（ヒドロキシフェニル）メタン、２，３゜５．６−チ
トラメチルーｐ−キシレンーα、α−ジオールなどのジ
オール類、ヒドロキシエチルレゾルシノールなどのトリ
オール類などが挙げられる。

更に多価アルコールとして使用できる別の例である含窒
素系多価アルコールとしては、含窒素脂肪族、脂環式、
芳香族または脂環式もしくは芳香環式脂肪族多価アルコ
ールが包含される。これらの多価アルコールは、前述し
たような脂肪族、脂環式、芳香族および脂環式もしくは
芳香環式脂肪族多価アルコールにおいて、それらの多価
アルコールを構成する主鎖中に窒素原子、窒素含有基お
よび／または窒素含有環式基が含まれているものおよび
／または窒素原子を含有する置換基が結合しているもの
を包含するものとする。かかる多価アルコールトシては
、３−アミノ−１，２−プロパンジオールへ　２−アミ
ノ−２−メチル−１，３−フロパンジオール、２−アミ
ノ−２−エチル−１，３−プロパンジオール、Ｎ−（３
−アミノプロピル）ジェタノールアミン、ジェタノール
アミン、Ｎ−エチルジェタノールアミン、Ｎ−ｎ−ブチ
ルジェタノールアミンなどのジオール類、トリエタノー
ルアミン、２，２．２−二トリロ１−ジェタノールなど
のトリオール類などの窒素含有脂肪族多価アルコール、
３−ピペリジノ−１，２−プロパンジオール、２−（２
−ピリジル）−１，３−プロパンジオール、■、２−ビ
ス（４−ピリジル）−１、２−エタンジオール、α−（
ｌ−アミノメチル）−ｐ−ヒドロキシペンシルアルコー
ル、α−（１−アミノエチル）−ｐ−ヒドロキシベンジ
ルアルコール、Ｎ、Ｎ−ビス（２−ヒドロキシエチル）
ピペラジン、１．３−ビス（ヒト′ロキシメチル）ウレ
ア、ビ（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）、ジ（
３−アミ−ノー４−ヒドロキシフェニル）スルホンなど
が例示される。

多価アルコールの更にまた別の例として、ポリオキシ酸
が包含され、そのポリオキシ酸には脂肪族、芳香族およ
び芳香脂肪族ポリオキシ酸などが含有される。かかるポ
リオキシ酸のより好才しい例としては、２，２−ビス（
ヒドロキシメチル）プロピオン酸、３，４−ジヒドロキ
シハイドロ桂皮酸などが挙げられる。

また更に別の多価アルコールとしては、単糖類も使用す
ることができ、例えば、グルコースなどのヘキソース類
、ソルビタンなどのテトロース類などを例示することが
できる。

また、前述したような多価アルコールはそれらの多価ア
ルコールがそれぞれエーテル形に結合したものとしても
使用することができる。このような多価アルコールとし
ては、例えば、ポリエチレングリコール、ポリプロピレ
ンオキサイド、ポリトリメチレンオキサイド、ポリブチ
レンオキサイドなどのポリメチレングリコール、ポリス
チレンオキサイド、ポリシクロヘキセンオキサイド、ジ
ペンタエリトリトール、ジグリセリンなどが例示される
。

前述した如き多価アルコールと、アクリル酸またはメタ
クリル酸とによって形成されるポリアクリル酸エステル
またはポリメタクリル酸エステルのうち、特に入手し易
いという観点から好ましい例としては、例えば、エチレ
ングリコールジアクリレ−１・、ポリエチレングリコー
ルジアクリレート、■、３−プロパンジオールジアクリ
レート、１　、４−／’フクロキサンジオールジアクリ
レート、１．５−ベンタンジオールジアクリレート、２
゜４−ベンタンジオールジアクリレート、ネオベンチル
グリコールジアクリレ−１・などのジアクリル酸エステ
ル、エチレンジメタクリレ−１・、ジエチレングリコー
ルジメタクリレ−１−、ペンタエリトリトールジメタク
リレート、ジグリセリンジメタクリレートなどのジメタ
クリル酸エステル、ペンタエリトリトールトリアクリレ
ート、グリセリントリアクリレート、エチレンオキサイ
ドを付加したトリメチロールプロパンのトリアクリレー
トどのトリアクリル酸エステル、１，２．４−ブタン１
〜リオールトリメタクリレ−１−などのトリメタクリル
酸エステル、ジペンタエリ１−リト−ルペンタアクリレ
ートなどのペンタアクリル酸エステル等が挙げられる。

別の電子線感応性化合物として使用できるアミド類とし
てはアクリル酸アミドまたはメタクリル酸アミドが包含
される。これらのアミド類を作成するために使用される
アミンは、例えば、脂肪族ポリアミン、芳香族ポリアミ
ンおよび芳香環式脂肪族ポリアミンならびにジアミノカ
ルホン酸などのポリアミンが挙げられる。脂肪族ポリア
ミンとしては、前述した如き直鎖状または分枝状の飽和
もしくは不飽和脂肪族炭化水素基に、２個以上のアミ７
基が結合したものであって、場合によっては異種原子、
例えば酸素原子などが介在してもよくまた置換基が結合
していてもよい。このような脂肪族ポリアミンとしては
、メチレンジアミン、エチレンジアミン、ジアミノプロ
パン、ジアミノブタン、ペンタメチレンジアミン、ヘキ
→ノーメチレンジアミン、ヘプタメチレンジアミン、オ
クタメチレンジアミンなどの脂肪族ジアミン、ジエチレ
ン１−ジアミノなどの脂肪族トリアミン、ビス（２−ア
ミノプロピル）アミンなどの脂肪族テトラミンなどが挙
げられる。芳香族ポリアミンとしては、前述した如き芳
香環式基に２個以上のアミン基が直接結合したものであ
って、場合によっては適当な置換基、たとえばメチル基
、エチル基などの脂肪族炭化水素残基、水酸基などが結
合していてもよい。かかる芳香族ポリアミンとしては、
フェニレンジアミン、ジアミノトルエン、キシレンジア
ミン、ジアミノアントラキノン、ジアミノフルオレンな
どの芳香族ジアミンなどが挙げられる。また芳香環式脂
肪族ポリアミンとしては、前述した如き芳香環ならびに
直鎖状または分枝状の不飽和もしくは飽和脂肪族炭化水
素基のいずれかもしくは両方にアミン基が結合したもの
であって、かかる好適な例としてはβ−（４−アミノフ
ェニル）エチルアミンなどが挙げられる。更にジアミノ
カルボン酸には、脂肪族ジアミノカルボン酸および芳香
族ジアミノカルボン酸などが包含され、かかる例として
は、例えば、リシン、ジアミノ安息香酸などが挙げられ
る。

また、前述した如き（メタ）アクリル系化合物のうち、
異なった付加重合性不飽和結合を２個以上有する化合物
もまた本発明における電子線感応性化合物として使用す
ることができる。かかる化合物の例としては、例えば、
Ｎ−β−ヒドロキシエチル−β−（メタクリルアミド）
エチル（メタ）アクリレ−１−１Ｎ、Ｎ−ビス（β−メ
タクリロキシエチル）（メタ）アクリルアミド、アクリ
ルメタクリレ−１・などが挙げられる。

更にまた、本発明において使用できる電子線感応性化合
物である（メタ）アクリル系化合物として、ポリエステ
ル共重合体、ポリウレタン、ジエン系重合体などが挙げ
られる。

ポリエステル共重合体としては、前述した（メタ）アク
リル系化合物であるエステル類において、アクリル酸ま
たはメタクリル酸が未だ結合していない少くとも１個の
水酸基が残存しているものに、前述した如きジオール類
とジカルボン酸、オキシ酸などが反応して得られるもの
が好ましい。この場合に使用されるエステル類における
（メタ）アクリレートとポリオールとの割合は、（メタ
）アクリレートがモノ（メタ）アクリレートである場合
には、約８０／２０〜１０／９０（モル比）、（メタ）
アクリレートがジ（メタ）アクリレートである場合には
、約４０／６０〜５／９５であるのが好ましい。かかる
エステル類としては、例えば、トリメチロールプロパン
モノ（メタ）アクリレート、ペンタエリトリトールなど
の脂肪族ポリオールのジ（メタ）アクリレート、エチレ
ンオキサイド、プロピレンオキサイド、トリメチレンオ
キサイド、テトラメチレンオキサイドなどの脂環式エー
テルのジ（メタ）アクリレートなどが用いられる。また
、ジオールとしては、例えば、エチレングリコール、フ
ロピレングリコーノへ　１．３−プロパンジオール、ｌ
、４−ブタンジオール、ｌ、５−ベンタンジオール、ネ
オペンチルグリコール、２，２．４−１−ツメチル−１
，３−ベンタンジオール、ジエチレングリコール、ジプ
ロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプ
ロピレングリコール、ポリトリメチレングリコール、ポ
リテトラメチレングリコールなどの脂肪族ジオール、１
．４−シクロヘキサンジオールなどの脂環式ジオール、
ビスフェノールＡのエチレンの芳香族系ジオール化合物
が挙げられる。なお、この場合には、トリメチロールエ
タン、トリメチロールプロパン、グリセリン、ペンタエ
リトリト−ルなどのトリオールおよび／またはテトラオ
ールなどを少量併用することもできる。更に、使用でき
るカルボン酸としてはコハク酸、アジピン酸、アゼライ
ン酸、セバシン酸、ドデカンジカルボン酸などの脂肪族
ジカルボン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸
、ナフタル酸などの芳香族ジカルボン酸、ｐ−オキシ安
息香酸などの芳香族オキシ酸、グリセリン酸などの脂肪
族オキシ酸などが包含される。なお、カルホン酸のうち
、脂肪族系と芳香族系のカルボン酸とは併用することが
でき、この場合には芳香族系のカルホン酸が約５０％以
上であるのが好ましい。また、芳香族系のカルホン酸を
併用する場合には、テレフタル酸の割合が約３０モル係
以上になるのが好ましい。更に、トリメット 酸などのトリカルボン酸および／またはテトラカルボン
酸などを少量併用することもできる。

更に（メタ）アクリル系化合物として使用できる化合物
であるポリウレタン化合物は、前述した如きポリエステ
ル共重合体の構成成分のうち、そのカルボン酸成分をジ
インシアネート化合物で置換して得られるものが好まし
い。かかるジイソシアネート化合物としては、通常ポリ
ウレタンを作成するために使用されているものであれば
何れてもよいが、その好適な例としては、例えば、ヘキ
サメチレンジイソシアネート、テ１−ラメチレンジイソ
シアネートなどの脂肪族シイソシアネ−１・、トリレン
ジイソシアネート、ジフェニルメタン−４、４−ジイソ
シアネ−１・などの芳香族シイソンアネートなどが挙げ
られる。

更にまた（メタ）アクリル系化合物として使用できるも
のとして、例えばジエン系のコム系樹脂が挙げられる。

かかるジエン系樹脂としては例え、ばポリアクリロニト
リル−ブタジェン系などが使用できる。

また、前述した如き放射線感応性化合物である（メタ）
アクリル系化合物は、例えば、ポリウレタン、ポリエス
テル、例えばポリアクリロニトリル−ブタジェンなどの
ゴム系熱可塑性樹脂と混合して用いることもできる。こ
の場合、がかる熱可塑性樹脂はアクリル変性（二重結合
の導入）がなされていてもよい。かかる樹脂の併用によ
って、柔軟性および接着性の向上を図ることもできる。

更に、前述した如き放射線感応性化合物のうち、例えば
水酸基、カルボキシ基、アミン基などの活性水素を有す
る遊離基を有するものは、官能基を有する熱可塑性樹脂
、例えば、イソシアナト基、水酸基などを有するポリウ
レタンまたは水酸基を有するポリエステルまたはアクリ
ロニトリル−ブタジェン系ポリマーと反応させて得られ
る反応生成物を用いてもよい。

本発明において使用する前述した如き放射線感応性化合
物は、（メタ）アクリル系二重結合１個当りの分子量は
約２００乃至約２００００であるのが好ましい。

これら電子線硬化性樹脂を、超音波塗布、ｏ　−ルコー
タ塗布、ディッピング法等の手法を用いて上記非磁性支
持体上に塗布する。このとき、上記下塗層の厚さは、５
０〜５００大の範囲であることが好ましい。

次いで、上記未硬化状態の下塗層上に強磁性金属材料を
常法に従って被着し、破性層となる強磁性金属薄膜を形
成する。

上記強磁性金属材料としては、通常この種の磁気記録媒
体に使用されるものてあれば如何なるものであってもよ
く、例えば鉄Ｐｅ、コバルｈＣｏ、ニッケルＮｉ等の金
属あるいはＣｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、Ｆｅ　−
　、Ｎｉ合金、Ｆｅ　−　Ｃｏ　−Ｎｉ　合金−　Ｆｅ
　−　Ｃｏ−Ｂ合金、ｃｏ−Ｎ１−Ｆｅ−Ｂ合金あるい
はこれらにＣｒ　、　ＡＡ等の金属が含有されたもの等
が挙げられる。

上記強磁性金属材料の被着手段としては、真空蒸着法、
イオンフツーテインク法、スパッタ法等が挙げられる。

上記真空蒸着法は、］　０”’〜１０−８Ｔｏｒｒ　の
真空下で上記強磁性金属材料を抵抗加熱、高周波加熱、
電子ビーム加熱等により蒸発させ上記非磁性支持体上に
蒸発金属（強磁性金属材料）を沈着するというものであ
り、斜方蒸着法及び垂直蒸着法に大別される。上記斜方
蒸着法は、高い抗磁力を得るため非磁性支持体に対して
上記強磁性金属材料を斜めに蒸着するものであって、よ
り高い抗磁力を得るために酸素雰囲気中で上記蒸着を行
なうものも含まれる。上記垂直蒸着法は、蒸着効率や生
産性を向上し、かつ高い抗磁力を得るために非磁性支持
体上にあらかじめＢｉ　、　ＴＡ　。

Ｓｂ、Ｇａ、Ｇｅ等の下地金属層を形成しておき、この
下地金属層上に上記強磁性金属材料を垂直に蒸着すると
いうものである。上記イオンブレーティング法も真空蒸
着法の一種であり、ｌＯ〜１ＯＴｏｒｒ　の不活性ガス
雰囲気中でＤＣグロー放電、ＲＦグロー放電を起こし、
放電中で上記強磁性金属を蒸発させるというものである
。上記スパッタ法は、１０　＝ｌＯＴｏｒｒ　のアルゴ
ンガスを主成分とする雰囲気中でグロー放電を起こし、
生じたアルゴンイオンでターゲット表面の原子をたたき
出すというもので、グロー放電の方法により直流２極、
３極スパツタ法や、高周波スパッタ法、またマグネトロ
ン放電を利用したマグネトロンスパッタ法等がある。

このように未硬化状態の下塗層上に強磁性金属薄膜を形
成した後に、上記下塗層に対して電子線を照射する。こ
の電子線の照射により、上記下塗層を構成する電子線硬
化性樹脂が架橋反応を起こして硬化し、上記強磁性金属
薄膜を強固に保持する。

上記電子線の照射量としては、約１〜５　Ｑ　Ｍｒａｄ
の範囲であればよいが、通常はｌ　、　ｌ　Ｑ　Ｍｒａ
ｄ、好ましくは２〜７Ｍｒａｄ　である。また、その照
射エネルギー（加速電圧）は５ＱＫＶ以上であることが
好ましく、電流は０．Ｏ１μＡ以上て照射することが好
ましい。さらに、上記電子線は、上記非磁性支持体の表
面（上記下塗層及び強磁性金属薄膜が形成される面）側
から照射してもよいし、あるいは裏面側から照射しても
よい。

以上の工程を経て製造される磁気記録媒体においては、
強磁性金属薄膜の付着強度が極めて高く、また薄膜自体
の膜質が強固なものとなっているので、耐久性が著しく
向上している。これは、上記製造方法において未硬化状
態の下塗層上にあらかじめ強磁性金属薄膜を形成しその
後上記下塗層を硬化しているので、上記強磁性金属薄膜
が上記下塗層によって強固に保持されることによるもの
と考えられる。

以下、本発明の具体的な実施例について説明するが、本
発明がこの実施例に限定されるものでないことは言うま
でもない。

実施例 厚さ９μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上に
ジペンタエリトリトールへキサアクリレートの１％イソ
オクタン溶液を超音波塗布し、厚さ約５ＯＡの下塗層を
形成した。

次に、」二記下塗層上に真空蒸着装置を用いてコ゛　パ
ル１−Ｃｏを入射角５０°〜９〔で斜方蒸着し、膜厚約
２００　ＯＡの強磁性金属薄膜を形成した。

最後に上記強磁性金属薄膜表面側から電子線を５Ｍｒａ
ｄ照射し、上記下塗層を硬化してサンプル得られたサン
プルテープをスチル供定器にかけてスチル特性を測定し
たところ、８１分及び１０５分という結果が得られた。

なお、上記スチル特性は、テープに４．２ＭＨｚの映像
信号を記録しこの再生出力が５０係に減衰するまでの時
間として測定し、また、同一方法により得られるサンプ
ルテープについて２回測定した。

比較例 厚さ９μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上に
、下塗層を形成することなく先の実施例と同様の方法に
より強磁性金属薄膜を蒸着し、サンプルテープを作成し
た。

得られたサンプルテープのスチル特性を測定したところ
、メチル時間がほぼ０分で再生出力が低下してしまった
。

上述の実施例及び比較例からも明らかなように、本発明
の製造方法によればスチル特性か良好で耐久性の高い強
磁性金属薄膜型磁気記録媒体が得られることが分かる。

特許出願人ソニー株式会社 代理人　弁理士　小　池　晃 同　１）　村　榮　−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性支持体上に電子線硬化性樹脂よりなる下塗層を形
   成し、未硬化状態の下塗層上に強磁性金属薄膜を形成し
   た後、電子線を照射して上記下塗層を硬化することを特
   徴とする磁気記録媒体の製造方法。