JPS60201523A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS60201523A JPS60201523A JP5661184A JP5661184A JPS60201523A JP S60201523 A JPS60201523 A JP S60201523A JP 5661184 A JP5661184 A JP 5661184A JP 5661184 A JP5661184 A JP 5661184A JP S60201523 A JPS60201523 A JP S60201523A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- magnetic recording
- film
- width
- magnetic film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、情報を磁気的に記録し、必要に応じて再生利
用することのできる磁気記録媒体に関する。
用することのできる磁気記録媒体に関する。
従来例の構成とその問題点
磁気記録媒体は、ディスク、テープ等の形態のいずれも
面内記録方式と垂直磁化方式とに大別される。垂直磁化
方式は鋭意研究開発されている新しい方式であって、磁
気ヘッドとして、リングヘッドを用いる型と、主磁極及
び補助磁極を用いる型とがある。
面内記録方式と垂直磁化方式とに大別される。垂直磁化
方式は鋭意研究開発されている新しい方式であって、磁
気ヘッドとして、リングヘッドを用いる型と、主磁極及
び補助磁極を用いる型とがある。
第1図は主磁極1及び補助磁極2を備えた型の垂直磁化
方式の磁気記録媒体構造の一例を示す断面図である。図
において3は補助磁極2の励磁コイルである。磁気ディ
スクはポリエステル等のベース6の表面に補助媒体とし
てのパーマロイ膜5を形成し、その上に記録用媒体であ
るGo−Or等の00合金膜4を形成した3層構造にな
っている。
方式の磁気記録媒体構造の一例を示す断面図である。図
において3は補助磁極2の励磁コイルである。磁気ディ
スクはポリエステル等のベース6の表面に補助媒体とし
てのパーマロイ膜5を形成し、その上に記録用媒体であ
るGo−Or等の00合金膜4を形成した3層構造にな
っている。
破線で示した磁束は高透磁率の補助媒体であるパーマロ
イ膜6によって集束され、記録用媒体であるCO系金合
金膜4通って主磁極1を通る。かかる媒体を得るには、
スパッタリング法、真空蒸着法、無電解めっき法等の薄
膜化技術を用いるのであるが、量産性の面で真空蒸着法
が抜きでている。
イ膜6によって集束され、記録用媒体であるCO系金合
金膜4通って主磁極1を通る。かかる媒体を得るには、
スパッタリング法、真空蒸着法、無電解めっき法等の薄
膜化技術を用いるのであるが、量産性の面で真空蒸着法
が抜きでている。
しかし真空蒸着法により得られたGo−Cr垂直磁化膜
を用いて高密度記録を行うと、ノイズが大きく、充分な
信号対雑音比(以下S/Nと記す)を確保できない。こ
れまでは、この原因はGo−Orの磁歪が主なものであ
るとして、パーマロイ膜の厚みをなるべく厚くして等測
的に磁歪の影響を小さくすることが提案されているが、
少しばかりの改良があるものの不十分で改良が望まれて
いる。
を用いて高密度記録を行うと、ノイズが大きく、充分な
信号対雑音比(以下S/Nと記す)を確保できない。こ
れまでは、この原因はGo−Orの磁歪が主なものであ
るとして、パーマロイ膜の厚みをなるべく厚くして等測
的に磁歪の影響を小さくすることが提案されているが、
少しばかりの改良があるものの不十分で改良が望まれて
いる。
発明の目的
本発明は以上の事情に鑑みて成されたもので、高密度記
録を十分なS/Nで行える磁気記録媒体を提供するもの
である。
録を十分なS/Nで行える磁気記録媒体を提供するもの
である。
発明の構成
本発明の磁気記録媒体は、垂直記録方式で記録したビッ
ト長をμm単位で表わした数値をbとすると、真空蒸着
法で得られた垂直磁化膜のC軸配向が、X線回折パター
ン(002)面のロッキング曲線の半値幅の値Δθ5o
で表わして30b〔度〕以下であることを特徴とし、高
密度記録でも十分なS/Nが確保できるものである。
ト長をμm単位で表わした数値をbとすると、真空蒸着
法で得られた垂直磁化膜のC軸配向が、X線回折パター
ン(002)面のロッキング曲線の半値幅の値Δθ5o
で表わして30b〔度〕以下であることを特徴とし、高
密度記録でも十分なS/Nが確保できるものである。
実施例の説明
以下本発明の実施例について図面を参照しながら説明す
る。
る。
第2図は垂直磁化膜9に情報が記録された状況を模式的
に示した図で、上向きの磁化単位7と下向きの磁化単位
8が交互に配列された状況を示すもので、図中すが、情
報の単位のビット長にあたるものであり、垂直記録では
ビット長が0.6μm以下を目指すものである。かかる
短ビツト長域では、磁歪による雑音が問題なのではなく
、CO系金合金膜C@配向性が重要な因子であることを
尽きとめ、後述する実施例で確かめ本発明を完成させた
ものである。
に示した図で、上向きの磁化単位7と下向きの磁化単位
8が交互に配列された状況を示すもので、図中すが、情
報の単位のビット長にあたるものであり、垂直記録では
ビット長が0.6μm以下を目指すものである。かかる
短ビツト長域では、磁歪による雑音が問題なのではなく
、CO系金合金膜C@配向性が重要な因子であることを
尽きとめ、後述する実施例で確かめ本発明を完成させた
ものである。
第3図に代表的なGo−Cr膜のX線回折パターンの(
002)面のX線ロッキング曲線を示しである。とこで
、X線の強度の最大値の強度が半分になる時の、曲線の
幅Δθ5oがC軸配向の尺度として用いられる指標であ
るが、とのΔθ5oが、前述したビット長すとの間にΔ
θ5o≦30・bの関係を満足する条件で記録再生に供
すれば、十分なS/Nが得られる。この種の関係がスパ
ッタリング膜、無電解めっき膜においては見出せない蒸
着膜固有のものである理由は現在はっきりしていないが
、同一の保磁力を得るのに、スパッタリング法より高い
基板温度を必要とすることから薄膜を構成する微結晶粒
子サイズが不ぞろいになり易いことに関係していると推
察される。
002)面のX線ロッキング曲線を示しである。とこで
、X線の強度の最大値の強度が半分になる時の、曲線の
幅Δθ5oがC軸配向の尺度として用いられる指標であ
るが、とのΔθ5oが、前述したビット長すとの間にΔ
θ5o≦30・bの関係を満足する条件で記録再生に供
すれば、十分なS/Nが得られる。この種の関係がスパ
ッタリング膜、無電解めっき膜においては見出せない蒸
着膜固有のものである理由は現在はっきりしていないが
、同一の保磁力を得るのに、スパッタリング法より高い
基板温度を必要とすることから薄膜を構成する微結晶粒
子サイズが不ぞろいになり易いことに関係していると推
察される。
本発明に用いることのできる垂直磁化膜は、垂直方向に
磁化可能なGo−Or、Go−V、Go−Ni−Or。
磁化可能なGo−Or、Go−V、Go−Ni−Or。
Go−Ti 、 Go −W 、 Go−Mo 、 G
o−Cr−Rh 、 Go−Ru 。
o−Cr−Rh 、 Go−Ru 。
G o −0、G o −N i−0等である。
いずれの桐質であっても、ビット長、bの30倍以下の
C軸配向性、Δθ5oの値に管理されなければなら々い
。
C軸配向性、Δθ5oの値に管理されなければなら々い
。
Δθ5o≦30−bの臨界的意義は、画像記録再生にめ
られるS/Nを45dBに設定した場合で、この値によ
り当然、若干変化するものであるが、現在普及している
画像の動画での人間の視覚に受け入れうる限界値が経験
的に45dB程度であることが、Δθ5o≦30・bの
決定の根拠になっているものである。
られるS/Nを45dBに設定した場合で、この値によ
り当然、若干変化するものであるが、現在普及している
画像の動画での人間の視覚に受け入れうる限界値が経験
的に45dB程度であることが、Δθ5o≦30・bの
決定の根拠になっているものである。
以下、更に具体例で本発明を説明するが、本発明がそれ
に限定されるものではないのは勿論である。
に限定されるものではないのは勿論である。
厚さ12μmのポリエチレンテレフタレート上にあらか
じめ80%N1−20%Fe膜を0.55μm、高周波
マグネトロンスパッタ法により形成した。この基板を用
い、電子ビーム蒸着法により、Δθ5oの異なるGo−
Cr膜を形成した。Orは2o%一定となるよう制御し
た。Δθ5oの制御は、蒸発源の位置と、電子ビームの
集束状態をパラメータにして行った。Go−Or膜厚は
0.2μmとし、保磁力は390(’06 )から40
5(’ Oe )のものを選別した。Δθ5oは、理学
電機製のX線回折装置を用いて測定し、S/N測定は、
市販のビデオテープレコーダーと等価な走行系を有する
デツキに、主磁極幅0.12 Cμm〕のアモルファス
ヘッドを搭さいして、補助磁極は幅30Qμmのパーマ
ロイを用いて行った。その結果を次表に示した。
じめ80%N1−20%Fe膜を0.55μm、高周波
マグネトロンスパッタ法により形成した。この基板を用
い、電子ビーム蒸着法により、Δθ5oの異なるGo−
Cr膜を形成した。Orは2o%一定となるよう制御し
た。Δθ5oの制御は、蒸発源の位置と、電子ビームの
集束状態をパラメータにして行った。Go−Or膜厚は
0.2μmとし、保磁力は390(’06 )から40
5(’ Oe )のものを選別した。Δθ5oは、理学
電機製のX線回折装置を用いて測定し、S/N測定は、
市販のビデオテープレコーダーと等価な走行系を有する
デツキに、主磁極幅0.12 Cμm〕のアモルファス
ヘッドを搭さいして、補助磁極は幅30Qμmのパーマ
ロイを用いて行った。その結果を次表に示した。
(以下余 白)
上表より明らかなように、Δθ5o が30・b〔度〕
以下であれば、46dB以上のS/Nが得られることが
理解できる。
以下であれば、46dB以上のS/Nが得られることが
理解できる。
尚本発明は、Go−Or単層の垂直記録媒体にリングヘ
ッドを用いる場合、薄膜磁気ヘッドを用いて記録再生を
行う場合でも有効である。
ッドを用いる場合、薄膜磁気ヘッドを用いて記録再生を
行う場合でも有効である。
又、Crの含有率18%、22%のものについて前記し
たのと同様の実験で確認すると同時に、Qo −V 、
Go−Ru 等についても同様に本発明の有効性を確
認した。
たのと同様の実験で確認すると同時に、Qo −V 、
Go−Ru 等についても同様に本発明の有効性を確
認した。
本発明の実施例として磁気記録媒体として磁気テープを
例にして説明したが、本発明の要旨を逸脱しない範囲で
、磁気ディスク、磁気シートの形態をとることもできる
ものである。
例にして説明したが、本発明の要旨を逸脱しない範囲で
、磁気ディスク、磁気シートの形態をとることもできる
ものである。
発明の効果
以上のように本発明は、垂直記録方式で記録したビット
長をμm単位で表すした数値をbとすると、真空蒸着法
で得られた垂直磁化膜の(002)面のX線ロッキング
曲線の半値幅Δθ5oが、30・b〔度〕以下である垂
直磁化膜を磁気記録層とすることで、短波長城でのS/
Nの良好な磁気記録媒体が得られるもので、その実用的
価値は太きい。
長をμm単位で表すした数値をbとすると、真空蒸着法
で得られた垂直磁化膜の(002)面のX線ロッキング
曲線の半値幅Δθ5oが、30・b〔度〕以下である垂
直磁化膜を磁気記録層とすることで、短波長城でのS/
Nの良好な磁気記録媒体が得られるもので、その実用的
価値は太きい。
第1図は垂直磁化方式の磁気記録媒体構造の一例を示す
断面図、第2図は垂直記録されたビソトト・・・・主磁
極、2・・・・・・補助磁極、4・・・・・・Go糸、
合金薄膜(垂直磁化膜)、6・・・・・・パーマロイ膜
。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図 す 門 7
断面図、第2図は垂直記録されたビソトト・・・・主磁
極、2・・・・・・補助磁極、4・・・・・・Go糸、
合金薄膜(垂直磁化膜)、6・・・・・・パーマロイ膜
。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図 す 門 7
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 垂直記録方式で記録したピット長をμm単位で表わした
数値をbとすると、真空蒸着法で得られた垂直磁化膜の
C軸配向が、X線回折パターン、(002)面のロッキ
ング曲線の半値幅の値Δθ5゜で表わして30b〔度〕
以下であることを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5661184A JPS60201523A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5661184A JPS60201523A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60201523A true JPS60201523A (ja) | 1985-10-12 |
Family
ID=13032039
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5661184A Pending JPS60201523A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60201523A (ja) |
-
1984
- 1984-03-23 JP JP5661184A patent/JPS60201523A/ja active Pending
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