JPS60200403A - 薄膜誘電体の製造方法 - Google Patents

薄膜誘電体の製造方法

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Nippon Soda Co Ltd
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JP2014172778A (ja) * 2013-03-08 2014-09-22 Mitsubishi Materials Corp 誘電体薄膜形成用組成物及び誘電体薄膜の形成方法並びにこの方法で形成された誘電体薄膜

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