JPS60200149A - Ｘ線透視検査装置用試料皿 - Google Patents
Ｘ線透視検査装置用試料皿Info
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- JPS60200149A JPS60200149A JP59055987A JP5598784A JPS60200149A JP S60200149 A JPS60200149 A JP S60200149A JP 59055987 A JP59055987 A JP 59055987A JP 5598784 A JP5598784 A JP 5598784A JP S60200149 A JPS60200149 A JP S60200149A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
- G01N23/043—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using fluoroscopic examination, with visual observation or video transmission of fluoroscopic images
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、例えばＩＣなどの小物電気部品を拡大して透
視検査するＸ線透視検査装置に用いる、前記電気部品な
どを配列載置する試料皿に関するものである。
視検査するＸ線透視検査装置に用いる、前記電気部品な
どを配列載置する試料皿に関するものである。
ＩＣなどの小物電気部品を検査する装置の１つにＸ線透
視検査装部がある。これに、卯、１図に示すように、複
数の試料（図示せず）が配列載置された試料皿１の試料
配列面（底面）を上下より挟んでＸ＠管装置２とｐｂｏ
ビジコン撮像管などからなるＴＶカメラ３の対（以下、
Ｘ線’ｆｌ−ＴＶ左カメラという）を設け、試料皿１’
ＹＸ−Ｙテーブル４で移動させると共にＸｉ管装置２を
作動させてＸ線ケ照射し、前記複数の試料の透視像（そ
の−例を第２図に示す）を順次ＴＶモニタ５に拡大して
映し出し、各試料を検査するものである。この場合、Ｘ
１Ｆｌ管装置２の制御はＸ線制御装置６で、Ｘ−Ｙテー
ブル４の制御はＸ−Ｙ制御スイッチ７で、各々行われる
。また、Ｘ線ｇ装置２、ＴＶカメラ３、ｘ−ｙテーブル
４は（従って試ネ目１１１１も）、扉８ａを備えたＸ線
防護箱８内に配設されている。
視検査装部がある。これに、卯、１図に示すように、複
数の試料（図示せず）が配列載置された試料皿１の試料
配列面（底面）を上下より挟んでＸ＠管装置２とｐｂｏ
ビジコン撮像管などからなるＴＶカメラ３の対（以下、
Ｘ線’ｆｌ−ＴＶ左カメラという）を設け、試料皿１’
ＹＸ−Ｙテーブル４で移動させると共にＸｉ管装置２を
作動させてＸ線ケ照射し、前記複数の試料の透視像（そ
の−例を第２図に示す）を順次ＴＶモニタ５に拡大して
映し出し、各試料を検査するものである。この場合、Ｘ
１Ｆｌ管装置２の制御はＸ線制御装置６で、Ｘ−Ｙテー
ブル４の制御はＸ−Ｙ制御スイッチ７で、各々行われる
。また、Ｘ線ｇ装置２、ＴＶカメラ３、ｘ−ｙテーブル
４は（従って試ネ目１１１１も）、扉８ａを備えたＸ線
防護箱８内に配設されている。
ところで前記試料皿１は、ベークライトやカービンファ
イバ板で作成されており、その上に試料を配列載置して
いるが、従来、各試料の検査に際して、ＴＶモニタ５に
いま映し出され検査されている試料が試料皿１上のどの
位置にあるものなのかの識別については、外部から試料
又は試料皿１の不良試料載置個所などにマークを付す必
要があった。このため、不良試料が見つかる度にＸ線を
遮断し、該当個所にマークを付さなければならず面倒で
ある。一般には、第１図に示すように試料皿１は防護箱
８内に入っているため、上述マークを付す作業は、まず
Ｘ線をしゃ断し、扉８ａを開け、マーフケ付し、扉８ａ
ｉ閉めて終了するもので、その後、Ｘ線を照射し、検査
を続け、再び不良試料が見つかったとき、同様の作業を
繰り返すことになる。従って検査が著しく面倒で、長い
時間を要することとなり、従来、この点についての改善
が要望されていた。
イバ板で作成されており、その上に試料を配列載置して
いるが、従来、各試料の検査に際して、ＴＶモニタ５に
いま映し出され検査されている試料が試料皿１上のどの
位置にあるものなのかの識別については、外部から試料
又は試料皿１の不良試料載置個所などにマークを付す必
要があった。このため、不良試料が見つかる度にＸ線を
遮断し、該当個所にマークを付さなければならず面倒で
ある。一般には、第１図に示すように試料皿１は防護箱
８内に入っているため、上述マークを付す作業は、まず
Ｘ線をしゃ断し、扉８ａを開け、マーフケ付し、扉８ａ
ｉ閉めて終了するもので、その後、Ｘ線を照射し、検査
を続け、再び不良試料が見つかったとき、同様の作業を
繰り返すことになる。従って検査が著しく面倒で、長い
時間を要することとなり、従来、この点についての改善
が要望されていた。
本発明は上記のような要望に鑑みてなされたもので、不
良試料が見つかったときのマークを付す作業が省略でき
、従って多数の試料の検査が極めて簡単かつ短時間で行
い得るＸ線透視横置装置用試料皿を提供することを目的
とする。
良試料が見つかったときのマークを付す作業が省略でき
、従って多数の試料の検査が極めて簡単かつ短時間で行
い得るＸ線透視横置装置用試料皿を提供することを目的
とする。
本発明は、複数の試料の配列面を挟んでＸ線管−ＴＶ左
カメラを設け、これら試料配列面及びＸ線管−ＴＶカメ
ラ対対相相対的移動させると共に前記Ｘ線管よりＸ線を
照射して前記複数の試料の透視像を順次ＴＶモニタに映
し出し、各試料を検査するＸ線透視検査装置−において
、前記複数の試料を配列載置するものであってその試料
配列面に、試料配列区画を表示するための分割線と、こ
の分割線により表示された各区画内に各区画を識別する
ための識別表示とが、Ｘ線非透過性の物質で描かれてな
り、前記区画と区画識別が試料の透視像と共にＴＶモニ
タに映し出されるようにしたものである。
カメラを設け、これら試料配列面及びＸ線管−ＴＶカメ
ラ対対相相対的移動させると共に前記Ｘ線管よりＸ線を
照射して前記複数の試料の透視像を順次ＴＶモニタに映
し出し、各試料を検査するＸ線透視検査装置−において
、前記複数の試料を配列載置するものであってその試料
配列面に、試料配列区画を表示するための分割線と、こ
の分割線により表示された各区画内に各区画を識別する
ための識別表示とが、Ｘ線非透過性の物質で描かれてな
り、前記区画と区画識別が試料の透視像と共にＴＶモニ
タに映し出されるようにしたものである。
以下第３図及び第４図を参照して本発明の詳細な説明す
る。第３図は本発明によるＸ線透視検査装置用試料皿の
一実施例を示す斜視図で、図中１１は図示しない試料を
配列載置する試料配列面、】２はこの配列面１１に適宜
量隔置いて格子状に描かれた分割線で、この分割線】２
により試料配列区画１３が表示される。１４は、その各
区画１３内の例えば隅部に描かれた、各区画１３を識別
するための識別表示、例えば１から区画１３の総数と同
じ数、ここでは１５までの数字表示である。この場合、
上記分割線１２及び表示１４は、器材のようにＸ線の透
過しやずい物質とは異なり、Ｘ線非透過性の物質、例え
ば含鉛塗料などを用いて描かれている。
る。第３図は本発明によるＸ線透視検査装置用試料皿の
一実施例を示す斜視図で、図中１１は図示しない試料を
配列載置する試料配列面、】２はこの配列面１１に適宜
量隔置いて格子状に描かれた分割線で、この分割線】２
により試料配列区画１３が表示される。１４は、その各
区画１３内の例えば隅部に描かれた、各区画１３を識別
するための識別表示、例えば１から区画１３の総数と同
じ数、ここでは１５までの数字表示である。この場合、
上記分割線１２及び表示１４は、器材のようにＸ線の透
過しやずい物質とは異なり、Ｘ線非透過性の物質、例え
ば含鉛塗料などを用いて描かれている。
次に、このような試料皿を用いてＸ線透視検査装置で試
料ビ検査する場合につき第１図を併用して説明する。ま
ず、本発明試料皿の配列面１１の適宜の区画１３又は全
ての区画１３に試料（図示せず）音配列載置し、次にこ
れを防護箱８内のＸ−Ｙテーブル４上に置き、以下、前
述と同様にＸ−Ｙテーブル４及びＸ＃管装置２を作動さ
せ、各試料の透視像を順次−ＴＶモニタ５で拡大して映
し出し、各試料を検査するものである。
料ビ検査する場合につき第１図を併用して説明する。ま
ず、本発明試料皿の配列面１１の適宜の区画１３又は全
ての区画１３に試料（図示せず）音配列載置し、次にこ
れを防護箱８内のＸ−Ｙテーブル４上に置き、以下、前
述と同様にＸ−Ｙテーブル４及びＸ＃管装置２を作動さ
せ、各試料の透視像を順次−ＴＶモニタ５で拡大して映
し出し、各試料を検査するものである。
第４図は本発明試料皿を用いた場合のＴＶモニタに映し
出された試料透視像の一例を示す図で、図中５ａはＴＶ
モニタ画面、１２ａけ分割線形、１４ａは数字表示（識
別表示）影、１５ｆｄ透視像である。
出された試料透視像の一例を示す図で、図中５ａはＴＶ
モニタ画面、１２ａけ分割線形、１４ａは数字表示（識
別表示）影、１５ｆｄ透視像である。
この第４図から分かるように、画面５ａ中には透視像１
５の他に分割線形１２ａ及び数字表示影１４ａも映し出
されることになる。従って、透視像１５として映し出さ
れた試料が不良であると判定された場合には、それが載
置され区画１３ケ防護箱８外部のＴＶモニタ画面５ａに
映し出された数字表示影１４ａによって知ることができ
る。知り得た不良試料が載置された区画１３の数字表示
１４Ｙ逐−控えておけば、全試料の検査終了後、防護箱
８から試料皿を取り出して該当する区画１３の不良試料
を除去するなどの処分がまとめて行い得ることになる。
５の他に分割線形１２ａ及び数字表示影１４ａも映し出
されることになる。従って、透視像１５として映し出さ
れた試料が不良であると判定された場合には、それが載
置され区画１３ケ防護箱８外部のＴＶモニタ画面５ａに
映し出された数字表示影１４ａによって知ることができ
る。知り得た不良試料が載置された区画１３の数字表示
１４Ｙ逐−控えておけば、全試料の検査終了後、防護箱
８から試料皿を取り出して該当する区画１３の不良試料
を除去するなどの処分がまとめて行い得ることになる。
なお、上述実施例では、区画１３の識別表示を数字表示
１４としたが、アルファベット、ドツトマークなど、各
区画を視覚的に識別できる表示であれば、そのいずれで
もよい。また、この表示の大きさや区画１３内の位置、
分割線１２の太さや間隔さらには区画１３の形状などは
、検査される試料の大きさ、形状などにより適宜設定す
ることができる。
１４としたが、アルファベット、ドツトマークなど、各
区画を視覚的に識別できる表示であれば、そのいずれで
もよい。また、この表示の大きさや区画１３内の位置、
分割線１２の太さや間隔さらには区画１３の形状などは
、検査される試料の大きさ、形状などにより適宜設定す
ることができる。
また、上述実施例では、皿形状ケ四角形の平板状とした
が、これのみに限定されないことはいうまでもない。
が、これのみに限定されないことはいうまでもない。
以上述べたように本発明は、複数の試料の配列面を挟ん
でＸ＃ｉｌ’ｆｆ−ＴＶカメラ対を設け、これら試料配
列面及びＸ線管−ＴＶカメラ対を相対的に移動させると
共に前記Ｘ線管よりＸ線を照射して前記複数の試料の透
視像を順次ＴＶモニタに映し出し、各試料を検査するＸ
線透視検査装置において、前記複数の試料を配列載置す
るものであってその試料配列面に、試料配列区画を表示
するための分割線と、この分割線により表示された各区
画内に各区画を識別するための識別表示とが、Ｘ線非透
過性の物質で描かれてなるので、試料の透視像と共にそ
の試料が載置された配列面上の区画の識別表示影もＴＶ
モニタに映し出される。従って不良と判定された試料の
載置区画が外部から知り得ることと１より、不良試料の
識別が全試料の検査終了後にまとめて行うことができる
。このため、従来のマークを付す作業が不要となり、多
数の試料の検査が極めて簡単かつ短時間で行うことがで
きるという効果がある。
でＸ＃ｉｌ’ｆｆ−ＴＶカメラ対を設け、これら試料配
列面及びＸ線管−ＴＶカメラ対を相対的に移動させると
共に前記Ｘ線管よりＸ線を照射して前記複数の試料の透
視像を順次ＴＶモニタに映し出し、各試料を検査するＸ
線透視検査装置において、前記複数の試料を配列載置す
るものであってその試料配列面に、試料配列区画を表示
するための分割線と、この分割線により表示された各区
画内に各区画を識別するための識別表示とが、Ｘ線非透
過性の物質で描かれてなるので、試料の透視像と共にそ
の試料が載置された配列面上の区画の識別表示影もＴＶ
モニタに映し出される。従って不良と判定された試料の
載置区画が外部から知り得ることと１より、不良試料の
識別が全試料の検査終了後にまとめて行うことができる
。このため、従来のマークを付す作業が不要となり、多
数の試料の検査が極めて簡単かつ短時間で行うことがで
きるという効果がある。
第１図は一般的なＸ線透視検査装置の概略を示す斜視図
、第２図は従来の試料皿を用いて得られた透視像の一例
を示す図、第３図は本発明によるＸ線透視検査装置用試
料皿の一実施例を示す斜視図、第４図は同試料皿乞用い
て得られた透視像の一例を示す図である。 １・・・試料皿、２・・・Ｘ線管装置、３・・・ＴＶ右
カメラ４・・・Ｘ−Ｙテーブル、５・・・ＴＶモニタ、
１１・・・試料配列面、１２・・・分割線、１３・・・
試料配列区画、１４・・・数字表示（識別表示）、１５
・・・透視像。 特許出願人 株式会社日立メデイコ 代理人弁理士 秋 本 正 実
、第２図は従来の試料皿を用いて得られた透視像の一例
を示す図、第３図は本発明によるＸ線透視検査装置用試
料皿の一実施例を示す斜視図、第４図は同試料皿乞用い
て得られた透視像の一例を示す図である。 １・・・試料皿、２・・・Ｘ線管装置、３・・・ＴＶ右
カメラ４・・・Ｘ−Ｙテーブル、５・・・ＴＶモニタ、
１１・・・試料配列面、１２・・・分割線、１３・・・
試料配列区画、１４・・・数字表示（識別表示）、１５
・・・透視像。 特許出願人 株式会社日立メデイコ 代理人弁理士 秋 本 正 実
Claims (1)
- 複数の試料の配列面を挟んでＸ線管−ＴＶ左カメラを設
け、これら試料配列面及びＸ線管−ＴＶ左カメラを相対
的に移動させると共に前記Ｘ′ｍ管よりＸｍを照射して
前記複数の試料の透視像ケ順次ＴＶモニタに映し出し、
各試料を検査するＸ＠透視検査装置において、前記複数
の試料を配列載置するものであってその試料配列面に、
試料配列区画ン表示するための分割線と、この分割線に
より表示された各区画内に各区画を識別する７ｊめの識
別表示とが、Ｘ線非透過性の物質で描かれてなることケ
特徴とするＸ線透視検査装置用試料Ｏｎ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59055987A JPS60200149A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | Ｘ線透視検査装置用試料皿 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59055987A JPS60200149A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | Ｘ線透視検査装置用試料皿 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60200149A true JPS60200149A (ja) | 1985-10-09 |
Family
ID=13014431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59055987A Pending JPS60200149A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | Ｘ線透視検査装置用試料皿 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60200149A (ja) |
-
1984
- 1984-03-26 JP JP59055987A patent/JPS60200149A/ja active Pending
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