JPS60198405A - 広範囲定寸装置 - Google Patents

広範囲定寸装置

Info

Publication number
JPS60198405A
JPS60198405A JP5513584A JP5513584A JPS60198405A JP S60198405 A JPS60198405 A JP S60198405A JP 5513584 A JP5513584 A JP 5513584A JP 5513584 A JP5513584 A JP 5513584A JP S60198405 A JPS60198405 A JP S60198405A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
head
heads
displacement
movement
measurement surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5513584A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsumi Sugiura
勝己 杉浦
Toru Nonoyama
透 野々山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyoda Koki KK
Original Assignee
Toyoda Koki KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyoda Koki KK filed Critical Toyoda Koki KK
Priority to JP5513584A priority Critical patent/JPS60198405A/ja
Publication of JPS60198405A publication Critical patent/JPS60198405A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/02Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring length, width or thickness
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0011Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は工作物の加工径を計測する広範囲定寸装置に関
するものである。
〈従来技術〉 一対のツイータを相反する方向に同時に動かして工作物
の異なる加工径を計測可能とした従来の広範囲定寸装置
は、送りネジに刻設したネジ方向の互いに相反するネジ
部に一対のヘッドを螺合し、このヘッドを前記送りネジ
と平行に設けた一対のパイロットバーにそれぞれ摺動可
能に案内し、前記各ヘッドに工作物測定面と接触するツ
イータを設け、このツイータの相対変位を検出する変位
検出器を前記ヘッドに備え、前記送りネジと駆動モータ
とを回転連結していた。
このような広範囲定寸装置は、ヘッドとパイロットバー
間にクリアランスがあり、2本のパイロットバーの平行
度、各パイロットバーの直径寸法、真直度のバラツキ等
により、一対のヘッドが完全に平行度を保って移動する
保証は少なく、ヘッドが傾く場合があり、このヘッドの
傾きによる測定値誤差が生じ測定精度の向上に限度があ
った。
〈発明の目的〉 本発明の目的は、一対のヘッドの傾き量(平行度)を検
出して一対のヘッドの移動量を補正し、高精度の測定が
できる広範囲定寸装置を提供するものである。
〈発明の構成〉 本発明の特徴とする構成は、ヘッドの移動方向と平行な
方向に延びる検測面を備えた傾き検出基準部材をヘッド
又は固定部に設け、ヘッドの移動により検測面との間隙
変化を検出する変位計を傾き検出基準部材の検測面に対
応する位置に配置し、変位計の出力に基づいてヘッドの
傾きに応じたヘッドの送り補正を行う補正手段を備えた
ものである。
〈実施例〉 以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図及び第2図において、1は装置本体であり、工作
物Wに対して前進後退可能な支持体10に支持されてい
る。この装置本体1には前記支持体10の進退方向に対
し直交する軸線で送りネジ2が回転自在に軸承されてい
る。この送りネジ2にはネジ方向が左右相反するネジ部
2a、2bが刻設され、一方のネジ部2aには第1のヘ
ッド3aが、また他方のネジ部2bには第2のへノド3
bが螺合している。
さらに装置本体lに前記送りネジ2と平行な一対のパイ
ロットパー4.5が送りネジ2を中央にして左右に設け
られ、このバイロフトバー4.5に前記第1.第2のヘ
ッド3a、3bがそれぞれ摺動可能に案内されている。
前記第1.第2のヘッド3a、3bには工作物Wの測定
面と接触するツイータ6a、6bが設けられており、こ
のツイータ6a、6bの相対変位を検出する第1の変位
検出器7aが第1のヘッド3aに、また第2の変位検出
器7bが第2のヘッド3bに具備している。そして、前
記送りネジ2の一端は、装置本体1に固設したサーボモ
ータ8と減速機構9を介して回転連結している。第1図
において11は一般に用いられている磁気スケ−3− ルであり、第1のヘッド3aに固定した磁気へノド12
と第2のヘッド3bに固定した進退口・ノド13より構
成され、磁気ヘッド12と進退ロッド13とを相対移動
させることにより磁気スケール11からパルス信号が出
されるようになっている。
本発明は上記の構成において、第1.第2のヘッド3a
、3bの移動方向と平行な方向に延びる検測面15を備
えた傾き検出基準部材I4と、この傾き検出基準部材1
4の検測面15に対応する位置に検測面15との間隙変
化を検出する第1゜第2の変位計16a、16bを設け
たものである。
第1図の実施例では前記傾き検出基準部材14を第1の
へノド3aに固設し、その検測面15を第2のヘッド3
bの最拡開移動位置にオーバラップするよう延在してい
る。また、前記第1.第2の変位計168.16bは第
2のヘッド3b側に離間して設け、この離間距離は第1
.第2のヘッド3a、3bが最も拡開した移動位置にお
いても傾き検出基準部材14の検測面15と対応するよ
うに配置されている。
一5= 、−4= さらに本発明は、この第1.第2の変位計16a、15
bの出力に基づいてヘッドの(’Jiきに応じたヘッド
の送り補正を行う補正手段を備えている。
この補正手段は第3図に示すように、前記磁気スケール
11によって第1.第2のヘッド3a。
3bの移動量をカウントするカウンタ17と、第1、第
2の変位計16a、16bの出力電圧の差をめる減算器
20と、この減算器20からの出力電圧に係数Kを乗算
する乗算器21と、こ乗算器21からの信号をデジタル
信号に変換するAD変換器18と、前測定径を記憶する
メモリI9と、メモリ19、カウンタ17、AD変換器
18からの信号によって第1.第2のヘッド3a、3b
のf引きに応じて補正した移動量の演算を行うNC装置
22と、補正後の移動量に応じたパルス信号を出す発振
回路23とから構成されている。なお、前記乗算器21
の係数にの値は、乗算器21によって乗算した値が、ヘ
ッドの傾きによるツイータ6a、6bの先端部の変位量
と等しくなるように決定される。
6− 上述した第1.第2の変位計16a、16b、減算器2
0、乗算器21によって第1.第2のヘッド3a、3b
の傾きに応じた第1.第2のヘッド3a、3bの送り補
正量が演算される。磁気スケール11からのパルス信号
を力うンタ17によってカウントすることにより第1.
第2のヘッド3a、3bが実際に移動した移動量が計測
される。
次に第4図のフローチャートに基づいてNC装置22に
よる第1.第2のヘッド3a、3bの移動量の演算、駆
動モータ8の制御について説明する。
NC装置22に次に測定すべき測定径が入力されると、
メモリ19内に入っている前の測定径を呼びだし、次に
測定すべき測定径から前の測定径を減算することによっ
て第1.第2のヘッド3a。
3bの相対移動量へが演算される。相対移動量Aが零で
なければ発振回路23からパルス信号を出し、駆動モー
タ8を単位量回転させる。カウンタ17、AD変換器1
8からの信号をNC装置22に人力すると、ヘッドの実
際の移動NBから前述した送り補正量Cを減算すること
によってツイータ6a、6bの先端部の移動量りが演算
される。
このツイータ6a、6bの先端部の移動量りの演算は駆
動モータ8の単位量回転毎に行われる。相対移動量Aと
ツイータ6a、6bの先端部の移動量りとが等しいかど
うかを判別し、等しくなければさらに駆動モータ8を単
位量回転させ、等しければ駆動モータ8の回転を止める
。この時、相対移動量Aとツイータ6a、6bの先端部
の移動量りとの差が一定の範囲内になったときに駆動モ
ータ8の回転を止めるようにしても良い。これによって
第1.第2のヘッド3a、3bの移動量が補正され、第
1.第2のヘッド3a、3bはこれらヘッドの傾きに応
じた位置に移動される。
第5図は他の変形例を示すフローチャートであり、NC
装置は前記フローチャートに示すような第1.第2のヘ
ッド3a、3bの移動量の演算、駆動モータ8の制御を
行う。
NC装置20に次に測定すべき測定径が入力されると、
メモ1月9内に入っている前の測定径を − −1□ 呼びだし、第1.第2のヘッド3a、3bの相対移動量
Aを演算する。相対移動量Aが零でなければ発振回路2
3からパルス信号を出し、駆動モータ8を単位量回転さ
せる。駆動モータ8の単位量回転毎に相対移動量Aとヘ
ッドの実際の移動量Bとが等しいかどうかを判別し、等
しくなければさらに駆動モータ8を単位量回転させ、等
しければヘッドが停止した位置におけるヘッドの傾きC
に対するヘッドの送り補正量りを演算する。この送り補
正NDが零でなければ、さらに駆動モータ8を単位量回
転させる。この時、駆動モータ8を単位量回転させる前
にカウンタ17をあらかじめ零にセットしておく。
カウンタ17、AD変換器18からの信号をNC装置2
2に入力し、ヘッドの実際の移動量Eから送り補正量G
を減算することによってツイータ6a、6bの先端部の
移動量Hが演算される。この移動量Hの演算は駆動モー
タ8の単位量回転毎に行われる。送り補正量りとツイー
タ6a、6bの先端部の移動量Hとが等しいかどうかを
判別し、9− −0 □ 等しくなければさらに駆動モータ8を単位量回転させ、
等しければ駆動モータ8の回転を止める。
これによっても第1.第2のヘッド3a、3bをヘッド
の傾きに応した位置に移動させることができる。
上述した実施例は、第1のヘッド3aに傾き検出基準部
材14を設け、第2のヘッド3bに変位針を設けたが、
他の変形例として装置本体に傾き検出基準部材を設け、
第1.第2のへ・ノドのそれぞれに変位計を設けても良
い。又、第1.第2のヘッドのそれぞれに傾き検出基準
部材を設け、それぞれの傾き検出基準部材に対応する変
位計を装置本体に設けても良い。
〈発明の効果〉 上記本発明装置によると、変位計及び傾き検出基準部材
によってヘッドの傾き角(平行度)を検出でき、この検
出信号によってヘッドの移動量を補正するので、この結
果ヘッドの傾きによる測定値誤差を解消し測定精度の向
上が得られる。
【図面の簡単な説明】
−10= 第1図は本発明装置の側面図、第2図は断面図、第3図
はヘッドの移動量の補正を行う制御回路図、第4図は本
考案の実施例にかかるフローチャート図、第5図は他の
変形例であるフローチャート図。 ■・・・装置本体、2・・・送りネジ、3a・・・第1
のヘッド、3b・・・第2のヘッド、4゜5・・・パイ
ロットバー、6a、6b・・・フィーラ、7a・・・第
1の変位検出器、7b・・・第2の変位検出器、8・・
・サーボモータ、9・・・減速機構、11・・・磁気ス
ケール、14・・・傾き検出基準部材、15・・・検測
面、16a・・・第1の変位計、16b・・・第2の変
位計、17.18・・・加算器、19・・・比較器、2
0・・・減算器、21・・・乗算器。 特許出願人 豊田工機株式会社 11−

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)送りネジに刻設したネジ方向の互いに相反するネ
    ジ部に一対のヘッドを螺合し、このヘッドを前記送りネ
    ジと平行に設けた一対のパイロットバーにそれぞれ摺動
    可能に案内し、前記各ヘッドに工作物測定面と接触する
    ツイータを設け、このツイータの相対変位を検出する変
    位検出器を前記ヘッドに備え、前記送りネジと駆動モー
    タとを回転連結した広範囲定寸装置において、前記ヘッ
    ド又は固定部に、ヘッドの移動方向と平行な方向に伸び
    る検測面を備えた傾き検出基準部材を設け、この傾き検
    出基準部材の検測面に対応する位置に検測面の相対変位
    を検出する変位計を配置し、前記変位計の出力に基づい
    てヘッドの傾きに応じたヘッドの送り補正を行う補正手
    段を備えたことを特徴とする広範囲定寸装置。
JP5513584A 1984-03-21 1984-03-21 広範囲定寸装置 Pending JPS60198405A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5513584A JPS60198405A (ja) 1984-03-21 1984-03-21 広範囲定寸装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5513584A JPS60198405A (ja) 1984-03-21 1984-03-21 広範囲定寸装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60198405A true JPS60198405A (ja) 1985-10-07

Family

ID=12990335

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5513584A Pending JPS60198405A (ja) 1984-03-21 1984-03-21 広範囲定寸装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60198405A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3029657B2 (ja) 位置検出装置
JPH07286817A (ja) 螺旋溝測定装置
JPS60198405A (ja) 広範囲定寸装置
JPS60133312A (ja) 広範囲定寸装置
JPH04250307A (ja) 真直度計測装置
JP4189139B2 (ja) リニアエンコーダ
US4373268A (en) Gear measuring machine for inspecting helical gears
JPS58126045A (ja) 工作機械の位置決め補正方法および装置
JPH0237524B2 (ja)
JPH05187868A (ja) 回転−直動機能形真円度測定機の検出器送り方向の真直度誤差の算出方法および測定値の補正方法
JPS64644B2 (ja)
JP3126101B2 (ja) 当接型測定器
JP3265318B2 (ja) 輪郭形状測定データ補正方法及び輪郭形状測定機
JP2002328016A (ja) 多点計測厚み計
JP2002144192A (ja) 送りねじ2点間熱変位補正方法とその装置
JPH06109455A (ja) 長尺材真直度測定装置
JPH0142002Y2 (ja)
JP3173662B2 (ja) 位置検出装置
JPH11254272A (ja) 送りネジの熱変位補正方法
JP3009345B2 (ja) 検出範囲が外部から設定される測定器及びそれを使用した自動加工システム
KR20240025590A (ko) 측정 대상을 측정하기 위한 방법 및 장치
JPS60214206A (ja) 表面粗さ測定機
JPS5840124B2 (ja) エンコスミブ ノ ハンケイソクテイホウシキオヨビ ソウチ
JPS58137545A (ja) 自動精密位置決め装置
JPH05253802A (ja) 工作機械における移動体の案内真直度測定用ストレッチ