JPS60186175A - 固体撮像デバイスの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はセンサアレイよりなる固体撮像デバイスの検査
装置に関する。

従来技術 近年、固体撮像デバイスの開発・曲品化かすへみ、民生
用カラーカメラにも使われ始めるようになってきた。固
体撮像デバイスの検査装置は、大部分、テレビモニタに
画像を映す目視検査によっている。この方法は、検査す
る人の主観にたよるところが多く、量産段階で多量に検
査する場合には非能率的であるばかりでなく、個人差が
あり客観的な数値的データの蓄積がないから、検査結果
により製造工程を改善する方策をたてることが困難であ
った。またカラー固体撮像デバイスでは、Ｒ，Ｇ、Ｈの
原色フィルタを用いるものと、Ｃｙ、Ｙｅの補色フィル
タを用いるものとあり、固体撮像デバイスからの出力信
号をテレビモニタに映すまでのＣｉ号処理を異にするの
で、別々の検査装置全用意しな１．ｊ’　ｆＬばならな
い。さらに、画素数についても、多量！１！のものがあ
り、テレビモニタもそｒＬに応じた画像面を有するもの
が必要になる。

上記のことから、従来のテレビモニタＶこよる目視検査
装Ｍは、量産的な検査装置として不適当であった。

発明の目的 本発明の目的は、上記の欠点を除去し、汎用性があり、
客観的検査結果を得ることのできる量産的な検査装置を
提供することにある。

発明の構成 本発明による固体撮像デバイスの検査装置は、一定の種
類の固体撮像デバイスにおける谷センサ紫子の基準光感
度′情報をあらかじめ記憶しておく第１メモリと、同種
の被検査固体撮像デバイスの各センサ素子の光感度情報
を記憶する第２メモリと、前記第１メモリ・第２メモリ
に記憶されている各センサ素子対応の信号値を比較し、
前記第２メモリの信号値が第１メモリの信号値から所定
の範囲内にあるか否か判定する手段とを、備えているこ
とを特徴とするものである。

固体撮像デバイスは全部のセンサ索子が、同一の光感度
特性をもつことは極めて困難であり、周辺部・中央部な
どで光感度が異なる。従って各センサの検査にあたり、
共通の同一の基準光感度を比較の対象とすることは合理
的でない。

本発明では、標準的な固体撮像デバイスの各素子の光感
度を基準として、各索子対応の検査を行なうようＶＣし
ている。なお、第１メモリに記憶しておく基準光感度情
報は、標準的固体撮像デバイスについて実測したもので
も、あるいはあらかじめ想定して定めたものでもよい。

実施例 本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。

第１図は基本的構成を、第２図は検査装置像部の回路ブ
ロック図を示す。第１図において、固体撮像デバイス１
の撮像板１０１の２次元センサアレイの各センサ索子を
駆動部１０２が走査し、その光感度信号を直列に送り出
す。この信号は増幅器２により増幅され、ＡＤ変換器３
に入り、ディジタル信号３ａとして出力する。あらかじ
め固体撮像デバイスｌとして、その型のものとして標準
的光感度特性を有するものを用意しておいて、第１図の
スイッチＳＷをＬ側に接続し九九照射を行なう。このと
きディジタル信号３ａが第１メモリ４に各センサ索子ご
との基準光感・度信号値として格納される。次に固体撮
像デバイス１として、同じ型の検査すべき固体撮像デバ
イスに置きかえ、スイッチＳＷをＭ側に接続して、同様
に光感度信号としてディジタル信号３ａを第２メモリ５
に格納する。第１メモリ４゜第２メモリ５は同一のアド
レスに各々の対応する各センサ索子のデータを納入する
。従って次に、第１メモリ４．第２メモリ５に格納され
たデータを同一アドレスにより読みだし、これを比較回
路６で、被検査固体撮像デバイスの各センサ素子の光感
度信号値が基準光感度信号値に対して所定の範囲内か否
か判定する。この判定結果はデータ処理部８に送らｎ１
固体撮像デバ１イスとしての綜合判断がなさｎる。

第２図は、第１図の点線で囲まれた比較判定手段７の具
体的回路ブロック図を示すもので、基準信号値に対する
範囲内か否かを判定する場合である。前記の範囲として
例えば上限を基準値の１．１２５倍、下限を０．８７５
倍とし、信号値が基準値の０．８７５〜１．１２５内に
あ几は、範囲内信号をデータ処理部８に送る。こへで基
準値自体は各センサ索子の位置により異なっている。

アドレスカウンタ９はクロックＣＬをカウントシ、第１
メモリ４．第２メモリ５の同一アドレスを順次アドレス
してゆく。第１メモリ４の出力信号Ｓ、は基準光感度信
号であり、第２メモリ５の出力信号Ｔｉｄ被検査撮像デ
バイスの光感度信号であり、両者は撮像板１０１の同一
の位置にあるセンサ索子に対応するものである。

第１メモリ４の出力毎号Ｓは乗算回路１０　、１１に分
岐して人力する。括弧内の数は乗数で、乗算回路１０　
、１１の出力がそｎぞれ基準値の上限値ＳＨ＋下限値Ｓ
Ｌを与えるようにきめる。乗算回路１０　、１１の各出
力は第２メモリ５の出力信号ＴとそＩＬぞれ比較回路１
２　、１３で比較される。従って、出力信号Ｔが上限値
Ｓ）１以下であると出力１２ａｔ−’“１”とし、下限
値ＳＬ以上であると出力１３ａを１”とする。出力１２
ａ、１３ａがともに１１″であｆＬば、ＡＮＤ回路１４
の出力は１”　となり、データ処理部８ＶＣ送られ、被
検査撮像デバイスのそのセンサ素子が基準光感度信号イ
直力・〜ら所定の範囲内にあることｈｌわ力・る。　固
体撮像デバイスの良、不良は全部の各センサ索子のデー
タから、所定のデータ処理を行な（・決める。

第２図では、基準光感度信号値から所定の範囲内にある
かきめるのに、−率に乗算回路１０゜１１の乗数を与え
たが、固体撮像板の周縁部、中央部などで、−率にきめ
ず変えたい場合がある。

その場合は第３図に示すようにＲＯＭ１５，１６をアド
レスは第１メモリ４．第２ メモリ５と共通の同一アドレスに、そのセンサ索子につ
いての基準値に対する乗数指示の数値を記憶しておく。

ＲＯＭ　１５は上限値に対応する数値を、ＲＯＭ１６は
下限値に対応する数値を置　４ンタ９がクロックＣＬｋ
カウ ントしてアドレスを指定するごとに、ＲＯＭ１５゜１６
の出力により乗算回路１７　、１８の乗数が指定される
。こＩＬによって各セン°リー紫子あたりの基準光感度
信号値からの許容範囲を震えることができる。

発明の効果 以上、詳記したように、従来の目視検食装置西。

に代り、固体撮像デバイスの各センサ累゛子あたりに、
基準光感度信号値から所定の範囲内に、光感度信号値が
入るか否か判定することができる。固体撮像板の全部の
センサ索子のうち不良とされる範囲外のセンサ素子数、
また不良センサ素子の生ずる位置についての情報等の数
値的データが得ら扛るので、固体撮像デバイスの改良に
役立つ。またメモリのメモリセル数、光感度範囲の設定
などに融通性をもたせることができるから、多種類の固
体撮像デバイスの検査装置として極めて汎用性が太きい
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の構成を示す図、第２図、第３図は本発
明の要部である比較判定部の具体的ブロック図である。 １・・・固体撮像テノ・イス、 ２・・・増幅器、　３・・・ＡＤ変換器、４・・・第１
メモリ、５・・・第２メモリ、６・・・比較回路、　７
・・・比較判定部、８・・・データ処理部、９・・・ア
ドレスカウンタ、１０　、１１　、１７　、１８・・・
乗算回路、１２　、１３・・・比較回路、１４・・・Ａ
ＮＤ回路、１５．１６−ＲＯＭ。 １、・；；、、、　、：、ｌＬ、＋ニー士　市原　晋　
′。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. センサアレイよりなる固体撮像デバイスにおいて、一定
   の種類の固体、撮像デバイスの各センサ素子の基準光感
   度情報をあらかじめ記憶しておく第１メモリと、同種の
   被検査固体撮像デバイスの各センサ素子の光感度情報を
   記憶する第２メモリと、前記第１メモリ・第２メモリに
   記憶されている各センサ素子対応の信号値を比較し、前
   記第２メモリの信号値が第１メモリの信号値から所定の
   範囲内にあるか否かを判定する手段とを、備えているこ
   とを％敵とする固体撮像デバイスの検査装置。