JPS60177614A - 除塵装置 - Google Patents
除塵装置Info
- Publication number
- JPS60177614A JPS60177614A JP59032436A JP3243684A JPS60177614A JP S60177614 A JPS60177614 A JP S60177614A JP 59032436 A JP59032436 A JP 59032436A JP 3243684 A JP3243684 A JP 3243684A JP S60177614 A JPS60177614 A JP S60177614A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust
- dust collecting
- collecting electrode
- insulating oil
- positive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electrostatic Separation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は除塵装置、特に半導体装置製造環境に清浄度の
高い空気を供給するための空気供給装置に組ま込まれる
除塵装置に関する。
高い空気を供給するための空気供給装置に組ま込まれる
除塵装置に関する。
半導体装置の製造環境は、半導体装置の高集積度化等に
よる半導体素子のパターン寸法の微細化によって、より
高い無塵化(クリーン化)が要請されている。このため
、作業環境に送り込まれる空気は、たとえば、電子材料
、1982年2月号、122〜127頁にも記載されて
いるように、少なくとも0.1μm以上の粒子を除去し
た空気が送り込まれる必要が生じている、 従来、供給空気なHEPAフィルタ(超高性能フィルタ
)で集塵(除塵)した場合、0.3μm粒子以上の除去
が可能であるが、それよりも小さな粒子の除去はできな
い。
よる半導体素子のパターン寸法の微細化によって、より
高い無塵化(クリーン化)が要請されている。このため
、作業環境に送り込まれる空気は、たとえば、電子材料
、1982年2月号、122〜127頁にも記載されて
いるように、少なくとも0.1μm以上の粒子を除去し
た空気が送り込まれる必要が生じている、 従来、供給空気なHEPAフィルタ(超高性能フィルタ
)で集塵(除塵)した場合、0.3μm粒子以上の除去
が可能であるが、それよりも小さな粒子の除去はできな
い。
一方、前記文献にも示されているように、0.1μm粒
子の除去を行な50.1μmHEPAフィルタも開発さ
れているがコストが高く実用性に乏し〜1゜ 〔発明の目的〕 本発明の目的は0.1μm以下の微粒子の除去も可能な
高性能除塵装置を提供することにある。
子の除去を行な50.1μmHEPAフィルタも開発さ
れているがコストが高く実用性に乏し〜1゜ 〔発明の目的〕 本発明の目的は0.1μm以下の微粒子の除去も可能な
高性能除塵装置を提供することにある。
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な%徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、本発明は0.3μm以上の粒子の除去が可能
となるHEPAフィルタの下流側忙帯電装置を設けて、
空気流中の塵埃を帯電させ、かつ帯電した塵埃を絶縁油
中に一部が通過する回転円板からなる正極集塵電極およ
び負極集塵電極に付着させる構造となっているため、塵
埃はクーロン力あるいは絶縁油の粘性によって集塵電極
に確実に付着し、0.1μm以下の粒子の除塵(集塵)
が達成できる。
となるHEPAフィルタの下流側忙帯電装置を設けて、
空気流中の塵埃を帯電させ、かつ帯電した塵埃を絶縁油
中に一部が通過する回転円板からなる正極集塵電極およ
び負極集塵電極に付着させる構造となっているため、塵
埃はクーロン力あるいは絶縁油の粘性によって集塵電極
に確実に付着し、0.1μm以下の粒子の除塵(集塵)
が達成できる。
第1図は本発明の一実施例による除塵装置(除塵ユニッ
ト)の概要を示す断面図、第2図は集塵電極板群を示す
正面図、第3図は同じく側面図である。
ト)の概要を示す断面図、第2図は集塵電極板群を示す
正面図、第3図は同じく側面図である。
除塵装置は機台1と外装カバー2とによって形成される
細長の空間に各機器を配した構造となっている。すなわ
ち、外装カバー2の一端側はクロスハツチングで示すよ
うな空気取込口3となり、他端側は同様にクロスハツチ
ングで示すような空気供給口4となっている。そして、
空気取込口3がら空気供給口4に向かって、シロッコフ
ァン5゜第1段HEPA(超高性能)フィルタ6、帯電
装置7.正極集塵電極8.負極集塵電極9.第2段HE
PA(超高性能)フィルタ1oが順次並んで配設されて
いる。
細長の空間に各機器を配した構造となっている。すなわ
ち、外装カバー2の一端側はクロスハツチングで示すよ
うな空気取込口3となり、他端側は同様にクロスハツチ
ングで示すような空気供給口4となっている。そして、
空気取込口3がら空気供給口4に向かって、シロッコフ
ァン5゜第1段HEPA(超高性能)フィルタ6、帯電
装置7.正極集塵電極8.負極集塵電極9.第2段HE
PA(超高性能)フィルタ1oが順次並んで配設されて
いる。
シロッコファン5は空気取込口3から空気を取り込み、
第1段HEPAフィルタ6忙空気を送り込む。このHE
PAフィルタ6は前記文献にも記載されているような従
来から使用されて(・るフィルタであって、0.3μm
以上の塵埃粒子を99.99%の比率で除去する能力が
ある。
第1段HEPAフィルタ6忙空気を送り込む。このHE
PAフィルタ6は前記文献にも記載されているような従
来から使用されて(・るフィルタであって、0.3μm
以上の塵埃粒子を99.99%の比率で除去する能力が
ある。
帯電装置7は複数の荷電電極11と、この荷電電極11
に交流高電圧を印加させる高圧発生制御部12と、から
なっている。荷電電極11に15KHz18に■程度の
交流高電圧が印加されるとコロナ放電が発生し、第1段
HEPAフィルタ6を透過して来た空気流に含まれる塵
埃は正または負に帯電される。そして、この帯電した塵
埃を含む空気流は正・負極集塵電極8.9を通過する。
に交流高電圧を印加させる高圧発生制御部12と、から
なっている。荷電電極11に15KHz18に■程度の
交流高電圧が印加されるとコロナ放電が発生し、第1段
HEPAフィルタ6を透過して来た空気流に含まれる塵
埃は正または負に帯電される。そして、この帯電した塵
埃を含む空気流は正・負極集塵電極8.9を通過する。
正・負極集塵電極8.9は、第2図および第3図で示す
ように、円板状の集塵電極板13を多連にした構造とな
り、かつ集塵電極板13を連結した回転軸14の回動に
よって回転するようになっている。回転軸14は集塵電
極回転用の電動機15によって毎分5〜10回転程度に
回転制御される。
ように、円板状の集塵電極板13を多連にした構造とな
り、かつ集塵電極板13を連結した回転軸14の回動に
よって回転するようになっている。回転軸14は集塵電
極回転用の電動機15によって毎分5〜10回転程度に
回転制御される。
電動機15とそれぞれの回転軸14との間の回転伝達機
構は特に図示はしないが、チェン機構等一般に使用され
て〜・る伝達機構が採用されている。
構は特に図示はしないが、チェン機構等一般に使用され
て〜・る伝達機構が採用されている。
正・負極集塵電極8.9の集塵電極板13の略下半分は
粘性の大きい絶縁油16を収容した油槽17内に入り、
絶縁油16中に浸っ℃いる。したがって、集塵電極板1
3はその回転によって常時全面に絶縁油16が付着する
′ことになる。なお、回転軸14の近傍に位置する集塵
電極板部分にも絶縁油が付着するように、あらかじめ集
塵電極板全面に絶縁油が塗布され1(・る。油槽17の
上部には正・負極集塵電極8,9の集塵電極板13の外
周に沿うように屈曲したガイド板18が設けら板13間
を流れるようになって℃・る。
粘性の大きい絶縁油16を収容した油槽17内に入り、
絶縁油16中に浸っ℃いる。したがって、集塵電極板1
3はその回転によって常時全面に絶縁油16が付着する
′ことになる。なお、回転軸14の近傍に位置する集塵
電極板部分にも絶縁油が付着するように、あらかじめ集
塵電極板全面に絶縁油が塗布され1(・る。油槽17の
上部には正・負極集塵電極8,9の集塵電極板13の外
周に沿うように屈曲したガイド板18が設けら板13間
を流れるようになって℃・る。
正極集塵電極8Kl)っては、負に帯電した塵埃が集塵
電極板13の表面に引き付けられ、負極集塵電極9にあ
っては、正に帯電した塵埃が集塵電極板130表面に引
き付けられる。集塵電極板13の表面には粘性の大きい
絶縁油16が付着し℃いるため、集塵電極板面に付着し
た塵埃は絶縁油16の粘着力によって集塵電極板13に
付着する。なお、繊維くずなと一般的な塵埃は絶縁油等
粘性の大きい液体が塗ってなくてもクーロン力により電
極に付着するが、金属粉など抵抗率の小さい塵埃は電極
に接触すると電荷を失なうためクーロン力か働かず絶縁
油等粘性の大きい液体が塗ってないと集塵できない。し
たがって、この正・負極集塵電極8.9によりて、0.
1μm粒子よりも74%さな塵埃の集塵除去が可能とな
る。
電極板13の表面に引き付けられ、負極集塵電極9にあ
っては、正に帯電した塵埃が集塵電極板130表面に引
き付けられる。集塵電極板13の表面には粘性の大きい
絶縁油16が付着し℃いるため、集塵電極板面に付着し
た塵埃は絶縁油16の粘着力によって集塵電極板13に
付着する。なお、繊維くずなと一般的な塵埃は絶縁油等
粘性の大きい液体が塗ってなくてもクーロン力により電
極に付着するが、金属粉など抵抗率の小さい塵埃は電極
に接触すると電荷を失なうためクーロン力か働かず絶縁
油等粘性の大きい液体が塗ってないと集塵できない。し
たがって、この正・負極集塵電極8.9によりて、0.
1μm粒子よりも74%さな塵埃の集塵除去が可能とな
る。
正・負極集塵電極領域を通過した清浄な空気は第2段H
EPAフィルタlOを通って空気供給口4から送り出さ
れる。第2段HEPAフィルタ10L+工、会柘値鹿雪
妬栢曽手油熔の器比が注1− 池微粒子等が発生した場
合の油微粒子等の除去用のフィルタであり、前記第1段
HEPAフィルタと同一構造のものである。なお、正・
負極集塵電極8.9の集塵電極板13は下部が絶縁油1
6に浸っていること、また、集塵電極板130表面に付
着した絶縁油16は集塵電極板面を伝わって落下するこ
とから、前述のような油滴の発生、すなわち、油微粒子
等の発生は殆ど発生しない。
EPAフィルタlOを通って空気供給口4から送り出さ
れる。第2段HEPAフィルタ10L+工、会柘値鹿雪
妬栢曽手油熔の器比が注1− 池微粒子等が発生した場
合の油微粒子等の除去用のフィルタであり、前記第1段
HEPAフィルタと同一構造のものである。なお、正・
負極集塵電極8.9の集塵電極板13は下部が絶縁油1
6に浸っていること、また、集塵電極板130表面に付
着した絶縁油16は集塵電極板面を伝わって落下するこ
とから、前述のような油滴の発生、すなわち、油微粒子
等の発生は殆ど発生しない。
したがって、この除塵装置によれば、空気の取込口3か
ら取り込まれた空気は、0.1μm以下にも及ぶ微粒子
の除塵が成された後、空気供給口4から送り出される。
ら取り込まれた空気は、0.1μm以下にも及ぶ微粒子
の除塵が成された後、空気供給口4から送り出される。
(1)本発明の除塵装置はHEPAフィルタによって0
.3μm以上の大きさの塵埃を除去した後、残留する塵
埃の帯電化およびこの帯電を利用した電気的吸引による
集塵、さらには集塵電極板への粘性物体の粘性力による
付着によって、0.1μm以下にも及ぶ微粒子の集塵化
が可能となり、高性能な除塵が可能となる。すなわち、
一般に電気集塵器では抵抗率の小さい塵埃の集塵は不可
能であるが、塵埃の帯電を利用しての電気的吸引による
集塵電極への吸引が可能となり、かつ吸引後は粘着力に
よって塵埃を付着させておくことができることから集塵
効率が向上する。
.3μm以上の大きさの塵埃を除去した後、残留する塵
埃の帯電化およびこの帯電を利用した電気的吸引による
集塵、さらには集塵電極板への粘性物体の粘性力による
付着によって、0.1μm以下にも及ぶ微粒子の集塵化
が可能となり、高性能な除塵が可能となる。すなわち、
一般に電気集塵器では抵抗率の小さい塵埃の集塵は不可
能であるが、塵埃の帯電を利用しての電気的吸引による
集塵電極への吸引が可能となり、かつ吸引後は粘着力に
よって塵埃を付着させておくことができることから集塵
効率が向上する。
(2)本発明の除塵装置は集塵電極板に付着した塵埃は
集塵電極板に付着しかつ塵埃をその粘着力で付着させて
おいた絶縁油と同一の絶縁油中に浸される結果、簡単に
集塵電極板から離れて槽中の絶縁油中忙移るため、集塵
電極板からの塵埃の除去も容易で、常に集塵電極板の清
浄化による集塵効果を高めることができる。
集塵電極板に付着しかつ塵埃をその粘着力で付着させて
おいた絶縁油と同一の絶縁油中に浸される結果、簡単に
集塵電極板から離れて槽中の絶縁油中忙移るため、集塵
電極板からの塵埃の除去も容易で、常に集塵電極板の清
浄化による集塵効果を高めることができる。
(3) (1)および(2)から本発明の除塵装置圧よ
れば。
れば。
効果的にかつ0.1μm以下にも及ぶ微粒の塵埃の除去
も可能となり、半導体装置製造環境の無塵化も可能とな
り、より微細パターンとなる半導体装置の製造歩留の向
上が達成できる。
も可能となり、半導体装置製造環境の無塵化も可能とな
り、より微細パターンとなる半導体装置の製造歩留の向
上が達成できる。
(4) (1)より、装置の保守が短時間で行なうこと
ができ、運動効率が高なるという効果が得られる。
ができ、運動効率が高なるという効果が得られる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもな、い。たとえば、槽内の液
は正・負極集塵電極板毎に槽を独立とさせれば、絶縁油
以外の粘度の高い液体でも前記同様な集塵効果が得られ
る。
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもな、い。たとえば、槽内の液
は正・負極集塵電極板毎に槽を独立とさせれば、絶縁油
以外の粘度の高い液体でも前記同様な集塵効果が得られ
る。
また、集塵電極は円形だけでなく、−多角形であっても
よい。
よい。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置製造技術
における除塵技術に適用した場合について説明したが、
それに限定されるものではなく、塵埃を嫌う各種製造技
術に適用できる。
をその背景となった利用分野である半導体装置製造技術
における除塵技術に適用した場合について説明したが、
それに限定されるものではなく、塵埃を嫌う各種製造技
術に適用できる。
第1図は本発明の一実施例による除塵器の概要を示す断
面図、 第2図は同じく集塵電極群を示す正面図、第3図は同じ
く側面図である。 1・・・機台、2・・・外装カバー、3・・・空気取込
口。 4・・・空気供給口、5・・・シロッコファン、6・・
・第1段HEPA(超高性能)フィルタ、7・・・帯電
装置、8・・・正極集塵電極、9・・・負極集塵電極、
io・・第2段HEPA(超高性能)フィルタ、11・
・・荷電電極、12・・・高圧発生制御部、13・・・
集塵電極板、14・・・回転軸、15・・・電動機、1
6・絶縁油、17・・・油槽、18・・・ガイド板。
面図、 第2図は同じく集塵電極群を示す正面図、第3図は同じ
く側面図である。 1・・・機台、2・・・外装カバー、3・・・空気取込
口。 4・・・空気供給口、5・・・シロッコファン、6・・
・第1段HEPA(超高性能)フィルタ、7・・・帯電
装置、8・・・正極集塵電極、9・・・負極集塵電極、
io・・第2段HEPA(超高性能)フィルタ、11・
・・荷電電極、12・・・高圧発生制御部、13・・・
集塵電極板、14・・・回転軸、15・・・電動機、1
6・絶縁油、17・・・油槽、18・・・ガイド板。
Claims (1)
- 1、空気流を透過させる少なくとも一つの超高性能フィ
ルタと、前記一つの超高性能フィルタの下流に配設され
前記空気流中の塵埃を帯電させる帯電機構と、一部が絶
縁油中な通過する回転板からなるそれぞれ独立した正極
および負極の集塵電極と、を有することを特徴とする除
塵装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59032436A JPS60177614A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 除塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59032436A JPS60177614A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 除塵装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60177614A true JPS60177614A (ja) | 1985-09-11 |
Family
ID=12358899
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59032436A Pending JPS60177614A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 除塵装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60177614A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5578113A (en) * | 1994-07-19 | 1996-11-26 | Holmes Product Corp. | Air treatment system |
US7341616B2 (en) | 2005-02-04 | 2008-03-11 | General Electric Company | Apparatus and method for the removal of particulate matter in a filtration system |
US7815714B2 (en) * | 2007-12-20 | 2010-10-19 | General Electric Company | Systems and methods for removal of particulate matter in a filtration system |
US20110017066A1 (en) * | 2008-04-14 | 2011-01-27 | Mitsubishi Electric Corporation | Active oxygen generating device, humidifier, and air purification system with humidifier |
US20110179951A1 (en) * | 2008-07-16 | 2011-07-28 | Daisuke Suzuki | Electric device with air cleaning function |
-
1984
- 1984-02-24 JP JP59032436A patent/JPS60177614A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5578113A (en) * | 1994-07-19 | 1996-11-26 | Holmes Product Corp. | Air treatment system |
US7341616B2 (en) | 2005-02-04 | 2008-03-11 | General Electric Company | Apparatus and method for the removal of particulate matter in a filtration system |
US7815714B2 (en) * | 2007-12-20 | 2010-10-19 | General Electric Company | Systems and methods for removal of particulate matter in a filtration system |
US20110017066A1 (en) * | 2008-04-14 | 2011-01-27 | Mitsubishi Electric Corporation | Active oxygen generating device, humidifier, and air purification system with humidifier |
US8491709B2 (en) * | 2008-04-14 | 2013-07-23 | Mitsubishi Electric Corporation | Active oxygen generating device, humidifier, and air purification system with humidifier |
US20110179951A1 (en) * | 2008-07-16 | 2011-07-28 | Daisuke Suzuki | Electric device with air cleaning function |
US8702850B2 (en) * | 2008-07-16 | 2014-04-22 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Electric device with air cleaning function |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1892044B1 (en) | Electrostatic precipitator | |
JP7316346B2 (ja) | クリーニング装置 | |
JP4897142B2 (ja) | 気体流から粒子および/または液滴形態の物質を分離する方法および装置 | |
JP3958020B2 (ja) | 電気集塵器 | |
JPS60177614A (ja) | 除塵装置 | |
JP6968507B2 (ja) | 電気集塵機 | |
US2776724A (en) | Electrostatic precipitators | |
JP2004141826A (ja) | 電気集塵器 | |
CN106733199A (zh) | 静电除尘装置 | |
JPH06142548A (ja) | 湿式電気集塵装置 | |
US2307603A (en) | Electrical precipitator with automatic dust removal | |
JPH029461A (ja) | 空気清浄器 | |
US20090007788A1 (en) | Method and device for electrostatic cleaners | |
JP2004251536A (ja) | 空気清浄器 | |
US888638A (en) | Apparatus for electrical separation of particles from a fluid stream. | |
US2333431A (en) | Electrostatic precipitator | |
WO2016125442A1 (ja) | 集塵装置 | |
JP3293439B2 (ja) | 空気清浄機 | |
JPS6287262A (ja) | 空気清浄装置 | |
WO1995027565A1 (en) | Electrostatic method and apparatus for separating particles | |
RU2635316C2 (ru) | Электрический очиститель воздуха | |
JPS5917391Y2 (ja) | 電気集塵機 | |
EP0823283A1 (en) | Electrostatic precipitators | |
JPH06114223A (ja) | ミスト回収装置 | |
JP3106368B2 (ja) | 空気清浄機 |