JPS60177614A - 除塵装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は除塵装置、特に半導体装置製造環境に清浄度の
高い空気を供給するための空気供給装置に組ま込まれる
除塵装置に関する。

〔背景技術〕

半導体装置の製造環境は、半導体装置の高集積度化等に
よる半導体素子のパターン寸法の微細化によって、より
高い無塵化（クリーン化）が要請されている。このため
、作業環境に送り込まれる空気は、たとえば、電子材料
、１９８２年２月号、１２２〜１２７頁にも記載されて
いるように、少なくとも０．１μｍ以上の粒子を除去し
た空気が送り込まれる必要が生じている、 従来、供給空気なＨＥＰＡフィルタ（超高性能フィルタ
）で集塵（除塵）した場合、０．３μｍ粒子以上の除去
が可能であるが、それよりも小さな粒子の除去はできな
い。

一方、前記文献にも示されているように、０．１μｍ粒
子の除去を行な５０．１μｍＨＥＰＡフィルタも開発さ
れているがコストが高く実用性に乏し〜１゜ 〔発明の目的〕 本発明の目的は０．１μｍ以下の微粒子の除去も可能な
高性能除塵装置を提供することにある。

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な％徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。

〔発明の概要〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、本発明は０．３μｍ以上の粒子の除去が可能
となるＨＥＰＡフィルタの下流側忙帯電装置を設けて、
空気流中の塵埃を帯電させ、かつ帯電した塵埃を絶縁油
中に一部が通過する回転円板からなる正極集塵電極およ
び負極集塵電極に付着させる構造となっているため、塵
埃はクーロン力あるいは絶縁油の粘性によって集塵電極
に確実に付着し、０．１μｍ以下の粒子の除塵（集塵）
が達成できる。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例による除塵装置（除塵ユニッ
ト）の概要を示す断面図、第２図は集塵電極板群を示す
正面図、第３図は同じく側面図である。

除塵装置は機台１と外装カバー２とによって形成される
細長の空間に各機器を配した構造となっている。すなわ
ち、外装カバー２の一端側はクロスハツチングで示すよ
うな空気取込口３となり、他端側は同様にクロスハツチ
ングで示すような空気供給口４となっている。そして、
空気取込口３がら空気供給口４に向かって、シロッコフ
ァン５゜第１段ＨＥＰＡ（超高性能）フィルタ６、帯電
装置７．正極集塵電極８．負極集塵電極９．第２段ＨＥ
ＰＡ（超高性能）フィルタ１ｏが順次並んで配設されて
いる。

シロッコファン５は空気取込口３から空気を取り込み、
第１段ＨＥＰＡフィルタ６忙空気を送り込む。このＨＥ
ＰＡフィルタ６は前記文献にも記載されているような従
来から使用されて（・るフィルタであって、０．３μｍ
以上の塵埃粒子を９９．９９％の比率で除去する能力が
ある。

帯電装置７は複数の荷電電極１１と、この荷電電極１１
に交流高電圧を印加させる高圧発生制御部１２と、から
なっている。荷電電極１１に１５ＫＨｚ１８に■程度の
交流高電圧が印加されるとコロナ放電が発生し、第１段
ＨＥＰＡフィルタ６を透過して来た空気流に含まれる塵
埃は正または負に帯電される。そして、この帯電した塵
埃を含む空気流は正・負極集塵電極８．９を通過する。

正・負極集塵電極８．９は、第２図および第３図で示す
ように、円板状の集塵電極板１３を多連にした構造とな
り、かつ集塵電極板１３を連結した回転軸１４の回動に
よって回転するようになっている。回転軸１４は集塵電
極回転用の電動機１５によって毎分５〜１０回転程度に
回転制御される。

電動機１５とそれぞれの回転軸１４との間の回転伝達機
構は特に図示はしないが、チェン機構等一般に使用され
て〜・る伝達機構が採用されている。

正・負極集塵電極８．９の集塵電極板１３の略下半分は
粘性の大きい絶縁油１６を収容した油槽１７内に入り、
絶縁油１６中に浸っ℃いる。したがって、集塵電極板１
３はその回転によって常時全面に絶縁油１６が付着する
′ことになる。なお、回転軸１４の近傍に位置する集塵
電極板部分にも絶縁油が付着するように、あらかじめ集
塵電極板全面に絶縁油が塗布され１（・る。油槽１７の
上部には正・負極集塵電極８，９の集塵電極板１３の外
周に沿うように屈曲したガイド板１８が設けら板１３間
を流れるようになって℃・る。

正極集塵電極８Ｋｌ）っては、負に帯電した塵埃が集塵
電極板１３の表面に引き付けられ、負極集塵電極９にあ
っては、正に帯電した塵埃が集塵電極板１３０表面に引
き付けられる。集塵電極板１３の表面には粘性の大きい
絶縁油１６が付着し℃いるため、集塵電極板面に付着し
た塵埃は絶縁油１６の粘着力によって集塵電極板１３に
付着する。なお、繊維くずなと一般的な塵埃は絶縁油等
粘性の大きい液体が塗ってなくてもクーロン力により電
極に付着するが、金属粉など抵抗率の小さい塵埃は電極
に接触すると電荷を失なうためクーロン力か働かず絶縁
油等粘性の大きい液体が塗ってないと集塵できない。し
たがって、この正・負極集塵電極８．９によりて、０．
１μｍ粒子よりも７４％さな塵埃の集塵除去が可能とな
る。

正・負極集塵電極領域を通過した清浄な空気は第２段Ｈ
ＥＰＡフィルタｌＯを通って空気供給口４から送り出さ
れる。第２段ＨＥＰＡフィルタ１０Ｌ＋工、会柘値鹿雪
妬栢曽手油熔の器比が注１−　池微粒子等が発生した場
合の油微粒子等の除去用のフィルタであり、前記第１段
ＨＥＰＡフィルタと同一構造のものである。なお、正・
負極集塵電極８．９の集塵電極板１３は下部が絶縁油１
６に浸っていること、また、集塵電極板１３０表面に付
着した絶縁油１６は集塵電極板面を伝わって落下するこ
とから、前述のような油滴の発生、すなわち、油微粒子
等の発生は殆ど発生しない。

したがって、この除塵装置によれば、空気の取込口３か
ら取り込まれた空気は、０．１μｍ以下にも及ぶ微粒子
の除塵が成された後、空気供給口４から送り出される。

〔効果〕

（１）本発明の除塵装置はＨＥＰＡフィルタによって０
．３μｍ以上の大きさの塵埃を除去した後、残留する塵
埃の帯電化およびこの帯電を利用した電気的吸引による
集塵、さらには集塵電極板への粘性物体の粘性力による
付着によって、０．１μｍ以下にも及ぶ微粒子の集塵化
が可能となり、高性能な除塵が可能となる。すなわち、
一般に電気集塵器では抵抗率の小さい塵埃の集塵は不可
能であるが、塵埃の帯電を利用しての電気的吸引による
集塵電極への吸引が可能となり、かつ吸引後は粘着力に
よって塵埃を付着させておくことができることから集塵
効率が向上する。

（２）本発明の除塵装置は集塵電極板に付着した塵埃は
集塵電極板に付着しかつ塵埃をその粘着力で付着させて
おいた絶縁油と同一の絶縁油中に浸される結果、簡単に
集塵電極板から離れて槽中の絶縁油中忙移るため、集塵
電極板からの塵埃の除去も容易で、常に集塵電極板の清
浄化による集塵効果を高めることができる。

（３）　（１）および（２）から本発明の除塵装置圧よ
れば。

効果的にかつ０．１μｍ以下にも及ぶ微粒の塵埃の除去
も可能となり、半導体装置製造環境の無塵化も可能とな
り、より微細パターンとなる半導体装置の製造歩留の向
上が達成できる。

（４）　（１）より、装置の保守が短時間で行なうこと
ができ、運動効率が高なるという効果が得られる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもな、い。たとえば、槽内の液
は正・負極集塵電極板毎に槽を独立とさせれば、絶縁油
以外の粘度の高い液体でも前記同様な集塵効果が得られ
る。

また、集塵電極は円形だけでなく、−多角形であっても
よい。

〔利用分野〕

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置製造技術
における除塵技術に適用した場合について説明したが、
それに限定されるものではなく、塵埃を嫌う各種製造技
術に適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による除塵器の概要を示す断
面図、 第２図は同じく集塵電極群を示す正面図、第３図は同じ
く側面図である。 １・・・機台、２・・・外装カバー、３・・・空気取込
口。 ４・・・空気供給口、５・・・シロッコファン、６・・
・第１段ＨＥＰＡ（超高性能）フィルタ、７・・・帯電
装置、８・・・正極集塵電極、９・・・負極集塵電極、
ｉｏ・・第２段ＨＥＰＡ（超高性能）フィルタ、１１・
・・荷電電極、１２・・・高圧発生制御部、１３・・・
集塵電極板、１４・・・回転軸、１５・・・電動機、１
６・絶縁油、１７・・・油槽、１８・・・ガイド板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、空気流を透過させる少なくとも一つの超高性能フィ
   ルタと、前記一つの超高性能フィルタの下流に配設され
   前記空気流中の塵埃を帯電させる帯電機構と、一部が絶
   縁油中な通過する回転板からなるそれぞれ独立した正極
   および負極の集塵電極と、を有することを特徴とする除
   塵装置。