JPS60171616A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS60171616A JPS60171616A JP2744884A JP2744884A JPS60171616A JP S60171616 A JPS60171616 A JP S60171616A JP 2744884 A JP2744884 A JP 2744884A JP 2744884 A JP2744884 A JP 2744884A JP S60171616 A JPS60171616 A JP S60171616A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- yoke
- rear end
- thickness
- section
- insulating layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は、下部ヨークの、上部ヨークに密着する後端部
を他の部位よりも厚くした薄膜磁気ヘッドに関する。
を他の部位よりも厚くした薄膜磁気ヘッドに関する。
［発明の技術的背景］
第１図ないし第３図はＩ膜磁気ヘッドの一般的な構成を
示すもので、第１図は一部を断面によって示す平面図、
第２図、第３図はそれぞれ第１図のｍ−ｎ、ｍ−ｍ断面
図である。
示すもので、第１図は一部を断面によって示す平面図、
第２図、第３図はそれぞれ第１図のｍ−ｎ、ｍ−ｍ断面
図である。
これらの図において図中１はスライドガラス。
アルミナ等よりなる基板であり、この基板１の上面には
磁性体により所定のパターンで下部ヨーク２が形成され
ている。また基板の上面には、下部ヨークを覆うように
酸化珪素等よりなる下部絶縁層３が形成されている。そ
してこの下部絶縁層３の上面には銅、アルミニウム、金
等よりなるスパイラル状の導電性パターン４が、前記下
部ヨーク２と上部ヨーク６との間を一順毎に通過するよ
うな形で形成されている。そしてこのスパイラル状の導
電性パターン４の内側端部を除く全域を覆うように、前
記下部絶縁層３の上面には上部絶縁層５が形成され、さ
らにその上面には、後端部を下部ヨーク２の後端部に密
着させて、磁性体よりなる上部ヨーク６が所定のパター
ンで形成されている。また前記下部ヨーク２の前端と上
部ヨーク６の前端との間には前記下部絶縁層３による磁
気ギャップ７が形成されている。図中８．９は一対のリ
ード線接続端子で、この一方の端子８は前記導電性パタ
ーン４の内側端部に接続され、パターン４上を越えて外
方へ導出されている。また他方の端子９は導電性パター
ンの外側端部に接続されている。
磁性体により所定のパターンで下部ヨーク２が形成され
ている。また基板の上面には、下部ヨークを覆うように
酸化珪素等よりなる下部絶縁層３が形成されている。そ
してこの下部絶縁層３の上面には銅、アルミニウム、金
等よりなるスパイラル状の導電性パターン４が、前記下
部ヨーク２と上部ヨーク６との間を一順毎に通過するよ
うな形で形成されている。そしてこのスパイラル状の導
電性パターン４の内側端部を除く全域を覆うように、前
記下部絶縁層３の上面には上部絶縁層５が形成され、さ
らにその上面には、後端部を下部ヨーク２の後端部に密
着させて、磁性体よりなる上部ヨーク６が所定のパター
ンで形成されている。また前記下部ヨーク２の前端と上
部ヨーク６の前端との間には前記下部絶縁層３による磁
気ギャップ７が形成されている。図中８．９は一対のリ
ード線接続端子で、この一方の端子８は前記導電性パタ
ーン４の内側端部に接続され、パターン４上を越えて外
方へ導出されている。また他方の端子９は導電性パター
ンの外側端部に接続されている。
そしてこのような構成の薄ｉ１ｉ気ヘッドは次のように
製作される。
製作される。
（ａ）まず基板１上にパーマロイ等の磁性体を蒸着また
はスパッタリングにより堆積し、フォトレジストにより
所定のパターンを形成してエツチングを行ない、エツチ
ング終了後、フォトレジストを剥離して下部ヨーク２を
形成する。
はスパッタリングにより堆積し、フォトレジストにより
所定のパターンを形成してエツチングを行ない、エツチ
ング終了後、フォトレジストを剥離して下部ヨーク２を
形成する。
（ｂ）次にこの下部ヨーク２上に、同様の方法で下部絶
縁層３を形成し、 （Ｃ）さらにその上に、スパイラル状導電性パターン４
を同様にして形成する。
縁層３を形成し、 （Ｃ）さらにその上に、スパイラル状導電性パターン４
を同様にして形成する。
（ｄ）その後、ポリイミド等を１０μｍ程度の厚さに塗
布し、熱硬化させた後、エツチングを行ない、上部絶ｎ
層５を形成する。
布し、熱硬化させた後、エツチングを行ない、上部絶ｎ
層５を形成する。
（ｅ）次に、パーマロイ等を蒸着またはスパッタリング
により堆積し、エツチングにより上部ヨーク６を形成す
る。
により堆積し、エツチングにより上部ヨーク６を形成す
る。
なお、図中１０はヨーク２，６の前端に接触して使用さ
れる磁気テープ等のメディアである。
れる磁気テープ等のメディアである。
［従来技術の問題点］
以上の如く構成された薄膜磁気ヘッドにおいて、導電性
パターン４はほぼ全域が上部絶縁層５によって覆われて
いるため、放熱効果が悪く、導電性パターン４が過熱状
態となる問題があった。そこで抵抗値を小さくして過熟
を防止するためにパターン４の厚さを増加すると、第２
図に示す上部ヨーク６後端の段差Ｈがその分だけ増加す
る。しかも酸化珪素等よりなる絶縁層３はエツチングの
際、終端部にテーパをつけることが難しいため、上部ヨ
ーク６後部の段差部における厚さが薄くなってしまい、
断線のおそれが生じるとともに、メディア１０を介して
両ヨーク２，６間に形成される磁気回路の磁気抵抗が増
大し、その結果、接続端子８．９を通して送出される電
気信号のレベルが低下するおそれがあった。
パターン４はほぼ全域が上部絶縁層５によって覆われて
いるため、放熱効果が悪く、導電性パターン４が過熱状
態となる問題があった。そこで抵抗値を小さくして過熟
を防止するためにパターン４の厚さを増加すると、第２
図に示す上部ヨーク６後端の段差Ｈがその分だけ増加す
る。しかも酸化珪素等よりなる絶縁層３はエツチングの
際、終端部にテーパをつけることが難しいため、上部ヨ
ーク６後部の段差部における厚さが薄くなってしまい、
断線のおそれが生じるとともに、メディア１０を介して
両ヨーク２，６間に形成される磁気回路の磁気抵抗が増
大し、その結果、接続端子８．９を通して送出される電
気信号のレベルが低下するおそれがあった。
［発明の目的］
本発明はこのような事情に基づいてなされたもので、そ
の目的は、上部ヨーク後端部の段差を減少させ、これに
よって上部ヨーク後部の厚さを増加させて断線防止と磁
気抵抗の減少を図った薄膜磁気ヘッドを提供することに
ある。
の目的は、上部ヨーク後端部の段差を減少させ、これに
よって上部ヨーク後部の厚さを増加させて断線防止と磁
気抵抗の減少を図った薄膜磁気ヘッドを提供することに
ある。
［発明の概要］
以上の目的達成のため、本発明は、基板上に磁性体より
なる下部ヨーク、下部絶縁層、導電性パターン、上部絶
縁層および磁性体よりなる上部ヨークを順次積層し、前
記下部ヨーク前端と上部ヨーク前端との間に前記下部絶
縁層による磁気ギャップを形成してなる薄膜磁気ヘッド
において、前記下部ヨーク後端部を他の部位よりも厚く
して、その膜厚部に上部ヨークの後端部を密着させてな
ることを特徴とするものである。
なる下部ヨーク、下部絶縁層、導電性パターン、上部絶
縁層および磁性体よりなる上部ヨークを順次積層し、前
記下部ヨーク前端と上部ヨーク前端との間に前記下部絶
縁層による磁気ギャップを形成してなる薄膜磁気ヘッド
において、前記下部ヨーク後端部を他の部位よりも厚く
して、その膜厚部に上部ヨークの後端部を密着させてな
ることを特徴とするものである。
［発明の実施例］
第４図は本発明の一実施例を示すもので、Ｎｌｌｌ１磁
気ヘツドの第２図相当部分の断面図である。
気ヘツドの第２図相当部分の断面図である。
図に示すように、基板１上に磁性体よりなる下部ヨーク
２、下部絶縁層３、導電性パターン４、下部絶縁層５お
よび磁性体よりなる上部ヨーク６が順次積層され、下部
ヨーク２前端と上部ヨーク６前端との間には前記下部絶
縁層による磁気ギャップ７が形成されている。また下部
ヨーク２の後端部は他の部位よりも厚く形成されており
、その膜厚部１１に上部ヨーク６の後端部を密着させて
いる。さらに導電性パターン４の内側および外側端部に
はそれぞれリード線接続端子８，９が接続されている（
第４図では省略する）。なお第４図において、第１図な
いし第３図と同一の部分は同一の符号で示しである。
２、下部絶縁層３、導電性パターン４、下部絶縁層５お
よび磁性体よりなる上部ヨーク６が順次積層され、下部
ヨーク２前端と上部ヨーク６前端との間には前記下部絶
縁層による磁気ギャップ７が形成されている。また下部
ヨーク２の後端部は他の部位よりも厚く形成されており
、その膜厚部１１に上部ヨーク６の後端部を密着させて
いる。さらに導電性パターン４の内側および外側端部に
はそれぞれリード線接続端子８，９が接続されている（
第４図では省略する）。なお第４図において、第１図な
いし第３図と同一の部分は同一の符号で示しである。
そこで、このＷＪＭ磁気ヘッドは次のようにして製造す
ることができる。
ることができる。
（ａ）まずスライドガラス、アルミナ等よりなる基板１
上に、パーマロイ等の磁性体を蒸着またはスパッタリン
グにより堆積し、フォトレジストにより所定のパターン
を形成してエツチングを行ない、エツチング終了後、フ
ォトレジストを剥離して下部ヨーク２を形成する。
上に、パーマロイ等の磁性体を蒸着またはスパッタリン
グにより堆積し、フォトレジストにより所定のパターン
を形成してエツチングを行ない、エツチング終了後、フ
ォトレジストを剥離して下部ヨーク２を形成する。
（ｂ）次に、この下部ヨーク２の後端部に再度、下部絶
縁層３と同程度の厚さく１層数μｍ）の膜厚部１１を、
パーマロイ等の磁性体の蒸着またはスパッタリングおよ
びエツチングにより形城する。
縁層３と同程度の厚さく１層数μｍ）の膜厚部１１を、
パーマロイ等の磁性体の蒸着またはスパッタリングおよ
びエツチングにより形城する。
（Ｃ）次に、下部ヨーク２上に酸化珪素等よりなる下部
絶縁層３を同様の方法で形成し、（ｄ）さらにその上に
、１層または多層からなるスパイラル状の導電性パター
ン４を同様にして形成する。
絶縁層３を同様の方法で形成し、（ｄ）さらにその上に
、１層または多層からなるスパイラル状の導電性パター
ン４を同様にして形成する。
（ｅ）その後、ポリイミド等の絶縁材を１０μｍ程度の
厚さにスピナーにより塗布し、熱硬化させた後、エツチ
ングを行ない、フォトレジストを剥離して上部絶縁層５
を形成する。
厚さにスピナーにより塗布し、熱硬化させた後、エツチ
ングを行ない、フォトレジストを剥離して上部絶縁層５
を形成する。
（ｆ）次に、パーマロイ等を蒸着またはスパッタリング
により堆積し、エツチングにより上部ヨーク６を形成す
る。
により堆積し、エツチングにより上部ヨーク６を形成す
る。
以上のように下部ヨーク２の後端部に膜厚部１１を形成
することにより、上部ヨーク６後端の段差Ｈ′が膜厚部
１１の厚さ分だけ減少する。磁気抵抗を減少させること
ができる。そして段差Ｈ−の減少により上部ヨーク６後
部の段差部における厚さを増加させることができ、これ
によって磁気抵抗が減少するとともに、その部分の断線
を防止することができ、したがって製造が容易になる。
することにより、上部ヨーク６後端の段差Ｈ′が膜厚部
１１の厚さ分だけ減少する。磁気抵抗を減少させること
ができる。そして段差Ｈ−の減少により上部ヨーク６後
部の段差部における厚さを増加させることができ、これ
によって磁気抵抗が減少するとともに、その部分の断線
を防止することができ、したがって製造が容易になる。
さらに、導電性パターン４の過熱防止のため、必要に応
じてパターン４の厚さを若干増加することも可能になる
。
じてパターン４の厚さを若干増加することも可能になる
。
［発明の効果］
以上゛詳述したように、本発明によれば、上部ヨーク後
部の段差部の厚さを増加させて断線防止と磁気抵抗の減
少を図ることができ、製造の容易化を図り得る薄膜磁気
ヘッドを提供することができる。
部の段差部の厚さを増加させて断線防止と磁気抵抗の減
少を図ることができ、製造の容易化を図り得る薄膜磁気
ヘッドを提供することができる。
第１図ないし第３図は薄膜磁気ヘッドの一般的な構成を
示すもので、第１図は一部を断面によって示す平面図、
第２図、第３図はそれぞれ第１図のｍ−ｍ、ｍ−ｍ断面
図、第４図は本発明の一実施例を示す第２図相当部分の
断面図である。 １・・・基板、２・・・下部ヨーク、３・・・下部絶縁
層、４・・・導電性パターン、５・・・上部絶縁層、６
・・・上部ヨーク、１１・・・膜厚部。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 ｆｌｉＩｔ！のｌ、・（訳内容に変更なし）第１図 第４図 特許庁長官 若杉和夫 殿 １、事件の表示 特願昭５９−２”／４４８号 ２、発明の名称 薄膜磁気ヘラｒ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３５６）東京電気株式会社 ４、代理人 住所 東京都港区虎ノ門１丁目２６番５リ 第１７森ビ
ル６、ｉ１山正の対象 図面 ７、補正の内容 図面の浄書（内容に変更なし）
示すもので、第１図は一部を断面によって示す平面図、
第２図、第３図はそれぞれ第１図のｍ−ｍ、ｍ−ｍ断面
図、第４図は本発明の一実施例を示す第２図相当部分の
断面図である。 １・・・基板、２・・・下部ヨーク、３・・・下部絶縁
層、４・・・導電性パターン、５・・・上部絶縁層、６
・・・上部ヨーク、１１・・・膜厚部。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 ｆｌｉＩｔ！のｌ、・（訳内容に変更なし）第１図 第４図 特許庁長官 若杉和夫 殿 １、事件の表示 特願昭５９−２”／４４８号 ２、発明の名称 薄膜磁気ヘラｒ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３５６）東京電気株式会社 ４、代理人 住所 東京都港区虎ノ門１丁目２６番５リ 第１７森ビ
ル６、ｉ１山正の対象 図面 ７、補正の内容 図面の浄書（内容に変更なし）
Claims (1)
- 基板上に磁性体よりなる下部ヨーク、下部絶縁層、導電
性パターン、上部絶縁層および磁性体よりなる上部ヨー
クを順次積層し、前記下部ヨーク前端と上部ヨーク前端
との間に前記下口ｆつ縁石による磁気ギャップを形成す
るとともに、前記下部ヨーク後端部を他の部位よりも厚
くして、その膜厚部に上部ヨークの後端部を密着させて
なることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2744884A JPS60171616A (ja) | 1984-02-16 | 1984-02-16 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2744884A JPS60171616A (ja) | 1984-02-16 | 1984-02-16 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60171616A true JPS60171616A (ja) | 1985-09-05 |
Family
ID=12221397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2744884A Pending JPS60171616A (ja) | 1984-02-16 | 1984-02-16 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60171616A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5793578A (en) * | 1996-11-15 | 1998-08-11 | International Business Machines Corporation | Thin film induction recording head having an inset first insulation layer that defines zero throat height and pole tip apex angle |
| JP2007167873A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Showa Denko Kk | 金属管の製造装置 |
-
1984
- 1984-02-16 JP JP2744884A patent/JPS60171616A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5793578A (en) * | 1996-11-15 | 1998-08-11 | International Business Machines Corporation | Thin film induction recording head having an inset first insulation layer that defines zero throat height and pole tip apex angle |
| US5935644A (en) * | 1996-11-15 | 1999-08-10 | International Business Machines Corporation | Method of making thin film induction recording head having an inset first insulation layer that defines zero throat height and pole tip apex angle |
| JP2007167873A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Showa Denko Kk | 金属管の製造装置 |
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