JPS60161605A - プリントコイルの製造方法 - Google Patents

プリントコイルの製造方法

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JPS60161605A
JPS60161605A JP1730984A JP1730984A JPS60161605A JP S60161605 A JPS60161605 A JP S60161605A JP 1730984 A JP1730984 A JP 1730984A JP 1730984 A JP1730984 A JP 1730984A JP S60161605 A JPS60161605 A JP S60161605A
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JP
Japan
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exposed
foil
layer
copper
metal foil
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Pending
Application number
JP1730984A
Other languages
English (en)
Inventor
Hisashi Nakamura
中村 恒
Nobuyuki Oshima
尾島 信行
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS60161605A publication Critical patent/JPS60161605A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F41/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
    • H01F41/02Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
    • H01F41/04Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
    • H01F41/041Printed circuit coils
    • H01F41/042Printed circuit coils by thin film techniques

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、小型モーターなどに用いることのできる印刷
配線技術を利用した平面タイプのプリントコイルの製造
方法に関するものである。
従来例の構成とその問題点 近年、テープレコーダやビデオなど、モーターを使った
電子機器の小型、軽量化や高性能化に対する要求はます
ます高まっており、それとともにモーター自体の小型、
高性能化が重要な課題となっているO モーターの小型、高性能化は、その構成要素の1つを占
める巻線コイルの線積率を高めてゆくことがもっとも重
要であり、のの巻線コイルの線積率の向上をめざして従
来から様々な方策が講じられている。
その1つの方策として、昨今、印刷配線技術を利用した
平面タイプのプリントコイルが注目され、小型、高性能
化をめざしたモーターに広範に採用されて来ている。
このプリントコイルは、比較的うすい絶縁シート上に厚
い銅はくを用いて導体間隔の微細な巻線ノくターン(コ
イルパターン)を平面的に構成したものであり、その代
表的な製造工程を第1図A−Cに示した。
このプリントコイルは、先づ、第1図Aに示すごとく、
75〜100μ程度の比較的分厚い銅はく1の一方の面
に可とう性を有する絶縁性の樹脂2をピンホールレスに
コーティングし、次いで、第1図Bに示すように、写真
技術(フォト技術)を利用して、銅はく面に所望のコイ
ルパターン状に耐エツチング性を有するレジスト層3を
形成し、しかる後に、第1図Cに示すごとく、不要部分
の銅はく1をエツチングにより溶解除去する方法で作ら
れたものである。
このようにして作られた巻線パターンは実際的には、そ
の複数枚を積層してターン数を増大させ、所望の特性を
有するコイルとするものである。
ところが、このような方法で得られたプリントコイルで
は、エツチング法特有の問題点として、第1図Cに示す
ごとく、コイルパターン状に残留した銅はくのサイドエ
ツチングによる導体パターンの細りが起こり、特に銅は
くの厚みが増すほどその傾向が顕著に発生しやすくなる
ためこれがコイルの線積率の著しい低下を招き、十分な
コイル特性が得られにくい問題があった。
このような問題点を解決する手段として、サイドエッチ
、ングを防止する様々な方法が提案されているが、今だ
有効な方策は見出されていないのが現状である。
発明の目的 本発明によるプリントコイルは、上述したよう々従来例
の問題点を解消し、線積率の極めて高いプリントコイル
を作る方法を提供することである。
発明の構成 本発明によるプリントコイルの製造法は、金属はくの一
方の主面に所望のコイルパターン状に金属はくが露出す
るよう、逆配線図形状に耐めっき性のレジスト層を形成
する工程、金属はくの反対面には全面に耐めっき性のレ
ジスト層を形成する工程、コイルパターン状に露出した
金属はくの表面に電気めっきにより第1導電金属層を形
成する工程、第1導電金属層を形成した金属はく面全体
に絶縁樹脂層を形成する工程、金属はくの反対面に形成
した耐めっき性のレジスト層を除去して、金属はくをエ
ツチングによシ溶解除去する工程、電気めっきにより形
成した第1導電金属層の露出部に更に電気めっきによシ
第2導電金属層を形成する工程から成シ、これによりコ
イル巻線の導体パターンの厚みが大きく、かつ、導体パ
ターン間隔の極めて狭い、線積率の高いプリントコイル
が実現できるものである。
実施例の説明 以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら詳
細に説明する。
第2図A−Eは、本発明の一実施例におけるプリントコ
イルの製造方法を説明するための主要製造工程における
プリントコイル基板の要部断面図であり、第2図におい
て、4は金属はく、5,6′は金属はくの表裏両面に形
成した耐めっき性のレジスト層、6は電気めっきにより
所望のコイルパターン状に形成した第1導電金属層、6
′は同じく、電気めっきによシ所望のコイルパターン状
に形成した第2導電金属層、7は絶縁樹脂層である。
本発明によるプリントコイルは、先づ第2図Aに示すよ
うに、金属はく4の表裏両面に耐めっき性を有するフォ
トレジスト6.5′を塗布し、金属はく4の一方の主面
に所望のコイルパターンとは逆配線図形状にフォトレジ
スト層5が残留したパターンを形成する。
本実施例では金属は〈4として、7〜36μの比較的薄
い圧延銅はくを用い、この銅はくの表裏両面に液状ある
いはドライフィルム化されたネガタイプのフォトレジス
ト6.5′を3〜20μ程度の厚みに塗布してその一方
の主面上に所望のコイルパターンを描いたポジフィルム
を密着サセ、紫外線露光現像などの操作を経て、コイル
ニーターン状に銅はくが露出するように連記線図形にフ
ォトレジスト層5を残したパターンを形成するとともに
、銅はくの裏面に塗布されたフォトレジスト層5′は、
パターン形成を行なわずそのまま露光し硬化させた。
尚、本実施例におけるコイルパターンの具体的寸法例と
しては、レジストの線幅250μ、レジストの線間隔6
0μ(露出する金属はくの線幅)とした、このコイルパ
ターンの設計にあたっては、次工程の電気めっきにおけ
る析出金属の厚みと、析出金属の幅方向(横方向)への
広がり、即ち、析出金属の成長状態を十分考慮に入れ、
その寸法関係を厳密に設定する必要がある。また本実施
例においては上述したフォトレジストの寸法関係より導
体厚200μ、導体幅250μ、導体間隔60μのコイ
ルパターンの実現を目標とした。
次に、第2図Bに示すごとく、耐めっき性のレジス)5
.5’を形成した金属はく4に電気めっきを行ない、フ
ォトレジスト層6,5′が付着していない所望のコイル
パターン状に露出した金属はくの表面にのみ第1の導電
金属層6を厚付けする。
本実施例によれば、電気めっきとして、銅を析出させた
が、コイルを構成する金属材料としては導電性、加工性
、コストなど総合的観点から銅がもっともよいとされて
おり、本発明においては、銅以外の金属については特に
考慮しなかった。また、本実施例における電気銅めっき
としては、次のような条件で行ない、第1ステツプの銅
めっき厚100μ、導体幅250μ、導体間隔50μの
コイルパターンを作成した。
硫酸鋼 ・・・・・・・・・・・・ 200〜300り
/l硫酸 ・・・・・・・・・・・・ 20〜40 y
#添加剤(5) ・・・・・・・・・・・・ 4匡〜 
61n/1温度 ・・・・・・・・・・・・20〜40
℃陰極電流密度・・・・・・・・ 1〜20A/d41
12尚、この電気銅めっきについては、本実施例では硫
酸銅浴で行なったが、めっき浴はなにも硫酸銅浴にのみ
限定されるものではなく、ビロリン酸銅浴やシアン浴な
どのめっき浴を用いても十分に目的を達成することがで
きる。そして銅の析出速度を高めたシ、均一電着性を付
与するために、これらの銅めっき浴に種々の添加剤が用
いる必要があることがわかった。
次に、第2図Cに示すように、電気銅めっきにより、コ
イルパターン状に金属銅から成る第1導電金属層6を形
成した金属はく面に、耐熱性や電気絶縁性、さらには可
とう性などにすぐれた絶縁樹脂7を塗布し硬化させる。
このような目的に合致する絶縁樹脂層としては、ポリイ
ミド系、ポリアミド系、エポキシ系、アクリル系、テフ
ロン系、シリコン系、ウレタン系。
フェノール系など、様々な樹脂が使用可能であるが、本
実施例では、主にエポキシ系樹脂を用いて絶縁樹脂層7
を形成した。
この絶縁樹脂層7の形成にあたっては、第1導電金属層
を形成するのに用いた而Jめっき性のレジスト層5は除
去しないように、絶縁樹脂中に含まれる溶剤の選定に十
分な配慮を必要とするが、それとともにピンホールレス
で均一な厚みに形成しなければなら々い。そしてより確
実な絶縁層を形成する場合には、絶縁樹脂層7の表面に
更にうすい絶縁シートとして例えばポリイミドフィルム
やポリエステルフィルムなどを接着してもよい。
以上のようにして、コイルパターン状に電気銅めっきに
よシ厚付けされた第1導電金属層6の表面にエポキシ樹
脂を用いて絶縁樹脂層7を形成した銅はくけ、第2図り
に示すごとく、銅はく4の裏面に形成された耐めっき性
のフォトレジスト層5′を活性溶剤やアルカリ溶液を用
いて除去し、露出した金属銅はく4を、塩化第2鉄溶液
や塩化第2銅溶液により溶解除去した。
そして、第2図Eに示すように、銅はく4を溶解除去す
ることにより露出した第1導電金属層6にさらに電気銅
めっきを行なって金属銅を積み上げ第1導電金属層6と
同じ厚さで、かつフォトレジスト層5を境にして上下の
導電体層が対称な形になるように第2導電金属層6′を
形成した。
以上のように、本実施例によれはフォトレジスト層を境
にして、その上下に同じ厚さの銅の厚付けめっき(20
0μ)を行なうことにより、導体厚が極めて大きく、し
かも導体間隔の小さいコイルパターンを実現している。
発明の効果 以上の説明から明らかなように本発明によるプリントコ
イルの製造方法では、比較的薄い金属はくの一方の主面
上にフォトレジストを所望のコイルパターンとは連記線
図形状に形成し、露出した金属はく上に電気めっきによ
り第1導電金属層を厚く盛り上げ、この導電金属層面に
絶縁性の樹脂層を形成した後釦金属はくをエツチングに
よシ溶解除去するとともに露出した第1導電金属層上に
さらに電気めっきにより第2導電金属層を第1導電金属
層と同一厚さに積み上げる方法により、コイルパターン
を形成するため、導体厚が大きく、かつ導体間隔の小さ
いすなわち線積率の極めて大きいコイルパターンを得る
ことができるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図A、Cは、従来のプリントコイルの製造方法を説
明するだめの主要製造工程におけるプリントコイル基板
の要部断面図、第2図A−Eは本発明の一実施例におけ
るプリントコイルの製造方法を説明するための主要製造
工程におけるプリントコイル基板の要部断面図である。 4・・・・・・金属はく、5,5′・・・・・・耐めっ
き性レジスト層、6・・・・・・第1導電金属層、6′
・・・・・・第2導電金属層、7・・・・・・絶縁樹脂
層。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 金属はくの一方の主面上に所望のコイルパターン状に金
    属はくが露出するように連記線図形状に耐めっき性のレ
    ジスト層を形成する工程、他方、前記金属はくの反対面
    には全面に耐めっき性のレジスト層を形成する工程、前
    記コイルパターン状に露出した金属はくの表面に電気め
    っきによシ第1の導電金属層を形成する工程、前記第1
    導電金属層を形成した金属はく面全体に絶縁樹脂層を形
    成する工程、前記金属はくの反対面に形成した耐めっき
    性のレジスト層を除去して、金属はくを工、7チングに
    よシ溶解除去する工程、前記電気めっきによシ形成した
    第1導電金属層の露出部に更に電気めっきによシ第2導
    電金属層を形成する工程を経て作ることを特徴とするプ
    リントコイルの製造方法。
JP1730984A 1984-02-01 1984-02-01 プリントコイルの製造方法 Pending JPS60161605A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008166391A (ja) * 2006-12-27 2008-07-17 Tdk Corp 導体パターンの形成方法および電子部品
JP2008251640A (ja) * 2007-03-29 2008-10-16 Tdk Corp 導体パターンの形成方法
US9383183B2 (en) 2012-10-12 2016-07-05 Magna Steyr Fahrzeugtechnik Ag & Co Kg Pressure indicator

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5615012B2 (ja) * 1973-06-01 1981-04-08

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