JPS60161528A - 液供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は、液供給技術、特に、定量の液を供給する技術
に関し、たとえば、半導体装置の製造において使用され
る薬液の定量供給に利用して有効な技術に関する。

［背景技術］ 半導体装置の製造においてはエツチング液等の薬液が使
用されるが、これらの薬液を一定濃度に調合する際、原
液を微量かつ高精度に定量して供給する必要があると考
えられる。

このような場合、定量ポンプや流量針に管路を接続し、
計量した液を管路を通じて被供給部に供給する技術の使
用が考えられる。

しかし、かかる技術においては、管路に計量した液が不
規則的に残留することがあるため、供給量にばらつきが
生じ、精度の低下を招くという問題点があることが、本
発明者によって明らかにされた。

［発明の目的］ 本発明の目的は、計量した液を増減することなく被供給
部に供給できる液供給技術を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

［発明の概要］ 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、液供給源と被供給部との間に液流出入ブロッ
クを介設し、このブロックに気体供給路と排出路とを接
続することにより、液流出路の液を気体によって全て押
し出させ、液流出路に液が不規則に残留することを防止
するようにしたものである。

［実施例］ 図は本発明の一実施例である液供給装置を示す概略構成
図である。

本実施例において、この液供給装置は液流出入ブロック
１を備えており、このブロック１には中空部２が気密状
態に形成されている。このブロック１の中空部２には、
流入路３と、液供給路に相当する流出路４と、排出路５
と、気体供給路６とがそれぞれ接続されている。

流入路３の他端はエツチング液の原液等を貯留したタン
ク７に挿入されており、流入路３の途中には液供給源と
しての計量機能を有するポンプ８が介設されている。ポ
ンプ８は、たとえば、チューブを押さえつけながら回転
して液を吐出させるロータリを備え、このロータリの回
転量に応じて液供給を計量するように構成してなるもの
を使用するとよい。流入路３のポンプ８の吐出側にはフ
ィルタ９が介設されている。

流出路４の相端は、原液と純水とを所定の割合で混合し
て所望濃度のエツチング液を調合する被供給部としての
タンクＩＯ等に導入されている。

排出路５の他端は原液タンク７にドレンされており、排
出路５の途中には通常時は閉の開閉弁１１が介設されて
いる。

気体供給路６の他端は窒素（Ｎ２）等液に悪影響を与え
ることがない気体１２を圧送するポンプ等の供給源（図
示せず）に接続され、この供給路６の途中には通常時は
閉の開閉弁１３が介設されており、開閉弁１３の出口側
にはフィルタ１４が介設されている。

なお、ポンプ８と開閉弁１１．１３とは回転数検出計お
よび電磁操作機構等を用いた自動制御回路により適宜連
携させることが望ましい。

次に作用を説明する。

タンク７の液はポンプ８の運転により計量されて流入路
３から液流出入ブロック１の中空部２へ流し込まれる。

タンク７に貯留されている液は所定の清浄度を確保され
ているが、ポンプ８を通過する際、ポンプ８の運転中に
発生することがある異物により汚染される危険がある。

しかし、このような異物や液に残留していた異物はフィ
ルタ９を透過する際に捕集されるので、中空部２へ流れ
込む液１５は所定の清浄度を維持することになる。

ところで、このようにフィルタ９がポンプ８の吐出側に
介在されていると、せっかく計量した液がフィルタ９に
停留するためやフィルタ９の前後の差圧の影響等により
、供給の初期において、液流量が不安定となり、これに
より、液供給量の精度が低下されてしまう危険がある。

前記ポンプ８からフィルタ９を透過して来る液１５は、
その供給の初期においては中空部２に流入するが、液供
給路４からは流出せず、中空部２に停留する。すなわち
、液供給量の不安定な期間には液の供給が行われないの
で、これによる精度の低下は回避される。

フィルタでの液透過量が安定し、中空部２に液１５が充
満すると、液１５は液供給路４を通ってタンクｌＯへ流
出して行くことになる。この場合、液の流れ込み量が安
定しているので、液供給路４からの供給液量も安定する
ことになる。

計量が設定値に達し、ポンプ８の送給が停止されると、
開閉弁１１が開成され、中空部２に停留した液１５は排
出路５を通じタンクフヘドレンされて行く。

殆ど同時に、開閉弁１３が開成され、Ｎ２ガス等の気体
１２が供給路６を通じて中空部２へ供給される。この気
体により、液１５は流出路４に残留することなく、さら
には、流出路４内の液１５が中空部２に引きもどされる
ことなく、全て押し出され、タンク１０へ供給されて行
く。

このようにして、流出路４に液１５が残留することは常
にないから、その残留量のばらつきに起因する液供給量
の精度低下は回避されることになる。

［効果］ （１）、流出路の液を気体によって押し出させることに
より、流出路における液の残留が回避できるため、残留
量のばらつきに起因する液供給量の精度低下が防止でき
る。

（２）、中空部を液供給源に接続することにより、供給
初期において液を中空部に停留させることができるため
、供給安定期を待つことができる。

（３）、前記（２）により、液供給源の後段にフィルタ
を介在させることが可能になり、これにより液供給源で
発生し、また残留している異物を捕集させることができ
るため、清浄度を所期通りに維持することができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

たとえば、フィルタは液供給源の後段に介在させる場合
に限らず、前段に設けてもよいし、省略してもよい。

液供給源は、計量可能なポンプに限らず、流量針や計量
ます等であってもよい。

気体はＮ２ガスに限らず、清浄空気等であってもよい。

中空部の形状、構造、容積等は、条件に応じて適宜選定
することができる。

［利用分野］ 以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置の製造分
野に適用した場合について説明したが、それに限定され
るものではなく、たとえば、化学、医療等の分野にも適
用できる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示す概略構成図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、中空部を形成された液流出入ブロックを備えてなり
   、前記中空部には、液供給源に接続される流入路と、被
   供給部に接続される流出路と、開閉弁を備えた排出路と
   、開閉弁を備えた気体供給路とがそれぞれ接続されてい
   る液供給装置。 ２、流入路が、液供給源の後段にフィルタを介設されて
   いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の液供
   給装置。