JPS60154278A - 電子写真用感光体 - Google Patents
電子写真用感光体Info
- Publication number
- JPS60154278A JPS60154278A JP1068684A JP1068684A JPS60154278A JP S60154278 A JPS60154278 A JP S60154278A JP 1068684 A JP1068684 A JP 1068684A JP 1068684 A JP1068684 A JP 1068684A JP S60154278 A JPS60154278 A JP S60154278A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive layer
- base
- layer
- support
- rough surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G15/00—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
- G03G15/75—Details relating to xerographic drum, band or plate, e.g. replacing, testing
- G03G15/751—Details relating to xerographic drum, band or plate, e.g. replacing, testing relating to drum
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Discharging, Photosensitive Material Shape In Electrophotography (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は非晶質シリコン（以下ａ−８ｉと記す）からな
る感光層を有する電子写真用感光体に関する。
る感光層を有する電子写真用感光体に関する。
従来からの代表的感光層材料であるセレン（Ｂｅ）を用
いた電子用感光体においては、感光層支持体として用い
られるアルミニウム（Ａｌ）木管と感光層との密層をよ
くするために、 Ａｌ素管表面全面を機械加工して粗面
にし、その上にＢｅ感光層を蒸着して感光体を製作する
方法が良く知られている。Ｂｅの場合は、蒸着の際に流
動性がある丸め、支持体表両が粗面であってもＢｅ感光
層は平滑になシ、実用上何らの問題は生じない。しかし
最近感光層材料として取シ上けられてきたａ−８１にお
いては、プラズマｏｗｎによる堆積時にａ −８’ｉに
流動性がないため、支持体の表面の凸凹がａ −８ｉ悪
感光の表面にそのまま現われる。その九め日ｅの場合の
ように粗面化された支゛持体を用いることは、画像欠陥
を生じる危険性があ′る。
いた電子用感光体においては、感光層支持体として用い
られるアルミニウム（Ａｌ）木管と感光層との密層をよ
くするために、 Ａｌ素管表面全面を機械加工して粗面
にし、その上にＢｅ感光層を蒸着して感光体を製作する
方法が良く知られている。Ｂｅの場合は、蒸着の際に流
動性がある丸め、支持体表両が粗面であってもＢｅ感光
層は平滑になシ、実用上何らの問題は生じない。しかし
最近感光層材料として取シ上けられてきたａ−８１にお
いては、プラズマｏｗｎによる堆積時にａ −８’ｉに
流動性がないため、支持体の表面の凸凹がａ −８ｉ悪
感光の表面にそのまま現われる。その九め日ｅの場合の
ように粗面化された支゛持体を用いることは、画像欠陥
を生じる危険性があ′る。
一方、Ｂ・とＡ１の熱膨張係数の比は高々２倍以内であ
るのに対し、ａ−８１とＡ１との間には熱膨張係数に一
桁近い開きがあシ、熱変動によって剥離が生じやすい。
るのに対し、ａ−８１とＡ１との間には熱膨張係数に一
桁近い開きがあシ、熱変動によって剥離が生じやすい。
〔発明の目的〕 ゛
従って本発明の目的はａ−８１感光層と支持体の間に剥
離が生ずることなく、しかも画像欠陥を生じない電子写
真用感光体を提供することを目的とする。
離が生ずることなく、しかも画像欠陥を生じない電子写
真用感光体を提供することを目的とする。
この目的は感光層支持体の感光層が被着される領域の対
向する両端部に粗面部が形成されることによシ、中央の
画像形成部では感光層面が平滑で、感光層の支持体から
の剥離の発生源となる両端部において感光層と支持体と
の付着強度を増加させ、上記の目的を達成する。
向する両端部に粗面部が形成されることによシ、中央の
画像形成部では感光層面が平滑で、感光層の支持体から
の剥離の発生源となる両端部において感光層と支持体と
の付着強度を増加させ、上記の目的を達成する。
第１図は本発明の一実施例を示すもので、支持体１は、
例えばＪ工８３００３のＡ１合金からなる素管であシ、
その外周表面は大部分表面粗さ０．８８に鏡面仕上げさ
れている。しかし支持体１の端に近い環状領域が機械加
工によシ表面粗さ１２．５に仕上げられた粗面部２とな
っている。粗面部２の幅は、例えば１０ｍである。ａ−
８ｉ悪感光３はモノシラン（８１Ｈａ）のグロー放電分
解によシ、この粗面部２の一部を含むＡ１支持体１の中
央部の表面に形成されている。例えば８１Ｈ４ガス圧０
．５ Ｔｏｒｒ 、 ＢｉＨａ 流量１１００５ＯＯ％
Ａ１支持体１の温度２５０℃、高周波放電電力２００Ｗ
で約２０Ｐの厚さのａ−８ｉ悪感光３を形成したが、こ
の感光体では感光層３の剥離は生じなかった。この感光
体の画像形成は、感光層３の粗面部２の上に被着され九
部分を含まない中央部分で行われるので、粗面部２によ
シ画像欠陥が生ずることがない。
例えばＪ工８３００３のＡ１合金からなる素管であシ、
その外周表面は大部分表面粗さ０．８８に鏡面仕上げさ
れている。しかし支持体１の端に近い環状領域が機械加
工によシ表面粗さ１２．５に仕上げられた粗面部２とな
っている。粗面部２の幅は、例えば１０ｍである。ａ−
８ｉ悪感光３はモノシラン（８１Ｈａ）のグロー放電分
解によシ、この粗面部２の一部を含むＡ１支持体１の中
央部の表面に形成されている。例えば８１Ｈ４ガス圧０
．５ Ｔｏｒｒ 、 ＢｉＨａ 流量１１００５ＯＯ％
Ａ１支持体１の温度２５０℃、高周波放電電力２００Ｗ
で約２０Ｐの厚さのａ−８ｉ悪感光３を形成したが、こ
の感光体では感光層３の剥離は生じなかった。この感光
体の画像形成は、感光層３の粗面部２の上に被着され九
部分を含まない中央部分で行われるので、粗面部２によ
シ画像欠陥が生ずることがない。
第２図は別の実施例を示し、第１図と共通の部分には同
一の符号が付されている。第２図においては、感光層３
は支持体ｌの端部まで形成された場合である。このよう
な場合、感光層３は熱変動ばかりでなく感光体端部への
他物体の接触により機械的に支持体１から剥離すること
があυ、図示のように支持体ｌの端部に端面ｌ］を含め
て粗面部２を形成することにより、よシ十分に剥離の発
生を防止できた。
一の符号が付されている。第２図においては、感光層３
は支持体ｌの端部まで形成された場合である。このよう
な場合、感光層３は熱変動ばかりでなく感光体端部への
他物体の接触により機械的に支持体１から剥離すること
があυ、図示のように支持体ｌの端部に端面ｌ］を含め
て粗面部２を形成することにより、よシ十分に剥離の発
生を防止できた。
第１図、第２図の実施例とも、支持体ｌの図示されない
反対側の端部においても同様に粗面部、感光層が形成さ
れたことはいうまでもない。
反対側の端部においても同様に粗面部、感光層が形成さ
れたことはいうまでもない。
粗面部２の加工法には、機械的加工法のほかに＋ｙ ）
”７’９２ ）ＭＷ・ｔ ＊ｕ＊°７ ／Ｌ＝ ＊ １
．Ｉ Ｋ ｊ 、６ 。
”７’９２ ）ＭＷ・ｔ ＊ｕ＊°７ ／Ｌ＝ ＊ １
．Ｉ Ｋ ｊ 、６ 。
化学的処理がある。しかし、感光体は本質的に機 □械
的寸法精度の高いものであるから極端な粗面を ゛形成
することは好ましくなく、実用上は表面粗さ２５８以下
に押える必要がある。
的寸法精度の高いものであるから極端な粗面を ゛形成
することは好ましくなく、実用上は表面粗さ２５８以下
に押える必要がある。
本発明は画像形成部の支持体の粗面化は不可能であるａ
−８ｉ座感光において、通常画像形成部に用いられない
感光層端部の下側のみ支持体を粗面化するもので、感光
層が厚くなり、剥離が発生しやすい感光層端部において
支持体との付着強度が増大するため、中央部へ剥離が波
及するおそれがなく、信頼性の高い電子写真用感光体を
得ることができる。。また画像形成部のａ −８ｉ悪感
光表面は平滑になるので画像欠陥の生ずることもない。
−８ｉ座感光において、通常画像形成部に用いられない
感光層端部の下側のみ支持体を粗面化するもので、感光
層が厚くなり、剥離が発生しやすい感光層端部において
支持体との付着強度が増大するため、中央部へ剥離が波
及するおそれがなく、信頼性の高い電子写真用感光体を
得ることができる。。また画像形成部のａ −８ｉ悪感
光表面は平滑になるので画像欠陥の生ずることもない。
第１図は本発明の一実施例の感光層の一部を剥して示し
た一部破砕断面図、第２図は別の実施例の同様の一部破
砕断面図である。 ｌ・・・支持体、２・・・粗面部、３・・・ａ −ｓｉ
感光層。 ５− 第１図 第２図・ ゛
た一部破砕断面図、第２図は別の実施例の同様の一部破
砕断面図である。 ｌ・・・支持体、２・・・粗面部、３・・・ａ −ｓｉ
感光層。 ５− 第１図 第２図・ ゛
Claims (1)
- ｌ）非晶質シリコンからなる感光層を有するものにおい
電、感光層支持体の感光層が被着される領域の対向する
両端部に粗面部が形成されることを特徴とする電子写真
用感光体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1068684A JPS60154278A (ja) | 1984-01-24 | 1984-01-24 | 電子写真用感光体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1068684A JPS60154278A (ja) | 1984-01-24 | 1984-01-24 | 電子写真用感光体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60154278A true JPS60154278A (ja) | 1985-08-13 |
Family
ID=11757149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1068684A Pending JPS60154278A (ja) | 1984-01-24 | 1984-01-24 | 電子写真用感光体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60154278A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0600256A1 (en) * | 1992-11-05 | 1994-06-08 | SHARP Corporation | Electrophotographic photoreceptor, method of producing the photoreceptor, and image-correcting method using the photoreceptor |
| US5381212A (en) * | 1992-07-13 | 1995-01-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Photoreceptor for electrophotography |
| US8295732B2 (en) | 2006-06-30 | 2012-10-23 | Kyocera Corporation | Electrophotographic photosensitive member and method of producing the same |
-
1984
- 1984-01-24 JP JP1068684A patent/JPS60154278A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5381212A (en) * | 1992-07-13 | 1995-01-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Photoreceptor for electrophotography |
| EP0600256A1 (en) * | 1992-11-05 | 1994-06-08 | SHARP Corporation | Electrophotographic photoreceptor, method of producing the photoreceptor, and image-correcting method using the photoreceptor |
| US8295732B2 (en) | 2006-06-30 | 2012-10-23 | Kyocera Corporation | Electrophotographic photosensitive member and method of producing the same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5827496B2 (ja) | 電子写真用セレン感光体 | |
| KR970059848A (ko) | 특정 최외곽면이 있는 표면 보호층을 갖는 수광 부재 및 이의 제조 방법 | |
| US5597623A (en) | Process for using microwave plasma CVD | |
| JPS60154278A (ja) | 電子写真用感光体 | |
| JPS6248752B2 (ja) | ||
| JPS6145869B2 (ja) | ||
| JPS59232909A (ja) | 非晶質シリコン薄膜の製造方法 | |
| TW377469B (en) | Process of forming metal films and multi-layer structure | |
| JPS5958435A (ja) | 電子写真用感光体の製造方法 | |
| JPS58202535A (ja) | 被膜形成装置 | |
| JPS59147353A (ja) | 感光体 | |
| JPS6057925A (ja) | シリコン上へのタングステン膜の形成方法 | |
| JPS61264350A (ja) | 電子写真感光体 | |
| JPS60101545A (ja) | 電子写真感光体及びその製造方法 | |
| JP3277552B2 (ja) | Ｅｃｒプラズマｃｖｄ法 | |
| JP2002038273A (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
| JPH06216065A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPH0775124B2 (ja) | 薄膜の堆積方法 | |
| JPH01228000A (ja) | 放射光．Ｘ線反射用ＳｉＣミラー | |
| JPS5553331A (en) | Electrophotographic photoreceptor | |
| JPH0769479B2 (ja) | シンクロトロン放射光用反射ミラー | |
| TW518643B (en) | High density plasma chemical vapor deposition chamber and method of forming chamber season film | |
| JPS58165319A (ja) | 熱処理治具 | |
| JPS62139879A (ja) | アモルフアスシリコンの薄膜形成法 | |
| JP2020050942A (ja) | 堆積膜形成装置 |