JPS60148391A - 駆動用圧電装置 - Google Patents
駆動用圧電装置Info
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- JPS60148391A JPS60148391A JP59004153A JP415384A JPS60148391A JP S60148391 A JPS60148391 A JP S60148391A JP 59004153 A JP59004153 A JP 59004153A JP 415384 A JP415384 A JP 415384A JP S60148391 A JPS60148391 A JP S60148391A
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- Japan
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- piezoelectric
- piezoelectric device
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- 235000017491 Bambusa tulda Nutrition 0.000 claims 1
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- 235000015334 Phyllostachys viridis Nutrition 0.000 claims 1
- 239000011425 bamboo Substances 0.000 claims 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明はたとえばドツトプリンタヘッドやリレーなどの
J147rIb装にゴなどに好3+毎に用いられる。駆
η74)用圧電装置6.に関する。
J147rIb装にゴなどに好3+毎に用いられる。駆
η74)用圧電装置6.に関する。
背景技術
従来からのドツトプリンタヘッドやリレーなどのkA勤
装置としてryr屋′亀圧の印加により撓み音生じる圧
電素子を2枚重ねにしたもの(以下バイモルフという)
が用いられる。このような先行技術ではバイモルフに変
位を与えれば与えるほどその先端における駆動力は減少
する。そこでバイモルフの各(動力、全増加するには厚
みやl1lin’を大きくする必要があるが、その場合
バイモルフの撓みが小さくなるという問題がある。
装置としてryr屋′亀圧の印加により撓み音生じる圧
電素子を2枚重ねにしたもの(以下バイモルフという)
が用いられる。このような先行技術ではバイモルフに変
位を与えれば与えるほどその先端における駆動力は減少
する。そこでバイモルフの各(動力、全増加するには厚
みやl1lin’を大きくする必要があるが、その場合
バイモルフの撓みが小さくなるという問題がある。
目 的
本発明は上述の技術的課題を解決し、flit jPな
(′h!成でしかも駆動力の大きい駆■・υ用11i−
’IJ5.装置1イ全41?供することである。
(′h!成でしかも駆動力の大きい駆■・υ用11i−
’IJ5.装置1イ全41?供することである。
実施例
1.1図は本発明の一実施例を示す断面図である。
この圧電装置は長方形の薄板状に形成されており、基本
的には第1電極としての共通Tb、極板2と共通電極&
2の表面に固〃fされる一対の圧ME素子3゜4とを含
む。圧電素子3は共通電極板2の一表面にli!!J宥
される圧′成体5と、圧′6体5の共通電極板2に臨む
一面とは反対側の一面に固着される凪2電極&6とから
成シ、他方の圧電素子は圧電累子3と同様な構成を有し
、共通電極板2の他表面に固着される圧電体7と圧電体
7の共通電極&2に臨む−mIとは反対(bllめ一面
に固着される第2電極板8とから成る。
的には第1電極としての共通Tb、極板2と共通電極&
2の表面に固〃fされる一対の圧ME素子3゜4とを含
む。圧電素子3は共通電極板2の一表面にli!!J宥
される圧′成体5と、圧′6体5の共通電極板2に臨む
一面とは反対側の一面に固着される凪2電極&6とから
成シ、他方の圧電素子は圧電累子3と同様な構成を有し
、共通電極板2の他表面に固着される圧電体7と圧電体
7の共通電極&2に臨む−mIとは反対(bllめ一面
に固着される第2電極板8とから成る。
圧電素子3,4の圧電体5,7は可撓性を有する材料か
ら成り、たとえば無機旧材と高分子桐材との複合物が1
r4いられる。圧電体5,7としての初台物拐料は比重
が比較的大きく、かつ可撓性を41シシかも製造の際高
瀞での加工が口」能である、という利点がある。複合物
としてr1圧電性′磁器粉末たとえはチタン酸バリウム
、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)などを均一分散して
含んだ高分子材料が望ましく、高分子月料としてはフッ
化ビニリデンの単独重合体や、フン化ビニリデン、三フ
ン化エチレン共重合体などのフン化ビニリデン共1合体
が好捷しい。また第2電極&6.8の少なくともいずれ
か一方(本実施例では第2電極板6)の胴材には極性旧
材が用いられる。
ら成り、たとえば無機旧材と高分子桐材との複合物が1
r4いられる。圧電体5,7としての初台物拐料は比重
が比較的大きく、かつ可撓性を41シシかも製造の際高
瀞での加工が口」能である、という利点がある。複合物
としてr1圧電性′磁器粉末たとえはチタン酸バリウム
、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)などを均一分散して
含んだ高分子材料が望ましく、高分子月料としてはフッ
化ビニリデンの単独重合体や、フン化ビニリデン、三フ
ン化エチレン共重合体などのフン化ビニリデン共1合体
が好捷しい。また第2電極&6.8の少なくともいずれ
か一方(本実施例では第2電極板6)の胴材には極性旧
材が用いられる。
このように共通電極板2と一対の圧電素子3゜4とかサ
ンドインチ状に構成はれた圧電装置1の長手方向の基端
部1a(m1図の下方)は支持台9に外嵌されて同定さ
れる。圧電装置1の長手方向の遊端部ib(第1図の上
方)の磁性材料から成る第2電極板6に臨んで永久磁石
片10が11・長1壁11に固定される。oJ撓性全イ
1する圧電、装置1は自然状態では一直腓上(紀11ツ
1の上下方向)(てあり、前記水久磁石片10によって
その遊端部1bが吸着された状態では圧電装置全体が弓
状のお・み状態となるように構成されている。
ンドインチ状に構成はれた圧電装置1の長手方向の基端
部1a(m1図の下方)は支持台9に外嵌されて同定さ
れる。圧電装置1の長手方向の遊端部ib(第1図の上
方)の磁性材料から成る第2電極板6に臨んで永久磁石
片10が11・長1壁11に固定される。oJ撓性全イ
1する圧電、装置1は自然状態では一直腓上(紀11ツ
1の上下方向)(てあり、前記水久磁石片10によって
その遊端部1bが吸着された状態では圧電装置全体が弓
状のお・み状態となるように構成されている。
このように永久磁石片10によって吸着される一対の圧
電素子3,4けその分極方向がそれぞれ反対のものが選
ばれており、捷た永久磁石片10の磁気力は後述する電
圧印加による圧電体5,7の駆動力よりも小さく選ばれ
る。
電素子3,4けその分極方向がそれぞれ反対のものが選
ばれており、捷た永久磁石片10の磁気力は後述する電
圧印加による圧電体5,7の駆動力よりも小さく選ばれ
る。
このように遊端部1bが永久磁石10 K In 心さ
れた圧電装置1に所定の電圧を印加した場合全4υ足す
る。圧電装置1の一対の圧π1.素子3,4は、コント
ロール回路12に並列的に接続されており、このコント
ロール回路12によって圧η〕、素子3゜4に19r定
の電圧全印加すると、′市9(極性の異なつた圧電体5
,7が用いられている圧電装@1には、第1図の矢符1
3の撓み力Fが与えられる。このとき永久磁石片10に
吸着された圧電装置lの遊%i frls 1 bがそ
の磁気力に抗して永久磁石片10から離反して矢符13
に示す方向に向って変位する駆動力Fが得られる。次に
コントロール回路12によって圧電装置1の電圧印加を
解除すると、圧電装置41の遊!M部lbは再び永久磁
石片10によって矢符13と反対の方向に変位される。
れた圧電装置1に所定の電圧を印加した場合全4υ足す
る。圧電装置1の一対の圧π1.素子3,4は、コント
ロール回路12に並列的に接続されており、このコント
ロール回路12によって圧η〕、素子3゜4に19r定
の電圧全印加すると、′市9(極性の異なつた圧電体5
,7が用いられている圧電装@1には、第1図の矢符1
3の撓み力Fが与えられる。このとき永久磁石片10に
吸着された圧電装置lの遊%i frls 1 bがそ
の磁気力に抗して永久磁石片10から離反して矢符13
に示す方向に向って変位する駆動力Fが得られる。次に
コントロール回路12によって圧電装置1の電圧印加を
解除すると、圧電装置41の遊!M部lbは再び永久磁
石片10によって矢符13と反対の方向に変位される。
このような動作状態によって圧電装置ft、 1 f”
l:たとえばドツトプリンタヘッドにおける印字機能な
どを果たすことができる。
l:たとえばドツトプリンタヘッドにおける印字機能な
どを果たすことができる。
このように圧電装置1の駆動力Fi得る方向と反対1+
1!lの方向に永久磁石片10を配置し、無印加状態で
圧電装置1の遊端部1b全水久磁石片10に吸着させ、
圧電装置1の初期の動作基点全催促することによって圧
電装置??1の厚みや幅を大きく選ぶことがでさ、した
がってその硬度性が習まる。
1!lの方向に永久磁石片10を配置し、無印加状態で
圧電装置1の遊端部1b全水久磁石片10に吸着させ、
圧電装置1の初期の動作基点全催促することによって圧
電装置??1の厚みや幅を大きく選ぶことがでさ、した
がってその硬度性が習まる。
また永久磁石片10によって予め撓みが与えられた圧電
装置1に所定の電圧を印加することによって、圧電装置
1のはね反撥力と電圧印加による駆動力によって圧電装
置1が駆動される。したがって圧電装置1が直立する動
作状態で最大の駆動力Fを得ることができる。
装置1に所定の電圧を印加することによって、圧電装置
1のはね反撥力と電圧印加による駆動力によって圧電装
置1が駆動される。したがって圧電装置1が直立する動
作状態で最大の駆動力Fを得ることができる。
第2図は本発明の他の実施例の側面(匍であり、第3図
はその正面図である。2,2図および第31ヌ1は第1
図の構成に類似し、対応する部分にI4同−の参照符を
付す。本実か11例では第1箱、極と(7ての共通電極
板2が磁性体から成る板状に形成し、この共通電極板2
の遊端部2aを永久磁石片10に直接吸着させている。
はその正面図である。2,2図および第31ヌ1は第1
図の構成に類似し、対応する部分にI4同−の参照符を
付す。本実か11例では第1箱、極と(7ての共通電極
板2が磁性体から成る板状に形成し、この共通電極板2
の遊端部2aを永久磁石片10に直接吸着させている。
このように共通矩゛極板2の厚みを大きくして板状にす
ることにより、圧電装置1の機械的強度を増加させる仁
とかで衣、しかも磁性体の鉢植が大きくなるのでその生
産時に!心性体の磁気飽オ0’(r−防ぐことができ、
したがって磁気的な効率を高めることができる。これに
よって永久磁石片10の吸恰時と1力11反時とにおけ
る圧電体5,7の磁束の変化fij f大きくとること
ができる。第4図は本発明のさらに他の実施例のit1
g面図である。第4図は第2図の構成に類似し、対応す
る部分には同一の参照符?付す。注目すべきはL字形の
ヨーク20の水平部20aの1端を支持台9にし]定し
、水平部20aの上端に共通電−極板2の下端部2ai
固定するとともに、ヨーク20の鉛直部20bのM端部
に永久磁石片10を固定したことである。このように圧
電装置1の磁気回路を閉ループ状に構成したことによっ
て、永久磁石片10の磁束がヨーク2 Of ;jハし
て流n1 したがって磁気効率ケ良くすることができる
とともに、永久磁石片10への圧電体5.7の吸氷時と
離反時の磁束の変化掃全大きくとることができる。
ることにより、圧電装置1の機械的強度を増加させる仁
とかで衣、しかも磁性体の鉢植が大きくなるのでその生
産時に!心性体の磁気飽オ0’(r−防ぐことができ、
したがって磁気的な効率を高めることができる。これに
よって永久磁石片10の吸恰時と1力11反時とにおけ
る圧電体5,7の磁束の変化fij f大きくとること
ができる。第4図は本発明のさらに他の実施例のit1
g面図である。第4図は第2図の構成に類似し、対応す
る部分には同一の参照符?付す。注目すべきはL字形の
ヨーク20の水平部20aの1端を支持台9にし]定し
、水平部20aの上端に共通電−極板2の下端部2ai
固定するとともに、ヨーク20の鉛直部20bのM端部
に永久磁石片10を固定したことである。このように圧
電装置1の磁気回路を閉ループ状に構成したことによっ
て、永久磁石片10の磁束がヨーク2 Of ;jハし
て流n1 したがって磁気効率ケ良くすることができる
とともに、永久磁石片10への圧電体5.7の吸氷時と
離反時の磁束の変化掃全大きくとることができる。
第5図1d本発明の仙の夷ガ11例を示す側面図である
。第5図1dmJ図の構成に類似し、対応する部分には
同一の参照符を付す。本実施例ではヨーク20の鉛的部
2Ubにコイル21會巻回したものである。これによっ
て圧電装置1に電圧印加すると同時に、永久磁石片10
の磁束全村ち消す電圧をコイル21に印加することによ
って圧電装置1の駆動力をさらに増大することができる
。またこの実施例では永久磁石片10への圧電装置1の
吸着時において水1.久磁石片10の吸着力が最大であ
シ、したがってコイル21には永久磁石片10と圧電装
置1との離反時にのみ永久磁石片10の磁束を打ち消す
電圧を印加すればよく、したがってコイル21のヨーク
20への巻き数を少なくすることができるので作業性が
向上される。
。第5図1dmJ図の構成に類似し、対応する部分には
同一の参照符を付す。本実施例ではヨーク20の鉛的部
2Ubにコイル21會巻回したものである。これによっ
て圧電装置1に電圧印加すると同時に、永久磁石片10
の磁束全村ち消す電圧をコイル21に印加することによ
って圧電装置1の駆動力をさらに増大することができる
。またこの実施例では永久磁石片10への圧電装置1の
吸着時において水1.久磁石片10の吸着力が最大であ
シ、したがってコイル21には永久磁石片10と圧電装
置1との離反時にのみ永久磁石片10の磁束を打ち消す
電圧を印加すればよく、したがってコイル21のヨーク
20への巻き数を少なくすることができるので作業性が
向上される。
前述の実施例では共’U’i ’gj 4jllt板2
を用いて圧電装置1を並列的に接続したけれども、共つ
1u畢極板2に用いないで第2電極彬6,8の間に電圧
全印加して1llj列的に接続するようにしてもよい。
を用いて圧電装置1を並列的に接続したけれども、共つ
1u畢極板2に用いないで第2電極彬6,8の間に電圧
全印加して1llj列的に接続するようにしてもよい。
寸た第6図に示されるように圧電装置1q1の升手方向
の両端部を支持体22.23によって支持し、永久磁石
片10を圧電装置1の中央部伺近に配置するようにして
もよい。捷た第7図に示されるようVこ共通型@<&I
00,101食?1LLAルへ緑(本102によって、
痺断するような構成としてもよい。
の両端部を支持体22.23によって支持し、永久磁石
片10を圧電装置1の中央部伺近に配置するようにして
もよい。捷た第7図に示されるようVこ共通型@<&I
00,101食?1LLAルへ緑(本102によって、
痺断するような構成としてもよい。
本発明に従う圧電装置1はドツトプリンタヘッドやリレ
ーなどの、駆動掛構に限定これす、その他の技術分野に
おいて広範囲に実施することができる0 効果 以上のように本発明によれば圧電装置1り全形成する一
対の圧電素子に予め永久磁石によって枡みを与えている
ので市、圧印加による圧電素子の、駆動力をいちじるし
く増大することができる。
ーなどの、駆動掛構に限定これす、その他の技術分野に
おいて広範囲に実施することができる0 効果 以上のように本発明によれば圧電装置1り全形成する一
対の圧電素子に予め永久磁石によって枡みを与えている
ので市、圧印加による圧電素子の、駆動力をいちじるし
く増大することができる。
卯、1図は本発明の一実施例の1111面し1、第2図
は本発明の他の芙施例の(I’l1面図、シ、3図はそ
の正面図、第4図14本発明のさらに他の’4 XLj
例の倶j面図、第5図は不発ヴ]の仙の実ノイ〔例の側
面図、π6図は本発明の他の実施例の側ifi r<:
、?、 71ン]は本発明の他の実施例の断面1東であ
る。 1・・・圧電装置、2・・・共通電極板、4・・・圧電
才子、5.7・・・1に′IJ−偽、6,8・・・汀1
,2■□、極根、9・・・支持台、■()・・・永久磁
石片 代理人 弁理士 四教圭一部 第1図 第4図 第2図第3図 第5図
は本発明の他の芙施例の(I’l1面図、シ、3図はそ
の正面図、第4図14本発明のさらに他の’4 XLj
例の倶j面図、第5図は不発ヴ]の仙の実ノイ〔例の側
面図、π6図は本発明の他の実施例の側ifi r<:
、?、 71ン]は本発明の他の実施例の断面1東であ
る。 1・・・圧電装置、2・・・共通電極板、4・・・圧電
才子、5.7・・・1に′IJ−偽、6,8・・・汀1
,2■□、極根、9・・・支持台、■()・・・永久磁
石片 代理人 弁理士 四教圭一部 第1図 第4図 第2図第3図 第5図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 厚み方向に変位する圧電体のバイモルフ構造を有する駆
動手段と、 駆動手段に取付けられる強磁性制料から成る吸着部拐又
は磁石のいずれか一方を駆動手段に取付け、 駆動手段の竹・凸方向の一方の停止位1aに吸着部相又
は磁石のいずれか他方を設けること’に%徴とする駆動
用圧電装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59004153A JPS60148391A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 駆動用圧電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59004153A JPS60148391A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 駆動用圧電装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60148391A true JPS60148391A (ja) | 1985-08-05 |
Family
ID=11576810
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59004153A Pending JPS60148391A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 駆動用圧電装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60148391A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6289371A (ja) * | 1985-10-16 | 1987-04-23 | Tohoku Metal Ind Ltd | 圧電バイモルフ装置 |
FR2810686A1 (fr) * | 2000-06-23 | 2001-12-28 | Thomson Marconi Sonar Sas | Dispositif antivibratoire pour paroi |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55139630A (en) * | 1979-04-16 | 1980-10-31 | Sony Corp | Supporter for magnetic head |
-
1984
- 1984-01-11 JP JP59004153A patent/JPS60148391A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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