JPS60141469A - 鏡面加工方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）発明の分野 この発明は一般金属材料、光学レンズ、半導体ウェハー
各種ミラー等の表面を鏡面加工覆る加工装置に関する。

（ロ）発明の背順 たとえば、鏡面加工に使用されている従来のフロー１〜
ポリツシング加工法は第１図に示ずごとく砥粒混濁液１
を充填した容器２内に、被加］二物３を保持した加工物
ホルダー４とラップ盤５とを高精度に平行度をもたせて
対向さけ、ラップ盤５を回転させて容器２内の砥粒混濁
液１を撹拌回動させる。このためラップ１１５と被加工
物３の間に存在づる砥粒混濁液１中の砥粒が被加工物３
の加１表面に衝突接触し加工表面を鏡面用■する。

しかしかかる加工法では次のような欠点を有している。

（１）加工物ホルダー４とラップ盤５の間隙距前は常に
一定であるため、砥粒ｉＩＪ！濁液１中の砥粒は加工表
面に偶然的に衝突接触づるのみで積極的に作用されず、
鏡面加工効率が非常に悪い。

このため加工時間が長く生産性が極めて悪い。

（２）加」二表面の平面度はラップｇＡ５の加工表面へ
の平行度により左右され、ｆｌｕ工物本物ホルダー４ッ
プ盤５の平行度をより高精度に仕上げる必要がある。こ
のため加工装置のコストが上昇する。

（３）加工表面の外形端近傍に削りすぎによるダしが発
生しやづい。このため加工表面の平面度が低下づる要因
となる。

（４）ラップ盤５のラップ面の摩耗による平面瘍校正を
必要とした。

（ハ）発明の目的 そこでこの発明は、加工時間が短かく、廉価な加工装置
で鏡面加工できるバブル加工装置の提供を目的とする。

（ニ）発明の要約 この発明は、被加工物の表面を鏡面または高品位平面に
加■づ゛るバブル加工装置であって、砥粒混濁液をバブ
ル化して被加工物の表面に供給りるとと６に、バブルを
バブル加圧板により圧縮変形さけ、この押圧力を液加］
ニ物の表面に付加し表面加］二ツるＪ：うにしたバルブ
加工装置であることを特徴とＪる。

（ボ）発明の効果 この発明によれば、砥粒混濁液をパルプ化するとともに
、バブル加圧板により圧縮変形させ、この押圧力を被ｊ
ＪＩ　Ｉ物の加工表面に付加し強制的に表面加工するよ
う構成し１こので、次のにうな幾多な効果を有している
。

（１）バブル中の砥粒が加工表面に強制的に作用するの
で加工効率が高くなる。このため加工時間が短く生産性
が極めて高い。

（２）ラップ盤を必要としないので装置を高精度に仕上
げる必要がない。このため加工装置が廉価にできる。ま
たラップ盤の平面校正作業を必要としない。

（３）加工表面の部分仕上げが可能となった。

（へ）発明の実施例 この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳述する。

図面は本発明のバルブ加工装置を示し、第２図〜第５図
においてバブル加工装置は下部に容器６を、上部にフレ
ーム７を有している。

前述の容器６は、被加工物８に対応した大ぎさの開口部
をもち、その下端に前述の被加工物８を固定保持する加
工物ホルダー９を回転自在に配設している。またその上
端には常に開【」部を閉鎖しＣ、バブル１０の飛散を防
止する蛇腹式のバブルシールド１１が左右方向に伸縮自
在に配備されている。

前）ホのフレーム７は、その適宜位置にバブル加斤板軸
１２およびバブル供給管１３を垂Ｆ配設し、ｎ０述の加
工物ホルダー９の回転の中心の上方向延長線上を通る直
径方向に水平状態で左右方向に、適宜の摺動手段ににり
摺動自在に摺動される。

前Ｊバブル加圧板軸１２は、前述のフレーム７に上下摺
動自在に挿置され、駆動コイル１４Ｊ３よび復帰スプリ
ング１５により任意に上下摺動され、前述のバブルシー
ルド１１を貫通してその下端部に配設したバブル加圧板
１６を前Ｊの容器６内に突出させている。

前述のバブル加圧板１６は、前述の被加工物８の部分加
工を可能にするため、前述の加工物ボルダ−９に比し小
径に形成されて、前述の加工物ホルダー９と平行状態を
常に保持しながら上下摺動され、前述の駆動コイル１４
により復帰スプリング１５に抗して下方向に摺動された
とぎ、その下端部に存在する前述のバブル１０を前述の
被加工物８に圧接させる。

前述のバブル供給管１３は、その上端部に適宜の発泡手
段を形成したバブル発生装置１７を配設し、その下端開
口部１８を前述のバブルシールド１１を貫通して前述の
バブル加圧板１６の近傍に配備され、新規のバブル１０
をバブル加圧板１６および被加工物８間に供給する。

前述のバブル１０は、前述のバブル発生装置１７により
砥粒混濁液に発泡剤を混入撹拌して製造され、第３図に
示すごとく、バブル球面上に無数の砥粒１９が付着分布
され、これら砥粒１９が加圧され、前述の被加工物８が
回転したとき切刃として作用し、被加工物８の鏡面加工
を行う。また必要に応じて粘着剤が混入され、その混入
比率によりバブル１０の強度が増減される。

前述したように構成したバブル加ｌ装置によりバブル加
工を行うには、加工物ホルダー９に被加工物８を固定し
、バブル１０を供給して加工物ホルダー９を回転させる
。

しかしこの無月−状態では、バブル１０は、第４図に示
りごどく、略球面状に形成され被加工物８の加工表面に
乗った状態で積極的に加］二作用を行わないが、この状
態においても従来の加］二方法に比べると、爪粉１９が
常に加１］表面に接触しているため鏡面加工速度は早い
。

また前述の状態に加えてバブル加圧板１６を下方向に摺
動させバブル加圧板１６の下方に存在りるバブル１０を
加圧圧縮すれば、第５図に示づごとく、バブル１０は圧
縮変形され、それにともないバブル１０の内圧が」二臂
し、被加工物８の加工表面に圧接し、爪粉１９が積極的
に加工作用を行う。

また被加工物８がバブル加圧板１６Ｊ：り人きい場合は
、フレーム７を左右方向に摺動させ、バブル加圧板１６
を移動させれば、被加工物８の加コー表面全体を鎖面加
１することができる。

さらに加Ｊ物ホルダー９へ被加工物８を取付ける際、そ
の取ｆ１位置およびバブル加圧板１６の移動位置の相合
けににす、被加工物８の加工表面の部分鏡面加工、その
他種々の鏡面加工を行うことが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のフロートポリッシング加工法の加工装置
の概略断面図。 以下はこの発明の一実施例を示し、 第２図はバブル加工装置の断面図。 第３図はバブルの概略断面図。 第４図はバブルの無圧状態での概略形状図。 第５図はバブルの加圧状態での概略形状図である。 ８・・・被加工物　１０・・・バブル

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、砥粒混濁液をバブル発生装置でバブル化して被加工
   物の表面に供給づるとともに、前記バブルをバブル加圧
   板により圧縮変形させ、この押圧ツノを前記被加工物の
   表面にイ」加し表面加工するように構成したことを特徴
   とするバルブ加工装置。