JPS60140527A - 垂直記録用磁気記録媒体 - Google Patents
垂直記録用磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS60140527A JPS60140527A JP25109583A JP25109583A JPS60140527A JP S60140527 A JPS60140527 A JP S60140527A JP 25109583 A JP25109583 A JP 25109583A JP 25109583 A JP25109583 A JP 25109583A JP S60140527 A JPS60140527 A JP S60140527A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- layer
- permalloy
- magnetic
- recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は高密度記録特性の優れた垂直記録用磁気記録
媒体に関するものある。
媒体に関するものある。
従来例の構成とその問題点
短波長記録特性の優れた磁気記録方式として、垂直磁気
記録方式がある。この方式においては、媒体の膜面に略
垂直方向が磁化容易軸である垂直磁気記録媒体が必要と
なる。このような媒体に信号を記録すると残留磁化は媒
体の膜面に略垂直方向を向き、従って信号が短波長にな
る程媒体内の反磁界は減少し、優れた再生出力が得られ
る。単層膜媒体と呼ばれるｃｏ−Ｃｒ垂直磁気記録媒体
は、非磁性材料より成る基板にＣｏ−Ｃｒを主成分とす
る垂直磁化膜をスパッタリング法や真空蒸着法（イオン
ブレーティング法のように蒸発原子の一部をイオン化し
て蒸着するけ方法も含む）で形成したものである。この
ような構造の単層膜媒体に対し、第１図に示すような非
磁性材料より成る基板１とＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜２との
間に、パーマロイ膜３を設けた、いわゆる２層股媒体と
呼ばれる構造にすることにより、記録効率および再生出
力が向上することが知られている。特に公知の補助磁極
励磁型垂直ヘッドを用いて記録再生を行なう際には、記
録効率が約２０ｄＢ改善され、再生出力が約２０ｄＢ向
上する。
記録方式がある。この方式においては、媒体の膜面に略
垂直方向が磁化容易軸である垂直磁気記録媒体が必要と
なる。このような媒体に信号を記録すると残留磁化は媒
体の膜面に略垂直方向を向き、従って信号が短波長にな
る程媒体内の反磁界は減少し、優れた再生出力が得られ
る。単層膜媒体と呼ばれるｃｏ−Ｃｒ垂直磁気記録媒体
は、非磁性材料より成る基板にＣｏ−Ｃｒを主成分とす
る垂直磁化膜をスパッタリング法や真空蒸着法（イオン
ブレーティング法のように蒸発原子の一部をイオン化し
て蒸着するけ方法も含む）で形成したものである。この
ような構造の単層膜媒体に対し、第１図に示すような非
磁性材料より成る基板１とＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜２との
間に、パーマロイ膜３を設けた、いわゆる２層股媒体と
呼ばれる構造にすることにより、記録効率および再生出
力が向上することが知られている。特に公知の補助磁極
励磁型垂直ヘッドを用いて記録再生を行なう際には、記
録効率が約２０ｄＢ改善され、再生出力が約２０ｄＢ向
上する。
以上のように、２層膜媒体を用いることにより、（憂れ
た記録再生特性が得られるが、磁気記録再生装置の高密
度化、小型化を考えると、まだ十分な特性ではなく、更
に優れた特性が要求されていた。
た記録再生特性が得られるが、磁気記録再生装置の高密
度化、小型化を考えると、まだ十分な特性ではなく、更
に優れた特性が要求されていた。
発明の目的
この発明は従来の２層膜媒体よりも更に優れた記録再生
特性を有する垂直記録用磁気記録媒体を提供することを
目的とする。
特性を有する垂直記録用磁気記録媒体を提供することを
目的とする。
発明の構成
この発明の垂直記録用磁気記録媒体は、非磁性基板と、
Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜と、前記基板とＣ０−Ｃｒ垂直磁
化膜との間に介在し少なくとも１層の非磁性層を含むパ
ーマロイ膜と、前記Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜に最も近い非
磁性層の基板側に配置した非晶質層とを備えたものであ
る。
Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜と、前記基板とＣ０−Ｃｒ垂直磁
化膜との間に介在し少なくとも１層の非磁性層を含むパ
ーマロイ膜と、前記Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜に最も近い非
磁性層の基板側に配置した非晶質層とを備えたものであ
る。
実施例の説明
この発明の実施例を第２図ないし第５図を参照して説明
する。第２図および第３図はいずれもパーマロイ膜が膜
中に１層の非磁性層を含む２層構造を示す。第２図でパ
ーマロイ膜４は非磁性層６により上Ｆｉ５ａおよび下層
５ｂの２層に分離されている。第３図は、この発明の構
成の１例でありパーマロイ膜７は非磁性層８および非晶
質層９により上１Ｗ５ａおよび下層５ｂの２層に分離さ
れてイル。以下に、パーマロイ膜４．７が第２図および
第３図に示されるような２層構造をしている２層膜媒体
の記録再生特性について説明する。第４図は２層膜媒体
において、パーマロイ膜の全膜厚と構造を変えた場合の
再生出力を示している。なお、Ｃｏ ’−Ｃｒ垂直磁化
膜の膜厚は０．２μｍ一定としである。また第２図およ
び第３図に示す非磁性層６，８としてはいずれも膜厚０
．０２μｍのＴｉ膜を用い、第３図の非晶質層９は膜厚
０．００４μｍのＣｏ−Ｔｉ層とした。信号の記録再生
は、公知の補助磁極励磁型垂直ヘッドで行ない、記録密
度は１００ＫＦＲＰＩとした。なお１００ＫＦＲＰＩと
は、１インチ当たり１０００００回磁化反転のあるディ
ジタル信号の記録状態である。第４図の曲線１０．１１
および１２はそれぞれパーマロイ膜の構造が単層構造、
第２図の構造および第３図の構造の２層膜媒体における
パーマロイ膜の全膜厚と再生出力との関係を示す。
する。第２図および第３図はいずれもパーマロイ膜が膜
中に１層の非磁性層を含む２層構造を示す。第２図でパ
ーマロイ膜４は非磁性層６により上Ｆｉ５ａおよび下層
５ｂの２層に分離されている。第３図は、この発明の構
成の１例でありパーマロイ膜７は非磁性層８および非晶
質層９により上１Ｗ５ａおよび下層５ｂの２層に分離さ
れてイル。以下に、パーマロイ膜４．７が第２図および
第３図に示されるような２層構造をしている２層膜媒体
の記録再生特性について説明する。第４図は２層膜媒体
において、パーマロイ膜の全膜厚と構造を変えた場合の
再生出力を示している。なお、Ｃｏ ’−Ｃｒ垂直磁化
膜の膜厚は０．２μｍ一定としである。また第２図およ
び第３図に示す非磁性層６，８としてはいずれも膜厚０
．０２μｍのＴｉ膜を用い、第３図の非晶質層９は膜厚
０．００４μｍのＣｏ−Ｔｉ層とした。信号の記録再生
は、公知の補助磁極励磁型垂直ヘッドで行ない、記録密
度は１００ＫＦＲＰＩとした。なお１００ＫＦＲＰＩと
は、１インチ当たり１０００００回磁化反転のあるディ
ジタル信号の記録状態である。第４図の曲線１０．１１
および１２はそれぞれパーマロイ膜の構造が単層構造、
第２図の構造および第３図の構造の２層膜媒体における
パーマロイ膜の全膜厚と再生出力との関係を示す。
第４図から、パーマロイ膜の全膜厚が一定である場合に
は、パーマロイ膜を非磁性層６．８によって２層構造に
し、さらに非晶質Ｎ９を形成することにより、従来の２
ＮＮ膜体よりも）ないし９ｄＢ高い再生出力が得られる
ことがわかる。このようになる原因はパーマロイ膜の透
磁率μの大きさとＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜２の結晶配向性
によるものと考えられる。すなわち、パーマロイ膜を２
層構造にすることにより、単層構造の場合よりもμが大
きくなり、その結果再生出力が増加する。
は、パーマロイ膜を非磁性層６．８によって２層構造に
し、さらに非晶質Ｎ９を形成することにより、従来の２
ＮＮ膜体よりも）ないし９ｄＢ高い再生出力が得られる
ことがわかる。このようになる原因はパーマロイ膜の透
磁率μの大きさとＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜２の結晶配向性
によるものと考えられる。すなわち、パーマロイ膜を２
層構造にすることにより、単層構造の場合よりもμが大
きくなり、その結果再生出力が増加する。
これは第２図および第３図のいずれの構造においても言
えることである。さらに、２層膜媒体におけるＣｏ−Ｃ
ｒ垂直磁化膜は、稠密六方構造Ｃ軸が膜面に垂直方向に
配向しなければならないが、この配向性が第２図よりも
第３図に示されるこの発明の例の方が優れているために
、後者の再生出力が前者よりも大きくなっている。Ｃ軸
の垂直配向性を定量化するために、第２図および第３図
におけるＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜の（００２）面に関する
ロッキング曲線の半値幅Δθ５ｏをＸ線分析装置により
測定すると、第２図では１４度であったが、第３図では
７度と大幅に小さくなっており、Ｃ軸の垂直配向性の良
いことが確認された。なお、第３図において、非磁性層
８をＴｉＮではなく、他の非磁性層１例えばＡＩ、Ｓｉ
、Ｃｕ、Ｓｉｎ。
えることである。さらに、２層膜媒体におけるＣｏ−Ｃ
ｒ垂直磁化膜は、稠密六方構造Ｃ軸が膜面に垂直方向に
配向しなければならないが、この配向性が第２図よりも
第３図に示されるこの発明の例の方が優れているために
、後者の再生出力が前者よりも大きくなっている。Ｃ軸
の垂直配向性を定量化するために、第２図および第３図
におけるＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜の（００２）面に関する
ロッキング曲線の半値幅Δθ５ｏをＸ線分析装置により
測定すると、第２図では１４度であったが、第３図では
７度と大幅に小さくなっており、Ｃ軸の垂直配向性の良
いことが確認された。なお、第３図において、非磁性層
８をＴｉＮではなく、他の非磁性層１例えばＡＩ、Ｓｉ
、Ｃｕ、Ｓｉｎ。
Ａｌ２Ｏ３，高分子材料等にすると、Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁
化膜のＣ軸配向性が大幅に劣化し、再生出力が低下した
。また、Ｔｉ層の下の非晶質層としては、上の例ではＣ
ｏ−Ｔｉ磁性層の場合について説明したが、この層は非
晶質層であれば高分子材料や金属等の非磁性層でも上記
と同様の結果が得られた。
化膜のＣ軸配向性が大幅に劣化し、再生出力が低下した
。また、Ｔｉ層の下の非晶質層としては、上の例ではＣ
ｏ−Ｔｉ磁性層の場合について説明したが、この層は非
晶質層であれば高分子材料や金属等の非磁性層でも上記
と同様の結果が得られた。
以上のように２層膜媒体におけるパーマロイ膜を単層構
造ではなく２層構造にし、かつパーマロイ膜を２層に分
離している非磁性層をＴｉ層とし、このＴｉ層の非磁性
基板側に非晶質層を形成することにより、従来の２層膜
媒体よりも優れた再生出力が得られる。
造ではなく２層構造にし、かつパーマロイ膜を２層に分
離している非磁性層をＴｉ層とし、このＴｉ層の非磁性
基板側に非晶質層を形成することにより、従来の２層膜
媒体よりも優れた再生出力が得られる。
以上の結論はパーマロイ膜が２Ｎ構造の場合のみではな
く、３Ｎ構造以上の場合にも言えることが実験により確
認されている。３層構造のパーマロイ膜の一例を第５図
に示す。この図のパーマロイ膜１３はＴｉ膜８および８
゛により上層５ａ。
く、３Ｎ構造以上の場合にも言えることが実験により確
認されている。３層構造のパーマロイ膜の一例を第５図
に示す。この図のパーマロイ膜１３はＴｉ膜８および８
゛により上層５ａ。
中間層５Ｃおよび下層５ｂの３層に分離されており、か
つＣ０−Ｃｒ垂直磁化１！ｉｉ２に最も近いＴｉ膜８と
非磁性基板１例の中間層５Ｃとの間に非晶質層９が形成
されている。なお８゛はＴｉ層層外外非磁性層でもよい
。
つＣ０−Ｃｒ垂直磁化１！ｉｉ２に最も近いＴｉ膜８と
非磁性基板１例の中間層５Ｃとの間に非晶質層９が形成
されている。なお８゛はＴｉ層層外外非磁性層でもよい
。
以上述べた例ではパーマロイ膜の上に直接Ｃ０−Ｃｒ垂
直磁化膜の形成された２層膜媒体について説明したが、
第６図に示すように両膜２，７′間に非磁性層１４を配
置しても、この非磁性Ｎ１４の膜厚が約０．０５μｍ以
下の場合には、上記と同様の結果が得られた。なお、こ
の非磁性層１４をＴｉあるいは非晶質にすることにより
、Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜２のＣ軸の垂直配向性が大幅に
向上するという効果が得られた。
直磁化膜の形成された２層膜媒体について説明したが、
第６図に示すように両膜２，７′間に非磁性層１４を配
置しても、この非磁性Ｎ１４の膜厚が約０．０５μｍ以
下の場合には、上記と同様の結果が得られた。なお、こ
の非磁性層１４をＴｉあるいは非晶質にすることにより
、Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜２のＣ軸の垂直配向性が大幅に
向上するという効果が得られた。
発明の効果
この発明によれば、記録再生特性の優れた垂直記録用磁
気記録媒体を提供することができる。
気記録媒体を提供することができる。
第１図は従来の２層膜媒体の断面図、第２図はパーマロ
イ膜に非磁性層を設けた２層膜媒体の断面図、第３図は
この発明の一実施例に係る２層膜媒体の断面図、第４図
は各２ＮＮ膜体の再生出力を示すグラフ、第５図はこの
発明の他の実施例における２層膜媒体の断面図、第６図
はこの発明のさらに他の例を示す断面図である。 １・・・非磁性基板、２・・・Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜、
３、 ４． ７． １３・・・パーマロイ膜、６． ８
． １４・・・非磁性層、９・・・非晶質層 第１図 第２図 第３図 一１＼°−７０イ瞳の莞瞬厚（μｍ） 第４図 第５図
イ膜に非磁性層を設けた２層膜媒体の断面図、第３図は
この発明の一実施例に係る２層膜媒体の断面図、第４図
は各２ＮＮ膜体の再生出力を示すグラフ、第５図はこの
発明の他の実施例における２層膜媒体の断面図、第６図
はこの発明のさらに他の例を示す断面図である。 １・・・非磁性基板、２・・・Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜、
３、 ４． ７． １３・・・パーマロイ膜、６． ８
． １４・・・非磁性層、９・・・非晶質層 第１図 第２図 第３図 一１＼°−７０イ瞳の莞瞬厚（μｍ） 第４図 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｉｌｌ 非磁性基板と、Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜と、前記
基板とＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜との間に介在し少なくとも
１層の非磁性層を含むパーマロイ膜と、前記Ｃｏ−Ｃｒ
垂直磁化膜に最も近い非磁性層の基板側に配置した非晶
質層とを備えた垂直記録用磁気記録媒体。 （２）前記非磁性層がＴｉ膜である特許請求の範囲第（
１）項記載の垂直記録用磁気記録媒体。 （３）非磁性基板と、Ｃｏ７Ｃｒ垂直磁化膜と、前記基
板とＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜との間に介在し少なくとも１
層の非磁性層を含むパーマロイ膜と、前記Ｃｏ−Ｃｒ垂
直磁化膜に最も近い非磁性層の基板側に配置下非晶質層
と、前記Ｃｏ−Ｃｒ垂直磁化膜とパーマロイ膜との間に
配置した非磁性層とを備えた垂直記録用磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25109583A JPS60140527A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 垂直記録用磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25109583A JPS60140527A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 垂直記録用磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60140527A true JPS60140527A (ja) | 1985-07-25 |
Family
ID=17217566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25109583A Pending JPS60140527A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 垂直記録用磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60140527A (ja) |
-
1983
- 1983-12-27 JP JP25109583A patent/JPS60140527A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4687712A (en) | Vertical magnetic recording medium | |
| US4868698A (en) | Magnetic head | |
| JPH0572644B2 (ja) | ||
| JPS6083218A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS60140527A (ja) | 垂直記録用磁気記録媒体 | |
| JPH07169023A (ja) | 磁気抵抗効果型ヘッド | |
| JPS60140525A (ja) | 垂直記録用磁気記録媒体 | |
| JPS60125919A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS5975429A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS61267927A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS6134722A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH0357535B2 (ja) | ||
| JPH01128226A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH06124415A (ja) | 複合型薄膜磁気ヘッド | |
| JPH0234083B2 (ja) | ||
| JPS6173226A (ja) | 垂直記録用磁気記録媒体 | |
| JPS5987612A (ja) | 垂直磁気記録方式 | |
| JPS61187122A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS60217523A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS6132202A (ja) | 垂直磁気記録再生方式 | |
| JPS6379210A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS6381616A (ja) | 垂直記録用単磁極型磁気ヘツド | |
| JPS6174109A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH0240117A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH01173312A (ja) | 磁気記録媒体 |