JPS60139010A - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子Info
- Publication number
- JPS60139010A JPS60139010A JP24885483A JP24885483A JPS60139010A JP S60139010 A JPS60139010 A JP S60139010A JP 24885483 A JP24885483 A JP 24885483A JP 24885483 A JP24885483 A JP 24885483A JP S60139010 A JPS60139010 A JP S60139010A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic wave
- electrode
- piezoelectric substrate
- roller screen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02834—Means for compensation or elimination of undesirable effects of temperature influence
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は遅延線１発振器、フィルターなどに適用される
弾性表面波素子に関する。
弾性表面波素子に関する。
（従来技術とその問題点）
弾性表面波素子は、従来軍需用の特殊な用途に使用され
ていたが、近年ＦＭチューナ、ＴＶ等の民生用機器にも
使用され始め、にわかに脚光を浴びるようになってきた
０弾性表面波素子は具体的、−畠−ｔｅ＋９＋ｐ−レー
ｙ豐−−−−−―’−−１麺１１−ｔし曹−一−−品化
されている。これら各種の弾性表面波素子の特徴は、小
形、軽量で、信頼性が高いこと、およびその装造工程が
集積回路と類似しており、量産性に富むことなどである
。そして、現在では欠くべからず電子部品として量産さ
れるに至っている。
ていたが、近年ＦＭチューナ、ＴＶ等の民生用機器にも
使用され始め、にわかに脚光を浴びるようになってきた
０弾性表面波素子は具体的、−畠−ｔｅ＋９＋ｐ−レー
ｙ豐−−−−−―’−−１麺１１−ｔし曹−一−−品化
されている。これら各種の弾性表面波素子の特徴は、小
形、軽量で、信頼性が高いこと、およびその装造工程が
集積回路と類似しており、量産性に富むことなどである
。そして、現在では欠くべからず電子部品として量産さ
れるに至っている。
従来の弾性表面波素子の一例を弾性表面波共振子を例と
して説明すると、第１図および第２図に示すように、圧
電基板ｌの上に導電性物質からなるすだれ状電極２が形
成されている。この場合、圧電基板ｌは、例えば水晶、
ニオブ酸リチウムなどの圧電性を持つた単結晶や圧電セ
ラミックス、あるいはガラスの表面に圧電性を持った薄
膜を形成したものが使用される。また、すだれ状電極２
は、例えばアルミニウム、金などの金属を圧電基板！の
上に蒸着後、フォトエッチにより形成することができる
。そして、このすだれ状電極２の両側に誘電体、導電体
、溝等からなるリッジで構成される１対の格子状反射器
３，３が形成されている。
して説明すると、第１図および第２図に示すように、圧
電基板ｌの上に導電性物質からなるすだれ状電極２が形
成されている。この場合、圧電基板ｌは、例えば水晶、
ニオブ酸リチウムなどの圧電性を持つた単結晶や圧電セ
ラミックス、あるいはガラスの表面に圧電性を持った薄
膜を形成したものが使用される。また、すだれ状電極２
は、例えばアルミニウム、金などの金属を圧電基板！の
上に蒸着後、フォトエッチにより形成することができる
。そして、このすだれ状電極２の両側に誘電体、導電体
、溝等からなるリッジで構成される１対の格子状反射器
３，３が形成されている。
すだれ状電極２に特定周波数の電圧を印加すると、すだ
れ状電極２の間隙の圧電基板１表面に電界がかかり、圧
電基板１の圧電性により電圧に比例したひずみが生じ、
そのひずみが圧電基板１の材料によって定まった音速で
表面波として両側・に伝搬する。この表面波は、両側の
格子状反射器３．３によって反射され、再びすだれ状電
極２に帰還して共振がなされるようになっている。
れ状電極２の間隙の圧電基板１表面に電界がかかり、圧
電基板１の圧電性により電圧に比例したひずみが生じ、
そのひずみが圧電基板１の材料によって定まった音速で
表面波として両側・に伝搬する。この表面波は、両側の
格子状反射器３．３によって反射され、再びすだれ状電
極２に帰還して共振がなされるようになっている。
ところで、これら各種の弾性表面波素子は、外部からの
雑音信号を除去するため、第３図に示すようなハーメチ
ックシール４と呼ばれる金属製容器によって封止される
のが一般的である。ハーメチックシール４は封止性、耐
触性等を考慮して、通常はニッケルメッキ等のメ□ツキ
が施されている。
雑音信号を除去するため、第３図に示すようなハーメチ
ックシール４と呼ばれる金属製容器によって封止される
のが一般的である。ハーメチックシール４は封止性、耐
触性等を考慮して、通常はニッケルメッキ等のメ□ツキ
が施されている。
しかしながら、かかる従来の弾性表面波素子においては
、ハーメチックシール４の封止前に混入した導電性異物
や、ハーメチックシール等のメッキ剥離物等がすだれ状
電極に付着し、電極間短絡現象を起すことがあった。こ
のため、電気的インピーダンスが変化するなどの支障が
生じ、弾性表面波素子の信頼性が低下し、量産を妨げて
いた。
、ハーメチックシール４の封止前に混入した導電性異物
や、ハーメチックシール等のメッキ剥離物等がすだれ状
電極に付着し、電極間短絡現象を起すことがあった。こ
のため、電気的インピーダンスが変化するなどの支障が
生じ、弾性表面波素子の信頼性が低下し、量産を妨げて
いた。
（発明の目的）
本発明の目的は、ハーメチックシールのメッキ剥離物や
その他の導電性異物による電極間短絡現象が生じないよ
うにした弾性表面波素子を提供することにある。
その他の導電性異物による電極間短絡現象が生じないよ
うにした弾性表面波素子を提供することにある。
（発明の構成）
本発明によれば、すだれ状電極部分に絶縁物が被覆され
ている。
ている。
弾性表面波素子においては圧電基板上を表面波が伝搬す
るので、一般的には圧電基板上に絶縁物を被覆すると表
面波の伝搬が妨げられ１弾性表面波素子の特性が低下す
ると考えられる。しかし。
るので、一般的には圧電基板上に絶縁物を被覆すると表
面波の伝搬が妨げられ１弾性表面波素子の特性が低下す
ると考えられる。しかし。
弾性表面波素子のすだれ状電極部分にのみ絶縁物を被覆
した場合には、弾性表面波素子の特性低下を無視できる
程度あるいは設計上対応できる程度に抑えられることが
分った。そして、弾性表面波素子のすだれ状電極部分に
絶縁物を被覆することによっ−て、すだれ状電極の電極
間短絡現象はほぼ完全に防止することができ１弾性表面
波素子の信頼性を向上させると共に量産化において非常
に有利となる。
した場合には、弾性表面波素子の特性低下を無視できる
程度あるいは設計上対応できる程度に抑えられることが
分った。そして、弾性表面波素子のすだれ状電極部分に
絶縁物を被覆することによっ−て、すだれ状電極の電極
間短絡現象はほぼ完全に防止することができ１弾性表面
波素子の信頼性を向上させると共に量産化において非常
に有利となる。
すだれ状電極部分を被覆する絶縁物としては、特に限定
されないが、圧電基板上における表面波の伝搬をできる
だけ妨げないような物質が好ましく、例えば二酸化シリ
コンなどが好適である。：二酸化シリコンの被覆膜は例
えばスパッタ蒸着に□、より形成することができる。：
： □ 第４図には本（：：：：：：）共振４に適用震た実施例
が示されている。なお、第４図にお□い□ て、第１図および第２図と実質的に同一部分には１゜ 同符号を付す０ととし・その説明を省略する・１すなわ
ち、この実施例では、圧電基板１上の１す、１ だれ状電極２部分１：酸化′°ノ″′″′５力ゝ７パ・
：′蒸着により被覆されている。［ 。。１□、１よ、ユ、イ、つ１．。７ムｍＬ＆Ｌ、、＃
、７．ｔｙ＞ ＠□工□□−ゎ、ゎ１．門３図に示す
ようなハーメチックシール４で封止し、振動試験を行な
って、すだれ状電極の電極間短絡現象の発生率を測定し
た。また、二酸化シリコン５を被覆したことにより弾性
表面波共振子としての共振等価抵抗の劣化が考えられる
ので、それぞれの共振等価抵抗も併せて測定した。なお
、実施例は、絶縁物として二酸化シリコンを２０００人
の厚さに被覆したもの、二酸化シリコンを４０００人の
厚さに被覆したものの２種について試験した。
されないが、圧電基板上における表面波の伝搬をできる
だけ妨げないような物質が好ましく、例えば二酸化シリ
コンなどが好適である。：二酸化シリコンの被覆膜は例
えばスパッタ蒸着に□、より形成することができる。：
： □ 第４図には本（：：：：：：）共振４に適用震た実施例
が示されている。なお、第４図にお□い□ て、第１図および第２図と実質的に同一部分には１゜ 同符号を付す０ととし・その説明を省略する・１すなわ
ち、この実施例では、圧電基板１上の１す、１ だれ状電極２部分１：酸化′°ノ″′″′５力ゝ７パ・
：′蒸着により被覆されている。［ 。。１□、１よ、ユ、イ、つ１．。７ムｍＬ＆Ｌ、、＃
、７．ｔｙ＞ ＠□工□□−ゎ、ゎ１．門３図に示す
ようなハーメチックシール４で封止し、振動試験を行な
って、すだれ状電極の電極間短絡現象の発生率を測定し
た。また、二酸化シリコン５を被覆したことにより弾性
表面波共振子としての共振等価抵抗の劣化が考えられる
ので、それぞれの共振等価抵抗も併せて測定した。なお
、実施例は、絶縁物として二酸化シリコンを２０００人
の厚さに被覆したもの、二酸化シリコンを４０００人の
厚さに被覆したものの２種について試験した。
また、振動試験は、１回目の試験におりてすだれ状電極
の電極間短絡現象を生じなかったものを選択して２回目
の試験を行ない、さらに２回目の試験においてすだれ状
電極の電極間短絡現象を生じなかったものを選択して３
回目の試験を行なった。その結果を次表に示す。
の電極間短絡現象を生じなかったものを選択して２回目
の試験を行ない、さらに２回目の試験においてすだれ状
電極の電極間短絡現象を生じなかったものを選択して３
回目の試験を行なった。その結果を次表に示す。
（以下、余白）
表から明らかなように、従来の弾性表面波共振子におい
ては、すだれ状電極の電極間短絡現象が発生し、振動試
験回数を増してもこの現象を除去できなかった。これに
対して、本発明Ｊよる弾性表面波共振子は、いずれもす
だれ状電極の電極間短絡現象が全く生じなかった。また
、・本発明による弾性表面波共振子においては、共振等
価抵抗がやや劣化するが、その変化は無視できるか、あ
るいは設計上対応できる程度であり、実際上問題がない
ことが分る。なお、走査型電子顕微鏡、Ｘ線マイクロア
ナライザーによって分析した結果、電極間短絡現象を起
す導電性異物は種々のものがあるが、主にハーメチック
シールのメッキ剥離物であることが確認された。
ては、すだれ状電極の電極間短絡現象が発生し、振動試
験回数を増してもこの現象を除去できなかった。これに
対して、本発明Ｊよる弾性表面波共振子は、いずれもす
だれ状電極の電極間短絡現象が全く生じなかった。また
、・本発明による弾性表面波共振子においては、共振等
価抵抗がやや劣化するが、その変化は無視できるか、あ
るいは設計上対応できる程度であり、実際上問題がない
ことが分る。なお、走査型電子顕微鏡、Ｘ線マイクロア
ナライザーによって分析した結果、電極間短絡現象を起
す導電性異物は種々のものがあるが、主にハーメチック
シールのメッキ剥離物であることが確認された。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、圧電基板上のす
だれ状電極部分を絶縁物で被覆したので、すだれ状電極
の電極間短絡現象をほぼ完全に防止することができ１弾
性表面波素子の信頼性を高めることができ、量産に際し
て不良品の発生を少なくすると共に検査等の作業を簡略
化することができる。
だれ状電極部分を絶縁物で被覆したので、すだれ状電極
の電極間短絡現象をほぼ完全に防止することができ１弾
性表面波素子の信頼性を高めることができ、量産に際し
て不良品の発生を少なくすると共に検査等の作業を簡略
化することができる。
第１図は、従来の弾性表面波共振子の平面図、第２図は
同弾性表面波共振子の断面図、第３図は弾性表面波素子
をハーメチックシールで封止した製品形態を示す斜視図
、第４図は本発明を弾性表面波共振子に適用した一実施
例を示す断面図である。 図中、１は圧電基板、２はすだれ状電極、５は二酸化シ
リコンである。 特許出願人 アルプス電気株式会社
同弾性表面波共振子の断面図、第３図は弾性表面波素子
をハーメチックシールで封止した製品形態を示す斜視図
、第４図は本発明を弾性表面波共振子に適用した一実施
例を示す断面図である。 図中、１は圧電基板、２はすだれ状電極、５は二酸化シ
リコンである。 特許出願人 アルプス電気株式会社
Claims (1)
- （１）圧電基板上にすだれ状電極を形成した弾性表面波
素子において、前記すだれ状電極部分に絶縁物を被着し
たことを特徴とする弾性表面波素子゛。 （２、特許請求の範囲第１項において、前記絶縁物は二
酸化シリコンである弾性表面波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24885483A JPS60139010A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24885483A JPS60139010A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 弾性表面波素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60139010A true JPS60139010A (ja) | 1985-07-23 |
Family
ID=17184407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24885483A Pending JPS60139010A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60139010A (ja) |
-
1983
- 1983-12-27 JP JP24885483A patent/JPS60139010A/ja active Pending
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