JPS60138251U - 走査電子顕微鏡等における試料装置 - Google Patents
走査電子顕微鏡等における試料装置Info
- Publication number
- JPS60138251U JPS60138251U JP2563084U JP2563084U JPS60138251U JP S60138251 U JPS60138251 U JP S60138251U JP 2563084 U JP2563084 U JP 2563084U JP 2563084 U JP2563084 U JP 2563084U JP S60138251 U JPS60138251 U JP S60138251U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- attached
- tilting body
- tilting
- scanning electron
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図、は本考案の一実施例を示すための図、第２図は
他の一実施例の要部を示すための図であ 、。 ゛る。 １２室ヤ、２：ＸＦｌ！、３．１物２．オ、４． ゛前
面カバー、５：Ｚ動案内、５ａ：レール、６．：Ｚ動体
、７：傾斜体、８：傾斜軸、９：アーム、１０゛：軸、
１１．”２３：移動体、１１ａ：軸受け、１２：案内筒
、１２ａ：凸部、１３：支持棒、＄４，２４：コイルノ
ーくネ、１５：ピン、１６Ｘ、１６Ｙ：移動台、１７：
試料ホルダー、１８．１９：０リング、・２０，２１：
嫡子、２２、ニガイド軸、Ｃ：光軸、Ｌ：直線。
他の一実施例の要部を示すための図であ 、。 ゛る。 １２室ヤ、２：ＸＦｌ！、３．１物２．オ、４． ゛前
面カバー、５：Ｚ動案内、５ａ：レール、６．：Ｚ動体
、７：傾斜体、８：傾斜軸、９：アーム、１０゛：軸、
１１．”２３：移動体、１１ａ：軸受け、１２：案内筒
、１２ａ：凸部、１３：支持棒、＄４，２４：コイルノ
ーくネ、１５：ピン、１６Ｘ、１６Ｙ：移動台、１７：
試料ホルダー、１８．１９：０リング、・２０，２１：
嫡子、２２、ニガイド軸、Ｃ：光軸、Ｌ：直線。
Claims (1)
- 試料室の一方の側壁に取り付けられたガイド手段に案内
されて光軸に平行な方向に移動可能にされたＺ動体と、
光軸と直交する傾斜軸の回りに傾斜可能なように該２動
体に取り付、けられた傾斜体と、該Ｚ動体への取り付は
部と反対側の該傾斜体の端部に取り付けられたアームと
、該アームを介して傾斜体を支持するためＺ方向に沿っ
て移動可能な支持手段とを具備し、該アーム及び該支持
手段の一方には前記傾斜軸と同一直線上に位置するよう
に軸が取り付けられており、他方には該軸を支承するた
めの軸受けが備えられており、該軸の回転により該傾斜
体の傾斜が許容されるように構成されていることを特徴
とする走査電子顕微鏡等における試料装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2563084U JPS60138251U (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 走査電子顕微鏡等における試料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2563084U JPS60138251U (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 走査電子顕微鏡等における試料装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60138251U true JPS60138251U (ja) | 1985-09-12 |
Family
ID=30520870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2563084U Pending JPS60138251U (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 走査電子顕微鏡等における試料装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60138251U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012003892A (ja) * | 2010-06-15 | 2012-01-05 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子装置 |
-
1984
- 1984-02-24 JP JP2563084U patent/JPS60138251U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012003892A (ja) * | 2010-06-15 | 2012-01-05 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子装置 |
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