JPS60134061A - 低温プラズマ連続処理装置 - Google Patents
低温プラズマ連続処理装置Info
- Publication number
- JPS60134061A JPS60134061A JP24150883A JP24150883A JPS60134061A JP S60134061 A JPS60134061 A JP S60134061A JP 24150883 A JP24150883 A JP 24150883A JP 24150883 A JP24150883 A JP 24150883A JP S60134061 A JPS60134061 A JP S60134061A
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- JP
- Japan
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- fabric
- processing chamber
- temperature plasma
- reaction chamber
- fabrics
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、編物、織物、不織布、カーペット等（以下に
これらを布帛等と称す）を連続的に低温プラズマ連続処
理する装置に関するものである。
これらを布帛等と称す）を連続的に低温プラズマ連続処
理する装置に関するものである。
工業的に生産する布帛等を連続的に糊抜き精練等の処理
（前処理）を行なう従来手段には、例えば高圧、あるい
は常圧の下で多量の熱資源、水資源あるいは特定の薬品
を使用して湿熱処理することが提案されている０周知の
前処理の一例について具体的に述べれば、例えば苛性液
に浸透剤等を混和せしめた処理液を含浸せしめた被処理
布帛を常圧又は高圧の反応室内に供給してスチーミング
し、このスチーミングを所定時間続けて薬液による反応
を行なって前処理を完了せしめ、次いでこの被処理布帛
に付着する薬液またはスチールを除去するための手段と
して水洗を繰返し行ない、更には、この水洗布帛を乾燥
機内に通して乾燥し、目的とする前処理を完了している
ものである。
（前処理）を行なう従来手段には、例えば高圧、あるい
は常圧の下で多量の熱資源、水資源あるいは特定の薬品
を使用して湿熱処理することが提案されている０周知の
前処理の一例について具体的に述べれば、例えば苛性液
に浸透剤等を混和せしめた処理液を含浸せしめた被処理
布帛を常圧又は高圧の反応室内に供給してスチーミング
し、このスチーミングを所定時間続けて薬液による反応
を行なって前処理を完了せしめ、次いでこの被処理布帛
に付着する薬液またはスチールを除去するための手段と
して水洗を繰返し行ない、更には、この水洗布帛を乾燥
機内に通して乾燥し、目的とする前処理を完了している
ものである。
ところがかかる前処理手段では、処理用の薬液が必要で
あること、この薬液を布帛に反応せしめるために多量の
蒸気を必要とすること、反応処理された布帛に含まれる
残液、あるいはスチールを除去せしめるための多数の水
洗器、及びこれらの各水洗器内に供給すべき多量の水資
源が必要であること、更に水洗された拝液を廃棄処理す
るための装置が必要である等のことから、布帛を前処理
するには多量の水資源、熱エネルギー、１ＬＵｔｉ費及
び薬剤等がかさんでいるのが現状である。
あること、この薬液を布帛に反応せしめるために多量の
蒸気を必要とすること、反応処理された布帛に含まれる
残液、あるいはスチールを除去せしめるための多数の水
洗器、及びこれらの各水洗器内に供給すべき多量の水資
源が必要であること、更に水洗された拝液を廃棄処理す
るための装置が必要である等のことから、布帛を前処理
するには多量の水資源、熱エネルギー、１ＬＵｔｉ費及
び薬剤等がかさんでいるのが現状である。
そこで本発明者等は、１−記の熱エネルギー、水資源を
殆んど使用することなく、長尺布帛等の繊維製品を例え
ば前処理を連続的に行なうための処理装置として、プラ
ズマを用いて前処理等が達成できるようにした処理加工
方法及び装置について開発し、これについての出願も既
に済ませている。
殆んど使用することなく、長尺布帛等の繊維製品を例え
ば前処理を連続的に行なうための処理装置として、プラ
ズマを用いて前処理等が達成できるようにした処理加工
方法及び装置について開発し、これについての出願も既
に済ませている。
この低温プラズマによる布帛等の連続処理加工は、常圧
以下に減圧された真空反応室内で生起されている低温プ
ラズマ雰囲気中を通過させて、プラズマによる反応を行
なうものであるが、この真空反応室内においては、プラ
ズマによる均一な処理を行なうために安定した低温プラ
ズマ雰囲気を保持せしめるために減圧状態（真空状態）
を確保しなければならない。ところが、上記の真空反応
室内に布帛等を連続的に通過させることによって、その
布帛等の繊維内に含まれているエアー等の揮発性物質が
、布帛と共に真空反応室内に供給されると、その揮発性
物質はその揮発作用により反応器内の真空度を下げ、低
温プラズマの発生状態が不安定になること、また揮発性
物質自体の低温プラズマにより布帛と反応がおこり、加
工効果が低下するなどの問題があった。
以下に減圧された真空反応室内で生起されている低温プ
ラズマ雰囲気中を通過させて、プラズマによる反応を行
なうものであるが、この真空反応室内においては、プラ
ズマによる均一な処理を行なうために安定した低温プラ
ズマ雰囲気を保持せしめるために減圧状態（真空状態）
を確保しなければならない。ところが、上記の真空反応
室内に布帛等を連続的に通過させることによって、その
布帛等の繊維内に含まれているエアー等の揮発性物質が
、布帛と共に真空反応室内に供給されると、その揮発性
物質はその揮発作用により反応器内の真空度を下げ、低
温プラズマの発生状態が不安定になること、また揮発性
物質自体の低温プラズマにより布帛と反応がおこり、加
工効果が低下するなどの問題があった。
本発明は、かかる問題点を解消するためになされたもの
で、布帛等を連続的に通過し得え、かつ内部を低温プラ
ズマの雰囲気に保持し得る真空反応室を有する連続式の
低温プラズマ処理装置において、この低温プラズマ処理
装置である反応室内の少なくとも布帛導入口に隣接して
、布帛等に含まれる揮発性物質を除去するための処理室
を−乃至複数段けて、この処理室内で揮発性物質を除去
させた布帛等を真空反応室内に導入させることにより、
該真空反応室内の真空度を所望値に保持させて、最適な
低温プラズマ雰囲気を持続させることができるようにし
た低温プラズマ連続処理装置を提供することを目的とす
るものである。
で、布帛等を連続的に通過し得え、かつ内部を低温プラ
ズマの雰囲気に保持し得る真空反応室を有する連続式の
低温プラズマ処理装置において、この低温プラズマ処理
装置である反応室内の少なくとも布帛導入口に隣接して
、布帛等に含まれる揮発性物質を除去するための処理室
を−乃至複数段けて、この処理室内で揮発性物質を除去
させた布帛等を真空反応室内に導入させることにより、
該真空反応室内の真空度を所望値に保持させて、最適な
低温プラズマ雰囲気を持続させることができるようにし
た低温プラズマ連続処理装置を提供することを目的とす
るものである。
以下に本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図において、ｌは反応室であって、この反応室１に
は、低温プラズマ処理すべき布帛２をこの反応室１内に
連続的に導入するための導込口３と、反応室１内の布帛
を連続的に導出させるための導出口４が設けられている
。またこの導入口３、及び導出口４の夫々には、布帛２
を連続的に挿通することはできるが、反応室ｌ内を真空
（０，１〜１０ Ｔｏｒｒ 、望ましくは０．５〜２
Ｔｏｒｒ）に保つことができるシール機構５及び６が設
けられているが、かかるシール機構５゜６は、本発明者
らが開発している公知のシール機構を選択的に利用する
ことによって反応室ｌの導入口及び導出口をシールする
ことができる。さらにこの反応室１の外部、即ち、布帛
導入口３及び布帛導出口４の外側には、第１の処理室７
．第２の処理室８及び第３の処理室９、第４の処理室１
０が隣接されており、その第１の処理室７、第２の処理
室８に設けた布帛等入口１１．１２及び第３の処理室９
、第４の処理室１０に設けた布帛導出口１３．１４には
互いに圧接される一対のシールゴムロールを有するシー
ル機構１５．１６，１７．１８が設けられて各処理室７
，８，９．１０は気密に区分されている。１９，２０，
２１．２２は各処理室に設けられている減圧パイプであ
って、これらの減圧パイプ１９，２０，２１．２２は１
例えば真空ポンプに接続されて、各処理室内が真空に近
い減圧室に構成されているものである。２３は非導電性
材料により形成されかつ通気性に形成された布帛ガイド
ドラム、２４は非導電性材料により形成されかつ布帛２
を幅方向に拡布しながら移送゛させることができる拡布
ドラムであるが、この拡布ドラム２４の拡布機構は、従
来公知の拡布ドラムと同様の機構を応用することができ
る。２５及び２６は布帛ガイドドラム２３の内側及び外
側に配置した対の電極板であり、２５′及び２６゛は拡
布ドラム２４の内側及び外側に配設した対の電極板であ
る。２−７は千ツマーガス供給口、２８は減圧パイプを
示す。
は、低温プラズマ処理すべき布帛２をこの反応室１内に
連続的に導入するための導込口３と、反応室１内の布帛
を連続的に導出させるための導出口４が設けられている
。またこの導入口３、及び導出口４の夫々には、布帛２
を連続的に挿通することはできるが、反応室ｌ内を真空
（０，１〜１０ Ｔｏｒｒ 、望ましくは０．５〜２
Ｔｏｒｒ）に保つことができるシール機構５及び６が設
けられているが、かかるシール機構５゜６は、本発明者
らが開発している公知のシール機構を選択的に利用する
ことによって反応室ｌの導入口及び導出口をシールする
ことができる。さらにこの反応室１の外部、即ち、布帛
導入口３及び布帛導出口４の外側には、第１の処理室７
．第２の処理室８及び第３の処理室９、第４の処理室１
０が隣接されており、その第１の処理室７、第２の処理
室８に設けた布帛等入口１１．１２及び第３の処理室９
、第４の処理室１０に設けた布帛導出口１３．１４には
互いに圧接される一対のシールゴムロールを有するシー
ル機構１５．１６，１７．１８が設けられて各処理室７
，８，９．１０は気密に区分されている。１９，２０，
２１．２２は各処理室に設けられている減圧パイプであ
って、これらの減圧パイプ１９，２０，２１．２２は１
例えば真空ポンプに接続されて、各処理室内が真空に近
い減圧室に構成されているものである。２３は非導電性
材料により形成されかつ通気性に形成された布帛ガイド
ドラム、２４は非導電性材料により形成されかつ布帛２
を幅方向に拡布しながら移送゛させることができる拡布
ドラムであるが、この拡布ドラム２４の拡布機構は、従
来公知の拡布ドラムと同様の機構を応用することができ
る。２５及び２６は布帛ガイドドラム２３の内側及び外
側に配置した対の電極板であり、２５′及び２６゛は拡
布ドラム２４の内側及び外側に配設した対の電極板であ
る。２−７は千ツマーガス供給口、２８は減圧パイプを
示す。
以］二が本実施例の構成であるが、次にその作用につい
て述べると、先ず各減圧パイプ１９゜２０．２１，２２
．２８に接続される図示しない真空ポンプを駆動して各
処理室７，８，９゜１０及び反応室ｌ内を減圧し、例え
ば第１の処理室７をｌ Ｔｏｒｒ、第２の処理室８を０
．１ 丁ｏｒｒ、反応室ｌ内をＱ、ｌ Ｔｏｒｒ、第３
の処理室９及び第４の処理室１０内を０．１ Ｔｏｒｒ
に調整する０次にモノマーガス供給口２７よりアルゴン
、ヘリウム、窒素、炭酸ガス、−酸化炭素などのガスを
反応室１内に供給し、この反応室１内が約０．０５Ｔｏ
ｒｒとなるように調整しつつ対の電極板２５と２６及び
２５′と２８゛との間に望ましくは１ ＫＨ２〜３００
ＮＯ３の範囲の高周波をかける。即ち高周波が照射さ
れている対の電極板２５と２６及び２５′と２８° と
の間に上記モノマーガスを流通させれば低温プラズマが
発生し、反応室１内はプラズマ雰囲気となる。そこで布
帛２を、−上記の第１の処理室７、第２の処理室８、反
応室ｌ、第３の処理室９、第４の処理室１０の順で通過
せしめるが、先ず第１の処理室７内に導入された布帛２
はその第１の処理室７内の減圧作用によって布帛表面の
揮発性物質が除去されると同時に、シール機構１６によ
る加圧ロールにより布帛は偏平に押圧されて布帛繊維間
に含まれていたエアー等の揮発性物質が排出されて、第
２の処理室８内に導入される。この第２の処理室８内に
供給された布帛はさらに減圧作用が加わって布帛に含ま
れていた揮発性物質が完全除去された後に反応室ｌ内へ
供給される。このようにして反応室ｌ内に供給される布
帛は、第１の処理室７及び第２の処理室８内で、その布
帛の内芯部に滞在する揮発性物質が完全除去されるだめ
に、反応室ｌ内に布帛と共に揮発性物質が持込まれるこ
とがなく、従って１反応室１内真空度（減圧度）を一定
に保持させることができ、ひいては、反応室内における
プラズマ雰囲気を安定させ、これによって布帛の全面に
亘って均一なプラズマ処理例えば前処理が連続してなさ
れる効果がある。なお本実施例においては、反応室ｌの
布帛導出側に第３の処理室９及び第４の処理室１０を設
けたが、これらの処理室は必要とするものではなく、設
けなくてもよいが、本実施例の如く設ければ反応室１内
の減圧保持力は高められる。また上記実施例では反応室
の前後に２段づつの処理室を設けたが第２図の実施例に
示す如く反応室ｌの前部に３段の処理室７ 、８．８°
を設け、その反応室１の後部には２段の処理室９．１０
を設けてもよい、これによれば、布帛等に含まれる揮発
性物質の排除が完べきであって、第１図に示した実施例
と比してさらに安定したプラズマ雰囲気が長時間に亘っ
て確保できる効果がある。
て述べると、先ず各減圧パイプ１９゜２０．２１，２２
．２８に接続される図示しない真空ポンプを駆動して各
処理室７，８，９゜１０及び反応室ｌ内を減圧し、例え
ば第１の処理室７をｌ Ｔｏｒｒ、第２の処理室８を０
．１ 丁ｏｒｒ、反応室ｌ内をＱ、ｌ Ｔｏｒｒ、第３
の処理室９及び第４の処理室１０内を０．１ Ｔｏｒｒ
に調整する０次にモノマーガス供給口２７よりアルゴン
、ヘリウム、窒素、炭酸ガス、−酸化炭素などのガスを
反応室１内に供給し、この反応室１内が約０．０５Ｔｏ
ｒｒとなるように調整しつつ対の電極板２５と２６及び
２５′と２８゛との間に望ましくは１ ＫＨ２〜３００
ＮＯ３の範囲の高周波をかける。即ち高周波が照射さ
れている対の電極板２５と２６及び２５′と２８° と
の間に上記モノマーガスを流通させれば低温プラズマが
発生し、反応室１内はプラズマ雰囲気となる。そこで布
帛２を、−上記の第１の処理室７、第２の処理室８、反
応室ｌ、第３の処理室９、第４の処理室１０の順で通過
せしめるが、先ず第１の処理室７内に導入された布帛２
はその第１の処理室７内の減圧作用によって布帛表面の
揮発性物質が除去されると同時に、シール機構１６によ
る加圧ロールにより布帛は偏平に押圧されて布帛繊維間
に含まれていたエアー等の揮発性物質が排出されて、第
２の処理室８内に導入される。この第２の処理室８内に
供給された布帛はさらに減圧作用が加わって布帛に含ま
れていた揮発性物質が完全除去された後に反応室ｌ内へ
供給される。このようにして反応室ｌ内に供給される布
帛は、第１の処理室７及び第２の処理室８内で、その布
帛の内芯部に滞在する揮発性物質が完全除去されるだめ
に、反応室ｌ内に布帛と共に揮発性物質が持込まれるこ
とがなく、従って１反応室１内真空度（減圧度）を一定
に保持させることができ、ひいては、反応室内における
プラズマ雰囲気を安定させ、これによって布帛の全面に
亘って均一なプラズマ処理例えば前処理が連続してなさ
れる効果がある。なお本実施例においては、反応室ｌの
布帛導出側に第３の処理室９及び第４の処理室１０を設
けたが、これらの処理室は必要とするものではなく、設
けなくてもよいが、本実施例の如く設ければ反応室１内
の減圧保持力は高められる。また上記実施例では反応室
の前後に２段づつの処理室を設けたが第２図の実施例に
示す如く反応室ｌの前部に３段の処理室７ 、８．８°
を設け、その反応室１の後部には２段の処理室９．１０
を設けてもよい、これによれば、布帛等に含まれる揮発
性物質の排除が完べきであって、第１図に示した実施例
と比してさらに安定したプラズマ雰囲気が長時間に亘っ
て確保できる効果がある。
以上のように本発明は、長尺の編物、織物、不織、布、
カーペット等の布帛等を連続的に通過せしめることので
きかつ内部に低温プラズマ雰囲気を保持することのでき
る低温プラズマ処理室の少なくとも布帛導入口に隣接し
て、上記の布帛等を連続的に通過し得かつシール機構に
よって気密に区別される２室以−ヒの減圧処理室を段設
し、さらにそれらの各減圧処理室内にはこれらの減圧処
理室内を通過する布帛を押圧して、布帛等の繊維内に含
まれる揮発性物質を押出させることができる抑圧ロール
を配置したことを特徴とする低温プラズマ連続処理装置
であるから、これによれば、プラズマ処理室に移送され
る直前の布帛は、減圧室内の通過と、該減圧室内に配置
されている押圧ロールによる布帛等の加圧作用によって
、布帛の表面及び内芯部に付着されていた揮発性物質が
有効に除去されることから、プラズマ処理室内への揮発
性物質の持込み（導入）がなく、従ってプラズマ処理室
内の真空度を安定保持させて良好なプラズマ雰囲気を持
続させることができる効果がある。
カーペット等の布帛等を連続的に通過せしめることので
きかつ内部に低温プラズマ雰囲気を保持することのでき
る低温プラズマ処理室の少なくとも布帛導入口に隣接し
て、上記の布帛等を連続的に通過し得かつシール機構に
よって気密に区別される２室以−ヒの減圧処理室を段設
し、さらにそれらの各減圧処理室内にはこれらの減圧処
理室内を通過する布帛を押圧して、布帛等の繊維内に含
まれる揮発性物質を押出させることができる抑圧ロール
を配置したことを特徴とする低温プラズマ連続処理装置
であるから、これによれば、プラズマ処理室に移送され
る直前の布帛は、減圧室内の通過と、該減圧室内に配置
されている押圧ロールによる布帛等の加圧作用によって
、布帛の表面及び内芯部に付着されていた揮発性物質が
有効に除去されることから、プラズマ処理室内への揮発
性物質の持込み（導入）がなく、従ってプラズマ処理室
内の真空度を安定保持させて良好なプラズマ雰囲気を持
続させることができる効果がある。
図面はいずれも本発明よりなるプラズマ処理装置の実施
例を示し、第１図はその断面説明図、第２図はその他の
実施例を示した断面説明図である。 ｌ・・・反応室 ２・・・布帛 ３・・・導入口 ４・・・導出口 ５．６・・・シール機構 ７・・・第１の処理室８・・
・第２の処理室 ９・・・第３の処理室１０・・・第４
の処理室 １１．１２・・・布帛導入口１３．１４・・
・布帛導出口 １５．１６，１７．１８・・・シール機構１９．２０，
２１．２２・・・減圧パイプ２３・・・布帛ガイドドラ
ム２４・・・拡布ドラム２５ 、２６ 、２５’、２Ｂ
’・・・電極板２７・・・モノマーガス供給口 ２８・・・減圧パイプ
例を示し、第１図はその断面説明図、第２図はその他の
実施例を示した断面説明図である。 ｌ・・・反応室 ２・・・布帛 ３・・・導入口 ４・・・導出口 ５．６・・・シール機構 ７・・・第１の処理室８・・
・第２の処理室 ９・・・第３の処理室１０・・・第４
の処理室 １１．１２・・・布帛導入口１３．１４・・
・布帛導出口 １５．１６，１７．１８・・・シール機構１９．２０，
２１．２２・・・減圧パイプ２３・・・布帛ガイドドラ
ム２４・・・拡布ドラム２５ 、２６ 、２５’、２Ｂ
’・・・電極板２７・・・モノマーガス供給口 ２８・・・減圧パイプ
Claims (1)
- 長尺の編物、織物、不織布、カーペット等の布帛等を連
続的に通過せしめることのできかつ内部に低温プラズマ
雰囲気を保持することのできる低温プラズマ処理室の少
なくとも布帛導入口に隣接して、上記の布帛等を連続的
に通過し得かつシール機構によって気密に区別される２
室以−にの減圧処理室を段設し、さらにそれらの各減圧
処理室内にはこれらの減圧処理室内を通過する布帛を押
圧して、布帛等のＪｌｌｒａ内に含まれる揮発性物質を
押出させることができる押圧ロールを配置したことを特
徴とする低温プラズマ連続処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24150883A JPS60134061A (ja) | 1983-12-21 | 1983-12-21 | 低温プラズマ連続処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24150883A JPS60134061A (ja) | 1983-12-21 | 1983-12-21 | 低温プラズマ連続処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60134061A true JPS60134061A (ja) | 1985-07-17 |
Family
ID=17075369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24150883A Pending JPS60134061A (ja) | 1983-12-21 | 1983-12-21 | 低温プラズマ連続処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60134061A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0298420A2 (en) * | 1987-07-06 | 1989-01-11 | Kanebo, Ltd. | Apparatus for plasma treatment |
| WO2005010271A1 (en) * | 2003-07-25 | 2005-02-03 | Universita' Degli Studi Di Milano-Bicocca | Method for working polymeric and inorganic materials with plasma |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58120859A (ja) * | 1982-01-06 | 1983-07-18 | 株式会社山東鉄工所 | 布帛の連続低温プラズマ重合処理装置 |
-
1983
- 1983-12-21 JP JP24150883A patent/JPS60134061A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58120859A (ja) * | 1982-01-06 | 1983-07-18 | 株式会社山東鉄工所 | 布帛の連続低温プラズマ重合処理装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0298420A2 (en) * | 1987-07-06 | 1989-01-11 | Kanebo, Ltd. | Apparatus for plasma treatment |
| EP0298420A3 (en) * | 1987-07-06 | 1990-03-21 | Kanebo, Ltd. | Apparatus for plasma treatment |
| WO2005010271A1 (en) * | 2003-07-25 | 2005-02-03 | Universita' Degli Studi Di Milano-Bicocca | Method for working polymeric and inorganic materials with plasma |
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