JPS6031939B2 - 低温プラズマ処理装置 - Google Patents
低温プラズマ処理装置Info
- Publication number
- JPS6031939B2 JPS6031939B2 JP4583482A JP4583482A JPS6031939B2 JP S6031939 B2 JPS6031939 B2 JP S6031939B2 JP 4583482 A JP4583482 A JP 4583482A JP 4583482 A JP4583482 A JP 4583482A JP S6031939 B2 JPS6031939 B2 JP S6031939B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature plasma
- low
- fabric
- cloth
- reactor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Treatment Of Fiber Materials (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、編物、織物、不織布等の布尾を連続的に低温
プラズマ処理するための処理装置に関するものである。
プラズマ処理するための処理装置に関するものである。
従来工業的に織物、編物など布常を連続的に処理する工
程は、染色前の工程では布常に付着している溌水性爽雑
物を除去、あるいは親水化し布常に染料液が容易に浸透
せしめるための精練工程および染色後、柔軟、溌水、静
電防止、防汚、吸水などの特性を付与する仕上工程があ
るがいずれの工程も水系で処理を行っていた。たとえば
精練工程では、木綿を含む布岳の場合カセィソーダ、ソ
ーダ灰などのアルカリ精練助剤を付与し、100qo前
後で20分以上スチーミングあるし、はアルカリ、精練
助剤を含む水溶液で煮沸して、溌水性爽雑物を水溶化せ
しめ次いで処理布常に付着している薬剤および可溶化さ
れた爽雑物等の付着物を除去するための手段として水洗
を操り返し行い更には、水洗後乾燥する工程が必要であ
つた。
程は、染色前の工程では布常に付着している溌水性爽雑
物を除去、あるいは親水化し布常に染料液が容易に浸透
せしめるための精練工程および染色後、柔軟、溌水、静
電防止、防汚、吸水などの特性を付与する仕上工程があ
るがいずれの工程も水系で処理を行っていた。たとえば
精練工程では、木綿を含む布岳の場合カセィソーダ、ソ
ーダ灰などのアルカリ精練助剤を付与し、100qo前
後で20分以上スチーミングあるし、はアルカリ、精練
助剤を含む水溶液で煮沸して、溌水性爽雑物を水溶化せ
しめ次いで処理布常に付着している薬剤および可溶化さ
れた爽雑物等の付着物を除去するための手段として水洗
を操り返し行い更には、水洗後乾燥する工程が必要であ
つた。
また仕上工程においては、水に溶解あるいは分散させた
仕上加工剤を付与した後乾燥機を通して水分を蒸発除去
させる工程が必要であり、加工目的によってはさらに高
温熱処理により仕上剤を反応固着せしめる工程が必要で
あった。
仕上加工剤を付与した後乾燥機を通して水分を蒸発除去
させる工程が必要であり、加工目的によってはさらに高
温熱処理により仕上剤を反応固着せしめる工程が必要で
あった。
ところがかかる処理手段では処理用の薬剤がコスト高に
なること、薬剤を布岳に反応せしめるために多量の熱量
を必要とすること更にはその処理された布常に含まれる
残液あるいは爽雑物等の付着物を除去せしめるための多
数の水洗機及びこれらの各水洗機内に供給すべき多量の
水資源が必要であること、更には水洗された排液を廃棄
処理するための装置が必要である等のことから、布岳を
処理するには多量の水資源、熱エネルギーを資している
のが現状である。
なること、薬剤を布岳に反応せしめるために多量の熱量
を必要とすること更にはその処理された布常に含まれる
残液あるいは爽雑物等の付着物を除去せしめるための多
数の水洗機及びこれらの各水洗機内に供給すべき多量の
水資源が必要であること、更には水洗された排液を廃棄
処理するための装置が必要である等のことから、布岳を
処理するには多量の水資源、熱エネルギーを資している
のが現状である。
また水洗機より排出される廃液中には必然的にも薬剤が
含まれることから、擬液公害等の問題も生じ、該廃液の
処理にも多大なる設備費、人件費等がかさんでいるもの
で、特に繊維加工業会においては経済性に欠けるもので
あった。このようなことから、最近では、布常の繊維製
品を低温プラズマ処理して、例えば布岳が糊抜、精練あ
るし、は仕上加工を行うことが提案されているが、この
布精の連続低温プラズマ処理時においては、限られた大
きさの低温プラズマ処理室内で生起されている低温プラ
ズマ雰囲気中に、処理すべき布常を連続的に通過せしめ
て低温プラズマ処理を行なっているために、その低温プ
ラズマ雰囲気中を移行する布帯に、充分な低温プラズマ
を作用させようとするならばその布寅の移行速度を遅く
して低温プラズマ雰囲気中の布常滞在時間を長くするこ
とが考えられるが、この布扇の移行速度を遅くすること
は生産性を悪くする最大の問題点があった。本発明は、
かかる問題点を解決するためになされたもので、低温プ
ラズマ処理装置において、隔設された対の電極板相互間
で、低温プラズマ処理すべき布帯を蛇行せしめるための
布再ガイドロールを設けて、その布岳を対の電極板相互
間で生起されている低温プラズマ雰囲気中を往復移動せ
しめることで、充分な低温プラズマ処理を実現し、しか
も布吊の連続移行速度を上昇して生産性を高めることが
できる低温プラズマ処理装置を提供することを目的とす
るものである。
含まれることから、擬液公害等の問題も生じ、該廃液の
処理にも多大なる設備費、人件費等がかさんでいるもの
で、特に繊維加工業会においては経済性に欠けるもので
あった。このようなことから、最近では、布常の繊維製
品を低温プラズマ処理して、例えば布岳が糊抜、精練あ
るし、は仕上加工を行うことが提案されているが、この
布精の連続低温プラズマ処理時においては、限られた大
きさの低温プラズマ処理室内で生起されている低温プラ
ズマ雰囲気中に、処理すべき布常を連続的に通過せしめ
て低温プラズマ処理を行なっているために、その低温プ
ラズマ雰囲気中を移行する布帯に、充分な低温プラズマ
を作用させようとするならばその布寅の移行速度を遅く
して低温プラズマ雰囲気中の布常滞在時間を長くするこ
とが考えられるが、この布扇の移行速度を遅くすること
は生産性を悪くする最大の問題点があった。本発明は、
かかる問題点を解決するためになされたもので、低温プ
ラズマ処理装置において、隔設された対の電極板相互間
で、低温プラズマ処理すべき布帯を蛇行せしめるための
布再ガイドロールを設けて、その布岳を対の電極板相互
間で生起されている低温プラズマ雰囲気中を往復移動せ
しめることで、充分な低温プラズマ処理を実現し、しか
も布吊の連続移行速度を上昇して生産性を高めることが
できる低温プラズマ処理装置を提供することを目的とす
るものである。
以下に本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
1は連続処理が可能な反応器であって、この反応器1に
は低温プラズマ処理すべき布常2をこの反応器1内に連
続的に導入するための導入口3と、反応器1内の布畠を
連続的に導出させるための導出口4が設けられている。
は低温プラズマ処理すべき布常2をこの反応器1内に連
続的に導入するための導入口3と、反応器1内の布畠を
連続的に導出させるための導出口4が設けられている。
またこの導入口3及び導出口4の夫々には、布帯を連続
的に挿適することはできるが、反応器1内を真空(0.
1〜lOTorr、望ましくは0.5〜2Tom)に保
つことができるシール機構5及び6が設けられているが
、かかるシール機構5,6は、本発明者らが開発してい
る公知のシール機構を利用することによって反応器1の
導入口及び導出口をシールすることができる。更にこの
反応器1の内部には低温プラズマ処理機構が内装されて
いる。この低温プラズマ処理機構は、移行する布常2の
移送路を境として上下に隔設された一対の電極板7及び
8を有し、この一方の電極板7には、反応器1外に設備
された発振器(図示せず)からの高周波が供V給される
ものであり、他方の電極板8はアースされている。また
これらの電極板7及び8は、例えば金網あるいは多孔性
の金属板等であって、ガスの分散と分布が電極板の全面
に亘つて均一となるように形成されている。なぜならば
、電極板の全面より略均一な低温プラズマが発生できる
ようにすることであり、またその金属板の全面近傍に高
周波によって励起されたガスを略均一に漂わせるためで
ある。9は電極板7の全面に向けてガスを吹き出すため
の絶縁性材料からなるガスノズル、10は電極板8を囲
むようにして形成されている絶縁性材料からなる吸気ダ
クトであって、この吸気ダクト1川ま、図示しない真空
ポンプに接続されている。
的に挿適することはできるが、反応器1内を真空(0.
1〜lOTorr、望ましくは0.5〜2Tom)に保
つことができるシール機構5及び6が設けられているが
、かかるシール機構5,6は、本発明者らが開発してい
る公知のシール機構を利用することによって反応器1の
導入口及び導出口をシールすることができる。更にこの
反応器1の内部には低温プラズマ処理機構が内装されて
いる。この低温プラズマ処理機構は、移行する布常2の
移送路を境として上下に隔設された一対の電極板7及び
8を有し、この一方の電極板7には、反応器1外に設備
された発振器(図示せず)からの高周波が供V給される
ものであり、他方の電極板8はアースされている。また
これらの電極板7及び8は、例えば金網あるいは多孔性
の金属板等であって、ガスの分散と分布が電極板の全面
に亘つて均一となるように形成されている。なぜならば
、電極板の全面より略均一な低温プラズマが発生できる
ようにすることであり、またその金属板の全面近傍に高
周波によって励起されたガスを略均一に漂わせるためで
ある。9は電極板7の全面に向けてガスを吹き出すため
の絶縁性材料からなるガスノズル、10は電極板8を囲
むようにして形成されている絶縁性材料からなる吸気ダ
クトであって、この吸気ダクト1川ま、図示しない真空
ポンプに接続されている。
11は反応器1内に配設された布幕のガイドロールであ
って、このガイドロール11は、隔設された上下一対の
電極板7と8との間に形成される布用通路12内で、布
岳2を蛇行状に往復移送することができるようにその多
数本が配設されている。
って、このガイドロール11は、隔設された上下一対の
電極板7と8との間に形成される布用通路12内で、布
岳2を蛇行状に往復移送することができるようにその多
数本が配設されている。
13は、その狭い布畠通路12内で蛇行される相互の布
常2が互に接触されることを防ぐために配設されたテン
ションロールである。
常2が互に接触されることを防ぐために配設されたテン
ションロールである。
以上が本実施例の構成であるが、次にその作用について
述べると、先ず空ポンプ(図示せず)を駆動して反応器
1内の真空度が0.5〜5Tomとなるように減圧した
後、ガスノズル9より空気又は酸素あるいはその他のガ
スを反応器1内に供給して、この反応器1内の真空度が
約ITonとなるように調整する。
述べると、先ず空ポンプ(図示せず)を駆動して反応器
1内の真空度が0.5〜5Tomとなるように減圧した
後、ガスノズル9より空気又は酸素あるいはその他のガ
スを反応器1内に供給して、この反応器1内の真空度が
約ITonとなるように調整する。
そこで高周波電源(図示せず)より高周波、例えば13
.58MHzを電極板に給電して低温プラズマを発生さ
せる。かくして発生する低温プラズマ及びこのプラズマ
により励起されたガスの雰囲気中、即ち両電極板7,8
間の布高速路12内に布帯2を蛇行せしめることにより
、該布良2の繊維に低温プラズマが作用し、布帯の親水
化が達成されるものであるが、この実施例によれば、対
設された両電極板7と8との間に形成されている狭い布
常通路12内において、布常2が蛇行状に往復動される
ことから、この蛇行作用によって、布常2が低温プラズ
マ雰囲気中を移行するタイミングが長く設定され、充分
な低温プラズ処理が達成される。換言すれば布用への低
温プラズマ作用時間を一定としてそのプラズマ雰囲気中
における布局の蛇行数、即往復動回数を増大すれば、そ
れに比例して布常の移行速度を増大することができるの
で、生産性を向上せしめることができるものである。尚
上記実施例においては布用2を横方向に蛇行させる形態
のものであったが、これに限らず例えば電極板を左右方
向に隔設し、この双方の電極坂間で布良を上下方向へ蛇
行させるものであってもよい。また上記実施例の反応器
1は、布富を連続的に通過せしめることのできる連続処
理用のものであるが、バッチ式の反応器においても、同
機の目的は達成できる。以上のように本発明は、低温プ
ラズマ処理装置において、布常を連続的に通過せしめ得
る反応器内に隔設される対の電極板を配設すると共に、
その双方の電極板相互間で、低温プラズマ処理すべき布
常をその電極板と平行方向へ繰返し通過せしめるための
布常ガイドロールを設けて、布用を、対の電極板相互間
で生起これている同一低温ブラズマ雰囲気中を繰返し通
過せしめるようにしたものであるから、この本発明によ
れば、反応器内で発生されている低温プラズマ雰囲気中
を移行する布精への低温プラズマ作用時間を長く設定す
ることができ、これによって充分かつ効果的な低温プラ
ズマ処理が達成できると共に、生産性を向上せしめるこ
とができる効果がある。
.58MHzを電極板に給電して低温プラズマを発生さ
せる。かくして発生する低温プラズマ及びこのプラズマ
により励起されたガスの雰囲気中、即ち両電極板7,8
間の布高速路12内に布帯2を蛇行せしめることにより
、該布良2の繊維に低温プラズマが作用し、布帯の親水
化が達成されるものであるが、この実施例によれば、対
設された両電極板7と8との間に形成されている狭い布
常通路12内において、布常2が蛇行状に往復動される
ことから、この蛇行作用によって、布常2が低温プラズ
マ雰囲気中を移行するタイミングが長く設定され、充分
な低温プラズ処理が達成される。換言すれば布用への低
温プラズマ作用時間を一定としてそのプラズマ雰囲気中
における布局の蛇行数、即往復動回数を増大すれば、そ
れに比例して布常の移行速度を増大することができるの
で、生産性を向上せしめることができるものである。尚
上記実施例においては布用2を横方向に蛇行させる形態
のものであったが、これに限らず例えば電極板を左右方
向に隔設し、この双方の電極坂間で布良を上下方向へ蛇
行させるものであってもよい。また上記実施例の反応器
1は、布富を連続的に通過せしめることのできる連続処
理用のものであるが、バッチ式の反応器においても、同
機の目的は達成できる。以上のように本発明は、低温プ
ラズマ処理装置において、布常を連続的に通過せしめ得
る反応器内に隔設される対の電極板を配設すると共に、
その双方の電極板相互間で、低温プラズマ処理すべき布
常をその電極板と平行方向へ繰返し通過せしめるための
布常ガイドロールを設けて、布用を、対の電極板相互間
で生起これている同一低温ブラズマ雰囲気中を繰返し通
過せしめるようにしたものであるから、この本発明によ
れば、反応器内で発生されている低温プラズマ雰囲気中
を移行する布精への低温プラズマ作用時間を長く設定す
ることができ、これによって充分かつ効果的な低温プラ
ズマ処理が達成できると共に、生産性を向上せしめるこ
とができる効果がある。
また布帯へのプラズマ作用効率が高められプラズマエネ
ルギーを有効に省費できる特長もある。
ルギーを有効に省費できる特長もある。
図面は本発明よりなる低温プラズマ処理装置の実施例を
示した説明図である。 1・・・・・・反応器、2…・・・布常、3・・・・・
・導入口、4・・・・・・導出口、5,6・・・・・・
シール機構、7,8・・・・・・電極板、9・・・・・
・ガスノズル、10・・・・・・吸気ダクト、11…・
・・ガイドロール、12……布常通路、13……テンシ
ヨンロール。
示した説明図である。 1・・・・・・反応器、2…・・・布常、3・・・・・
・導入口、4・・・・・・導出口、5,6・・・・・・
シール機構、7,8・・・・・・電極板、9・・・・・
・ガスノズル、10・・・・・・吸気ダクト、11…・
・・ガイドロール、12……布常通路、13……テンシ
ヨンロール。
Claims (1)
- 1 低温プラズマ処理装置において、布帛を連続的に通
過せしめ得る反応器内に、隔設される対の電極板を配設
すると共に、その双方の電極板相互間で、低温プラズマ
処理すべき布帛をその電極板と平行方向へ繰返し通過せ
しめるための布帛ガイドロールを設けて、布帛を、対の
電極相互間で生起されている同一低温プラズマ雰囲気中
を繰返し通過せしめることを特徴とする低温プラズマ処
理装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4583482A JPS6031939B2 (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 低温プラズマ処理装置 |
DE19833300095 DE3300095A1 (de) | 1982-01-06 | 1983-01-04 | Anlage zum kontinuierlichen behandeln von textilprodukten mit hilfe von niedertemperatur-plasma |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4583482A JPS6031939B2 (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 低温プラズマ処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58163772A JPS58163772A (ja) | 1983-09-28 |
JPS6031939B2 true JPS6031939B2 (ja) | 1985-07-25 |
Family
ID=12730247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4583482A Expired JPS6031939B2 (ja) | 1982-01-06 | 1982-03-23 | 低温プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6031939B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0646990Y2 (ja) * | 1987-07-06 | 1994-11-30 | 鐘紡株式会社 | プラズマ処理装置 |
JPH04103776U (ja) * | 1991-01-22 | 1992-09-07 | 三樹 徳吉 | 無線操縦ヘリコプター用撮影装置 |
-
1982
- 1982-03-23 JP JP4583482A patent/JPS6031939B2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS58163772A (ja) | 1983-09-28 |
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