JPS60132213A - 電子式のサ−ボ制御されるコンプライアンスを持つ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発　明　の　背　景 この発明はロボット及びブグラマブルは械の制御に使う
ための電子式のコンプライアンスを持つ適応形制御装置
に関する。

組立て、工作機械のローディング並ひにプレス等からの
部品のバンドリングの様な用途では、現在の１］ボツ１
〜技術では、ロボットが動くプロセスと共にロボットの
精密な位置ぎめが要求される場合が多い。その結果とし
て、ツーリングのコス［〜が高くなると其に、ロボット
のプログラムの作成が困難になる。この状況は、第１図
に示′ｒＪ’　Ｍ　Ｉ　Ｔのドレーパ・ラボラ１〜リー
によって開発されたリモート・センター・コンプライア
ンス装置（以下ＲＣＣと略称する）の様な機械的コンプ
ライアンス装置を（＝Ｊけ加えることによって軽減する
ことが出来るが、その程瓜もごく限られている。ＲＣ（
Ｃはロボットのアームとそのグリッパ（ｃ＋ｒｉｐｐｅ
ｒ　）の間に可撓性を持たせる機械ばね装置を持ってい
る。工作物がロボットに対して位置がずれている場合、
ばね装置が撓／ｖでロボットと工作物が合わさる様にす
る。

ロボッ１〜制御方式は、位置又は力の何れかに基づく一
定の一組の帰還ループを用いるのが普通である。然し、
その制御装置のａＵ　ｉｌに使われた帰還以外の帰還に
全面的に又は部分的に基づいて、ロボッ１〜をサーボ機
構により制御器る必要がある場合が多い。例えば、位置
がサーボ制御される（づなわち、サーボ機構により制御
される）ロボッ１〜は、力に応じたサーボ制御を行う必
要があることがある。

補助帰遷ループを利用しようとづる従来の研究は主に２
つの分野であった。最も酋通の方法は、すＲＩ　遅信号
を計算（幾に人力し、その意味をソフトウェアで解釈し
、そして所望の結果が得られる様に１次指令信号を変更
するものである。然し、この方法は計算機をサーボルー
プ中に入れるものであり、これはサーボループの性能を
大幅に低下させる。他方の方法は、帰還ループを物理的
に切換えるものである。この切換えは、訓算懇によって
制御されるが、突然であると共に完全であり、一度に２
つ以上のサーボループによって部分的に制御す゛ること
か出来ない。

発　明　の　概　要 電子式のサーボ制御されるコンプライアンスは、直接的
にロボット又は機械の作業によって要求される通り装置
のみかけのスチフネスを変えることが出来る様に、コン
プライアンスが電子式に制御され且つプログラムされる
ことが出来る様にする。

機械のコンプライアンスを大ぎな帯域幅で制御出来る様
にするのはアナログ形式である。この特徴を持つ適応形
制御装置は多重ループ・サーボを右づる。位置及び力帰
還信号が可変利得装置に送られ、この重みイ」けしだ信
号が加算され、この複合指令信号が１ナ一ボ機構を作動
するために用いられる。位置ループの帰還利得に対する
カルーブの帰還利得の比がコンプライアンスを決定づる
。帰還利得を変えることにより、異なる形式の帰還の相
対的な影響が変えられる。

実施例としては、工作物を拾い上げて組立てるグリッパ
、並びに多重ループ帰還制御装置を含んでいてこのグリ
ッパを位置きめする手段を持つ組立てロボットである。

グリッパの位置を感知し、位置帰）！信号を発生し、そ
れから速度指令を発生Ｊる第１の帰還ループ手段が設（
）られる。第２の帰還ループ手段が速度を感知して、速
度帰還信号を発生ずる。第３の帰還ループ手段が工作物
からグリッパに加えられる力を感知して、力帰還信号を
発生する。これらの全てのサーボループは可変利得装置
を持っており、これによりそれぞれ重みイ」けした速度
指令信号、感知速度信号及び力信弓が加算され、この複
合誤着信号によってサーボモータが駆動される。可変利
得装置はプログラマブル掛算形ディジタル・アナログ変
換器にするのが便利である。］コボツ１〜４ｊｌ械がＸ
軸及びＹ軸を持ち、各軸にこの様な多重ループ・サーボ
が設（）られる。

コンプライアンスを大きくすると、組立てロボットは非
常に感度が高くて可撓性を持つ。コンプライアンスが小
さいと、比較的剛性を持つ機械になる。例えば歯車軸を
ハウジングに挿入する場合、一方が所定位置からずれて
いても、電子式のサーボ制御されるコンプライアンスに
より、ロボツ１〜は最小限の相互作用の力で組立てを完
了することが出来る。

３、発明の詳細な説明 公知のリモート・センター・コンプライアンス機械ばね
装置１０が第１図に概略的に示されている。

これは］ニ工作物３が所定位置からずれている時、何時
てしグリッパ１１がロボットのアーム１２に対して撓む
ことが出来る様にづる。電子式のサーボ制御されるコン
プライアンスの場合、Ｉ幾械ばねに相当覆る電子回路が
各軸に沿って設（）られる。この場合、コンプライアン
スは電子式に変え、制御し、プログラムづることが出来
る。ロボッ１−と工作物が正しく整合してない場合、実
効的なコンプライアンスばねが撓み、無視し得る様な相
互作用のツノで月つ相手をきずつりずに、ロボットと工
作物を合せることが出来る様にする。電子式の＝１ンプ
ライアンスは、ロボットの利用をコスト効果が挙がるよ
うにりるものである。

第２図の適応形制御装置は、ロボット機構のみかけのコ
ンプライアンスを制御出来る様に覆る。

大きな帯域幅の制御が出来る様にするこの考えをディジ
タル式にプログラマブルであるアナログ４１へ成ついて
説明する。この全体的な考えは移送スライドの様な他の
（幾構の制御にも使うことが出来る。

コンプライアンスは位置の誤差ΔＤと力の誤差△１：の
比であること、並びに定常状態のコンプライアンスがカ
ループの帰還利得ＧＦと位置ループの帰還利’ＲＧ　ｐ
の比であることを示Ｊことが出来る。

即ち、 コンプライアンスの典型的な数値は０．５乃至１０であ
る。コンプライアンスが大きいことは、機構の可撓性が
大きいことを意味し、コンプライアンスが小さいことは
比較的剛性であることを意味する。

利得を変えることにより、種類の異なる帰還の重みイ」
けが変えられる。

第２図では、何れも泪算機の制御を受けＣ、サーボモー
タが幾つかのサーボループによって、その程度は違うが
同時に制御される。具体的には、速度、力及び位置の帰
還ループによつ′Ｃ制御される。速度指令がり゛−ボ増
幅器１４に供給され、この増幅器がサーボモータ１５を
駆動する電圧を供給する。速度帰還信号がモータ軸速度
に比例する電圧を発生するタコメータの様な適当な速度
感知装置１６によって発生される。力感知装置１７、例
えば第４図及び第５図の渦電流近接検出器が、工作物又
は物体から機構に加えられる力を測定して、力帰還信号
を発生する。位置感知装置１８はレゾルバ又は光学符号
化器にＪるのが便利であり、′ｍ構の現在位置を表わす
帰還信号を発生する。何れも普通の装置である。

位置帰還信号から速度指令が作られる。これは最終的な
目的位置からの距離の関数であり、実際の値は位置計画
装置１９に貯蔵された予め計算されている速度プロフィ
ールに関係する。普通、サーボモータが所定の一定速度
まで加速され、移動の終りに減速される。位置計画装置
１９はインテル８０８５ＣＰＬＪの様な予めプログラム
したマイクロプロセッサにすることが出来る。位置計画
装置は普通の方法を用いて設計される。上に説明したｂ
の）代りに、普通の部品を用いてもよい。

前述の３つのサーボループの各々が可変利得装置を持っ
ていて、重み付すした帰還信号を発生づる。この後、こ
れらの利得を調節した速度指令信号、力帰還信号及び実
際の速度帰還信号が加算され、複合速度指令を導き出】
。コンプライアンスはカルーブの帰還利得と位置ループ
の帰還利得の比として定義されている。速度帰還信号を
用いて装置を安定化する。帯域幅及び制動が位置ループ
の帰還利得と速度ループの帰還利得の比によって定めら
れる。要約すれば、帯域幅並びに制動を含む、ロボッｌ
〜又はその他の機構のコンプライアンスは、帰還ループ
利得ＧＦ、ＧＶ及びＧｐの値を変えることによって制御
することが出来る。

可変利得装置２０乃至２２はプログラマブル掛算形ディ
ジタル・アナログ（Ｄ／Ａ）変換器であることが好まし
い。これらの変換器がディジタル式にプログラマブルで
ある可変利得増幅器として使われる。掛算形Ｄ／Ａ変換
器のアナログ部分の帯域幅は１０００００Ｈｚよりも広
く、従って帰還ループの帯域幅を制限しない。これらは
市場で入手し得る装置であるが、ごく普通の一定の基準
ではなく、可変の基準を持っている。速度指令信号は変
化する直流電圧（Ｏ乃至±１０Ｖ）であり、これが可変
利得装置２０の基準入力に送られる。位置ループの帰還
利得Ｇｐは計算機の主制御器２３によって決定される。

この制御器が可変利得装置２０に対してディジタル数を
提供し、このディジタル数がその利得（Ｏ乃至１）を決
定する。＋１）専形り／△変換器（２０）のアナログ出
力、即ち重み付けした速度指令信号が加算器２４に供給
され、そこでこの信号と重み付けしだ力及び速度帰還信
号が加０される。

各々のサーボループの利得を調節した帰還信号が、入力
抵抗２５を通って演算増幅器２６の加締点に送られる。

この増幅器は帰還抵抗２７を持っている。力及び速度ル
ープ内にある書簡形Ｄ／Ａ変換器（２１゜２２）の利得
が主制御器２３によって決定される。加篩器２４の出ノ
〕は誤差信号すなわち複合速度指令であって、サーボモ
ータ１５を作動づ−るサーボ増幅器１４に供給される。

即ち、加算点の誤差信号は次の様になる。

（誤差）−（速度指令）ＸＧｐ　（実際の速度）ＸＧｖ
−＋−（力）×Ｇ「この発明では、誤差信号が力成分を
持ら、他の２つの成分がゼロであっても、１作物によっ
てｌｊ９．４Ｒに加えられる感知された力がゼロに向っ
て減少するまで、サーボモータが動作する。ロボツ１〜
機椙に力が加えられると、帰還信号が発生されて、それ
が（幾構を動かし始める。重み付けした帰還信号の加算
はハードウェアのアナログ加算機能によって行われる。

この結果帯域幅が一層大きくなり、計算機による計算が
少なくなる。各々のサーボループの利１ルノを１ｉｌｎ
　１ｍの制御によって変えて、成るループが全体的な制
御に対して持つ影響を変える。

コンプライアンス、即ら、位置ループの帰還利１ｑに対
づるカルーブの帰還利得の比は電子式に変えることが出
来る。速度帰還ループの利得Ｇｖを変える理由は前に説
明した。基本的な電子式のサーボ制御されるコンプライ
アンスを持つ装置では、このサーボループの利得を可変
にすることは不可欠ではない。

好ましい実施例は、電子式のサーボ制御されるコンプラ
イアンスを持つ第３図に示した組立てロボッ１〜である
。この組立てロボットは、分数馬ノコ電リノ機を組立て
るという様な、個別の部品の機械的な組立てを行う様に
設旧並びに４１？Ｊ成されており、床に支持されていて
オーバーヘッド取付は式のモジュール形）４’ｌ’ｌｌ
ｌ　（Ｘ、　Ｙ、　Ｚ、　０）　７−ムト解釈（１ｎｔ
ｅｒｌ）ｒｅｔｉＶｅ）制御器を４１する。この［］ボ
ット機械から手首７手（幾構を除いたしのが、１９８１
年８月２０日に出願された係属中の米国時ｒ［出願通し
番号第２９４，５８８号並びにその他の刊行物に記載さ
れている。この槻１Ｍが持つ４つの自由度の何れか１つ
又は全部を、特定の組立Ｃ作業のために必要に応じて使
うことが出来る。

矩形の機械支持枠２８の２辺に沿って、（幾械の全ての
可動要素を支持するＹ軸案内棒がある。プレースつき４
隅柱台及び水平組立てテーブルはこの図に示してない。

長いＹ軸往復台２９及び短いＸ軸往復台３Ｏが設りられ
てｄ３す、円筒管３１か７ＩＮｌｊ１復台３２用として
使われている。互いに直交り−る方向に直線的に移動す
る全ての往復台は、リニア・ボール軸受により案内棒上
に支持されている。θ軸部品はＺ軸ハウジング３１内に
取イ」りられていて、その中にある。

Ｙ軸往復台２９に対する駆動力は、モータ駆動の親ねじ
３３を介して、この往復台の枠組に取付りたボール軸受
ナラ１へ３４に伝達される。Ｙ軸駆動モータ及びモータ
軸速度を感知するタコメータがそれぞれ符号３５及び３
６で示されている。親ねじ３３の端にある回転変分符号
化器３７が軸方向の位置を感知づる。この種の感知装置
は２つの正弦波出力信号を持ち、それらの周波数及び位
相関係は移動の速度と方向に関係する。符号−止器の代
りにレゾルバを用いてもよい。Ｙ＠往復台は２つの平行
な案内棒を持ち、Ｘ軸往復台３０の下面に取イ」けたボ
ール・ブッシングがこの案内棒の上にのっがっている。

Ｘ軸駆動部品は、親ねじ３８、駆動モータ３９、タコメ
ータ４０を含み、親ねじ３８の他端にあるＸ軸符号止器
はこの図では見えない。往復台３ｏに取付けた、予め荷
重を加えたボール・ナツト４１が、親ねじの回転に応答
して、この往復台をＸ＠に沿って動がづ。各々の水平方
向の移動は単独に用いてもよ”いし、或いは加工機械を
形成する様に結合した対として用いてもよい。

垂直軸及び回転軸について云うと、構造管３１が２つの
端板を持ち、その間に案内棒４２と回転しない親ねじ４
３がある。モータ４４がボール・ナラ１−を回転させて
、親ねじ４３及びぞれに取イ］りられた１１復台３２を
動かＪことにより、Ｕ複台３２の移動が行われる。構造
管３１は垂直軸を構成するが、これはθ軸ずなわら旋回
軸の支持構造でもある。（１１１迄管３１の頂部に装着
したモータ４５の回転を、この管の軸線と整合したシせ
７１へによって、管の他端にある回転板４６に伝達する
。

手首／クリッパ（幾シｊ４が垂直軸の周りに回転自をで
あり、また水平ピッチ軸の周りに旋回できる。

グリッパは手首にばねで装着されていて、工作物によっ
てそれに力が加えられた時、グリッパ機ｔＭ全体が手首
に対して撓むようになっている。手１１４７（第４図及
び第５図参照）は、回転板４Ｇに結合されＩＣブラケッ
ト４８に枢着した円筒形ハウジングで構成される。グリ
ッパは横４９は、ロボット機械の「手」であるが、１対
の平１１なフィンガ５０．５１を持ち、これらがラック
及びピニオン機４１４にＪ：す、棒５２に沿って互いに
接近する向き並びに互いから遠ざかる向きに移動する。

棒５２の両端が、土板５４に取付【プたブラケッ１−５
３に固定されている。

手首４７はＸ＠上に２つ、そしてＹ軸上に２つずつ、９
０°の間隔をおいて配置された下向きに伸びる４つのボ
ルト５５を持ち、これらが上板５４の孔を通り１友りる
。各々のポルｌ〜に設りられたばね５６がボルトの頭部
並びに上板５４に対して作用゛りる。上板５４は、グリ
ッパのフィンガに加えられた力に応答して、両方の軸に
沿っ゛Ｃ傾動自在である。手首４７どグリッパ４９の間
のばね取付は部として、更にＸ軸及びＹ軸上に夫々２つ
ずつ、９０°の間隔をおいて設置プられた４つの捩れ装
置５７を持ち、これらの捩れ装置は、グリッパに力が加
えられた時、捩れ棒の様に捩れる。ばね装置ずなわち捩
れ装置５７の１端が手首から下向きに伸びる円形フラン
ジ５８に係止され、他端が上板５４から直立になってい
る円形フランジ５９に係止されている。Ｘ軸及びＹ軸に
１つずつ、２つの力感知装置Ｇｏ、　６１がある。これ
らの感知装置は感知装置の端から上板５４までの距離を
測定する渦電流近接検出器にするのが便利である。グリ
ッパ暑幾構が撓むと、測定されｌ〔距離の変化は、力を
表わし、各軸に対して力に比例する電圧が発生される。

電子式のサーボ制御されるコンプライアンスを持つ第３
図の組立てロボッ］〜の動作を、第６図に示す様に歯車
軸を軸受に挿入覆る場合についてｄ２明する。歯車部品
６３のシャフト６２がロボツｉ〜にＪ：って、ハウジン
グ部分６５の軸受６４の中に自動的に挿入される。機械
が、Ｘ軸及びＹ軸の移動用に、第２図に示Ｊ一様な種類
の２つの多重ループ帰還制御装置と往復台を持つことを
承知されたい。これらは他の軸に設りてもよいが、この
例ではそうなっていない。力感知装置６０．６１の出力
信号がＸ及びＹ軸両方に対して発生される。手１１／グ
リッパ別構が成る角度まで回転した場合、力帰還信号が
Ｘ及びＹ軸成分に分解される。即ち、回転したとき、ロ
ボットのコンプライアンスが分解される。

位置ループの帰還利得に対重るカループの帰３宮利得の
比を決定づることにより、各軸の殿械的なコンプライア
ンスが予め設定される。コンプライアンスの値は２にづ
るのがよい。Ｘ及びＹ軸の内の１つの軸を考えると、そ
の往復台したがってグリッパがサーボ機構によって指令
された位置に移動し、他方の軸の１１復台がその指令位
置まで移動したと仮定り”ると、垂直軸の往復台が下降
（第６図）して、歯車のシャフト６２を軸受６４に挿入
する。工作物（６５）がロボットに対して位置がずれて
いると、１作物から、組立てる部品（Ｇ２）したがって
グリッパ４９に力Ｆが加えられる。これに応じて力感知
装置６０．６１が力帰還信号を発生ずる。加算器２４（
第２図）の出力に誤差信号が出て、この信号による速度
指令がサーボ増幅器１５に送られ、サーボモータ１５を
作動して、往復台及びグリッパの移動を開始させる。こ
れによって位置誤差が生じ、往復台及びグリッパを指令
位置へ戻そうとする速度指令が発生される。中心位置を
探し、そこで最小限の相互作用の力で挿入が行われる。

電子式のリーーボ制御されるコンプライアンスを持つ場
合、ロボッ１〜ＩＮ　ｌｆ’ｔは押された方向に動く。

ロボット機４７、ｔは力の誤差をゼロに向って（又は５
ボンドという様な成る予定の基準点まで）減少する様に
移動覆る。

電子式のサーボ制御されるコンプライアンスは、第６図
に示Ｊ組立て作業によっ−Ｃ例示づる様に、プログラミ
ング及びツーリングのコストを減少する効果がある。位
置を精密に教える必要はなく、この為プログラミングの
時間が節約される。電子式のり一−ボ制御されるコンプ
ライアンスは、グリッパが組立てようとりる部品を拾う
時、掴む間並びに取込む間の整合外れに適応し、また組
立て並びに挿入中の整合外れにも適応Ｊる。

この発明を好ましい実施例について具体的に図示し且つ
説明しノｃが、この発明の範囲内で神々の変更を加える
ことが出来ることは云うまでもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の機械的なコンプライアンス装］ｒ？を持
つロボッＩ−のアームを示す図、第２図はロボット機械
の１軸に対する電子式コンプライアンス装置の概略線図
、第３図は電子式のサーボ制御されるコンプライアンス
を特徴とするデカルト座標系のプログラマブル組立て機
械の斜視図、第４図及び第５図は手首／千ｍ４？ｉ５の
一部分をＸ幀及びＹ軸と平行な方向に見た図であって、
力感知装置及び捩ればねの取イ」け方を示づ部分図、第
６図は歯車のシレフトを挿入りる際の整合外れによって
弁化される力を示す部分図である。 く主な符号の説明） ２９：Ｙ軸往復台 ３０：Ｘ軸往復台 ３２ニア＠Ｉｔ往復台 ３３、３８．４３：親ねじ ３５、３９．４４：モータ ４９ニゲリツパ ５０．５１：フィンガ 特Ｔｈｆ出願人

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）電子式のサーボ制御されるコンプライアンスを持つ
   適応形制御装置に於て、機構の位置を感知すると共に、
   該機構を軸線に７合って指令位置まで移動させる第１の
   サーボループ手段と、物体又は工作物によって前記機構
   に加えられる力を感知し、核力を予定の基準点に向って
   減少させる第２のサーボループ手段と、各々の前記サー
   ボループ手段にあって、重み付けした帰還信号を発生し
   、位置ループの帰還利得に対する力ループの帰還利得の
   比を決定し、こうしてコンプライアンスを決定づ゛る可
   変利得手段と、前記力ループ及び位置ループのｍみ付け
   した帰還信号を加算し、この接合指令信号でサーボモー
   タを駆動する手段とを有づる適応形制御装置。 ２、特許請求の範囲１）に記載した適応形制御装置に於
   て、コンプライアンス電子式に変えて、各々のサーボル
   ープが全体的な制御作用に対して持つ影響を変える手段
   を有する適応形制御装置。 ３〉特許請求の範囲１）に記載した適応形制御装置に於
   て、前記機構が組立てロボットである適応形制御装買。 ４）電子式のサーボ制御されるコンプライアンスを持つ
   装置に於て、工作物を取扱うグリッパを持つと共に、多
   重ループ・サーボを含んでいて前記グリッパを軸線に沿
   って指令位置まで移動させる手段を持つロボット機械を
   有し、前記移動さＵる手段は、前記グリッパの位置を感
   知して位置帰還信号を発生する第１の帰還ループ手段、
   速度を感知して速度帰還信号を発生ずる第２の帰還ルー
   プ手段、及び前記工作物によって前記グリッパに加えら
   れる力を感知して力帰還信号を発生する第３の帰還ルー
   プ手段を有しており、全ての前記サーボループは可変利
   得装置を持っており、位置ループの帰還利得に対する力
   ループの帰還利得の化は予め設定された機械のコンプラ
   イアンスであり、更に前記移動させる手段が、重み句け
   した位置ループ信号、速度ループ信号及びカループ信号
   を加算して、複合誤差信号でサーボモータを駆動する手
   段を持っている装置。 ５）特許請求の範囲４）に記載した装置に於て、前記可
   変利得装置がプログラム可能な掛ｎ形ディジタル・アナ
   ログ変換器である装置。 ６）特許請求の範囲４）に記載した装置に於て、前記ロ
   ボット機械が直交づるＸ及びＹ軸を持ち、各軸が多重ル
   ープ・リーーボを持っている装置。 ７）工作物を拾い上げ−Ｃ組立てるグリッパを支持覆る
   往復台並びに該往復台を軸線に沿って動かす→ノーーボ
   モータを用いた駆動部を持つ組立てロボッ１へに対する
   多重ループ帰還制御装置に於て、帰還信号を発生づる位
   置感知装置、指令位置に向って移動する為の速度指令信
   号を発生覆る位置計画装置Ｎ、及び重みイー」りした速
   度指令信号を発生する可変利得増幅器を持つ第１の帰還
   ループと、帰還信号を発生づるモータ軸速度感知装置及
   び重みイ」りした軸速度信号を発生する第２の可変利得
   増幅器を持つ第２のす１１）還ループと、前記１作物に
   よって前記グリッパに加えられる力を測定して帰還信号
   を発生する力感知装置、及び重み付けしだ力信号を発生
   ずる第３の可変利得増幅器を持つ第３の帰還ループとを
   有し、前記位置ループの帰還利得に対づるカルーブの帰
   還利得の比、従ってコンプライアンスが予め選ばれてお
   り、更に、前記重み付けした速度指令信号、重みイ］（
   ）した軸速度信号及び重み付【プした力信号を加専して
   前記サーボモータに対重る複合速度指令信号を発生ずる
   手段を右し、該サーボモータは、前記指令位置に達して
   力がゼロに向っ（゛減少するまで動作する多重ループ帰
   還制御装置。 ８）特許請求の範囲７〉に記載した多重ループ帰還制御
   装置に於て、前記可変利得装置幅器の利得　−が、コン
   プライアンス並びにヵに対りる感度を調節覆る為に、制
   御器によってプログラマブルである多重ループ９ｉｉＪ
   還制御装置。 ９）特許請求の範囲８）に記載した多重ループ帰還制御
   装置に於て、前記位置感知装置がレゾルバ又は符号化器
   であり、前記速度感知装置がタコメータであり、前記力
   感知装置が前記グリッパの撓みを測定する渦電流整置で
   ある多重ループ帰還制御装置。 １０）特許請求の範囲９）に記載した多重ループ帰ｊｙ
   制御装置に於て、前記組立てロボットが×ｑ１１１及び
   Ｙ軸を持ち、各軸に対して多重ループ帰還制御装置が設
   けられている多重ループ帰還制御装置直。