CN100454198C - 控制器 - Google Patents

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Abstract

揭示了用于限制由伺服马达驱动的被驱动元件的振动的控制器。由伺服马达驱动的被驱动元件被提供有加速度检测装置。通过将加速度检测装置检测的加速度乘以一个系数获取校正值。通过从速度指令中减去该校正值而进行了校正，并在速度控制处理部执行速度反馈控制以获得电流指令。进一步地，伺服马达由电流控制处理驱动，被驱动元件据此移动。如果由于振动增加了检测加速度值，校正速度指令以限制振动，从而限制了被驱动元件的振动。通过对每个速度控制周期执行基于检测加速度值的速度指令校正，可以缩短处理时间以限制被驱动元件的振动。

Description

控制器
技术领域
本发明涉及用于驱动地控制机床中的伺服马达的控制器，特别涉及一种控制器，其配置为使得机床上提供了加速度检测装置以反馈加速度信息，从而稳定机器的操作。
背景技术
通常，在机床中进行位置，速度和电流反馈控制，以控制由伺服马达驱动的被驱动元件。图16的框图示出了用于控制伺服马达的伺服控制部。伺服马达2或由伺服马达驱动的被驱动元件3上提供了速度检测装置5以及位置检测装置6，用于分别检测其位置和速度。进一步地，提供了电流检测装置4，用于检测驱动伺服马达2的电流值。检测装置4和5的检测信号被反馈。
在位置控制处理部11，从位置指令和位置检测装置6的位置反馈信号获取位置偏差，并通过将位置偏差乘以位置回路增益来获取速度指令。此外在速度控制处理部12，从由位置控制处理部11输出的速度指令，以及来自速度检测装置5的速度反馈信号，获取速度偏差，并且通过例如比例加法积分(或积分加法比例)控制来获取电流指令。在电流控制处理部13，使用电流指令以及电流反馈信号执行电流反馈控制，并且伺服马达2在伺服放大器的帮助下驱动地受控。
在上述控制被驱动元件3(例如机床的进给轴)的位置、速度和电流的传统控制方法中，位置、速度、以及电流通常由处理器控制。如果伺服马达2的角加速度突然变化，则不管位置、速度、以及电流反馈如何，被驱动元件3有时候可能振动。为了处理这种情况，提出了一种控制方法，其中从速度反馈控制输出的电流指令中减去来自用于检测被驱动元件3的加速度的加速度传感器的信号，并且将得到的差值用作电流反馈控制的电流指令。
如果在被驱动元件中产生了振动，由加速度感应器检测到的、来自被驱动元件的加速度信号中的振动分量，引起用于电流反馈控制的电流指令的误差。通过控制伺服马达的驱动电流，将振动分量从电流指令中减去以消除误差，从而限制了振动(参见日本专利申请公开号6-91482，申请人KOKAI)。
在控制系统中通过微分控制来改善响应是公知的。同时，在伺服马达的位置/速度控制中，可以通过对速度回路控制使用PID(比例加法积分加法微分)控制来增强响应。然而，通过微分来自位置或速度感应器的位置或速度信息(或通过微分速度偏差)而获得的加速度信息，存在噪声很多以及可控性差的问题。如果额外使用滤波器来去除噪声，由滤波器引起的相位变化使得可控性更差。
通过使用例如日本6-91482号申请中所描述的加速度感应器，可以获取更少噪声或相位变化的加速度信息。然而根据本专利文件中描述的发明，基于由加速度感应器的检测而检测到的加速度值，对电流控制处理校正电流指令。
通常，电流控制周期短于速度控制周期，从而如果用检测到的加速度值校正电流指令，则处理时间增加。
此外，在从电流指令值中减去检测到的加速度值的方法中，有时候不能获得令人满意得振动限制效果，这是由获取检测的加速度值到控制器中的通信的延迟，或从电流指令输入到被驱动元件移动开始的延迟引起的。进一步地，当被驱动元件在使用加速度感应器检测的加速度值执行电流指令的校正控制下往复运动之后回到原始位置的时候，存在加速度信息的积分不能归零的问题。
发明内容
本发明的控制器根据指定被驱动元件的速度的速度指令，控制用于驱动被驱动元件的伺服马达。根据本发明的第一种形式，控制器包括：用于检测被驱动元件的速度的速度检测装置；用于基于速度指令以及所述速度检测装置检测的速度，控制被驱动元件的速度的速度控制处理部；用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；以及用于基于所述加速度检测装置检测的加速度，校正速度指令的校正装置。
校正装置可以通过从速度指令中减去一个乘积来校正速度指令，该乘积是通过将检测的加速度乘以一预定系数而获得的。
控制器可以进一步包括电流控制处理部，用于根据所述速度控制处理部输出的电流指令，控制用于驱动伺服马达的电流；以及速度估算处理部，用于基于所述加速度检测装置检测的加速度，估算被驱动元件的速度；以及用于基于估算的速度，校正电流指令的装置。
根据本发明的另一种形式，控制器包括：用于检测被驱动元件的速度的速度检测装置；用于基于速度指令以及所述速度检测装置检测的速度，控制被驱动元件的速度的速度控制处理部；用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；用于基于所述加速度检测装置检测的加速度以及速度指令的一阶微分，校正速度指令值的校正装置。
控制器可以进一步包括位置控制处理部，用于基于指定被驱动元件的位置的位置指令以及检测到的被驱动元件的位置，控制被驱动元件的位置，并将速度指令输出到所述速度控制处理部，其中所述校正装置校正位置指令，代替校正速度指令。
根据本发明的另一种形式，控制器包括：用于检测被驱动元件的速度的速度检测装置；用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；速度估算处理部，用于基于所述加速度检测装置检测的加速度，估算被驱动元件的速度；以及速度控制处理部，用于基于速度指令、所述速度估算处理部估算的速度以及所述速度检测装置检测的速度，控制被驱动元件的速度。
根据本发明的另一种形式，控制器包括：用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；速度估算处理部，用于基于所述加速度检测装置检测的加速度，估算被驱动元件的速度；以及速度控制处理部，用于基于速度指令以及所述速度估算处理部估算的速度，控制被驱动元件的速度。
根据本发明的另一种形式，控制器包括：用于检测被驱动元件的速度的速度检测装置；速度控制处理部，用于基于速度指令以及所述速度检测装置检测的速度，控制被驱动元件的速度并输出一电流指令；电流控制处理部，用于根据从所述速度控制处理部输出的电流指令，控制驱动伺服马达的电流；用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；用于基于所述加速度检测装置检测的加速度以及速度指令的一阶微分，校正电流指令的校正装置。
根据本发明的另一种形式，控制器包括：用于检测被驱动元件的速度的速度检测装置；速度控制处理部，用于基于速度指令以及所述速度检测装置检测的速度，控制被驱动元件速度并输出一电流指令；电流控制处理部，用于根据从所述速度控制处理部输出的电流指令，控制驱动伺服马达的电流；用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；速度估算处理部，用于基于所述加速度检测装置检测的加速度，估算被驱动元件的速度；用于基于所述速度估算处理部估算的速度，校正电流指令的校正装置。
根据本发明的另一种形式，控制器包括：用于检测被驱动元件的速度的速度检测装置；速度控制处理部，用于基于速度指令以及所述速度检测装置检测的速度，控制被驱动元件的速度并输出一电流指令；电流控制处理部，用于根据从所述速度控制处理部输出的电流指令，控制驱动伺服马达的电流；用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；速度估算处理部，用于基于所述加速度检测装置检测的加速度，估算被驱动元件的速度；用于基于将估算的速度乘以一预定系数而得到的乘积，以及将检测的加速度乘以一预定系数得到的乘积，校正电流指令的校正装置。
根据本发明的另一种形式，控制器包括：用于检测由伺服马达驱动的被驱动元件的速度的速度检测装置；速度控制处理部，用于基于速度指令以及所述速度检测装置检测的速度，控制被驱动元件的速度并输出一电流指令；电流控制处理部，用于根据从所述速度控制处理部输出的电流指令，控制驱动伺服马达的电流；用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；速度估算处理部，用于基于所述加速度检测装置检测的加速度，估算被驱动元件的速度；用于基于将速度指令与估算的速度之间的差值乘以一预定系数而得到的乘积，以及将检测的加速度乘以预定系数得到的乘积，校正电流指令的校正装置。
控制器可以进一步包括位置控制处理部，用于基于指定被驱动元件位置的位置指令以及检测到的被驱动元件的位置，控制被驱动元件的位置，该位置控制处理部具有对位置指令和检测的位置之间的位置偏差进行积分的项，从而去除了由检测的加速度引起的稳态偏差的影响。
根据本发明的另一种形式，控制器包括：用于检测被驱动元件的速度的速度检测装置；速度控制处理部，用于基于速度指令以及所述速度检测装置检测的速度，控制被驱动元件的速度；用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；速度估算处理部，用于基于所述加速度检测装置检测的加速度，估算被驱动元件的速度；用于将估算速度中的稳态分量去除的滤波器，其中，基于滤波器的输出，校正速度指令或检测到的速度。
根据本发明的另一种形式，控制器包括：用于检测被驱动元件的速度的速度检测装置；速度控制处理部，用于基于速度指令以及所述速度检测装置检测的速度，控制被驱动元件的速度；用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；速度估算处理部，用于基于所述加速度检测装置检测的加速度，估算被驱动元件的速度；用于将估算的速度收敛为速度指令值的一数值的滤波器，其中基于所述滤波器的输出，校正速度指令或检测到的速度。
加速度检测装置的检测加速度可以经过带通滤波器的处理。
根据本发明的另一种形式，控制器包括：用于检测被驱动元件的速度的速度检测装置；速度控制处理部，用于基于速度指令以及所述速度检测装置检测的速度，控制被驱动元件的速度并输出一电流指令；用于检测驱动伺服马达的电流的电流检测装置；电流控制处理部，用于根据从所述速度控制处理部输出的电流指令以及电流检测装置检测的电流，控制电流；用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；用于基于所述加速度检测装置检测的加速度，校正速度指令或电流指令的校正装置；以及用于根据来自主机控制器的信号，改变所述校正装置校正幅度的装置。
根据本发明的另一种形式，控制器包括：用于检测被驱动元件的速度的速度检测装置；速度控制处理部，用于基于速度指令以及所述速度检溅装置检测的速度，产生一电流指令；用于检测驱动伺服马达的电流的电流检测装置；电流控制处理部，用于根据从速度控制处理部输出的电流指令以及电流检测装置检测的电流，控制电流；用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；用于基于所述加速度检测装置检测的加速度，校正速度指令或电流指令的校正装置；以及用于根据来自主机控制器的信号，选择性地使所述校正装置的校正的装置无效。
来自主机控制器的信号可以根据外部信号或者程序指令来输出。来自主控制器的信号可以根据下列判断输出，即伺服马达在机工具中是否受控地进行切割进给，并且可以在伺服马达停止状态输出。
根据本发明的另一种形式，控制器根据指定被驱动元件位置的位置指令控制伺服马达，其包括：用于检测被驱动元件的位置的位置检测装置；用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；位置估算处理部，用于基于所述加速度检测装置检测的加速度，估算被驱动元件的位置；以及位置控制处理部，用于基于位置指令，所述位置估算处理部估算的位置，以及所述位置检测装置检测的位置，控制被驱动元件的位置。
控制器可以构成级联控制系统，其中被驱动元件由多个伺服马达驱动。
由于只有很少噪声或相位改变，加速度检测装置可以根据更精确的加速度信息进行校正，以限制被驱动元件振动。由于可以选择加速度检测装置的设定位置，具体而言，通过将检测装置放置在预期要限制被驱动元件振动的位置，可以以高响应精确地限制被驱动元件的振动。进一步地，由于可以以长于电流控制周期的位置/速度控制周期来执行校正处理，可以缩短校正的处理时间。
附图说明
图1为说明本发明的概要的示意图；
图2为说明根据本发明第一实施例的伺服马达控制的示意框图；
图3为说明根据本发明第二实施例的伺服马达控制的示意框图；
图4为说明根据本发明第三实施例的伺服马达控制的示意框图；
图5为说明根据本发明第四实施例的伺服马达控制的示意框图；
图6为说明根据本发明第五实施例的伺服马达控制的示意框图；
图7为说明根据本发明第六实施例的伺服马达控制的示意框图；
图8为说明根据本发明第七实施例的伺服马达控制的示意框图；
图9为说明根据本发明第八实施例的伺服马达控制的示意框图；
图10为说明根据本发明第九实施例的伺服马达控制的示意框图；
图11为说明根据本发明第十实施例的伺服马达控制的示意框图；
图12为说明根据本发明第十一实施例的伺服马达控制的示意框图；
图13为说明根据本发明第十二实施例的伺服马达控制的示意框图；
图14为说明根据本发明第十三实施例的伺服马达控制的示意框图；
图15为说明根据本发明第十四实施例的伺服马达控制的示意框图；
图16为说明传统伺服马达控制的框图；
图17为说明速度控制处理部执行PI(比例加法积分)控制的情况下的实验结果的图表；
图18为说明根据本发明第一实施例的实验结果的图表；
图19为说明根据本发明第八实施例的实验结果的图表。
具体实施方式
图1的示意图说明了本发明的概要。
在本发明中，伺服马达2要驱动的被驱动体3具有加速度检测装置7。加速度检测装置7检测的检测加速度输入到马达控制器1。也为马达控制器1提供检测的位置和速度值，这些值来自分别用于检测被驱动元件3的位置和速度的位置检测装置6和速度检测装置5。进一步地，输入位置和速度指令，据此马达控制器1执行位置/速度控制以及电流控制，从而驱动地控制伺服马达2。在图1中，数字9表示球螺栓/螺母(ball screw/nut)机制，该机制将伺服马达的旋转移动转变为线性移动，从而驱动被驱动元件。
在控制被驱动元件3的位置和速度中，马达控制器1具有位置控制处理部11，速度控制处理部12，以及电流控制处理部13，如图16所示。根据来自位置检测装置6以及速度检测装置5的检测位置和速度信号，执行回路控制，速度回路控制，以及电流回路控制。在仅执行速度控制而不执行位置控制时，不需要提供图16所示的位置控制处理部11以及位置检测装置6。
由于在本发明中执行了前述的位置、速度和电流控制处理，通过根据来自加速度检测装置7的检测加速度，校正位置、速度和电流指令，防止了被驱动元件3的振动。在图1所示的例子中，用于检测位置和速度的检测装置附加在伺服马达上，并通过检测伺服马达的位置和速度检测被驱动元件的位置和速度。自然地，可以提供附加装置来直接检测被驱动元件3的位置和速度。
图2的示意框图说明了根据本发明第一实施例的伺服马达控制。在该第一实施例中，基于加速度检测装置7的检测加速度值校正速度指令。
通过从位置控制处理部输出的速度指令，或主机控制器等发出的速度指令中减去速度检测装置5输出的速度反馈值，获得了速度偏差。当执行这个的时候，也通过从速度指令中减去一个乘积对其进行了校正，该乘积通过将来自用于检测被驱动元件3加速度的加速度检测装置7的检测加速度值，乘以预定系数14而获得。可选择地，也可以通过从速度指令中减去检测的加速度和系数14的乘积，通过将该乘积从速度偏差或者速度指令和速度反馈值之间的差值中减去，或者通过将乘积加到速度反馈值上来进行校正。之后，输入到速度控制处理部12的指令被检测的加速度值校正了。这些方法实质上与速度指令的校正相同。
在速度控制处理部12，执行速度控制处理，以根据用这种方式输入的指令(校正的速度偏差)获得电流指令。在图2所示第一实施例中，速度控制是基于PI(比例加法积分)控制的，其具有积分项12a以及比例项12b。然而，可选择地，速度控制处理部12中的控制可以由IP(积分加法比例)控制或PID(比例加法积分加法微分)控制组成。本实施例特征在于：基于检测加的速度值校正速度指令。
如果被驱动元件突然加速，导致从加速度检测装置7输出的检测加速度值增加，速度指令将减少一个值并作用，从而降低加速度，该值通过将检测的加速度值乘以系数而获得。此外，速度控制的积分控制的作用是：校正在获取检测加速度值的通信中的延时，以及从电流指令输入到被驱动元件移动开始的延时。这样，可以限制延迟的不利影响，从而可以有效地防止了振动的产生。
马达控制部1中电流控制处理部13的电流控制处理，以与前述相同的方式执行，并且速度控制处理部12接着的处理操作类似伺服马达控制处理的传统操作。如果也执行了位置控制，位置控制处理部执行位置回路控制，并以传统方式输出电流指令。
在本实施例中，基于检测加速度校正了速度指令，并对每个速度控制周期执行该校正处理。由于速度控制处理周期长于电流控制周期，可以使得处理时间短于日本专利申请6-91482A中所描述的情况，该在日本专利申请6-91482A中与电流控制处理一起执行基于检测加速度的校正处理。
图3的示意框图说明了根据本发明的第二实施例。第二实施例与图2所示第一实施例的差别在于速度指令校正的内容。在第二实施例中，通过以微分项16对速度指令进行一阶微分获得指令加速度，并且通过从该指令加速度中减去由加速度检测装置7检测的检测加速度值，获得加速度偏差。通过将加速度偏差乘以系数15而获得校正量，并将该校正量加到速度指令上。该处理与速度控制处理一起执行。该处理的其它细节与传统伺服控制相同。
从速度指令获得的指令加速度与由加速度检测装置7检测的检测加速度之间的差值，是指令加速度与实际加速度的差值，且通过从检测加速度值中减去实际需要的加速度(指令加速度)而获得。该差值表示由被驱动元件3的振动产生的加速度。通过根据振动产生的加速度校正速度指令，更有效地限制了振动。
图4的示意框图说明了根据本发明的第三实施例。
该第三实施例具有速度估算处理部17，其对加速度检测装置7检溅的检测加速度值进行积分，从而获得用于校正速度指令的估算速度值。通过将速度估算装置17所获得的估算速度值从速度指令中减去，获得了速度偏差，通过将该速度偏差乘以系数18而获得了校正量。将该校正量加到速度指令上以对其或速度反馈值进行校正。对每个速度控制周期，与速度控制处理一起执行该校正处理。如果速度控制处理部中的控制为PI(比例加法积分)控制或者PID(比例加法积分加法微分)控制，基于检测的加速度值的速度指令校正和从速度检测装置输出的速度反馈值的校正之间，效果上没有实质差异。然而在IP(积分加法比例)控制的情况下，速度控制处理部中的比例控制仅在速度反馈值上起作用。如果校正速度指令，校正仅在速度控制处理部12的积分控制上起作用，而不在比例控制上起作用。然而，如果校正速度反馈指令，基于检测的加速度值的校正在积分控制和比例控制上都起作用。从而，对于IP控制的情况，选择任何可能合适的速度指令或速度反馈值，作为基于检测加速值校正的目标。其它控制，例如位置控制，电流控制等以与传统情况相同的方式执行。
在第三实施例中，基于加速度检测装置7的检测加速度值估算速度指令，并且获取速度偏差(估算的速度偏差)，或速度指令与估算速度之间的差值。然而由于该速度偏差表示了指令速度与实际速度之间的差值，可以通过使用基于所获取的速度偏差(估算速度偏差)的校正量来校正速度偏差，获取指令速度。这样，校正并控制了速度指令，从而消除了由被驱动元件3的振动引起的速度偏差，从而限制了被驱动元件3的振动。
图5的示意框图说明了根据本发明的第四实施例。
第四实施例具有速度估算装置17，其对由加速度检测装置检测的检测加速度进行积分，从而获得估算的加速度值。速度控制处理部12使用一乘积进行速度控制处理，该乘积由速度处理部17获得的作为速度反馈值的估算速度值乘以系数19而获得。在该例子中，不需要任何速度检测装置。
图6的示意框图说明了根据本发明的第五实施例。
在该第六实施例中，不像上面所描述的第一到第四实施例，校正了从速度控制处理部输出的电流指令。通过使用微分项16对速度指令进行一阶微分，获取了指令加速度，并通过从指令加速度中减去由加速度检测装置7检测的检测加速度，获取了加速度偏差。通过将该加速度偏差乘以系数20，获取了校正量，并通过将该校正量加到电流指令(通过速度控制处理部12中的速度控制处理而获得)上而进行校正。该电流指令校正对于每个速度控制周期，与速度控制处理一起执行。
在该第五实施例中，获取作为加速度偏差的值，是由被驱动元件振动产生的加速度分量，并且通过将加速度偏差校正到电流指令中，限制了该振动。
图7的示意框图说明了根据本发明的第六实施例。
第六实施例具有速度估算处理部17，其对加速度检测装置7检测的检测加速度值进行积分，从而获得估算的速度值。通过从在速度控制处理装置12中获取的电流指令中，减去系数“a”(标号21)与速度估算处理装置17输出的估算速度值的乘积，以及系数“b”(标号22)与检测加速值的乘积，从而进行校正。将校正的电流指令输出到伺服放大器。在该例子中同样，对于每个速度控制周期执行电流指令校正的处理，并对每个周期校正由速度控制处理获得的电流指令。
在该第六实施例中，基于通过将检测加速度值乘以系数b而获取的校正量的校正，不能限制由于检测加速度值的获取引起的延迟的影响，并且不能单独限制从电流指令输入到被驱动元件移动开始的延迟。然而，通过基于将估算速度乘以系数a(标号21)而获得的校正量的校正，可以有效地校正延迟以防止振动的产生。
图8的示意框图说明了根据本发明的第七实施例。
第七实施例具有速度估算处理部17，其对加速度检测装置7检测的检测加速度值进行积分，从而获得估算的速度值。进一步地，获取指令速度与估算速度之间的差值。通过将该差值乘以系数a(标号23)而获取第一校正量，通过将检测的加速度值乘以系数b(标号24)而获取第二校正量。将第一校正量加到电流指令(通过速度控制处理部12中的速度控制处理而获得)上，并从电流指令中减去第二校正量。该处理的其它细节与传统伺服控制相同。
在第七实施例中，基于检测的加速度的第一和第二校正量，可以限制延迟的影响，从而阻止振动。
图9的示意框图说明了根据本发明的第八实施例。
在该第八实施例中，将速度估算处理部17加到第一实施例上，从而也可以基于估算的速度值校正电流指令。通过将加速度检测装置7检测的检测加速度值乘以系数a(标号25)，而获得速度指令的校正值，并使用校正的速度指令执行速度控制速度控制处理，该校正的速度指令通过从速度指令中减去校正值而获得。进一步地，通过速度估算处理部17对检测的加速度值进行积分以获取估算的速度值，并且通过将估算的速度值乘以系数b(标号26)而获取速度指令校正值。从电流指令(通过速度控制处理部12中的速度控制处理而获得)中减去所得到的数值。
图10的示意框图说明了根据本发明的第九实施例。
在上述的第一到第八实施例中，如果基于检测的加速度值或从检测的加速度值获得的估算速度值，执行控制来校正速度指令或者电流指令，当被驱动元件在往复运动之后回到其原始位置时，检测加速度值的积分有时候不能归零。另一方面，当被驱动元件的移动达到固定速度，在某些情况下，检测加速度值的积分可能受到稳态(steady-state)偏差而不为零。第九实施例目的是防止该棘手的情况。为了达到该目的，除了比例项11b之外，位置控制处理部11具有积分项11a用于积分处理。
在图10所示例子中，在图5所示第四实施例中提供具有积分项11a的位置控制处理部11。通过从位置控制处理部11输出速度指令，可以限制基于检测加速度和/或估算速度值的校正引起的稳态偏差，从而通过位置控制处理部11中的积分项11a的处理，消除位置偏差。
图11的示意框图说明了根据本发明的第十实施例。
在该第十实施例中，在速度估算处理部17中对由加速度检测装置7检测的检测加速度值进行积分，以获取估算速度值，并且该估算速度值由滤波器28进行滤波。速度控制处理部12基于滤波器28的输出值，速度指令，以及速度反馈值的乘积，执行速度控制处理。在图11所示例子中校正了速度指令。如果速度控制处理部中的控制为PI(比例加法积分)控制或者PID(比例加法积分微分)控制，则速度指令的校正与速度反馈的校正之间没有差别。然而，如果速度指令在IP(积分加法比例)控制中校正，校正仅影响速度控制的积分控制。另一方面，如果校正了速度反馈，那么校正同时影响比例控制以及积分控制。因此，在IP控制的情况中，选择速度指令或者速度反馈两者之一作为校正目标。进一步地，估算速度值中的稳态分量由配置为消除目的的滤波器28消除。此外，如果滤波器28配置为使得将估算速度值收敛为速度指令值，可以改善速度指令的跟随特性。
此外，在上述的第一到第九实施例中，加速度检测装置的输出可以进一步通过带通滤波器，该滤波器传送被驱动元件3的特征频率区域，从而使用滤波的加速度检测装置可以进行校正。通过这样做，可以更精确地消除被驱动元件3的振动分量。
图12的示意框图说明了根据本发明的第十一实施例。
在该十一实施例中，可以响应主机控制器30的指令，改变加速度检测装置7检测的检测加速度值的反馈增益。
在机床的切割模式下，被驱动元件(工作台或者用于夹持工件的工具)3受到切割反作用力，从而工具受到与快速进给模式不同的条件和环境。为了处理这种情况，该实施例配置为能够改变基于检测加速度值的校正的影响。
在该第十一实施例中(可以应用到前述的第一到十实施例)，改变了检测加速度值的反馈增益。在图12所示的例子中，该实施例应用于图9所示第八实施例中，其中同时校正速度以及电流指令。可选择地，第十一实施例可以应用到任何其它实施例。
操作员等外部地输入增益选择指令信号到主机控制器30，或者在机器程序等中预先集成增益选择指令。如果这样做，随着程序执行，可以输出增益选择指令。可选择地，主机控制器30可以确定机床的模式指令，为切割指令还是快速进给指令，据此输出增益选择指令。可以基于程序指令确定模式指令。此外，当停止被驱动元件3的移动时，即当伺服马达2停止运动时，执行增益选择指令。当操作模式从切割指令变为快速进给指令或者反之时建立了停止状态时，在该停止状态输出增益选择指令。
从主机控制器30输出用于选择增益K1的增益选择指令以选择增益K1，并且将加速度检测装置7检测的检测加速度值乘以增益K1。基于增益K1和检测加速度值的乘积，以与前述第一到第十实施例相同的方式，校正速度指令或者电流指令。另一方面，当从主机控制器输出用于选择增益K2的增益选择指令，与第一到第十实施例一样，基于增益K2和检测加速度值的乘积校正速度指令和/或电流指令。
图13的示意框图说明了根据本发明的第十二实施例。
在该十二实施例中，响应来自主机控制器30的指令，可以确定是否基于加速度检测装置7检测的加速度值，对速度指令和/或电流指令进行了校正。这对应于下列情况，即根据图12所示第十一实施例所选择的增益(例如K2)为“0”。第十二实施例与第十一实施例的区别仅在于一个增益K2为“0”。
图14的示意框图说明了根据本发明的第十三实施例。
在该第十三实施例中，为马达控制部1的伺服控制提供了位置控制处理部11，并且由加速度检测装置7检测的检测加速度值校正位置指令。第十三实施例具有位置估算装置31，通过对检测加速度值进行二阶积分获得估算的位置。通过从位置指令中减去由位置估算装置31获得的估算位置与系数32的乘积，而进行了校正。通常，在位置控制处理部11进行比例控制，并且通过从位置指令中减去来自位置检测装置6的反馈数值，而获得位置偏差。通过将位置偏差乘以位置增益(比例增益)，而获得速度指令。这样，通过将校正盈余乘以位置增益，产生了基于检测加速度的，用于位置指令的校正盈余的速度指令。之后，以与第一实施例中相同的方式，校正速度指令。
此外，基于位置指令与速度指令之间的前述关系，在第一到第四实施例中校正速度指令。然而，可以校正位置来代替校正速度指令。速度和位置指令应该仅以使用不同系数来校正。
图15的示意框图说明了根据本发明的第十四实施例。
根据该第十四实施例的控制器为一个设备的例子，该设备基于本发明的检测的加速度值，对级联控制执行校正控制，其中一个被驱动元件由多个(或者，本实施例中的两个)伺服马达驱动。
图15所示例子具有两个控制系统，即主轴控制系统33以及从轴控制系统34，并且被驱动元件3’由单独控制系统的伺服马达2驱动地控制。在该例子中，主和从轴线控制系统33和34执行速度控制以及电流控制。该设备在需要位置控制时，额外的具有位置控制处理装置11。主和从轴控制系统33和34中的伺服马达2的各马达控制器，单独地具有图2到14所示前述实施例中每一个的配置。在图15所示的例子中，主和从轴线控制系统33和34都接受图9所示的第八实施例的马达控制，并基于速度指令、电流指令、以及检测的加速度值进行校正。图2到5所示的第一到第四实施例或者图11所示的第十实施例，可以用于主和从轴线控制系统33和34的伺服马达2的控制。在该情况中，基于检测的加速度校正速度指令。可选择地，可以应用图6到8中所示的第五到七实施例或者图10所示第九实施例，从而基于检测的加速度校正了电流指令。此外，与图十四所示第十三实施例一样，可以基于检测的加速度值，对伺服马达控制校正位置指令。
此外，如图15和16所示，级联控制可以配置为：可以选择或改变是否基于检测的加速度值校正位置、速度指令和电流指令，或者(如果有的话)基于检测加速度的校正幅度或每个增益的幅度。
尽管在每个前述实施例中的速度控制处理中，执行了PI控制，速度控制处理部可以可选择地配置为IP或PID控制。
通常由处理器执行伺服马达的位置、速度和电流控制，并且位置/速度控制周期长于电流控制周期。在本发明的每个实施例中，在长于电流控制周期的位置控制周期中，基于检测的加速度值，执行位置、速度以及电流指令的校正处理。通过这样，缩短了校正的处理时间。由于校正时间短，可以为每个电流周期获取检测的加速度值，且可以基于例如为每个位置和速度周期获得的平均值进行校正。可以通过使用这种平均达到平滑的加速度校正。
图17的图表说明了速度控制处理部12执行的速度控制为PI控制的例子的实验结果，其没有使用根据本发明的基于检测的加速度的校正。图18的图表说明了根据图2所示本发明第一实施例的类似实验的结果。图19的图表说明了根据图9所示发明第八实施例的相似实验的结果。在这些图表中的任意一个中，符号A代表被驱动元件(伺服马达)的位置，符号B代表被驱动元件的加速度。图17与18的比较显示限制了振动。在图19所示第八实施例的例子中，进一步增强了限制效果。

Claims (19)

1.一种用于控制伺服马达的控制器，该伺服马达根据指定被驱动元件的速度的速度指令，驱动被驱动元件，该控制器包括：
用于检测被驱动元件的速度的速度检测装置；
用于基于速度指令以及所述速度检测装置检测的速度，控制被驱动元件的速度的速度控制处理部；
用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；
用于基于所述加速度检测装置检测的加速度，校正速度指令的校正装置；
用于根据所述速度控制处理部输出的电流指令，控制用于驱动伺服马达的电流的电流控制处理部；
用于基于所述加速度检测装置检测的加速度，估算被驱动元件的速度的速度估算处理部；以及
用于基于估算的速度，校正电流指令的装置。
2.一种用于控制伺服马达的控制器，该伺服马达根据指定被驱动元件的速度的速度指令，驱动被驱动元件，包括：
用于检测被驱动元件的速度的速度检测装置；
用于基于速度指令以及所述速度检测装置检测的速度，控制被驱动元件的速度的速度控制处理部；
用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；
用于基于所述加速度检测装置检测的加速度以及速度指令的一阶微分，校正速度指令值的校正装置。
3.一种用于控制伺服马达的控制器，该伺服马达根据指定被驱动元件的速度的速度指令，驱动被驱动元件，包括：
用于检测被驱动元件的速度的速度检测装置；
速度控制处理部，用于基于速度指令以及所述速度检测装置检测的速度，控制被驱动元件的速度并输出一电流指令；
电流控制处理部，用于根据从所述速度控制处理部输出的电流指令，控制驱动伺服马达的电流；
用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；
用于基于所述加速度检测装置检测的加速度以及速度指令的一阶微分，校正电流指令的校正装置。
4.一种用于控制伺服马达的控制器，该伺服马达根据指定被驱动元件的速度的速度指令，驱动被驱动元件，包括：
用于检测被驱动元件的速度的速度检测装置；
速度控制处理部，用于基于速度指令以及所述速度检测装置检测的速度，控制被驱动元件速度并输出一电流指令；
电流控制处理部，用于根据从所述速度控制处理部输出的电流指令，控制驱动伺服马达的电流；
用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；
速度估算处理部，用于基于所述加速度检测装置检测的加速度，估算被驱动元件的速度；
用于基于所述速度估算处理部估算的速度，校正电流指令的校正装置。
5.一种用于驱动地控制伺服马达的控制器，该伺服马达根据指定被驱动元件的速度的速度指令，驱动被驱动元件，包括：
用于检测被驱动元件的速度的速度检测装置；
速度控制处理部，用于基于速度指令以及所述速度检测装置检测的速度，控制被驱动元件的速度并输出一电流指令；
电流控制处理部，用于根据从所述速度控制处理部输出的电流指令，控制驱动伺服马达的电流；
用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；
速度估算处理部，用于基于所述加速度检测装置检测的加速度，估算被驱动元件的速度；
用于基于将估算的速度乘以一预定系数而得到的乘积，以及将检测的加速度乘以一预定系数得到的乘积，校正电流指令的校正装置。
6.一种用于控制伺服马达的控制器，该伺服马达根据指定被驱动元件的速度的速度指令，驱动被驱动元件，包括：
用于检测由伺服马达驱动的被驱动元件的速度的速度检测装置；
速度控制处理部，用于基于速度指令以及所述速度检测装置检测的速度，控制被驱动元件的速度并输出一电流指令；
电流控制处理部，用于根据从所述速度控制处理部输出的电流指令，控制驱动伺服马达的电流；
用于检测被驱动元件的加速度的加速度检测装置；
速度估算处理部，用于基于所述加速度检测装置检测的加速度，估算被驱动元件的速度；
用于基于将速度指令与估算的速度之间的差值乘以一预定系数而得到的乘积，以及将检测的加速度乘以预定系数得到的乘积，校正电流指令的校正装置。
7.根据权利要求1-3，5-6任一所述的控制器，进一步包括：位置控制处理部，用于基于指定被驱动元件位置的位置指令以及检测到的被驱动元件的位置，控制被驱动元件的位置，该位置控制处理部具有对位置指令和检测的位置之间的位置偏差进行积分的项，从而去除了由检测的加速度引起的稳态偏差的影响。
8.根据权利要求4-6任一所述的控制器，进一步包括：位置控制处理部，用于基于指定被驱动元件位置的位置指令以及检测到的被驱动元件的位置，控制被驱动元件的位置，该位置控制处理部具有对位置指令和检测的位置之间的位置偏差进行积分的项，从而去除了由估算的速度引起的稳态偏差的影响。
9.根据权利要求1-6任一所述的控制器，其中所述加速度检测装置检测的加速度经过带通滤波器的处理。
10.根据权利要求1-6任一所述的控制器，进一步包括：
用于根据来自主机控制器的信号，改变所述校正装置校正幅度的装置。
11.根据权利要求1-6任一所述的控制器，进一步包括：
用于根据来自主机控制器的信号，选择性地使所述校正装置的校正无效的装置。
12.根据权利要求10所述的控制器，其中，来自主机控制器的信号根据一外部信号来输出。
13.根据权利要求11所述的控制器，其中，来自主机控制器的信号根据一外部信号来输出。
14.根据权利要求10所述的控制器，其中，来自主机控制器的信号根据一程序指令来输出。
15.根据权利要求11所述的控制器，其中，来自主机控制器的信号根据一程序指令来输出。
16.根据权利要求10所述的控制器，其中，来自主机控制器的信号根据是否控制伺服马达在机床中执行进刀来输出。
17.根据权利要求11所述的控制器，其中，来自主机控制器的信号根据是否控制伺服马达在机床中执行进刀来输出。
18.根据权利要求10所述的控制器，其中，来自主机控制器的信号在伺服马达为停止状态时输出。
19.根据权利要求11所述的控制器，其中，来自主机控制器的信号在伺服马达为停止状态时输出。
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Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2399425B (en) * 2003-03-11 2006-05-17 Rolls Royce Plc Improving stability and response of control systems
JP2006159345A (ja) * 2004-12-07 2006-06-22 Fanuc Ltd 制御装置
US7372276B2 (en) * 2005-02-16 2008-05-13 Goldak, Inc. Digital locating system and device for underground object detection
JP3796261B1 (ja) * 2005-12-02 2006-07-12 山洋電気株式会社 モータの負荷イナーシャ推定方法
JP4235210B2 (ja) * 2006-02-16 2009-03-11 ファナック株式会社 サーボモータの制御装置
JP2007336705A (ja) * 2006-06-15 2007-12-27 Fanuc Ltd モータ制御装置
US7768736B2 (en) 2007-03-30 2010-08-03 Seagate Technology Llc Certifying while servowriting media
JP2009071930A (ja) * 2007-09-11 2009-04-02 Psc Kk 電流駆動型アクチュエータ駆動制御装置
JP5333813B2 (ja) * 2007-12-27 2013-11-06 株式会社安川電機 モータ制御装置及び機械システム
US7990818B2 (en) * 2008-12-23 2011-08-02 General Electric Company Cascaded control of a pick-up head for multi-layer optical data storage
CN101989826A (zh) * 2009-08-06 2011-03-23 北京中纺锐力机电有限公司 开关磁阻电机控制器的速度调节方法及速度调节器
JP5404507B2 (ja) * 2010-04-05 2014-02-05 三菱電機株式会社 補正パラメータ調整装置
JP5472285B2 (ja) * 2011-12-28 2014-04-16 ダイキン工業株式会社 アクチュエータ制御装置
WO2013136599A1 (ja) * 2012-03-15 2013-09-19 オリンパスメディカルシステムズ株式会社 マニピュレータ装置
JP5648870B2 (ja) * 2013-01-08 2015-01-07 株式会社安川電機 モータ制御装置、モータ制御方法及び機械システム
JP5947732B2 (ja) * 2013-02-25 2016-07-06 国立大学法人 東京大学 制御システム、外乱推定システム、制御方法、制御プログラム及び設計方法
US9998043B2 (en) * 2013-04-10 2018-06-12 Mitsubishi Electric Corporation Rotary machine controller
JP2015122846A (ja) * 2013-12-20 2015-07-02 Juki株式会社 位置決め装置の制御装置
CN104883105A (zh) * 2014-02-28 2015-09-02 北京谊安医疗系统股份有限公司 电机的转速控制方法、转速控制装置及电机的控制系统
EP3118710B1 (en) * 2014-03-14 2019-12-04 Makino Milling Machine Co., Ltd. Feed shaft control method and numerical control work device
JP6331225B2 (ja) * 2015-08-19 2018-05-30 株式会社安川電機 モータ制御装置、位置制御システム、及びモータ制御方法
CN105375850B (zh) * 2015-12-24 2017-11-28 南京埃斯顿自动控制技术有限公司 一种电机振动抑制的控制方法
JP6939024B2 (ja) * 2017-03-31 2021-09-22 セイコーエプソン株式会社 ロボット制御装置、ロボットおよびロボットシステム
WO2019138809A1 (ja) * 2018-01-09 2019-07-18 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 電動機の制御装置
JP7245978B2 (ja) * 2018-01-09 2023-03-27 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 電動機の制御装置
US10830591B2 (en) 2018-03-23 2020-11-10 The Boeing Company System and method for dual speed resolver
US10673368B2 (en) 2018-03-23 2020-06-02 The Boeing Company System and method for pulse-width modulation using an adjustable comparison criterion
US10913550B2 (en) 2018-03-23 2021-02-09 The Boeing Company System and method for position and speed feedback control
US10911061B2 (en) 2018-03-23 2021-02-02 The Boeing Company System and method for demodulation of resolver outputs
JP6730377B2 (ja) * 2018-06-28 2020-07-29 ファナック株式会社 モータ制御装置
JP7277265B2 (ja) 2019-06-05 2023-05-18 ファナック株式会社 振動を抑制するモータ制御装置及び産業機械
CN111722584B (zh) * 2020-05-28 2021-11-05 固高科技股份有限公司 快刀伺服系统和电雕系统及电雕控制方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08110808A (ja) * 1994-10-12 1996-04-30 Makino Milling Mach Co Ltd 数値制御工作機械の制御方法及び装置
JPH08177694A (ja) * 1994-12-26 1996-07-12 Nissan Motor Co Ltd エンジントルク制御装置
CN1141680A (zh) * 1994-02-21 1997-01-29 株式会社小松制作所 工作机械的减震装置及减震方法
JP2002018664A (ja) * 2000-07-07 2002-01-22 Sodick Co Ltd 工作機械の移動装置および工作機械の移動装置の制御方法
US20020095975A1 (en) * 1998-07-22 2002-07-25 Renishaw Plc Method and apparatus for reducing vibrations on probes carried by coordinate measuring machines

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1322713A (en) * 1969-10-17 1973-07-11 Nat Res Dev Tachogenerators
US4139811A (en) * 1976-10-26 1979-02-13 Xerox Corporation Method and means for increasing the stiffness of limited frequency servo systems
JPS57208891A (en) * 1981-06-17 1982-12-22 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd Control system of motor driven machine
JPH0691482A (ja) * 1992-09-16 1994-04-05 Toyoda Mach Works Ltd 送り制御装置
US6194856B1 (en) * 1999-01-25 2001-02-27 Hitachi, Ltd. Motor driving apparatus including a modularized current control circuit and method of controlling the same
JP2001068396A (ja) * 1999-08-26 2001-03-16 Canon Inc ステージ制御装置
JP4213850B2 (ja) * 2000-06-01 2009-01-21 富士通株式会社 ディスク装置の制御方法およびディスク装置
DE10297481B4 (de) * 2002-04-05 2014-01-09 Mitsubishi Denki K.K. Verfahren zum betrieb einer motorsteuervorrichtung
KR100555523B1 (ko) * 2003-10-31 2006-03-03 삼성전자주식회사 디스크 드라이브의 트랙 탐색 서보 제어 방법 및 장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1141680A (zh) * 1994-02-21 1997-01-29 株式会社小松制作所 工作机械的减震装置及减震方法
JPH08110808A (ja) * 1994-10-12 1996-04-30 Makino Milling Mach Co Ltd 数値制御工作機械の制御方法及び装置
JPH08177694A (ja) * 1994-12-26 1996-07-12 Nissan Motor Co Ltd エンジントルク制御装置
US20020095975A1 (en) * 1998-07-22 2002-07-25 Renishaw Plc Method and apparatus for reducing vibrations on probes carried by coordinate measuring machines
JP2002018664A (ja) * 2000-07-07 2002-01-22 Sodick Co Ltd 工作機械の移動装置および工作機械の移動装置の制御方法

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Publication number Publication date
JP2006158026A (ja) 2006-06-15
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US7187148B2 (en) 2007-03-06

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