JPS60130904A - 周波数信号出力装置 - Google Patents

周波数信号出力装置

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JPS60130904A
JPS60130904A JP24052183A JP24052183A JPS60130904A JP S60130904 A JPS60130904 A JP S60130904A JP 24052183 A JP24052183 A JP 24052183A JP 24052183 A JP24052183 A JP 24052183A JP S60130904 A JPS60130904 A JP S60130904A
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JP
Japan
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temperature
self
crystal resonator
vibration
frequency
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JP24052183A
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JPH0515082B2 (ja
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Toshitsugu Ueda
敏嗣 植田
Fusao Kosaka
幸坂 扶佐夫
Toshio Iino
俊雄 飯野
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Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Hokushin Electric Corp
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03BGENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
    • H03B5/00Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
    • H03B5/30Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
    • H03B5/32Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03LAUTOMATIC CONTROL, STARTING, SYNCHRONISATION OR STABILISATION OF GENERATORS OF ELECTRONIC OSCILLATIONS OR PULSES
    • H03L1/00Stabilisation of generator output against variations of physical values, e.g. power supply
    • H03L1/02Stabilisation of generator output against variations of physical values, e.g. power supply against variations of temperature only
    • H03L1/022Stabilisation of generator output against variations of physical values, e.g. power supply against variations of temperature only by indirect stabilisation, i.e. by generating an electrical correction signal which is a function of the temperature
    • H03L1/027Stabilisation of generator output against variations of physical values, e.g. power supply against variations of temperature only by indirect stabilisation, i.e. by generating an electrical correction signal which is a function of the temperature by using frequency conversion means which is variable with temperature, e.g. mixer, frequency divider, pulse add/substract logic circuit

Landscapes

  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明は、水晶振動子を利用して、安定な基準周波数信
号を出力する周波数信号出力装置に関するものである。
〔従来技術〕
従来より水晶振動子の共振周波数を基準信号として利用
する装置は公知である。
水晶振動子は、共振周波数が温度によって影響を受ける
ために、従来装置においては、水晶撮動子を恒温槽に入
れたり、VCOX (電圧制御型水晶発振器)あるいは
、TCXO(温度制御型水晶発振器)を用いている。
しかしながら、これらは、温度検出のための手段が必要
で構成が複雑となる欠点がある。
〔発明の目的〕
本発明は仁の様な従来技術に鑑みてなされたもる。
〔本発明の概要〕
本発明に係る装置は、音叉形水晶振動子と、この水晶振
動子を屈曲振動させる第1の自励発振ループと、水晶振
動子をねじシ振動させる第2の自励発振ループと、第1
.第2の各自励発振ループから得られる共振周波数信号
f11f2を入力しくf□−f2)K関連して水晶振動
子の負荷容量又は水晶振動子の温度を制御する制御ルー
プとで構成される点に特徴がある。
〔実施例の説明〕
第1図は本発明に係る装置の一例を示す構成ブロック図
である。図において、1は腕1a、 lbを有する音叉
状の水晶振動子で、これには図示してないが水晶振動子
を励振させる励振電極と、振動を検出する検出電極とが
設けられている。この水晶振動子1は、例えば、厚さt
が0.025〜0.2mm程朋、両腕1a、 lbの長
さtが2.5〜20mm (100,t)程度、両腕1
a、 lbの幅Wが0.05−0.5mm程度の大きさ
であって、形状の製作及び各電極の形成は、ホトリソグ
ラフィーとエツチングの技術を利用して行なわれる。2
1.22は振動検出電極に結合するフィルタ回路で、一
方のフィルタ回路21は、水晶振動子1の屈曲振動周波
数f□が通過する低域フィルタであり、他方のフィルタ
回路22は、水晶振動子1のねじり振動周波数f2が通
過する帯域フィルタとなっている。31.32は各フィ
ルタ回路21.22からの周波数信号を増幅するアンプ
、4け各アンプ31、32からの信号を加算し、この加
算信号を励振用の電極に出力する加算回路である。
低域フィルタ回路21、アンプ31、加算回路4を含ん
で形成されるループは、水晶振動子1を屈曲振動させる
自励発振ループ0SC1を構成し、低域フィルタ回路2
2、アンプ32、加算回路4を含んで形成されるループ
は、水晶振動子1をねじり振動させる自励発振ループ0
8C2を構成している。
5は2つの自励発振ループ08CI、 08C2から得
られる周波数信号f□、f2を入力し、水晶振動子1の
負荷容量を周fIt数信号の差(fニーf2)に応じて
制御する制御ループで、f□とf2の差信号を演算する
演算回路51と、水晶振動子1に接続された負荷容量5
2と、この負荷容量を演算回路51からの信号によって
変化させる駆動回路53とで構成されている。
第2図は、水晶振動子1の屈曲振動の説明図である。音
叉状の水晶振動子1の両腕1a、 lbが矢印(1)に
示すように振動(振動モードは対称振動)するのが屈曲
振動であって、その共振周波数f1は、振動子1の各寸
法を図示するようにとれば、(1)式%式% (1) ただし、α:固有値 に:補正係数 ρ::晶振動子の密度 S2d:水晶振動子のヤング率に関連した値 5441−水晶振動子のねじり剛性に関連した値 第5図は、水晶振動子1のねじシ振動の説明図である。
音叉状振動子1の両腕1a、 lbが矢印■に示すよう
に振動(振動モードは対称でも非対称でもよい)するの
がねじり振動であって、その共振周波数f2は、(2)
式で表わすことができる。
(2) ただし、β:固固有値 値 n:振動モードの次数 第4図は、水晶振動子1を作る水晶基板として、Z板(
2カツト板)を基準として、1回目の回転がX軸に対し
て±10°Y@に対して±10°の範囲のものを使用し
、これを屈曲振動させた場合の共振周波数f1の温度特
性を示す線図である。
この線図において、屈曲振動の共振周波数f1の温度に
対する変化は全体として小さく、特に20℃〜30℃の
常温付近での温度係数α、は非常に小さくなり、例えば
α1= 0.O4ppm / ℃2 程度となる。
ここで、2次以後の温度係数を無視すれば、屈曲振動の
共振周波数f□と、屈曲振動の1次温度係数αとは、温
度Tに対して(3)式に示す関係がある。
fl−f。1(1+α1(T −To> ) (3)た
だしf。、:温度T。の時の屈曲振動の周波数また、f
□け(1)式から明らかなように、形状寸法vt/1等
によっても変わるもので、これらを特定な値に選定する
ことにより、f□を温度T。において、2nに相当する
例えば32.768k)Izとすることができる。
第5図は、前記の水晶振動子1をねじシ振動させた場合
の共振周波数f2の温度特性を示す線図である。
この線図において、ねじシ振動の共振周波数f2の温度
に対する変化は、直線的に変化し、その温度係fr、α
2は、水晶振動子の寸法形状を例えばt/w!=i 0
.4 、l = 2.5ynmとした場合、α2= ”
 I)pm / ℃程度となる。
第1図において、水晶振動子1け、2つの自励発振ルー
プ08CI、 08C2によって、屈曲振動と、ねじり
振動とを同時に行ない、各自励発振ループ08CI 、
 08C2から周波数信号f工と、f2とを出力する。
通常、ねじり振動の共振周波数f2は、屈曲振動の共振
周波数f□よりも高く(f2〉fl)、これらの周波数
信号は低域フィルタ回路21と、帯域フィルタ回路22
とによって分離され、各自励発振ループは互いに非同期
で自励発振を持続する。
制御回路5け、各自励発振ループ03C1,08C2か
らの周波数信号f工、f2を入力し、fニーf2なる演
算を行なうことによって、温度依存性のある差信号ft
を得る。この差信号ftは駆動回路53に印加され、)
駆動回路53は温度による共振周波数f1. f2のド
リフト分を補償するように負荷容量52の容量を連続的
に変化させる。
この様な動作によって、自励発振ループ08C1の共振
周波数f1は、温度の影響を受けない安定な基準周波数
信号となる。
第6図は本発明に係る装置の他の例を示す構成ブロック
図である。この実施例においては、水晶振動子1を容器
1o内に設置するとともに、水晶振動子1を!駆動回路
53の出力で加熱するためのヒータ54を設けたもので
ある。このヒータ54によって、水晶振動子1け周囲温
度の変化に対応して加熱され、共振周波数f1け、温度
の影響を受けない安定な基準周波数信号となる。
第7図及び第8図は水晶振動子1に設ける電極の形成例
を示したもので、いずれも(、)は斜視図、(b)は(
、)図におけるx−x断面図である。
いずれのものも、水晶振動子10両腕の両表面に、互い
に平行して並ぶ対向電極15.16及び17゜18を形
成させたものである。周知のように水晶は弾性体であり
、しかも圧電体であることから、例えば電1fjx5.
1s間に加算回路4からの励振信号を与えることによっ
て屈曲振動及びねじり振動をし、また、電極17.18
間には水晶振動子1の振動に応じた電圧信号が発生する
なお、電極は各節1a、 、1.bの側面に設けてもよ
い。
〔本発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、温度検出手段を
用いることなく、周囲温度に影響されないで安定した基
準周波数信号を得ることのできる装置が実現できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る装置の一例を示す構成ブロック図
、第2図は水晶振動子の屈曲振動の説明図、第3図は水
晶振動子のねじシ振動の説明図、第4図は本発明におい
て用いられている水晶振動子の屈曲振動の共振周波fi
f□と温度との関係を示す線図、第5図はねじり振動の
共振周波数f2と温度との関係を示す線図、第6図は本
発明に係る装置の他の実施例の構成ブロック図、第7図
及び第8図は水晶振動子に設ける電極の形成例を示す説
明図である。 1・・・水晶振動子、08CI、 08C2・・・自励
発振ループ、4・・・加算回路、5・・・制御ループ、
52・・・負荷容量、54°°゛ヒータ0

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) 音叉形水晶振動子、この水晶撮動子を屈曲振動
    させる第1の自励発振ループ、前記水晶振動子をねじり
    振動させる第2の自励発振ループ、前記第11M2の自
    励発振ループから得られる共振周波数信号f□、f2を
    入力し画周波数信号の差に関連して前記水晶振動子の負
    荷容量又は水晶振動子の温度を制御する制御ループを備
    え、 前記第1の自励発振ループから得られる共振周波数信号
    f□を基準周波数信号として出力するようにした周波数
    信号出力装置。
JP24052183A 1983-12-20 1983-12-20 周波数信号出力装置 Granted JPS60130904A (ja)

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JPH0515082B2 JPH0515082B2 (ja) 1993-02-26

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002371636A (ja) * 2001-06-18 2002-12-26 Sanyo Showa Panel System Co Ltd パネルの連結兼目地部カバー装置
JP2014062812A (ja) * 2012-09-21 2014-04-10 Fujitsu Ltd 温度センサー及び温度補償発振器

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55163481A (en) * 1979-06-07 1980-12-19 Seiko Instr & Electronics Ltd Time standard generator
JPS6316169U (ja) * 1986-07-18 1988-02-02

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55163481A (en) * 1979-06-07 1980-12-19 Seiko Instr & Electronics Ltd Time standard generator
JPS6316169U (ja) * 1986-07-18 1988-02-02

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002371636A (ja) * 2001-06-18 2002-12-26 Sanyo Showa Panel System Co Ltd パネルの連結兼目地部カバー装置
JP2014062812A (ja) * 2012-09-21 2014-04-10 Fujitsu Ltd 温度センサー及び温度補償発振器
US9464943B2 (en) 2012-09-21 2016-10-11 Fujitsu Limited Temperature sensor and temperature compensation oscillator

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JPH0515082B2 (ja) 1993-02-26

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