JPS60129132U - プラズマ気相成長装置の電極板と基板の配置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

、第１薗は従来のプラズマ気相成長装置の一例の構成図
、第２図は第１図中の石英ボートに搭載された電極板と
基板の配置図、第３゛゛薗は本考案を実施したプラズマ
気相成長装置の反応管内の電極板の配置と構造側図で条
る。 １・・・・・・反応管、２・・・・・・扉、３・・・・
・・電極板、４・・・・・・シリコン基板、５・・・・
・・加熱用ヒータ、１１・・・五クリーンベンチ、１２
・・・・・・高周波発振機、１３・・・・・・ガス供給
源、１４・・・・・・リード線、１５・・・・・・石英
ボート、１６・・・・・・基板支持爪、４′・・・・・
・２枚組の　　゛基板、４ａ・・・・・・基板の表側、
１４ａ・・・・・・リード取　　＝付端子、１７・・・
・・・プラズマ放電領域。　　　　　□、゛　、　　゛
−゛−゛ （Ｃ）　　　　、イ、　　− Ａ、／１

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 ル形抵抗加熱炉内に設置せる反応 管の内部に挿入し、複数の基板上に導入ガスに上る指定
   の膜成長を行わせるためめ石英ボートに搭載する複数の
   電極板と、複数基板を一定叩隔にて゛　　電極板面を対
   向するようにそれぞれ平行に並べ加熱炉外の高周波発振
   機よりのプライマ発生用高圧リード線に対向電極板とは
   互に逆位相となるように接続した複数電極板と、これら
   ゛の電極板の各２゛　一枚の中間毎に設置され、それぞ
   れの表面を外側にして背中合わせに付着させた２悠１組
   の基板の複”数組とによって構成配置させたことを特徴
   “とする、プラズマ気相成長ｉ竺の電極板と基板７配置
   。　　、