JPS6012736A - 主として洗浄乾燥装置に使用するカ−トリツジ - Google Patents
主として洗浄乾燥装置に使用するカ−トリツジInfo
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- JPS6012736A JPS6012736A JP10236784A JP10236784A JPS6012736A JP S6012736 A JPS6012736 A JP S6012736A JP 10236784 A JP10236784 A JP 10236784A JP 10236784 A JP10236784 A JP 10236784A JP S6012736 A JPS6012736 A JP S6012736A
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- Japan
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- cartridge
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は半導体製造用フォトマスク、レチクル、ウェハ
ー等の方形のプレートを離間させて平行に収納するカー
トリッジ係り、特に前記プレートの洗浄乾燥装置に使用
するカートリッジに関する。
ー等の方形のプレートを離間させて平行に収納するカー
トリッジ係り、特に前記プレートの洗浄乾燥装置に使用
するカートリッジに関する。
Ｔ従来の技術」
従来より半導体製造用プレートの洗浄乾燥装置に使用す
るカートリッジとして、例えば第４図に示す如く、前後
両側が開口する方形枠体１の内壁面両側に、プレー）１
１挿入方向（矢印で示す）に沿って平行に複数のＶ字溝
２，３を夫々対称に形成し、そのその終端側２ａ、３ａ
を夫々内側に腕曲させて該終端側２ａ、３ａにプレート
を突き当て可能に形成したカートリッジは既に公知（特
開昭４８−［１４８８３号参照）である。
るカートリッジとして、例えば第４図に示す如く、前後
両側が開口する方形枠体１の内壁面両側に、プレー）１
１挿入方向（矢印で示す）に沿って平行に複数のＶ字溝
２，３を夫々対称に形成し、そのその終端側２ａ、３ａ
を夫々内側に腕曲させて該終端側２ａ、３ａにプレート
を突き当て可能に形成したカートリッジは既に公知（特
開昭４８−［１４８８３号参照）である。
かかる構成のカートリッジにおいては、プレート１１進
退方向の両側が開口されている為、容易にプレー）１１
の収納と抜出が可能のみならず、夫々Ｖ字溝２，３の終
端側２ａ、３ａを夫々内側に腕曲させてプレートを突き
当て可能に形成した為、カートリッジ内の所定位置にプ
レート＋１をきっちり収納させることが可能となる。
退方向の両側が開口されている為、容易にプレー）１１
の収納と抜出が可能のみならず、夫々Ｖ字溝２，３の終
端側２ａ、３ａを夫々内側に腕曲させてプレートを突き
当て可能に形成した為、カートリッジ内の所定位置にプ
レート＋１をきっちり収納させることが可能となる。
「発明が解決しようとする問題点」
しかしながらかかる構成のカートリッジにおいては、プ
レート１１挿入方向のみが開口し、他の四辺が枠体ｌに
より囲設されている為、上方向よりのシャワー散布によ
る予備洗浄が不可能であり、この結果、洗浄前において
常にプレー）１１を濡らして置くことが出来ない為、プ
レー）１１の乾燥によりゴミ等がプレート表面に固着し
てしまう場合があり、このような場合はブラッシングに
よる強制洗浄を行なっても完全には取り切れず、洗浄効
果が半減してしまう。
レート１１挿入方向のみが開口し、他の四辺が枠体ｌに
より囲設されている為、上方向よりのシャワー散布によ
る予備洗浄が不可能であり、この結果、洗浄前において
常にプレー）１１を濡らして置くことが出来ない為、プ
レー）１１の乾燥によりゴミ等がプレート表面に固着し
てしまう場合があり、このような場合はブラッシングに
よる強制洗浄を行なっても完全には取り切れず、洗浄効
果が半減してしまう。
又、前記プレー）１１を保持する７字溝２．３は直線状
の連続した凹部である為に洗浄後の汚染物質を含む洗浄
水が溜り易く二次汚染の原因につながりやすい。
の連続した凹部である為に洗浄後の汚染物質を含む洗浄
水が溜り易く二次汚染の原因につながりやすい。
特に前記図示のカートリッジを８０度角度変位させて、
プレー）１１が直立して配置される縦列配置構造にした
場合は、底側に７字溝２．３が位置することとなり、前
記二次汚染が更に拡大する。
プレー）１１が直立して配置される縦列配置構造にした
場合は、底側に７字溝２．３が位置することとなり、前
記二次汚染が更に拡大する。
更に、前記７字溝２．３はプレート挿入方向に沿って直
線状に連続して形成されている為、方形のプレート１１
を収納する場合は線接触支持となり、該線接触している
プレート側縁面に汚染物質が付着しやすい。又円形のプ
レートを収納する場合であ二ても、該プレートを所定位
置に収納する為に７字溝２，３の終端側２ａ、３ａを夫
々内側に腕曲させてプレート突き当て部となした為、そ
の突き当て部においては線接触となり、やはり前記欠点
を解消し得ない。
線状に連続して形成されている為、方形のプレート１１
を収納する場合は線接触支持となり、該線接触している
プレート側縁面に汚染物質が付着しやすい。又円形のプ
レートを収納する場合であ二ても、該プレートを所定位
置に収納する為に７字溝２，３の終端側２ａ、３ａを夫
々内側に腕曲させてプレート突き当て部となした為、そ
の突き当て部においては線接触となり、やはり前記欠点
を解消し得ない。
本発明が解□決しようとする技術的課題は、前記従来技
術の欠点に鑑み、プレートを点接触にて且つ空中支持を
可能なさしめ、二次汚染の原因を解消せしめると共に、
カートリッジ上方よりのシャワー散布による予備洗浄を
可能ならしめ、常にプレートを濡らして置き、洗浄装置
の効果的な洗浄を発揮させることにある。
術の欠点に鑑み、プレートを点接触にて且つ空中支持を
可能なさしめ、二次汚染の原因を解消せしめると共に、
カートリッジ上方よりのシャワー散布による予備洗浄を
可能ならしめ、常にプレートを濡らして置き、洗浄装置
の効果的な洗浄を発揮させることにある。
「問題点を解決しようとする手段」
本発明は上記問題点を解決する技術手段として、半導体
製造用フォトマスク、レチクル、ウェハー等の方形のプ
レートを離間させて平行に配設収納するカートリッジに
おいて、中心部より周縁部に進むに従い徐々に薄肉にな
るよう形成した複数のリング体を直列状に配設した支持
部材と、棒状止め軸と、これらを所定位置に保持する一
対の枠体とを有し、平行に配した枠体の上下両側にプレ
ートが支持可能な所定間隔だけ離間させて前記支持部材
を平行に夫々複数個づつ配設すると共に、プレート挿入
方向終端側に該挿入方向と直交させて前記止め軸を配設
したカートリッジを提案する。
製造用フォトマスク、レチクル、ウェハー等の方形のプ
レートを離間させて平行に配設収納するカートリッジに
おいて、中心部より周縁部に進むに従い徐々に薄肉にな
るよう形成した複数のリング体を直列状に配設した支持
部材と、棒状止め軸と、これらを所定位置に保持する一
対の枠体とを有し、平行に配した枠体の上下両側にプレ
ートが支持可能な所定間隔だけ離間させて前記支持部材
を平行に夫々複数個づつ配設すると共に、プレート挿入
方向終端側に該挿入方向と直交させて前記止め軸を配設
したカートリッジを提案する。
尚、前記支持部材は、例えばそろばん玉状のリング体を
芯体に貫装させて形成してもよく、又樹脂材の成形によ
り前記リング体が一体的に連なる如く形成してもよい。
芯体に貫装させて形成してもよく、又樹脂材の成形によ
り前記リング体が一体的に連なる如く形成してもよい。
又止め軸はプレート側端が点接触により接触する構造で
あれば円棒状に形成してもよく、又角棒を用い、その頂
部がプレート側端に当接する如く配置してもよい。
あれば円棒状に形成してもよく、又角棒を用い、その頂
部がプレート側端に当接する如く配置してもよい。
「実施例」
以下図面に基づい本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の実施例に係るカートリッジを ′示
す。
す。
２６は平板状の底板で、間欠移動機構２８と連結された
基台２８上に戴置可能に構成されている。
基台２８上に戴置可能に構成されている。
２４．２４’は一対の方形枠体で、前記底板２６両端側
にプレート１１挿入方向（矢印へ方向）とｆ行に垂直に
立設されている。
にプレート１１挿入方向（矢印へ方向）とｆ行に垂直に
立設されている。
２３．２３’は該枠体２４，２４’間の上下両側にプレ
ート１１挿入方向と直交する如く架設された支持部材で
、該支持部材２３．２３’はプレート１１が当接保持可
能な所定間隔だけ離間させて夫々上下両側に各３木づつ
平行且つ並列状に配設されている。
ート１１挿入方向と直交する如く架設された支持部材で
、該支持部材２３．２３’はプレート１１が当接保持可
能な所定間隔だけ離間させて夫々上下両側に各３木づつ
平行且つ並列状に配設されている。
前記各支持部材２３．２３°は、前記枠体２４，２４’
間に架設された芯体２２に、中心部より周縁部に進むに
従い徐々に薄肉になるよう形成した断面略菱形状の複数
のリング体２１．２１’を、中心軸を一致させて直列状
に貫挿させて構成されている。
間に架設された芯体２２に、中心部より周縁部に進むに
従い徐々に薄肉になるよう形成した断面略菱形状の複数
のリング体２１．２１’を、中心軸を一致させて直列状
に貫挿させて構成されている。
尚、該支持部材２３．２３’は、隣接するリング体２１
．２１°の側壁間でプレート１１上下両側端を点接触に
より保持する機能を有するものであるから、前記リング
体２１．２１’は必ずしも回転可能に心棒に軸支する必
要もなく、又芯体２２とリング体２１．２１’を別体に
構成する必要もないことはその機能からして当然である
。
．２１°の側壁間でプレート１１上下両側端を点接触に
より保持する機能を有するものであるから、前記リング
体２１．２１’は必ずしも回転可能に心棒に軸支する必
要もなく、又芯体２２とリング体２１．２１’を別体に
構成する必要もないことはその機能からして当然である
。
２５．２５°は丸棒状の止め軸で、前記支持部材２３，
２３°間に挟まれる空間部のプレーＨ１挿入方向終端側
の枠体２４，２４°間に、前記挿入方向と直交させて同
一垂直面上に上下に１本づつ架設されている。
２３°間に挟まれる空間部のプレーＨ１挿入方向終端側
の枠体２４，２４°間に、前記挿入方向と直交させて同
一垂直面上に上下に１本づつ架設されている。
かかるカートリッジ１２によれば、支持部材２３，２３
°がプレート１１が挿入可能な所定間隔だけ離間させて
上下に平行に配設されている為、該支持部材２３ 、２
３°の隣接するリング体２１．２１’間に方形のプレー
トｌｌをガタが生じることなく収納出来ると共に、プレ
ー）１１挿入方向終端側には止め軸２５．２５’が配設
されている為、プレート１１挿入時該プレート１１が反
挿入方向側に脱落することなく、所定位置に正確に収納
保持される。
°がプレート１１が挿入可能な所定間隔だけ離間させて
上下に平行に配設されている為、該支持部材２３ 、２
３°の隣接するリング体２１．２１’間に方形のプレー
トｌｌをガタが生じることなく収納出来ると共に、プレ
ー）１１挿入方向終端側には止め軸２５．２５’が配設
されている為、プレート１１挿入時該プレート１１が反
挿入方向側に脱落することなく、所定位置に正確に収納
保持される。
又、プレート１１反挿入方向側には一対の止め軸２５．
２５’が所定間隔離間して配置されているのみで開放状
態にある為、その開放部より後記押し出し部材等１８を
介してプレート１１を簡単に摺動抜出させることが出来
、未洗浄又は洗浄後のカートリッジ１２のいずれにも共
通して使用することができる。
２５’が所定間隔離間して配置されているのみで開放状
態にある為、その開放部より後記押し出し部材等１８を
介してプレート１１を簡単に摺動抜出させることが出来
、未洗浄又は洗浄後のカートリッジ１２のいずれにも共
通して使用することができる。
又、カートリッジ１２上側には支持部材２３が配設され
ているが、該支持部材２３は断面略菱形状のリング体２
１．２１’を直列に連結して形成されている為、当然の
如くカートリッジ１２上側は開放されており、該カート
リッジ１２上方に配設したシャワー等により洗浄水を散
布することにより簡単に予備洗浄を行なうことが出来る
。
ているが、該支持部材２３は断面略菱形状のリング体２
１．２１’を直列に連結して形成されている為、当然の
如くカートリッジ１２上側は開放されており、該カート
リッジ１２上方に配設したシャワー等により洗浄水を散
布することにより簡単に予備洗浄を行なうことが出来る
。
更にこのようなシャワー散布による予備洗浄を行なって
も、前記プレー）１１は支持部材２３，２３°間で空中
保持、即ち支持部材２３°下方と底板２６間には空間部
を有するため、シャワー散布により前記プレー）１１を
洗浄した洗浄水は直接支持部材２３．２３“下方にまで
落下し、底板２６を伝わって外部に流出することとなり
、プレート１１を支持する下側支持部材２３．２３’に
は全く溜まることがなく二次汚染を完全に防止出来る。
も、前記プレー）１１は支持部材２３，２３°間で空中
保持、即ち支持部材２３°下方と底板２６間には空間部
を有するため、シャワー散布により前記プレー）１１を
洗浄した洗浄水は直接支持部材２３．２３“下方にまで
落下し、底板２６を伝わって外部に流出することとなり
、プレート１１を支持する下側支持部材２３．２３’に
は全く溜まることがなく二次汚染を完全に防止出来る。
更に又、前記カートリッジ１２内に収納されたプレー）
１１は、隣接するリング体２１，２１°間と止め軸２５
、２５′とによる保持が点接触である為、これらのリ
ング体２１．２１’や止め軸２５．２５’はプレート１
１の側縁面にほとんど接触することがなく、従って洗浄
後の汚染物質を含む洗浄水がプレート１１側縁面に付着
することはない。
１１は、隣接するリング体２１，２１°間と止め軸２５
、２５′とによる保持が点接触である為、これらのリ
ング体２１．２１’や止め軸２５．２５’はプレート１
１の側縁面にほとんど接触することがなく、従って洗浄
後の汚染物質を含む洗浄水がプレート１１側縁面に付着
することはない。
第２図乃至第３図は前記カートリッジ１２を用いた、例
えばフォトマスク等の洗浄乾燥を行なう装置の概略構成
を示し、第２図は正面図、第３図は平面図である。
えばフォトマスク等の洗浄乾燥を行なう装置の概略構成
を示し、第２図は正面図、第３図は平面図である。
フォトマスク搬送経路Ａ−Ａ’に沿って直列状に配設さ
れた複数個のベルトコンベア１３ａ・・・の始端側と終
端側には、夫々間欠移動機構２８と連結された基台２９
が配設され、該基台２９上に未洗浄のフォトマスクを収
納するカートリッジ１２と、洗浄済のフォトマスクを収
納するカートリッジ１２゛が戴置固定されている。
れた複数個のベルトコンベア１３ａ・・・の始端側と終
端側には、夫々間欠移動機構２８と連結された基台２９
が配設され、該基台２９上に未洗浄のフォトマスクを収
納するカートリッジ１２と、洗浄済のフォトマスクを収
納するカートリッジ１２゛が戴置固定されている。
又未洗浄のフォトマスクを収納するカートリッジ１２上
方に″は予備洗浄を行なうシャワー散水装置３０が、更
にカートロンジ１２始端側の搬送経路Ａ−Ａ ’上には
先端Ｖ溝状の押し出し機構１８が夫々旧設され、前記間
欠移動機構２８と連動してカートリッジ１２を搬送経路
Ａ−Ａ’と直交方向に位置をずらしながら、押し出し機
構１８により予備洗浄されたフォトマスクがベルトコン
ベア１３ａ・・・上に順次押し出すことができる。
方に″は予備洗浄を行なうシャワー散水装置３０が、更
にカートロンジ１２始端側の搬送経路Ａ−Ａ ’上には
先端Ｖ溝状の押し出し機構１８が夫々旧設され、前記間
欠移動機構２８と連動してカートリッジ１２を搬送経路
Ａ−Ａ’と直交方向に位置をずらしながら、押し出し機
構１８により予備洗浄されたフォトマスクがベルトコン
ベア１３ａ・・・上に順次押し出すことができる。
そして前記ベルトコンベア１３ａ・・・始端側より、水
を噴出させるガイド部材１４ａからなる搬送機構１５ａ
、ブラッシン、グ機構１６、前記と搬送機構１５ａと
同様に構成された他の搬送機構１５ｂ 、シャワーノズ
ル機構１７、清浄空気を噴出させるガイド部材１４ｃ、
１４ｄからなる２連の乾燥兼用の搬送機構１５ｃ 。
を噴出させるガイド部材１４ａからなる搬送機構１５ａ
、ブラッシン、グ機構１６、前記と搬送機構１５ａと
同様に構成された他の搬送機構１５ｂ 、シャワーノズ
ル機構１７、清浄空気を噴出させるガイド部材１４ｃ、
１４ｄからなる２連の乾燥兼用の搬送機構１５ｃ 。
１５ｄが夫々ベルトコンベア１３ｃ、１３ｄの両側に各
一対づつ互いに対向させて配設されている。
一対づつ互いに対向させて配設されている。
又ベルトコンベア１３ｄの終端−側には、支点３３を介
して回動される回動部材１８が配設され、間欠移動機構
２８と連動させて洗浄乾燥後のフォトマスクを順次カー
トリッジ１２内に収納されるよう構成する。
して回動される回動部材１８が配設され、間欠移動機構
２８と連動させて洗浄乾燥後のフォトマスクを順次カー
トリッジ１２内に収納されるよう構成する。
次にかかる実施例の作用を簡単に説明すると、先づカー
トリッジ１２上方からシャワー散布により未洗怜のフォ
トマスク１１の予備洗浄を行なった後、間欠移動機構２
８と連動する押し出し機構１８をカートリッジ１２背側
の止め軸２５，２５°間よりカートリッジ１２内に挿入
し、前記フォトマスク１１をベルトコンベア１３ａ・・
・上に直立したまま順次押し出す。
トリッジ１２上方からシャワー散布により未洗怜のフォ
トマスク１１の予備洗浄を行なった後、間欠移動機構２
８と連動する押し出し機構１８をカートリッジ１２背側
の止め軸２５，２５°間よりカートリッジ１２内に挿入
し、前記フォトマスク１１をベルトコンベア１３ａ・・
・上に直立したまま順次押し出す。
ベルトコンベア１３ａ・・・上に押し出されたフォトマ
スク１１は第２図に示すようにベルトコンベア１３ａ上
部両側に配設されたガイド部材１４ａ、１４ｂより噴出
された水流によって直立が維持されたまま、ブラッシン
グ機構ＩＢとシャワーノズル機構１７により洗浄が行な
われ、その後清浄空気を噴出させるガイド部材１４ｃ、
１４ｄにより乾燥されながらベルトコンベア１３ｄ終端
まで移動する。
スク１１は第２図に示すようにベルトコンベア１３ａ上
部両側に配設されたガイド部材１４ａ、１４ｂより噴出
された水流によって直立が維持されたまま、ブラッシン
グ機構ＩＢとシャワーノズル機構１７により洗浄が行な
われ、その後清浄空気を噴出させるガイド部材１４ｃ、
１４ｄにより乾燥されながらベルトコンベア１３ｄ終端
まで移動する。
そして洗浄乾燥の終了したフォトマスク１１’は、間欠
移動機構２８と連動する回動部材！８により順次カート
リッジ１２内の所定位置に直立したまま平行に離間させ
て収納される。
移動機構２８と連動する回動部材！８により順次カート
リッジ１２内の所定位置に直立したまま平行に離間させ
て収納される。
この際、該カートリッジ１２のフォトマスク１１゜挿入
方向終端に止め軸２５．２５’が挿入方向と直交して配
置している為、所定位置にきっちり収納させることがで
き、且つ前記フォトマスク１１°は点接触により空中保
持されている為、二次汚染の恐れを完全に解消出来る。
方向終端に止め軸２５．２５’が挿入方向と直交して配
置している為、所定位置にきっちり収納させることがで
き、且つ前記フォトマスク１１°は点接触により空中保
持されている為、二次汚染の恐れを完全に解消出来る。
「発明の効果」
以上記載の如く本発明によれば、フォトマスク等のプレ
ートを前記支持部材のリング体間と止め軸とにより、点
接触により所定位置に空中保持させて収納することが出
来、洗、浄後の二次汚染を完全に防止出来る。
ートを前記支持部材のリング体間と止め軸とにより、点
接触により所定位置に空中保持させて収納することが出
来、洗、浄後の二次汚染を完全に防止出来る。
又、支持部材が配設された上方は開放状態にある為、洗
浄前においてシャワー散布により予備洗浄を行ない、常
にプレートを濡らして置くことが出来る為、乾燥により
ゴミ等がプレート表面に固着することはない。
浄前においてシャワー散布により予備洗浄を行ない、常
にプレートを濡らして置くことが出来る為、乾燥により
ゴミ等がプレート表面に固着することはない。
更にこのような予備洗浄を行なっても、前記プレートは
支持部材間で空中保持されている為、シャワー散布によ
り前記プレートを洗浄した洗浄水は直接支持部材下方に
まで落下し、前記プレー）１１を支持する支持部材上に
溜まることがなく、予備洗浄により除去されたゴミがプ
レート側端部等に再付着する恐れは全くない。
支持部材間で空中保持されている為、シャワー散布によ
り前記プレートを洗浄した洗浄水は直接支持部材下方に
まで落下し、前記プレー）１１を支持する支持部材上に
溜まることがなく、予備洗浄により除去されたゴミがプ
レート側端部等に再付着する恐れは全くない。
第１図は本発明の実施例に係るカートリッジ１２を示す
斜視図である。第２図乃至第３図は前記カートリッジ１
２を用いた洗浄乾燥装置の概略構成を示し、第２図は正
面図、第３図は平面図である。 第４図は従来技術に係るカートリッジ１２を示す斜視図
である。 ｌｌニブレート、１２：カートリッジ。 ２１．２１’ ：リング体 ２３，２３°：支持部材、
２５．２５°：止め軸 第４！？１ 手続補正書 昭和５８年６月２０日 特許庁長官 若杉和夫殿 １、事件の表示 昭和５９年特許願第７０２’３Ｃ’７号２、発明の名称 主として洗節乾燥装置に使用するカートリッジ３、補正
をする者 事件との関係 特許出願人 住所 神奈川県厚木市愛甲字田谷１２１２番地１名称（
氏名） 呉船産業株式会社 ４、代理人 〒１０４ 廿５５２−２５４４６、補正の
対象 図面（浄書） ７、補正の内容 別紙の通り（内容に変更なし。）
斜視図である。第２図乃至第３図は前記カートリッジ１
２を用いた洗浄乾燥装置の概略構成を示し、第２図は正
面図、第３図は平面図である。 第４図は従来技術に係るカートリッジ１２を示す斜視図
である。 ｌｌニブレート、１２：カートリッジ。 ２１．２１’ ：リング体 ２３，２３°：支持部材、
２５．２５°：止め軸 第４！？１ 手続補正書 昭和５８年６月２０日 特許庁長官 若杉和夫殿 １、事件の表示 昭和５９年特許願第７０２’３Ｃ’７号２、発明の名称 主として洗節乾燥装置に使用するカートリッジ３、補正
をする者 事件との関係 特許出願人 住所 神奈川県厚木市愛甲字田谷１２１２番地１名称（
氏名） 呉船産業株式会社 ４、代理人 〒１０４ 廿５５２−２５４４６、補正の
対象 図面（浄書） ７、補正の内容 別紙の通り（内容に変更なし。）
Claims (1)
- 半導体製造用フォトマスク、レチクル、ウェハー等の方
形のプレートを離間させて平行に配設収納するカートリ
ッジにおいて、中心部より周縁部に進むに従い徐々に薄
肉になるよう形成した複数のリング体を直列状に配設し
た支持部材と、棒状の止め軸と、これらを所定位置に保
持する一対の枠体とを有し、平行に配した枠体の上下両
側にプレートが支持可能な所定間隔だけ離間させて前記
支持部材を平行に夫々複数個づつ配設すると共に、プレ
ート挿入方向終端側に該挿入方向と直交させて前記止め
軸を配設したことを特徴とするカートリッジ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10236784A JPS6012736A (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 主として洗浄乾燥装置に使用するカ−トリツジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10236784A JPS6012736A (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 主として洗浄乾燥装置に使用するカ−トリツジ |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55054870A Division JPS6028385B2 (ja) | 1980-04-26 | 1980-04-26 | 洗浄乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6012736A true JPS6012736A (ja) | 1985-01-23 |
| JPS6339484B2 JPS6339484B2 (ja) | 1988-08-05 |
Family
ID=14325485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10236784A Granted JPS6012736A (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 主として洗浄乾燥装置に使用するカ−トリツジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6012736A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4723088A (en) * | 1985-03-29 | 1988-02-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Support members for the mask frame of a CRT |
| US4728853A (en) * | 1985-06-27 | 1988-03-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Color picture tube with support arrangement for a rectangular shadow mask |
| JPH01155249U (ja) * | 1988-04-07 | 1989-10-25 | ||
| JP2007100889A (ja) * | 2005-10-06 | 2007-04-19 | Bridgestone Corp | ストラットマウント |
| JP2008240884A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Kokoku Intech Co Ltd | 防振支持部材及び自動車用部品ユニット支持装置 |
-
1984
- 1984-05-21 JP JP10236784A patent/JPS6012736A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4723088A (en) * | 1985-03-29 | 1988-02-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Support members for the mask frame of a CRT |
| US4728853A (en) * | 1985-06-27 | 1988-03-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Color picture tube with support arrangement for a rectangular shadow mask |
| JPH01155249U (ja) * | 1988-04-07 | 1989-10-25 | ||
| JP2007100889A (ja) * | 2005-10-06 | 2007-04-19 | Bridgestone Corp | ストラットマウント |
| JP2008240884A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Kokoku Intech Co Ltd | 防振支持部材及び自動車用部品ユニット支持装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6339484B2 (ja) | 1988-08-05 |
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