JPS60124207A - 多層セラミックグリ−ンシ−トの製造装置およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は多層セラミックグリーンシートを製造する装
置および多層セラミックグリーンシートを製造する方法
に関する。

（従来技術） セラミックグリーンシートを用いて完成した製品として
たとえば積層コンデンサがある。この積層コンデンサを
製造するときに用いるセラミックグリーンシフトを作る
方法としては、ドクターブレード法とスクリーン印刷法
の２つに大別することができる。

このうち、ドクターブレード法の場合、いままで各単位
シートのセラミックグリーンシートを作成していた。し
たがって多層積層体を作るには１枚１枚セラミックグリ
ーンシートを積み重ねており、連続して多層状にする有
用な方法はいままで見られなかった。

またスクリーン印刷法の場合、誘電体のセラミックペー
ストをシルクスクリーンにより印刷してセラミックグリ
ーンシートを作成し、この上に内部電極となる導電ペー
ストを印刷するという工程を繰り返ずものである。しか
しながら、この方法ではスクリーンを用いるため、誘電
体のセラミックグリーンシートにはスクリーンの網目の
跡がそのまま凹凸模様となってのこるという問題があっ
た。またスクリーン印刷法ではセラミックペーストを印
刷し、その上に内部電極となる導電ペーストを印刷する
工程を繰り返えしているが、内部電極の厚み分だけセラ
ミックグリーンシートとの間に段差が発生し、段差によ
ってデラミネーションが発生する原因となっていた。

したがって、デラミネーションの発生を防止するためセ
ラックグリーンシートのレベルを平坦にする必要があり
、内部電極の厚みに相当する厚み分だ【プセラミックペ
ーストを印刷づる工程が余分に必要であった。またセラ
ミックペーストを印刷する位置がズレるとさらに段差を
発生させるなどの不都合があった。

さらにスクリーン印刷法によれば、セラミックグリーン
シートの厚みの精度が悪く、所定の厚みのものが得られ
なかった。さらに伯の問題として、スクリーンの網目に
異物がつまるとその個所がピンホールとなり、各層のセ
ラミックグリーンシー１への同じ個所にビンボールが形
成されてしまい、積層コンデンサを作成したとき内部電
極同志の短絡が発生するおそれもあった。

（発明の目的） したがって、この発明は均質で均一な厚みのセラミック
グリーンシートを多層状に得る製造装置およびその製造
方法を提供することを目的とする。

またこの発明は多層状のセラミックグリーンシートを連
続した一連の工程で得られる製造装置およびその製造方
法を提供することを目的とする。

（発明の構成）　１ すなわち、この発明にかかる多層セラミックグリーンシ
ー１への製造装置の要旨とするところは、無端状の走行
ベルトと、 ドクターブレードを有する本体とからなり、前記ドクタ
ーブレードを有する本体は、走行ベルトに対し該走行ベ
ルトの移動が可能な状態でかつそれ自身静止した状態で
走行へルーへに乗せられでいるとともに、走行ベルトが
走＋ｊｌる接触部を有しており、 前記ドクターブレードを有する本体の接触部はドクター
ブレードを有する本体の底面より走行ベル１〜側に突出
しており、接触部がドクターブレードを有する本体の底
面より突出した間隔は少なくともセラミックグリーンシ
ートの厚みにくらべて大きいことを特徴とするものであ
る。

また多層セラミックグリーンシートの製造方法の要旨と
づるところは、 無端状の走行ベルトと、 ドクターブレードを有する本体とからなり、前記ドクタ
ーブレードを有する本体は、走行ベル１−に対して該走
行ベルトの移動が可能な状態で沫 前記ドクターブレードを有する本体の外ドクタ−ブレー
ドからセラミックスラリ−を無端状の走行ベルト上に供
給することにより、走行ベルト上に塗布してセラミック
グリーンシートを形成し、走行ベル１〜上に形成したセ
ラミックグリーンシートの始端がドクタブレードを有す
る本体の位置に戻ってきたとき、前記ドクターブレード
を有する本体の接触部がセラミックグリーンシートの上
に乗り上げ、さらにドクターブレードからセラミ先 ツクスラリーを光に形成されたセラミックグリーンシー
トの上に供給してさらに他のセラミックグリーンシート
を形成し、セラミックグリーンシートを順次積み重ねて
多層状とすることを特徴とするものである。

（実施例） 以下、この発明の実施例について図面を参照しながら詳
細に説明する。

第１図はこの発明の製造装置の一例を示す概略側面図で
ある。

図において、１は無端状の走行ベルトであり、両端には
ローラ２ａ、２ｂがあり、駆動源（図示せず）により回
転するローラ、好ましくは図示上左側の１コーラ２ａの
回転によって走行ベルト　１は矢印ａ方向に移動する。

走行ベルト　１の上面の裏側には台板３が配回されてお
り、走行ベル１〜１を支持する＆ とともに走行ベルト　１の垂れ下がり防止している。

４は走行ベルト　１の上面に対向して配置された乾燥部
であり、後述するドクターブレードを有する水体の部分
で形成され、走行ベルト　１で移送されてきたセラミッ
クグリーンシートを乾燥する役割を果たす。５はドクタ
ーブレードを有する本体であり、この本体５はドクター
ブレード６と走行ベルト　１が移動するとき接触部とな
る車輪７を有ずル る。ドクターブレード６の下方先端と走行ベルトとの間
にはギャップＧが形成されている。８はセ、ラミックス
ラリーを貯蔵する空間である。図示した状態から明らか
なように、本体５は走行ベルト金 １上に乗せられており、この本体５は車輪を有するため
走行ベルト　１の移動を可能にするとともに、ス］ヘツ
パ９により走行ベルト　１の移動に対して静止している
。走行ベルト　１を介して本体５と対向する下側には、
吸引台１０が配置されている。この吸引台１０は走行ベ
ルト　１のたるみを防止し平面状とするためのものであ
り、真空系（図示せず）などにより走行ベルト　１を図
示状態で吸引台１０側へ引きつける役割を果たす。この
とき吸引台１０の走行ベルト　１を吸引する力は走行ベ
ル１〜１の移動を妨害しない程度に設定される。

第２図（ａ＞は第１図に示したドクターブレードを有す
る本体５を拡大した一部断面側面図、第２図（１＋）４
ａ第２図（ａ）の１−１線に沿う断面図である。

図において、第１図に対応づる部分は同一番号を付して
おり、づでに第１図について説明した部分については詳
細な説明を省略する。その他の部分について説明すれば
、５ａはドクターブレードを有する本体５の底面、１１
は空間８に貯蔵されている。レミックスラリー、Ｉｌａ
はドクターブレード６から走行ベルト　１上に供給され
たレラミックスラリー、１２は走行ベルト　１上に形成
され乾燥部４で乾燥されたセラミックグリーンシートで
ある。

車輪７は本体５の底面５ａより走ｔｉベル１−１側に突
出しており、その突出間隔ｔ１は少なくともセラミック
グリーンシート１２の厚みｔ２より大きくなるように設
定されている。

この第２図（ａ）、（ｂ）および第３図〜第４図に従っ
て、多層セラミックグリーンシーｌ−の製造方法につい
て説明する。

ドクターブレード６を有する本体５の空間８に貯蔵され
ているセラミックスラリ−１１は走行ベルト　１の矢印
ａ方向の移動に伴って走行ベルト　１上に供給され、ド
クターブレード６と走行ベルト　１の間に存在するギャ
ップＧに相当する厚みを有するセラミックスラリ−１１
ａｔｆｉ！布され、そののちだ１図に示した乾燥部４で
乾燥されてセラミックグリーンシート１２が走行ベルト
　１−１：に形成される。

走行ベルト　１の移動を続けると、走行ベル１〜１は無
端状であるから、本体５が静止している位置に戻ってく
る。第３図は走行ベル１−１上に形成されたセラミック
グリーンシート１２の始端１２ａが本体５の位置に戻っ
てぎたときの状態を示したものである。本体５ａの底面
と口の底面５ａから突出している車輪７の突出間隔ｔ１
とセラミックグリーンシート１２ａの厚みｔ２の関係は
【ｌ＞ｔ２であるから、セラミックグリーンシート１２
の始端１２ａは本体５の底面５ａと接触することなく、
本体５の底面５ａの下に移動する。そして走行ベルト　
１の移動に伴って、本体５の車輪７は滑らかな曲面を有
するから、セラミックグリーンシート１２の厚み１１分
の段差を乗り上げ、セラミックグリーンシート１２は本
体５の下面を通過することになる。このとき、走行ベル
ト　１は吸引台１０の位置に対応しており、吸引台１０
は走行ベルト　１を図示した状態で、つまり下側の方向
に吸引しているから、走行ベルト　１およびその上に形
成されているセラミックグリーンシート１２を平面状に
保持する。そして走行ベルト　１の移動が続くと、ドク
ターブレード６の位置に達つしたとき、セラミックスラ
リ−１１ａが供給され、先に形成されていたセラミック
グリーンシート１２の上に上述したと同様の態様でセラ
ミックグリーンシート１２がさらに形成されることにな
る。

第４図はその形成状態を示したものである。

以上の工程は２層のセラミックグリーンシートを形成す
る工程について説明したが、さらに走行ベルト　１の移
動を続けることによって、任意の層からなる多層状のセ
ラミックグリーンシートを製造することができる。

上記した実施例では走行ベルト　１との接触部となる車
輪７が４輪の場合を示したが、２輪、６輪など偶数輪で
あれば、その数は限定されない。また車輪７は第２図（
ｂ）から明らかなように、セラミックグリーンシートの
幅方向の両端縁に位置する方が好ましい。

第５図はドクターブレードを有する本体の他の例を示す
一部断面側面図である。第２図（ａ）、（ｂ）において
先にドクターブレードを有する本体について詳細に説明
したが、第５図において第２図（ａ　）、（ｂ）と対応
する部分は同一番号を付して説明を省略する。第２図＜
ａ　＞、（ｂ）との大きな相違点は本体５に設けた車輪
７に代え、接触部としてソリ１３を設けたものである。

このソリ１３の材質としては走行ベルト　１ならびにセ
ラミックグリーンシート１２との摩擦が少ないものが選
ばれる。たとえばソリ１３の材質としてはテフロン（商
品名）、ナイロンが好ましい。本体５の底面５ａから突
出しているソリ１３の厚みｔｌは少なくともセラミック
グリーンシート１２の厚みｔ２より大きくなるように設
定されている。またソリ１３の端部底面１３ａは丸味を
帯びるように曲面状に形成されており、第３図で示した
と同様に、走行ベルト１上に形成されたセラミックグリ
ーンシート１２の始端１２ａが本体５の位置に戻ってき
たとき、ソリ１３ががセラミックグリーンシート１２を
剥ぎ取らずに乗り上げるようになる。

第５図に示したように、ドクターブレードを有する本体
５は走行ベルト　１上に走行ベルト１の走行に抗してス
トッパ９により静止されており、上述したと同様にセラ
ミックスラリ−１１の供給をつづ番プれば多層セラミッ
クグリーンシートを製造す上述した各実施例では接触部
として車輪７またはソリ１３を用いたがこれに限定され
ることはない。

云い換えれば、セラミックグリーンシートの始端に乗り
上げることができるように、セラミックグリーンシート
の始端と接触する部分を曲面状とした接触部を用いれば
よい。

第６図は多層セラミックグリーンシートの製造装置の他
の実施例を示した概略側面図である。

図示した実施例は積層コンデンサを製造する際に好適な
装置を示したものである。

図において、第１図との相違点を走行ベルト　１の移動
方向ａに沿って説明すれば、１４ａ　、１４ｂは走行ベ
ルト　１を連続的に移動させる駆動ローラである。この
場合ローラ１４ａ　、１４ｂのうち少なくとも一方が走
行ベルト　１を移動させる駆動源であればよい。１５は
走行ベルト　１に下方に応力を加える０−ラであり、こ
の０−５１５には重り１６が吊下げられている。１７は
送りローラ、１８は導電ペーストの印刷装置であり、走
行ベルト　１上に形成されたセラミックグリーンシート
（図示せず）に積層コンデンサの内部電極に相当する導
電ペーストを印刷形成するものである。１９は走行ベル
ト　１およびその上に形成されているセラミックグリー
ンシートのたるみを防止し平面状とするための吸引台で
ある。２０はセラミックグリーンシート上に形成された
導電ペーストを乾燥する乾燥部である。なおローラ２ａ
は印刷装置１８によりセラミックグリーンシート上に導
電ペーストを印刷するときセラミツν） フグリーンシートが一時算に静止するように断続的に回
転する。

次にこの製造装置を用いて多層セラミックグリーンシー
トを形成する方法を説明する。

ドクターブレード６からセラミックスラリ−を走行ベル
ト　１上に供給する。走行ベルト　１上に塗布されたセ
ラミックスラリ−は乾燥部４により乾燥されセラミック
グリーンシート（図示せず）となる。このセラミックグ
リーンシートは走行ベルト１の矢印ａ方向に沿う移動に
伴って駆動ローラー４ａ　、　１４ｂの位置に達する。

駆動Ｏ−ラ１４ａ　、　１４ｂを通過したセラミックグ
リーンシートは重り１６によって加重が加えられている
ローラー５によって引っ張られ、走行ベルト１およびセ
ラミックグリーンシートのたるみを防止する。そして走
行ベルト１およびセラミックグリーンシートは駆動ロー
ラ２ａにより断続的に送られながら送りローラー１を経
て印刷装置１８の下方に位置する。このとき走行ベル１
−１およびセラミックグリーンシートは吸引台１９によ
り下方へ吸引され、たるみが防止されるととしに平面状
に設定される。Ｏ−ラ２ａの断続的な回転が停止してい
るときと同期して、印刷装置１８がセラミックグリーン
シート上に所定形状の導電ペーストを印刷する。印刷が
終ったのちにローラ２ａが回転駆動し、走行ベルト　１
およびセラミックグリーンシートをさらに矢印ａ方向へ
移動させる。

表面に導電ベーストを印刷したセラミックグリーンシー
トは走行ベルト　１の移動に伴って、ローラ２ａ通過後
乾燥部２０に達する。このとき導電ペーストは乾燥部２
０により乾燥される。上述した導電ペーストの印刷は断
続的に繰り返えされ、導電べ一り ストを印刷を終えたセラミックグリーンシートは本体５
の位置に戻り、セラミックグリーンシートの上にさらに
他のセラミックグリーンシートが形成されることになる
。このあたりの工程はすでに第２図〜第４図にもとづい
て説明した例と同様にして形成される。このようにして
乾燥した導電ペーストの層を間に介在させた２枚のセラ
ミックグリーンシートの表面には、すでに上述したよう
に、さらに印刷装置１８により導電ペーストを印刷する
工程に付され、内部電極に相当する導電ペーストの層が
形成されることになる。このようにして順次に導電ペー
ストの層を間に介在させた多層セラミックグリーンシー
トが製造されることになる。

このようにして得られた多層セラミックグリーンシート
は単一の積層コンデンサを得るために積み重ねた厚み方
向に切断され、焼成工程に付される。

なお、上述した実施例では印刷装［１８により導電ペー
ストが印刷されたが、この他その他の電子材料ペースト
、たとえば抵抗ペーストを印刷するｒとも■膨であるー また車輪７がドクターブレードを有する本体５の底面５
ａから突出づる間隔は、セラミックグリーンシートと導
電ペーストの厚みを加えた厚みより大きくなるように設
定させることはもちろんである。

さらに車輪７の代わりに第５図で示したようなソリ１３
を接触部として構成してもよい。云い換えれば、セラミ
ックグリーンシートの始端と接触する部分を曲面状とし
た接触部を用いればよい。

（発明の効果） 以上の各実施例から明らかなようにこの発明によれば、
多層状のセラミックグリーンシートを連続〜的に製造す
ることができる。またドクターブレードのギャップを設
定することによって所定の厚みを有するセラミックグリ
ーンシートが得られ、しかも従来のようにスクリーン印
刷する場合にくらべ網目が形成されたり網目の目詰まり
によるピンホールの発生がなく均質なセラミックグリー
ンシートが得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にかかる多層セラミックグリーンシー
トの製造装置の一例を示１概略側面図である。 第２図（ａ）、（ｂ）はドクターブレードを有する本体
を拡大した図であり、（ａ）は一部面面側面図、（ｂ）
は（ａ）の１−１線に沿う断面図である。 第３図〜第４図は多層セラミックグリーンシートの製造
過程を説明するためにドクターブレードを有する本体を
示した一部断面側面図である。 第５図はドクターブレードを有する本体の他の例を示す
一部断面側面図である。 第６図は多層セラミックグリーンシー１への製造装置の
他の実施例を示す概略側面図である。 １は無端状の走行ベルト、２ａ１２ｂはローラ、５はド
クターブレードを有する本体、６はドクターブレード、
７は車輪、１２はセラミックグリーンシート、１３はソ
リ。 特　許　出　願　人 株式会社村田製作所

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）無端状の走行ベルトと、 ドクターブレードを有する本体とからなり、前記ドクタ
   ーブレードを有する本体は、走行ベルトに対して該走行
   ベルトの移動が可能な状態でかつそれ自身静止した状態
   で走行ベルトに乗せられているとともに、走行ベルトが
   走行する接触部を有しており、 前記ドクターブレードを有する本体の接触部はドクター
   ブレードを有する本体の底面より走行ベルト側に突出し
   ており、接触部がドクターブレー〇 ドを有する本体底面より突出した間隔は少なくともセラ
   ミックグリーンシートの厚みにくらべて大きいことを特
   徴とする多層セラミックグリーンシートの製造装置。
2. （２）無端状の走行ベルトと、 ドクターブレードを有する本体とからなり、前記ドクタ
   ーブレードを有する本体は、走行ベルトに対して該走行
   ベルトの移動が可能な状態でかつそれ自身静止した状態
   で走行ベルトに乗せられているとともに、走行ベルトが
   走行する接触部を有しており、 前記ドクターブレードを有する本体の該ドクターブレー
   ドからセラミックスラリ−を無端状の走行ベルト上に供
   給することにより、走行ベルト上に塗布してセラミック
   グリーンシートを形成し、走行ベルト上に形成したセラ
   ミックグリーンシー］〜の始端がドクターブレードを有
   する本体の位置に戻ってきたとき、前記ドクターブレー
   ドを有する本体の接触部がセラミックグリーンシートの
   上に乗り上げ、さらにドクターブレードからセラ先 ミックスラリ−を光に形成されたセラミックグリーンシ
   ートの上に供給してさらに他のセラミックグリーンシー
   トを形成し、セラミックグリーンシートを順次積み重ね
   て多層状とすることを特徴とする多層セラミックグリー
   ンシートの製造方法。