JPS60121478U - 電子ビ−ム加工機 - Google Patents

電子ビ−ム加工機

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Publication number
JPS60121478U
JPS60121478U JP747384U JP747384U JPS60121478U JP S60121478 U JPS60121478 U JP S60121478U JP 747384 U JP747384 U JP 747384U JP 747384 U JP747384 U JP 747384U JP S60121478 U JPS60121478 U JP S60121478U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electron beam
processing machine
processing chamber
beam processing
exhaust pipe
Prior art date
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Pending
Application number
JP747384U
Other languages
English (en)
Inventor
塩野　薫
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
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Publication of JPS60121478U publication Critical patent/JPS60121478U/ja
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  • Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置の要部を示す概略図、第２図は従来装
置を説明するための図、第３図は本考案の一実施例装置
の要部を宗す概略図、第４図は本考案を説明するための
図である。 １：加〒室、２：排気管、３：リーク弁、４゜５：加工
材、６：電子ビーム、７：防止板、８ニスバツタ、９：
リーク流、１０：リークパイプ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空ポンプにより排気管を介して排気される加工室と、
    該加工室内に配置される加工材に電子ビームを照射する
    装置において、該加工室と真空ポンプとを接続する排気
    管に該加工室を大気圧にリークするためのり−ク弁を設
    けたことを特徴とする電子ビーム加工機。
JP747384U 1984-01-23 1984-01-23 電子ビ−ム加工機 Pending JPS60121478U (ja)

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JP747384U JPS60121478U (ja) 1984-01-23 1984-01-23 電子ビ−ム加工機

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JP747384U JPS60121478U (ja) 1984-01-23 1984-01-23 電子ビ−ム加工機

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JPS60121478U true JPS60121478U (ja) 1985-08-16

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JP747384U Pending JPS60121478U (ja) 1984-01-23 1984-01-23 電子ビ−ム加工機

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