JPS60111309A - 垂直記録用単磁極型磁気ヘツド - Google Patents
垂直記録用単磁極型磁気ヘツドInfo
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- JPS60111309A JPS60111309A JP21906483A JP21906483A JPS60111309A JP S60111309 A JPS60111309 A JP S60111309A JP 21906483 A JP21906483 A JP 21906483A JP 21906483 A JP21906483 A JP 21906483A JP S60111309 A JPS60111309 A JP S60111309A
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- pole
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- magnetic pole
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、磁気記録媒体の厚さ方向即ち垂直方向の磁束
変化により磁気記録再生するための垂直記録用単磁極型
磁気・\ノドに関するものである。
変化により磁気記録再生するための垂直記録用単磁極型
磁気・\ノドに関するものである。
背景技術とその問題点
従来、晶密度記録即ち短波長記録を目指し、磁気記録媒
体の厚さ方向即ち垂直方向の磁束変化により磁気記録再
生する垂直記録用単磁極型磁気ヘッドとして第1図にボ
ずものが提案されている。
体の厚さ方向即ち垂直方向の磁束変化により磁気記録再
生する垂直記録用単磁極型磁気ヘッドとして第1図にボ
ずものが提案されている。
この第1図において、+11は軟質磁性材料薄膜によっ
て形成きれた主磁極を不し、この主磁極(1)は主磁極
+11周囲に巻装されたコイル(2)の励磁電流の変化
により磁気記録媒体の垂直記録rfj4(図示せず)に
対し垂直方向の磁束を通し、磁気記録媒体に対接する例
の一端(la)から図面上方に向かう垂直方向磁束が磁
気記録媒体に向かい磁気記録が行われることになる。ま
た、再生モードにあっては磁気記録媒体の残留磁気によ
り主磁極(1a)から主磁極他端に向かう磁束が得られ
、この磁束の変化によりコイ刀べ2)に所定の電流が流
れ磁気記録されていた情報が電気信号として取り出され
る。このような電磁変換により垂直磁気記録再生がなさ
れる。
て形成きれた主磁極を不し、この主磁極(1)は主磁極
+11周囲に巻装されたコイル(2)の励磁電流の変化
により磁気記録媒体の垂直記録rfj4(図示せず)に
対し垂直方向の磁束を通し、磁気記録媒体に対接する例
の一端(la)から図面上方に向かう垂直方向磁束が磁
気記録媒体に向かい磁気記録が行われることになる。ま
た、再生モードにあっては磁気記録媒体の残留磁気によ
り主磁極(1a)から主磁極他端に向かう磁束が得られ
、この磁束の変化によりコイ刀べ2)に所定の電流が流
れ磁気記録されていた情報が電気信号として取り出され
る。このような電磁変換により垂直磁気記録再生がなさ
れる。
また、(3a)及び(3b)は主磁極(11の磁気記録
媒体対接側の一端(1a)近傍を所定幅保護する一対の
非磁性ガード材を示し、この非磁性ガード材(3a)及
び(3b)で主磁極(11の一端が挟持されると共に磁
気記録媒体対接面Sが形成されている。
媒体対接側の一端(1a)近傍を所定幅保護する一対の
非磁性ガード材を示し、この非磁性ガード材(3a)及
び(3b)で主磁極(11の一端が挟持されると共に磁
気記録媒体対接面Sが形成されている。
また、(4)及び(5)はそれぞれ磁性フェライト等の
磁性材により形成された磁性材部を示し、この磁性材部
(4)及び(5)には、主磁極+11に磁気的に接合さ
れコイル(2)が巻装される補助磁極部(4a)及び(
5a)、主磁極(1)の磁束のリターンパスとなるリタ
ーンパス部(4b)及び(5b) 、補助磁極部(4a
)とリターンパス部(4b)とを分割すると共にコイル
(2)の巻装に供する溝部(4c) 、補助磁極部(5
a)とリターンパス部(5b)とを分割すると共にコイ
ル(2)の巻装に供するための溝部よりなっζいる。−
また、非磁性ガード材(3a)と磁性材部(4)との接
合界面をI)I、非磁性ガード材(3b)と磁性材部(
5)との接合界面をb2としたとき、これら接合界面b
1とb2は、それぞれ補助磁極部(4a)及び(5a)
め尖端部を通り仮想的に形成される主磁極filと直交
する平面S1より、主磁極(1)から離れるにしたがっ
て第1図の下側に後退するように形成されている。これ
により、非磁性ガード材(3a)及び(3b)を、非磁
性ガード材(3a) (3h)及び補助磁極部(4a)
(5a)の強度上支障がないようにして薄くでき周囲
にコイルが巻装されない主磁極(11先端の長さLmを
短くできた。そのため垂直方向の磁束密度を高めること
ができるのでががる構成により消費電力が少なくζ済め
記録再生効率を高めることができた。
磁性材により形成された磁性材部を示し、この磁性材部
(4)及び(5)には、主磁極+11に磁気的に接合さ
れコイル(2)が巻装される補助磁極部(4a)及び(
5a)、主磁極(1)の磁束のリターンパスとなるリタ
ーンパス部(4b)及び(5b) 、補助磁極部(4a
)とリターンパス部(4b)とを分割すると共にコイル
(2)の巻装に供する溝部(4c) 、補助磁極部(5
a)とリターンパス部(5b)とを分割すると共にコイ
ル(2)の巻装に供するための溝部よりなっζいる。−
また、非磁性ガード材(3a)と磁性材部(4)との接
合界面をI)I、非磁性ガード材(3b)と磁性材部(
5)との接合界面をb2としたとき、これら接合界面b
1とb2は、それぞれ補助磁極部(4a)及び(5a)
め尖端部を通り仮想的に形成される主磁極filと直交
する平面S1より、主磁極(1)から離れるにしたがっ
て第1図の下側に後退するように形成されている。これ
により、非磁性ガード材(3a)及び(3b)を、非磁
性ガード材(3a) (3h)及び補助磁極部(4a)
(5a)の強度上支障がないようにして薄くでき周囲
にコイルが巻装されない主磁極(11先端の長さLmを
短くできた。そのため垂直方向の磁束密度を高めること
ができるのでががる構成により消費電力が少なくζ済め
記録再生効率を高めることができた。
このように構成された従来の垂直記録用単磁極型磁気ヘ
ッドによれば、磁気記録媒体の厚さ方向即ち垂直方向の
磁束の変化により垂直記録層に磁気記録再生できること
になるので、磁気記録媒体に長手方向記録より高密度に
記録することができた。
ッドによれば、磁気記録媒体の厚さ方向即ち垂直方向の
磁束の変化により垂直記録層に磁気記録再生できること
になるので、磁気記録媒体に長手方向記録より高密度に
記録することができた。
次に、第2図を参照してこの垂直記録用単磁極型磁気ヘ
ッドを用いて自己録再したときの再生波長の特性につき
検討する。(6)は主磁極(11の膜厚Tm= 0.4
pm (第3図参照)、トラック幅50μm、磁気記録
媒体と磁気ヘッドとの相対速度31Il/sec、コイ
ルの巻線数30ターンとして、再生時の記録波長と再生
電圧との関係をボずグラフであり、このグラフ(6)か
ら主磁極(11の膜JgTmの約1.3倍の記録波長0
.5μmで再生した場合に零点が生ずることがわかる。
ッドを用いて自己録再したときの再生波長の特性につき
検討する。(6)は主磁極(11の膜厚Tm= 0.4
pm (第3図参照)、トラック幅50μm、磁気記録
媒体と磁気ヘッドとの相対速度31Il/sec、コイ
ルの巻線数30ターンとして、再生時の記録波長と再生
電圧との関係をボずグラフであり、このグラフ(6)か
ら主磁極(11の膜JgTmの約1.3倍の記録波長0
.5μmで再生した場合に零点が生ずることがわかる。
この窪みは、主磁極(11の股厚Tl11が有限厚さで
あるため生ずる損失でリング型磁気ヘッドのギャップ損
失と同類のものである。それゆえ、より短波長にて再生
するために、まず主磁極厚さTmを薄くする方法が考え
られたが、単にTmを薄くすると磁気抵抗が大きくなり
記録感度及び再生感度がtUt くなる問題を生じた。
あるため生ずる損失でリング型磁気ヘッドのギャップ損
失と同類のものである。それゆえ、より短波長にて再生
するために、まず主磁極厚さTmを薄くする方法が考え
られたが、単にTmを薄くすると磁気抵抗が大きくなり
記録感度及び再生感度がtUt くなる問題を生じた。
そのため、記録再生感度を向上させるのに主磁極先端長
Lmをさらに短くすることも考えられたが、主磁極先端
長Lmを短くすると今度は、補助磁極部(4a) 、(
5a)があルタメ、この補助磁極部(4a) (5a)
のエツジ部分0の磁界による悪影響が生じた。この問題
は、主磁極+11の先端長Lmを短くしたらそれと同じ
比率で補助磁極部(4a) 、、(5a)の先端幅Lf
を短くすることにより解決された。これはこのエツジ部
分の磁界による悪影響はそれぞれの長さの絶対値でなく
、Lm/ Lf、即ち、両者の相対比で影響の程度が決
まることによった。しかし、害際に垂直記録用単磁極型
研気ヘッドの+M造をするに際し、主磁極(11先端長
Lmを短くするには限界があった。これは、例えば非磁
性ガード材の巻線用溝の部分の厚さをほぼ主磁極先端に
1.mに等しクシ′ζおく必要性があり、機械的強度の
点から限界があるためだった。ところで、磁性フェライ
トの飽和磁束密度Bsは5000ガウス程度であり、一
方、例えば主磁極+11を形成するCO7Zrアモルフ
ァス股の飽和磁束密度Bsは15000ガウス程度であ
るから、かかる主磁極+11の173程度である。その
ため、補助磁極部(11の先端幅Lfを小ざくしていく
と主磁極(1)力<aVtい場合、記録再生感度が悪い
ため、フェライト補助コアからの励磁界だけでは主磁極
(1)を充分に励磁できなくなってくる。そのため、第
4図に示すように主磁極+11を先端から少し後退した
位置以後の部分を厚くすることが提案されζいる。かか
る構成では、主磁極(1)を充分に励磁できるようにな
った。ここで(1a)は絶縁材料よりなる枕材である。
Lmをさらに短くすることも考えられたが、主磁極先端
長Lmを短くすると今度は、補助磁極部(4a) 、(
5a)があルタメ、この補助磁極部(4a) (5a)
のエツジ部分0の磁界による悪影響が生じた。この問題
は、主磁極+11の先端長Lmを短くしたらそれと同じ
比率で補助磁極部(4a) 、、(5a)の先端幅Lf
を短くすることにより解決された。これはこのエツジ部
分の磁界による悪影響はそれぞれの長さの絶対値でなく
、Lm/ Lf、即ち、両者の相対比で影響の程度が決
まることによった。しかし、害際に垂直記録用単磁極型
研気ヘッドの+M造をするに際し、主磁極(11先端長
Lmを短くするには限界があった。これは、例えば非磁
性ガード材の巻線用溝の部分の厚さをほぼ主磁極先端に
1.mに等しクシ′ζおく必要性があり、機械的強度の
点から限界があるためだった。ところで、磁性フェライ
トの飽和磁束密度Bsは5000ガウス程度であり、一
方、例えば主磁極+11を形成するCO7Zrアモルフ
ァス股の飽和磁束密度Bsは15000ガウス程度であ
るから、かかる主磁極+11の173程度である。その
ため、補助磁極部(11の先端幅Lfを小ざくしていく
と主磁極(1)力<aVtい場合、記録再生感度が悪い
ため、フェライト補助コアからの励磁界だけでは主磁極
(1)を充分に励磁できなくなってくる。そのため、第
4図に示すように主磁極+11を先端から少し後退した
位置以後の部分を厚くすることが提案されζいる。かか
る構成では、主磁極(1)を充分に励磁できるようにな
った。ここで(1a)は絶縁材料よりなる枕材である。
またこのような主磁極(11の先端から少し後退した位
置以後の部分を厚くしたとき、主磁極t1)の磁気抵抗
が小さくなり、再生感度が向」−する効果も出る。とこ
ろで、一般に磁性膜ば飽和磁束密度Rsが商い材料は透
磁率μが小さく、また逆に透磁率μの大きい材料は飽和
磁束密度Bsが小さくなる像間がある。」:磁極+11
先端部分は充分に記録磁界を出す必要性から飽和磁束密
度Bsの大きい材料が好ましい。また一方、主磁極+1
1のうち厚くする部分は主磁極11)先端の10倍以上
厚くすることも可能であるから、主磁極(1)先端部に
は材料の飽和磁束密度Bsの大きいことば重要ではなく
、むしろ後述するように透磁率が大きいことが望ましい
。第5図は主磁極(1)中の磁束密度を計算した例であ
り、主磁極(1)の先端部に5000ガウスの磁束密度
を出した場合の主磁極(1)各部の磁束密度である。記
録に必要な磁界は、磁気記録媒体の保磁力をHc、自発
磁化をMsとしたとき略11c+4πMsと考えられ、
少くとも5000〜60000e必要である。太くなっ
ζいる部分の磁束密度は小さくなっている。この第5図
において、グラフ(7)、(8)、(9)及びQOIば
それぞれ主磁極(11先端5μmまでの部分の厚さを0
.3μmとし、それより後方のflu分のIILざを順
番に0.3,11111.1μms2+um及び4μm
としたものである。この第5図かられかるように主磁1
(11の厚さが一定で0.3μmの場合にはコイルの部
分に近い稈主磁極(11中の磁束密度が+Il+ <
、最大で約200 (l Oガウスになっている。この
計算では線形で計算しているので磁気飽和は生じていな
いが、実際には現在得られている101透磁率1模の飽
和磁束は大きくて15000ガウス程度であるので、完
全に飽和することになる。また一方、主磁極+11の後
部を厚くすると1μmにするだけで最大5700ガウス
程度に1・る。この場合、最も磁束密度の大きい場所は
主磁極(1)が太くなる寸前の部分である。そして、記
録用の磁束を増していくとまず先にこの部分がら飽和が
始まり、記録時に主磁極(1)の磁気飽和が生じにくく
する点では少なくとも1μmにすれば充分である。更に
厚くすると、記録感度は向上する。
置以後の部分を厚くしたとき、主磁極t1)の磁気抵抗
が小さくなり、再生感度が向」−する効果も出る。とこ
ろで、一般に磁性膜ば飽和磁束密度Rsが商い材料は透
磁率μが小さく、また逆に透磁率μの大きい材料は飽和
磁束密度Bsが小さくなる像間がある。」:磁極+11
先端部分は充分に記録磁界を出す必要性から飽和磁束密
度Bsの大きい材料が好ましい。また一方、主磁極+1
1のうち厚くする部分は主磁極11)先端の10倍以上
厚くすることも可能であるから、主磁極(1)先端部に
は材料の飽和磁束密度Bsの大きいことば重要ではなく
、むしろ後述するように透磁率が大きいことが望ましい
。第5図は主磁極(1)中の磁束密度を計算した例であ
り、主磁極(1)の先端部に5000ガウスの磁束密度
を出した場合の主磁極(1)各部の磁束密度である。記
録に必要な磁界は、磁気記録媒体の保磁力をHc、自発
磁化をMsとしたとき略11c+4πMsと考えられ、
少くとも5000〜60000e必要である。太くなっ
ζいる部分の磁束密度は小さくなっている。この第5図
において、グラフ(7)、(8)、(9)及びQOIば
それぞれ主磁極(11先端5μmまでの部分の厚さを0
.3μmとし、それより後方のflu分のIILざを順
番に0.3,11111.1μms2+um及び4μm
としたものである。この第5図かられかるように主磁1
(11の厚さが一定で0.3μmの場合にはコイルの部
分に近い稈主磁極(11中の磁束密度が+Il+ <
、最大で約200 (l Oガウスになっている。この
計算では線形で計算しているので磁気飽和は生じていな
いが、実際には現在得られている101透磁率1模の飽
和磁束は大きくて15000ガウス程度であるので、完
全に飽和することになる。また一方、主磁極+11の後
部を厚くすると1μmにするだけで最大5700ガウス
程度に1・る。この場合、最も磁束密度の大きい場所は
主磁極(1)が太くなる寸前の部分である。そして、記
録用の磁束を増していくとまず先にこの部分がら飽和が
始まり、記録時に主磁極(1)の磁気飽和が生じにくく
する点では少なくとも1μmにすれば充分である。更に
厚くすると、記録感度は向上する。
また、第6図は透磁率と再生効率との関係をボしたもの
である。横軸に主磁極(1)の透磁率、縦軸に主磁極先
端から流入する磁束の′うちコイルにす/りする割合と
しての再生効率をとったものである。グラフ(11)、
(12)、(13)及び(14)は、それぞれ主磁極(
11のうち先端5μmだけを0.3μmの厚さで統一す
ると共に、それより磁気記録媒体から離れる側のjνさ
をそれぞれ順番に0.3.+1m、1μm、4μm及び
10μmと変えたものである。
である。横軸に主磁極(1)の透磁率、縦軸に主磁極先
端から流入する磁束の′うちコイルにす/りする割合と
しての再生効率をとったものである。グラフ(11)、
(12)、(13)及び(14)は、それぞれ主磁極(
11のうち先端5μmだけを0.3μmの厚さで統一す
ると共に、それより磁気記録媒体から離れる側のjνさ
をそれぞれ順番に0.3.+1m、1μm、4μm及び
10μmと変えたものである。
これらの比較により透磁率が再生効率につい°Cの大き
な要素になっていることがわかった。参考までに、飽和
磁束密度USの大きいGo −Zrアモルファス)模ば
Bs= 14000〜15000ガウス、透磁率μ−1
000〜1500であり、商透磁率のCo (NbZr
)アモルファス膜はBs= 10000〜12000ガ
ウス、μ−3000〜5000であることが知られてい
る。
な要素になっていることがわかった。参考までに、飽和
磁束密度USの大きいGo −Zrアモルファス)模ば
Bs= 14000〜15000ガウス、透磁率μ−1
000〜1500であり、商透磁率のCo (NbZr
)アモルファス膜はBs= 10000〜12000ガ
ウス、μ−3000〜5000であることが知られてい
る。
また、主磁極の厚さを倍にすることと、主磁極の透磁率
を倍にすることとは磁気回路的には全く同じであるため
何れの方法でも再生効率を改善できる。ただ、スパッタ
リング、蒸着等の薄膜形成技術で厚い膜を作るには限界
があるので単に主磁極の厚さを厚くする構成とするのは
問題があった。
を倍にすることとは磁気回路的には全く同じであるため
何れの方法でも再生効率を改善できる。ただ、スパッタ
リング、蒸着等の薄膜形成技術で厚い膜を作るには限界
があるので単に主磁極の厚さを厚くする構成とするのは
問題があった。
発明の目的
本発明垂直記録用単磁極型磁気ヘッドは、以上の背景技
術をふまえ磁気記録時には充分強い記録磁界を発生でき
記録効率を向−1ニさせると共に磁気再生時には再生効
率を向上させた垂直記録用単磁極型磁気ヘッドを提供せ
んとするものである。
術をふまえ磁気記録時には充分強い記録磁界を発生でき
記録効率を向−1ニさせると共に磁気再生時には再生効
率を向上させた垂直記録用単磁極型磁気ヘッドを提供せ
んとするものである。
発明の概要
本発明垂直記録用単磁極型磁気ヘッドは、第1及び第2
の主磁極を有し、第1の主磁極の一端を磁気記録媒体に
対接させ、第2の主磁極に比し第1の主磁極の飽和磁束
密度を大きくすると共に、第2の主磁極を磁気記録媒体
から所定距離後退し 、た位置まで延在させ、第2の主
磁極を第1の主磁極に隣接して配し、第2の」=磁極の
透磁率を第1の主磁極に比し大きくし、第1及び第2の
主磁極の周囲にコイルが施されたもので、磁気記録時に
は充分強い記録磁界を発生でき記録効率を向上させると
共に磁気再生時には再生効率を向上させたものである。
の主磁極を有し、第1の主磁極の一端を磁気記録媒体に
対接させ、第2の主磁極に比し第1の主磁極の飽和磁束
密度を大きくすると共に、第2の主磁極を磁気記録媒体
から所定距離後退し 、た位置まで延在させ、第2の主
磁極を第1の主磁極に隣接して配し、第2の」=磁極の
透磁率を第1の主磁極に比し大きくし、第1及び第2の
主磁極の周囲にコイルが施されたもので、磁気記録時に
は充分強い記録磁界を発生でき記録効率を向上させると
共に磁気再生時には再生効率を向上させたものである。
実施例
以−ト第7図を参照して本発明垂直記録用単磁極型磁気
−\ソトの一丈施例について説明しよう。この第7図に
おいて、第1図、第3図及び第4図に対応する部分には
同一符号をイ」シ、それらのB’P細な説明は省略する
。
−\ソトの一丈施例について説明しよう。この第7図に
おいて、第1図、第3図及び第4図に対応する部分には
同一符号をイ」シ、それらのB’P細な説明は省略する
。
(lb)は飽和磁束密度US及び透磁率μが高く特に飽
和磁束密度Bsが高い軟佑性薄膜、例えばCo −Zr
、 Go−訂アモルファス股(Bs= 12000G、
p 〜3000〜5(100(IMIIz) )によ
り厚さ0.1〜2μm形成された第1の主磁極を示し、
この第1の主磁極(1b)の1端(lc)は磁気記録媒
体に対接させるように磁気記録媒体対接面Sに臨むよう
にする。
和磁束密度Bsが高い軟佑性薄膜、例えばCo −Zr
、 Go−訂アモルファス股(Bs= 12000G、
p 〜3000〜5(100(IMIIz) )によ
り厚さ0.1〜2μm形成された第1の主磁極を示し、
この第1の主磁極(1b)の1端(lc)は磁気記録媒
体に対接させるように磁気記録媒体対接面Sに臨むよう
にする。
(1d)は磁気記録媒体から所定回1i!II後退した
位置まで第1の主磁極に隣接させて延在させた第2の主
磁極を示し、この第2の主磁極(1d)は飽和磁束密度
Its及び透磁率μが高く、特に透磁率μの紬さをより
重要視した材料を用い、例えば無磁歪材C’o −Nb
−7,rアモルファス映(Bs= 12000G、μ
−3000〜5000 (IMIIz) )を用いる。
位置まで第1の主磁極に隣接させて延在させた第2の主
磁極を示し、この第2の主磁極(1d)は飽和磁束密度
Its及び透磁率μが高く、特に透磁率μの紬さをより
重要視した材料を用い、例えば無磁歪材C’o −Nb
−7,rアモルファス映(Bs= 12000G、μ
−3000〜5000 (IMIIz) )を用いる。
厚さは1〜10μm程度が適当である。また、これら第
1及び第2の主磁極(1b)及び(1d)は磁界11コ
スバツタまたは磁界中アニールにより磁気記録時のトラ
ック幅方向に磁気異方性をつけて、バルクハウゼンノイ
ズの発生を防ぐとともに1B1周波−にお番Jる透磁率
の向上を図るようにする。
1及び第2の主磁極(1b)及び(1d)は磁界11コ
スバツタまたは磁界中アニールにより磁気記録時のトラ
ック幅方向に磁気異方性をつけて、バルクハウゼンノイ
ズの発生を防ぐとともに1B1周波−にお番Jる透磁率
の向上を図るようにする。
ここで第7図Bに示す第1の主磁極(1b)の先端部分
の長さとしてのLaは記録再生感度の点からは1〜2μ
m程度で矩い方が良いが、使用時の摩れ、製作の容易さ
を考え5〜10μm程度の長さとする。また、第2の主
磁極につき補助磁極部(4a)(5a)に挾持される分
から突出した部分を設け、その長さをLbとする。そし
て、La+l、bの長さが非磁性ガード材(3a) (
3b)の溝部近傍の厚さにほぼ等しいので、強度の点及
びフェライトコアのエツジから出る磁界の悪影響の発生
を考慮すると、La十Lbがあまり小さくならない方が
良く、1、b−10〜30μm程度が望ましい。なお、
他の部分は従来の垂直記録用単磁極型磁気ヘッドと同様
に構成するものとする。
の長さとしてのLaは記録再生感度の点からは1〜2μ
m程度で矩い方が良いが、使用時の摩れ、製作の容易さ
を考え5〜10μm程度の長さとする。また、第2の主
磁極につき補助磁極部(4a)(5a)に挾持される分
から突出した部分を設け、その長さをLbとする。そし
て、La+l、bの長さが非磁性ガード材(3a) (
3b)の溝部近傍の厚さにほぼ等しいので、強度の点及
びフェライトコアのエツジから出る磁界の悪影響の発生
を考慮すると、La十Lbがあまり小さくならない方が
良く、1、b−10〜30μm程度が望ましい。なお、
他の部分は従来の垂直記録用単磁極型磁気ヘッドと同様
に構成するものとする。
次に、第8図〜第17図を参照して、この実施例の製造
工程について説明しよう。
工程について説明しよう。
ま1゛、第8図に不ずように熱膨張率が磁性フェライト
に近く緻密な非磁性ブロック(15)を示し、この非磁
性ブロック(15)は例えば非磁性フェライト、Znフ
ェライト、フォルステライト、フォトセラム、結晶化ガ
ラス、チタン酸バリウム、チタン酸カルシウム、八12
03−TiC系のセラミックス、ZrO2糸のセラミッ
クス等により形成する。また、(16)は例えば磁性フ
ェライトよりなる磁性ブロックをボし、この磁性ブロッ
ク(16)はMn−Znフェライト、Ni−Znフェラ
イト等により形成し、コイル巻線用の溝となる溝(16
a )を所定間隔で形′ 成し、ごのll5(16a)
を形成した面を鏡面研磨する。次に、第9図の如く非磁
性ブロック(15)と磁性ブロック(16)とを例えば
ガラス融着により接合し、所定間隔の切断向mにより切
断する。ここで、エポキシ樹脂等の有機接着剤または水
ガラス等の無機接着剤を用いて接合することもできる。
に近く緻密な非磁性ブロック(15)を示し、この非磁
性ブロック(15)は例えば非磁性フェライト、Znフ
ェライト、フォルステライト、フォトセラム、結晶化ガ
ラス、チタン酸バリウム、チタン酸カルシウム、八12
03−TiC系のセラミックス、ZrO2糸のセラミッ
クス等により形成する。また、(16)は例えば磁性フ
ェライトよりなる磁性ブロックをボし、この磁性ブロッ
ク(16)はMn−Znフェライト、Ni−Znフェラ
イト等により形成し、コイル巻線用の溝となる溝(16
a )を所定間隔で形′ 成し、ごのll5(16a)
を形成した面を鏡面研磨する。次に、第9図の如く非磁
性ブロック(15)と磁性ブロック(16)とを例えば
ガラス融着により接合し、所定間隔の切断向mにより切
断する。ここで、エポキシ樹脂等の有機接着剤または水
ガラス等の無機接着剤を用いて接合することもできる。
次に切断向を鏡面研磨して基礎ブロック(17)を得る
。次に、第1の主磁極(1b)となる軟磁牲薄+1Q(
1B)をスパツタリング、蒸着、イオンブレーティング
、メッキ等で付4ノ、ホl−s:ソチングにょっ”(所
定のトラック幅になるように形成する。その上に、図示
せずも保護1挨として5102 + SI3N4 +旧
203 、 ZrO2等を厚さ0.3〜3 メt m程
度付りる。
。次に、第1の主磁極(1b)となる軟磁牲薄+1Q(
1B)をスパツタリング、蒸着、イオンブレーティング
、メッキ等で付4ノ、ホl−s:ソチングにょっ”(所
定のトラック幅になるように形成する。その上に、図示
せずも保護1挨として5102 + SI3N4 +旧
203 、 ZrO2等を厚さ0.3〜3 メt m程
度付りる。
ここで、第10主磁檎(1b)を付ける前に基礎ブo
7り (17) l:に保48 Faとし75102
+ SI3N4 +Al2O3、ZrO2等を0.1〜
111 m程度付けると、第1の主磁極(1b)の磁気
特性を改善できる。これは、保護膜によりフェライトか
らの不純物の浸透を防ぐ効果があるためである。また、
第1の主磁極がアモルファス股の場合にはこの候もアモ
ルファス股にすると磁性薄膜の磁気特性を改善できる。
7り (17) l:に保48 Faとし75102
+ SI3N4 +Al2O3、ZrO2等を0.1〜
111 m程度付けると、第1の主磁極(1b)の磁気
特性を改善できる。これは、保護膜によりフェライトか
らの不純物の浸透を防ぐ効果があるためである。また、
第1の主磁極がアモルファス股の場合にはこの候もアモ
ルファス股にすると磁性薄膜の磁気特性を改善できる。
次に、まず第10図で作った基礎ブロック(17)にま
ず枕材(1G)となる膜(19)とじ7Si02゜5t
aN4+ /1.1203 + ZrO2等の何れかを
付け(第12図)、第2の主磁極(1d)を付ける部分
をエツチングによって取り除く (第13図)。ここで
、枕材(1c)となる膜を付けるとき、リットオフ法で
一度に第13図のような形状とすることもできる。この
枕材ば、第14図に示すように第2の主磁極11Q(t
d)の付く側の面(1!la)が直角でなく傾斜してい
る方が磁束を通ず−Fで望ましいので、角度の調節が容
易なエツチングにより所定範囲を取り除くよ・うにする
方が望ましい。これは、このようにすることによって主
磁極(1d)の最終形状の先端を先細にでき、第1の主
磁極(1b)に磁束を集中させられるためである。また
、逆に直角に近くなっていると第2の主磁極(1d)を
付けるとき直角になっている面にはイ」きにくいため、
記録再生に重要な先端部分の形状が良好にできないこと
、膜の形成が悪いと磁気特性が悪いことなどの問題が生
ずるためである。枕材の厚さは、第2の主磁極(1d)
の厚さに等しいかまたはそれより少し厚く形成する。
ず枕材(1G)となる膜(19)とじ7Si02゜5t
aN4+ /1.1203 + ZrO2等の何れかを
付け(第12図)、第2の主磁極(1d)を付ける部分
をエツチングによって取り除く (第13図)。ここで
、枕材(1c)となる膜を付けるとき、リットオフ法で
一度に第13図のような形状とすることもできる。この
枕材ば、第14図に示すように第2の主磁極11Q(t
d)の付く側の面(1!la)が直角でなく傾斜してい
る方が磁束を通ず−Fで望ましいので、角度の調節が容
易なエツチングにより所定範囲を取り除くよ・うにする
方が望ましい。これは、このようにすることによって主
磁極(1d)の最終形状の先端を先細にでき、第1の主
磁極(1b)に磁束を集中させられるためである。また
、逆に直角に近くなっていると第2の主磁極(1d)を
付けるとき直角になっている面にはイ」きにくいため、
記録再生に重要な先端部分の形状が良好にできないこと
、膜の形成が悪いと磁気特性が悪いことなどの問題が生
ずるためである。枕材の厚さは、第2の主磁極(1d)
の厚さに等しいかまたはそれより少し厚く形成する。
この厚さは次の工程で付ける主磁極(1d)をリフトオ
フ法で付けるときには等しくすることが必要で、研磨す
る場合には少し厚くする゛ことが望ましい。第2の主磁
極(1d)の幅を決めるエツチングの幅は、第1の主磁
極(1b)と同じか少し広めとする。この場合、広くし
た方が位置合せが容易になり好都合である。次に、第2
の主磁極(1d)となる軟磁性!映(20)を所定厚付
ける。これは、リフトオフ法で第15図のように形成す
るか、あるいはこの第2の主磁極(1d)を設ける面前
面に軟磁性薄+1Q (20)を付けた」−でその表面
を研磨して前面を平坦化し、第15図同様に枕材(19
)の凹の部分に軟磁性薄+1Q (20)が残るように
しても良い。
フ法で付けるときには等しくすることが必要で、研磨す
る場合には少し厚くする゛ことが望ましい。第2の主磁
極(1d)の幅を決めるエツチングの幅は、第1の主磁
極(1b)と同じか少し広めとする。この場合、広くし
た方が位置合せが容易になり好都合である。次に、第2
の主磁極(1d)となる軟磁性!映(20)を所定厚付
ける。これは、リフトオフ法で第15図のように形成す
るか、あるいはこの第2の主磁極(1d)を設ける面前
面に軟磁性薄+1Q (20)を付けた」−でその表面
を研磨して前面を平坦化し、第15図同様に枕材(19
)の凹の部分に軟磁性薄+1Q (20)が残るように
しても良い。
更に、その」―にし1示せずも保護膜として、5102
1S13N4 +へ12031 ZrO2等を0.3〜
3pm程度付けるようにする。ここで、軟磁性1171
1Z (20)にアモルファス膜を用いる場合には熱処
理する必要があり、軟磁性wj映(18〉と(20)と
の材質が異なるので最適の熱処理の条件が異なる場合は
別々にそれぞれの最適の条件で熱処理するようにする。
1S13N4 +へ12031 ZrO2等を0.3〜
3pm程度付けるようにする。ここで、軟磁性1171
1Z (20)にアモルファス膜を用いる場合には熱処
理する必要があり、軟磁性wj映(18〉と(20)と
の材質が異なるので最適の熱処理の条件が異なる場合は
別々にそれぞれの最適の条件で熱処理するようにする。
次に、軟磁性薄膜(18)及び(20)の位置を合わせ
°ζ第16図のように接合し、所定の主磁極の長さにな
るまで摺動面Sを形成するように破線nで示すように円
筒1iI)磨した後、各々の垂直記録用単磁極型磁気ヘ
ッドのブに+ 7りに切断面m1にて切断しく第17図
)、コイル(2)を施すごとによってこの例の垂直記録
用単磁極型磁気へ・7ドを得る。
°ζ第16図のように接合し、所定の主磁極の長さにな
るまで摺動面Sを形成するように破線nで示すように円
筒1iI)磨した後、各々の垂直記録用単磁極型磁気ヘ
ッドのブに+ 7りに切断面m1にて切断しく第17図
)、コイル(2)を施すごとによってこの例の垂直記録
用単磁極型磁気へ・7ドを得る。
このように構成された垂直記録用単磁極型磁気ヘッドは
、第1の二「磁極先端は特に飽和磁束密度の101い材
料で形成されているのでコイル(2)を流れる電流の変
化に対応して強いδe録磁界力(パ出され、保磁力11
cの大きい磁気記録媒体の垂直記録層に高密度に記録さ
れる。また、特に透磁率の高い第2の主磁極(1d)が
第1の主磁極(1b)に隣接して配されたので記録時の
磁気飽和が防げると共に再生時の再4:l:感度がより
向上する。ちなみに、第19図は第1の主磁極(1b)
の透磁率と再生効率との関係を示すグラフである。槌軸
に第1の主磁極(1b)の透磁率を対数目盛にてとり、
縦軸に再生’Aノ率をとっである。グラフ(21) 、
(22)及び(23)は何れも主磁極後部を厚くした構
造の垂直記録用単磁極型磁気ヘッドで第1のニド磁極(
Ib)の先端部Ln+を5μm、第1主磁極の厚さTm
を0.3μm、第2の主磁極(1d)の厚さを4μmと
したものである。このうちグラフ(21)は第1及び第
2の主aり極を間−材料にて一体に形成したものである
。また、グラフ(22)は第2の主磁極(1d)の透磁
率μm1000 (一定)とし対接面Sに出ている第1
の主磁極の透磁率を変化さ・lたもの、グラフ(23)
は第2の主磁極(Id)の透磁率p =3000 (一
定)とし対接面Sに出ている第1の主磁極(1)の透磁
率を変化させたものそれぞれの再生効率のようすを示す
グラフである。この第19図から明らかなように後部磁
極に透磁率の大きい材料を用いれば、主磁極先端の透磁
率は数100以上あれば+1%い釘生効率かえられるこ
とがわかる。即ら、垂直記録用単磁極型磁気ヘッドの:
1:、磁極先端部の材料は磁気記録時の主磁極の磁気飽
和の起こりにくさを考慮に入れて透磁率は多少小さくζ
も飽和(d東南度Bsの特に大きい材料を用いると共に
やや磁気記録媒体から後退した部分の磁極は多少飽和磁
束密度が小さくとも透磁率が特に大きい材料を用いるの
が良いことが確認された。後退した部分は、第1及び第
2の主(磁極(1h)及び(1d)が隣接しているので
垂直記録用単磁極型磁気ヘッドの主磁極の厚さとしては
飽和磁束密度Rsの小さいことによる悪影響の心配はな
く、透磁率に重点を置いた相iI!!1選択が適切であ
ることも確認された。
、第1の二「磁極先端は特に飽和磁束密度の101い材
料で形成されているのでコイル(2)を流れる電流の変
化に対応して強いδe録磁界力(パ出され、保磁力11
cの大きい磁気記録媒体の垂直記録層に高密度に記録さ
れる。また、特に透磁率の高い第2の主磁極(1d)が
第1の主磁極(1b)に隣接して配されたので記録時の
磁気飽和が防げると共に再生時の再4:l:感度がより
向上する。ちなみに、第19図は第1の主磁極(1b)
の透磁率と再生効率との関係を示すグラフである。槌軸
に第1の主磁極(1b)の透磁率を対数目盛にてとり、
縦軸に再生’Aノ率をとっである。グラフ(21) 、
(22)及び(23)は何れも主磁極後部を厚くした構
造の垂直記録用単磁極型磁気ヘッドで第1のニド磁極(
Ib)の先端部Ln+を5μm、第1主磁極の厚さTm
を0.3μm、第2の主磁極(1d)の厚さを4μmと
したものである。このうちグラフ(21)は第1及び第
2の主aり極を間−材料にて一体に形成したものである
。また、グラフ(22)は第2の主磁極(1d)の透磁
率μm1000 (一定)とし対接面Sに出ている第1
の主磁極の透磁率を変化さ・lたもの、グラフ(23)
は第2の主磁極(Id)の透磁率p =3000 (一
定)とし対接面Sに出ている第1の主磁極(1)の透磁
率を変化させたものそれぞれの再生効率のようすを示す
グラフである。この第19図から明らかなように後部磁
極に透磁率の大きい材料を用いれば、主磁極先端の透磁
率は数100以上あれば+1%い釘生効率かえられるこ
とがわかる。即ら、垂直記録用単磁極型磁気ヘッドの:
1:、磁極先端部の材料は磁気記録時の主磁極の磁気飽
和の起こりにくさを考慮に入れて透磁率は多少小さくζ
も飽和(d東南度Bsの特に大きい材料を用いると共に
やや磁気記録媒体から後退した部分の磁極は多少飽和磁
束密度が小さくとも透磁率が特に大きい材料を用いるの
が良いことが確認された。後退した部分は、第1及び第
2の主(磁極(1h)及び(1d)が隣接しているので
垂直記録用単磁極型磁気ヘッドの主磁極の厚さとしては
飽和磁束密度Rsの小さいことによる悪影響の心配はな
く、透磁率に重点を置いた相iI!!1選択が適切であ
ることも確認された。
以上述べたように本実施例によれば、コイル(2)を流
れる電流の変化に対応して強い記録磁界を出せるので、
保磁力ticの大きい磁気記録媒体に高密度に記録でき
る利益がある。また、透磁率の1@1い第2の主磁極を
磁気記録媒体から所定距離後退したi)’jWiまで第
1の]−2磁極に隣接して配したので、杓生時に磁気記
録媒体より磁束をよくひろい再生効率を101<できる
利益がある。従って、単一の材料では不可能だった主磁
極が匹飽和磁束密度かつ直通磁率であるi+4個能の垂
直記録用単磁極型磁気ヘットを得ることができる利益が
ある。また、第1の主磁極(1b)と第2の主磁極(l
d)とを別々に熱処理する必要のないときは、第19図
に示すように第1の主磁極(1b)の上に第2の主磁極
(1d)をリフトオフ法等の方法で付ける工程とするこ
ともできる。この工程とするときには史にリフトオフ法
等で枕材を付けて平坦化し、保護膜を付けて熱処理を行
うようにする。
れる電流の変化に対応して強い記録磁界を出せるので、
保磁力ticの大きい磁気記録媒体に高密度に記録でき
る利益がある。また、透磁率の1@1い第2の主磁極を
磁気記録媒体から所定距離後退したi)’jWiまで第
1の]−2磁極に隣接して配したので、杓生時に磁気記
録媒体より磁束をよくひろい再生効率を101<できる
利益がある。従って、単一の材料では不可能だった主磁
極が匹飽和磁束密度かつ直通磁率であるi+4個能の垂
直記録用単磁極型磁気ヘットを得ることができる利益が
ある。また、第1の主磁極(1b)と第2の主磁極(l
d)とを別々に熱処理する必要のないときは、第19図
に示すように第1の主磁極(1b)の上に第2の主磁極
(1d)をリフトオフ法等の方法で付ける工程とするこ
ともできる。この工程とするときには史にリフトオフ法
等で枕材を付けて平坦化し、保護膜を付けて熱処理を行
うようにする。
なお、本発明は、上述実施例に限らず本発明の要旨を逸
脱することなくその他種々の構成が取り得ることは勿論
である。
脱することなくその他種々の構成が取り得ることは勿論
である。
発明の効果
本発明垂直記録用単磁極型磁気ベッドは、第1及び第2
の主磁極を有し、第1の主磁極の一端を磁気記録媒体に
対接させ、第2の主磁極に比し第1の主磁極の飽和磁束
密度を大きくすると共に第2の主磁極を磁気記録媒体か
ら所定距離後退した位置まで延在させ、この第2の主磁
極を第1の]上磁極に隣接して配したので、磁気記録時
には充分強い記録磁界を発住できると共に磁気再生時に
は再生効率を向上させることができる利益がある。
の主磁極を有し、第1の主磁極の一端を磁気記録媒体に
対接させ、第2の主磁極に比し第1の主磁極の飽和磁束
密度を大きくすると共に第2の主磁極を磁気記録媒体か
ら所定距離後退した位置まで延在させ、この第2の主磁
極を第1の]上磁極に隣接して配したので、磁気記録時
には充分強い記録磁界を発住できると共に磁気再生時に
は再生効率を向上させることができる利益がある。
第1図は従来の垂直記録用単磁極型磁気ヘットの例を不
ず断面図、第2図は第1図に示す例の説明に供する線図
、第3図は第1図に不ず例の要部の例を示す切欠き断面
図、第4図は従来の垂直記録用単磁極型磁気ヘッドの他
の例の要部の例をボず切欠き断面図、9As5し1及び
第6図は従来の垂直記録用単磁極型磁気ヘッドの特性の
説明に供する線図、第7図は本発明11町直記録用単磁
極型磁気ヘツドの一実施例を示す断面図、第8図、第9
図、第10図、第11図、第12図、第13図、第14
図、第15図、第16図、第17図及び第18図は第7
図例の製造工程の例を示す線図、第19図は本発明の他
の実施例の製造工程の例を示す線図である。 (1,b)は第1の主磁極、(1d)は第2の主磁極、
(2)はコイルである。 第1図 第2図 製表χ(μm) 第3図 第4図 第5図 1U&4遥巴、す島ガうのイ紅itμmン第6図 主aiJ&/l連石a牟 第16図 第17図 第18図 第19図 土石舷性tQ遭石a率
ず断面図、第2図は第1図に示す例の説明に供する線図
、第3図は第1図に不ず例の要部の例を示す切欠き断面
図、第4図は従来の垂直記録用単磁極型磁気ヘッドの他
の例の要部の例をボず切欠き断面図、9As5し1及び
第6図は従来の垂直記録用単磁極型磁気ヘッドの特性の
説明に供する線図、第7図は本発明11町直記録用単磁
極型磁気ヘツドの一実施例を示す断面図、第8図、第9
図、第10図、第11図、第12図、第13図、第14
図、第15図、第16図、第17図及び第18図は第7
図例の製造工程の例を示す線図、第19図は本発明の他
の実施例の製造工程の例を示す線図である。 (1,b)は第1の主磁極、(1d)は第2の主磁極、
(2)はコイルである。 第1図 第2図 製表χ(μm) 第3図 第4図 第5図 1U&4遥巴、す島ガうのイ紅itμmン第6図 主aiJ&/l連石a牟 第16図 第17図 第18図 第19図 土石舷性tQ遭石a率
Claims (1)
- 第1及び第2の主磁極を有し、」二記第1の主磁極の一
端を磁気記録媒体に対接させ、上記第2の主磁極に比し
上記第1の主磁極の飽和磁束密度を大きくすると共に、
上記第2の主磁極を上記磁気記録媒体から所定距離後退
した位置まで延在させ、上記第2の主磁極を上記第1の
主磁極に隣接して配し、上記第2のコト磁極の透磁率を
上記第1の主磁極に比し大きくし、上記第1及び第2の
主磁極の周囲に:tイルが施されたことを特徴とする垂
直記録用単磁極型磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21906483A JPS60111309A (ja) | 1983-11-21 | 1983-11-21 | 垂直記録用単磁極型磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21906483A JPS60111309A (ja) | 1983-11-21 | 1983-11-21 | 垂直記録用単磁極型磁気ヘツド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60111309A true JPS60111309A (ja) | 1985-06-17 |
Family
ID=16729703
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21906483A Pending JPS60111309A (ja) | 1983-11-21 | 1983-11-21 | 垂直記録用単磁極型磁気ヘツド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60111309A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2610129A1 (fr) * | 1987-01-23 | 1988-07-29 | Philips Nv | Tete magnetique a utiliser pour l'enregistrement vertical |
JPH0383204A (ja) * | 1989-08-24 | 1991-04-09 | Tokin Corp | 垂直磁気記録用磁気ヘッド並びにその製造方法 |
-
1983
- 1983-11-21 JP JP21906483A patent/JPS60111309A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2610129A1 (fr) * | 1987-01-23 | 1988-07-29 | Philips Nv | Tete magnetique a utiliser pour l'enregistrement vertical |
JPH0383204A (ja) * | 1989-08-24 | 1991-04-09 | Tokin Corp | 垂直磁気記録用磁気ヘッド並びにその製造方法 |
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