JPH0383204A - 垂直磁気記録用磁気ヘッド並びにその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ１発明の目的 〔産業上の利用分野〕 本発明は垂直磁気記録用磁気ヘッドに係り、特に軟磁性
裏打ち層を有する垂直磁気記録用二層媒体の記録再生に
用いる、主磁極励磁型単磁極構造の垂直磁気記録用磁気
ヘッド並びにその製造方法に関するものである。

〔従来の技術〕

高密度磁気記録には、磁気ヘッドと記録媒体の相対的移
行方向の磁化によって記録する、いわゆる面内長手記録
よりも、記録媒体の厚み方向の磁化によって記録する垂
直磁気記録の方が原理的に有利であることが知られてい
る。これは、面内長手記録では記録密度を高めるほど記
録媒体内の自己減磁作用が大きくなるのに対し、垂直磁
気記録では記録密度を高めると逆に自己減磁作用が小さ
くなるためである。

従来垂直磁気記録に用いられる磁気ヘッドとしては、第
３図に示すような主磁極励磁型単磁極ヘッドが知られて
おり、軟磁性裏打ち層を有する二層膜記録媒体と組み合
せて用いることにより、高い磁気記録密度と再生効率を
示す。この主磁極励磁型単磁極ヘッドでは、記録媒体と
対向する主磁極９の磁気特性が磁気ヘッドの性能に大き
く影響し、主磁極には、高保持力の磁気記録媒体に記録
する必要から、高飽和磁束密度の特性を有し、又、高周
波帯域における微弱な信号を効率良く再生するための高
い比透磁率と良好な周波数特性が求められる。現在、主
磁極に用いられている磁性材料としては、大別してＣＯ
・Ｚｒ−Ｎｂ等のＣＯ系非晶磁性材と、センダスト、又
はＦｅ−８ｉ多層膜等のＦｅ系結晶磁性材がある。これ
らの主磁極材は、１０ｋＧないし２０ｋＧの飽和磁束密
度と、５　ＭＨｚで１０００以上の比透磁率を有し、積
層化による人口格子膜の実現により更に軟磁性の向上が
はかられようとしている。

〔発明が解決しようとする課題〕

前記主磁極膜は、その膜厚により記録再生における分解
能が決定されるため、高密度記録になるほど主磁極を薄
くしなければならず、このため、従来磁気抵抗が増大し
て出力が低下するという問題がある。また、コイル８を
磁気記録媒体表面に近づける、すなわち主磁極長を短く
することによっても記録再生効率は向上するが、非磁性
スライダ６を薄くしなければならず、磁気ヘッドとして
の強度や磨耗しるに対する余裕を残す必要から限界があ
った。現状では、記録再生効率と、前記余裕との兼ね合
いにより、主磁極長を３０μ国ないし５０μ讃程度に設
定している。

本発明は、磁気ヘッドの強度を低下させずに主磁極の長
さを短くし、高い記録再生効率を有する垂直磁気記録用
磁気ヘッド並びにその製造方法を提供することを目的と
する。

口０発明の構成 〔課題を解決するための手段〕 前記目的を達成するために本発明の磁気ヘッドにおいて
は、第１図に示すように、主磁極を、高飽和磁束密度で
高比透磁率材からなる記録波長に応じた厚さの記録再生
を行う主磁極第一層４と、該主磁極第一層４の数ないし
数十倍の厚さを有する高比透磁率材からなる主磁極第二
層５を記録再生部分を残して主磁極第一層の面上に形成
して構成し、該主磁極第二層５は記録媒体摺動面から数
ないし数十μｍ離した位置より主磁極第一層面上に形成
することを特徴とする。

又、第２図に示すように、主磁極第一層１８を形成後、
所定の位置に薄膜の形成を防ぐためのマスク２０をおい
て成膜時の「だれ」によって主磁極第二層１９を形成す
ることにより、主磁極第一層１８に効率良く磁束を集中
させるような主磁極第二層１９の形状を形成するもので
ある。

即ち本発明は、 １、厚み方向に磁化容易軸を有する垂直磁気記録用媒体
に、軟磁性膜からなる主磁極を対向させて記録再生を行
う垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、該主磁極を、高
飽和磁束密度、高比透磁率材からなる記録波長に対応し
た厚さの主磁極第一層と、高比透磁率材からなり該主磁
極第一層の数ないし数十倍の厚さを有し、磁気記録媒体
摺動面から数ないし数十μｌ離した位置より主磁極面に
沿い形成した主磁極第二層とにより、構成したことを特
徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッドである。

２、蒸着、スパッタリング等の方法を用いて基板に主磁
極第一層を形成後、記録媒体摺動面より数ないし数十μ
ｌ離れた位置に摺動面側に薄膜の形成を防ぐためのマス
クを置いて、主磁極第二層を形成することを特徴とする
請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法で
ある。

〔作用〕

主磁極励磁型単磁極ヘッドで記録を行う場合、コイルに
流した信号電流により主磁極を励磁するが、従来の磁気
ヘッドでは磁気回路を形成する軟磁性フェライトコアか
ら記録媒体までの距離が長く主磁極の途中での漏洩磁束
が大であった。又、再生時には主磁極の膜厚が薄いため
磁気抵抗が大きく、コイルに導かれる磁束量が低下した
。

本発明による磁気ヘッドでは、磁気薄膜が厚く高い比透
磁率材の主磁極第二層が主磁極第一層の面に形成されて
いるため、記録媒体上に記録された信号の磁束を効果的
に主磁極に導くので、等価的に最低限の磨耗しろと加工
時の余裕を残して主磁極長を短縮出来る。従って、主磁
極の磁気抵抗を低減出来るので記録再生効率が向上する
。又、非磁性スライダを薄くする必要もないので、磁気
ヘッドの強度も低下しない。

〔実施例〕

本発明の実施例について、図面を参照して説明する。第
工図は、本発明による磁気ヘッドの構成を示す図である
。スパッタリングによって主磁極第一層４を形成後、第
２図に示すように主磁極第一層１８の長さと加工しろＷ
の位置に主磁極第二層１９の膜厚とほぼ同じ厚さの蒸着
、又はスパッタのマスク２０を置き、主磁極第二層１９
を形成した。第１図、第２図に示す各材質は、非磁性ス
ライダ１．１６には部分安定化ジルコニア、磁気回路２
．１７には軟磁性フェライトコアとして高い比透磁率特
性を持つＭｎ−Ｚｎフェライト、主磁極第一層４．１８
にはｃｏ−２ｒ−Ｎｂの非晶質磁性膜の、膜厚０．２μ
ｍで、磁気特性が飽和磁束密度１３ｋＧ、５　ＭＨｚの
比透磁率２０００の磁性膜を、主磁極第二層５．１９に
は高い比透磁率特性を持つパーマロイを膜厚１５μｍに
、磁気特性が飽和磁束密度６ｋＧ、５　ＭＨｚの透磁率
８０００の７８パーマロイをマスク２０にはステンレス
を用いている。主磁極第一層４．１８はトラック幅６０
μｍにエツチングしてあり、記録媒体と主磁極第二層ま
での長さ、即ち主磁極長は５μ■とした。第１図磁気回
路２の軟磁性フェライトコア同士の接着には樹脂を用い
たが、媒体摺動面の段差が問題となる場合は融点が４０
０℃ないし５００℃範囲のガラス接着により接合する。

又、主磁極第二層は、主磁極第一層への磁束の集中を効
果的に行うため、第１図に示すように先端を絞った形状
としている。この加工は、フォトリゾグラフィを用いて
も行えるが、第２図に示すように成膜時記録媒体摺動部
分にマスクを置くことにより容易に形成出来る。先端の
形状はマスクの厚さｔと、磁気回路１７に対するスパッ
タリング磁性粒子の入射角で制御出来るが、磁気回路１
７に対して垂直に入射する場合は第２図に示すマスクの
厚さｔとスパッタ時の第二層先端のだれＬはほぼ等しく
する。

ハ１発明の効果 〔発明の効果〕 以上述べたように、本発明によれば磁気ヘッドの強度を
低下させずに主磁極長を短縮し、高い記録再生効率を有
する垂直磁気記録用磁気ヘッド、並びにその製造方法を
提供することが出来た。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による垂直磁気記録用磁気ヘッドの構
成を示す斜視図。 第２図は、本発明による垂直磁気記録用磁気ヘッドの主
磁極第二層の形成方法を示す断面図。 第３図は、従来の磁気ヘッドを示す図で、媒体摺動面を
Ｒ面研磨した斜視図。 第４図は、従来の垂直磁気記録用磁気ヘッドの主磁極を
示す斜視図。 １、６．１２．１６・・・非磁性スライダ、２．７．１
３．１７・・・磁気回路、３．１１．１５・・・ガラス
補強部、４，１８・・・主磁極第一層、５．１９・・・
主磁極第二層、８・・・コイル、９・・・主磁極、１０
・・・接着層、１５・・・巻線窓、２０・・・マスク。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、厚み方向に磁化容易軸を有する垂直磁気記録用媒体
   に、軟磁性膜からなる主磁極を対向させて記録再生を行
   う垂直磁気記録用磁気ヘッドにおいて、該主磁極を、高
   飽和磁束密度、高比透磁率材からなる記録波長に対応し
   た厚さの主磁極第一層と、高比透磁率材からなり該主磁
   極第一層の数ないし数十倍の厚さを有し、磁気記録媒体
   摺動面から数ないし数十μｍ離した位置より主磁極面に
   沿い形成した主磁極第二層とにより、構成したことを特
   徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッド。 ２、蒸着、スパッタリング等の方法を用いて基板に主磁
   極第一層を形成後、記録媒体摺動面より数ないし数十μ
   ｍ離れた摺動面側に、磁性薄膜の形成を防ぐためのマス
   クを置いて主磁極第二層を形成することを特徴とする請
   求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。