JPS60107015A - 顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［＃業上の利用分野］ 本発明は顕微鏡に関するもので、詳細には気密チェンバ
内に隔離された標本を検査するだめの顕微鏡に関する。

［従来の技術］ 外気に触れさせてはならない標本を検査するため顕微鏡
を気密チェンバ内に設置することは公知である。このよ
うな装置は、アルファ線放射物質、有毒物質、健康に害
を与える物質、特定の雰囲気条件下に保たれた物質を使
った研究および生物に対する大気の種々の影響を研究す
るのに使用される。又最近ではウェーハをゴミ汚染から
保護する必要がある電子工業界におけるウェーハの検査
といった別の用途も生じている。

気密チェンバ内に直立又は倒立されて設置するのに適し
た顕微鏡は、マウント内の小さなガラスプレートによっ
て観察用および／又は記録部品が気密チェンバより隔離
されるように配置される。

気密チェンバより隔離される部品としては、観察用アイ
ピース、写真又はテレビカメラを取付けるためのマウン
トユニットおよび光源がある。他の手動操作、例えば標
本をｘ、Ｙ平面内で移動したり、焦点を合わせたりする
ことは、気密グローブが通っている２つのグローブポー
トを通して行なわれる。グローブボート以外の別のボー
トを設けて、例えば調製された標本を大気に触れさせる
ことなくチェンバ内へ導入するためエアロツクできるよ
うすなわちチェンバを別のチェンバにも接続できるよう
にしてもよい。

［発明が解決しようとする問題点及び課題］上記の装置
は、像形成部品を含む顕微鏡本体が支持体に複雑な態様
で接続されるので種々の問題を生じさせる。例えば、支
持体はベースに取付けられるが、標本をＸ−Ｙ平面内で
移動させたり、焦点合せをするための駆動装置を含んで
いるからである。

顕微鏡本体にプレートを設置してシールすることは費用
のかかる作業であり、観察用アイピースおよびカメラマ
ウントユニットは気密チェノ／くよリシールしなければ
ならない。このため、このようなシールをするための公
知のシール用プレートは、高精度を要する作業で特殊な
形状に曲げられるので、コスト高になっている。

従って、本発明の目的は気密チェンバ内に設置するのに
特に適した顕微鏡を提供することにある。

［問題を解決するための構成、作用及び効果］本発明に
よれば、ベースと直立部分とクロスヘッドとクロスヘッ
ドの下面に取付けられた対物レンズタレントアセンブリ
とから成る支持構造体を有し、クロスヘッドは顕微鏡の
像形成部分を有し、直立部分に取付けられ、クロスヘッ
ドと直立部分は両者の間にほぼ平らな部分を画定し、こ
のため直立部分とベースを気密チェンバ内に配置できる
よう直立部分とクロスへ一２ドの間にほぼ平な気密シー
ル体が設けられる顕微鏡が構成される。

この発明は、直立部分とクロスヘッドの間の部分を利用
し、シールをする上で簡単かつ比較的室９な平らなシー
ル面を構成している。

本発明によれば、像形成部品、特に観察用アイピース、
写真用およびテレビカメラ用マウントユニットおよび発
熱性光源も含めたすべてを気密チェンバの外へ配置でき
るようになる。

本発明の好ましい態様によれば、クロスヘッドと直立部
分との間にシールプレートを嵌合し気密シールできる。

プレートには、像形成用光線および照明用ビームを通過
させるためのウィンドを設けることができる。平らな面
を有するこの種のプレートは公差上の問題が回避される
ので比較的安価に製造でき、このプレートは好ましくは
金属から構成される。

このプレー６トの周辺部は好ましくは、直立部分および
対物レンズタレットアヤンブリより外方へ突出し、気密
チェンバの壁と接合する。

顕微鏡は、直立するようかつ顕微鏡のまわりが気密に嵌
合できるようｔｌｆｉ巾な態様にて気密チェンバと組立
てることができる。このプレートの寸法上の公差は、従
来装置界きびしくはなく、本発明により気密チェンバと
ｗＪ微鏡との間に分割面が明瞭に画定される。

本発明の別の態様によれば、クロスヘッドの底は平らな
面となり、この面はシール体を設けるのに使用できるの
で、別個のプレートは省略できる。寸法上の公差に関連
する問題も回避される。

クロスヘッドの周辺マージン部は直立部分および対物レ
ンズタレットアセンブリを越えて突出し、突出したマー
ジン部を気密チェンバの壁に接合できるよう平らな面を
有している。このような手段により像形成部分を含むク
ロスヘッドと駆動アセンブリを含む直立部分との間に簡
単な平らなシールを設けることができる。

添付図面に示した本発明の２つの実施例の下記の説明よ
り上記以外の利点、細部および特徴が明瞭となろう。

［実施例］ ｍ１図は、コンパクトな直立型として知られる種類のｗ
Ｊ微鏡ｌを示す。この顕微鏡の支持構造体は、ベース２
と、直立部分３と、この直立部分３に取付けられたクロ
スへンド４から成る。直立部分は、駆動アセンブリを含
み、クロスヘッドは、光源７と、双眼ユニット５のよう
な顕微鏡の像形成部分と、光学的カメラ又はテレビカメ
ラを取替自在に取付けるマウントユニット６を含む。図
には、透過光照明装置を略図にして示しであるが、別に
入射光又は両者を混合した光照明装置を設けてもよい。

光源７は気密チェンバ９の外に設けられているので、温
度に敏感な標本に影響を与えることなく、光源から発生
する廃熱を排除できる。

直立部分とクロスへラド４との間には、平らな気密シー
ルプレートＩＯが延長している。このプレート１０は好
ましくは金属から構成される。このプレート内、のフレ
ームの気密嵌合部に取付けられたウィンド１１により、
光源７からチェンバ内の標本に光が入射し、対物タレッ
トアセンブリ１３からクロスベンド４内の像形成部品に
光が通過できる。第１図には２つのウィンＩ・が示され
ているが、例えば支持構造体の後部壁に増付けた第２ラ
ンプを使う照明装置用に更に別のウィンドをプレートに
設けることもできる。

直立部分３およびクロスヘッド４に増刊けられた対物タ
レットアセンブリ１３を越えて平らなプレート１０の周
辺フランジ１２が横方向に突出しているが、このフラン
ジは、顕微鏡のすべての側面にて外方に突出し、チェン
バ９を画定する壁８にシールされて接合している。

こうして顕微鏡の像形成部品は、チェンバ９の外に位置
するので、簡単に調節できるし又は交換もできる。標本
支持部１４は、チェンバを画定する壁内に取付けられた
気密ゴムグローブによって手で調節できるし、又、公知
のようにエアーロック装置を設けてもよい。

平らなシールプレート１０は、−・面がクロスへンド４
と係合し、他面が直立部分３と係合している。このプレ
ートは平らであるので、クロスヘッドと直立部分の間に
このプレートを組付ける場合、寸法の公差に関連する問
題は生じない。

第２図は、第１図に示した顕微鏡とほぼ同じ顕微鏡を示
し、同一部品には同じ参照番号を付けである。

直立部分３は、クロスヘッド４より離間しており、クロ
スヘッドは底部プレート１５上にある平らな底面を含む
。プレート１５のフレームにウィンド１１がシールされ
て取付けられている。

プレート１５の周辺マージン部１６は、直立部分３の側
壁を越えて、かつクロスヘッド４に取付けられた対物タ
レットアセンブリ１３の側壁を越えて突出しており、更
にこのマージン部１６はチェンバ９を画定する壁のマー
ジン部８に載置されてシール接合される。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の第１実施例を示す図、第２図は本発
明の第２実施例を示す図である。 １、、、、、、、、、顕微鏡 ２、、、、、、、、、ベース ３、、、、、、、、、直立部分 ４、、、、、、、、、クロスヘッド ９、、、、、、、、、気密チェンバ １０．１５．、、、、シールプレート １２、、、、、、、、周辺フランジ 出願人　ラニー拳うイヘルド・オプティッシェ舎ヴエル
ケ・アーゲー 代理人　弁理士　加　藤　朝　道

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）観察者が外気内にいる間外気から隔離された位置
   にある物体を観察する顕微鏡において、ベースと、 該ベースに取付けられ、観察すべき物体を支持するため
   のステージと、 前記ベースより延長する支持体と、 −面が該支持体に当接するシール部材と、前記支持体と
   反対側にある前記シール部材の他方の面に当接し、照明
   用光源と、物体を観察するための像形成用光学系を有す
   る顕微鏡本体と、前記支持体の前記−面に取付けられた
   対物レンズと、 前記シール部材内に設けられ、照明用光源および像形成
   用光学系を備えて対物レンズに光学的に接続するための
   ウィンド手段と、 前記シール部材から延長して外気とチェンバとのシール
   に係合する平らなフランジとから成る顕微鏡。
2. （２）前記つ、インド手段が前記光源と偏向器を接続し
   、光が物体を透過して前記対物レンズに入射するように
   する第１ウインドと、前記対物レンズを前記像形成用光
   学系に接続する第２ウインドから成る特許請求の範囲第
   １項記載の顕微鏡。
3. （３）前記対物レンズが回転自在なタレ・ントに支持さ
   れている範囲第１項又は第２項記載の顕微鏡。