JPS6010227A - 光導波型素子 - Google Patents
光導波型素子Info
- Publication number
- JPS6010227A JPS6010227A JP11708283A JP11708283A JPS6010227A JP S6010227 A JPS6010227 A JP S6010227A JP 11708283 A JP11708283 A JP 11708283A JP 11708283 A JP11708283 A JP 11708283A JP S6010227 A JPS6010227 A JP S6010227A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- lens
- idt
- diffracted light
- point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
- G02F1/33—Acousto-optical deflection devices
- G02F1/335—Acousto-optical deflection devices having an optical waveguide structure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は光導波型素子、特に音響光学（ＡＯ）効果又は
電気光学（ＥＯ）効果等を用いて導波光全偏向せしめる
光導波型素子に関する。
電気光学（ＥＯ）効果等を用いて導波光全偏向せしめる
光導波型素子に関する。
光導波路内金伝搬する導波光に対して、該導波路内に弾
性表面波（ＳＡＷ） ｉ励振することにょｐ１導波光を
回折せしめ、回折先金光導波路上に設けたレンズによっ
て集光、結像等せしめる光導波型素子がスペクトラムア
ナライザー、相関器、光偏向器等への応用會目指して開
発されている。こ些に関しては、例えば” Ｇｕｉｄｅ
ｄ−Ｗａｖｅ ＡｃｏｕｓｔｏｏｐｔｉｃＢｒａｇｇ
Ｍｏｄｕｌａｔｏｒｓ ｆｏｒ Ｗｉｄｅ−Ｂａｎｄ
ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＯｐｔｉｃ Ｃｏｒｎｍｕｎｌｃ
ａｔｉｏｎｓ ａｎｄ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓ
ｉｎｇ”ＣｅＳ＠Ｔｓａｉ、ＩＦＶＥＥ Ｔｒａｎｓａ
ｔｉｏｎｓ ｏｎ Ｃ３ｒｃｕｉｔｓ ａｎｄＳｙｓｔ
ｅｍｓ、Ｖｏｌ、 Ｃ’ＡＳ−２６，１０７２−１０９
８（１９７９）に記載されている。
性表面波（ＳＡＷ） ｉ励振することにょｐ１導波光を
回折せしめ、回折先金光導波路上に設けたレンズによっ
て集光、結像等せしめる光導波型素子がスペクトラムア
ナライザー、相関器、光偏向器等への応用會目指して開
発されている。こ些に関しては、例えば” Ｇｕｉｄｅ
ｄ−Ｗａｖｅ ＡｃｏｕｓｔｏｏｐｔｉｃＢｒａｇｇ
Ｍｏｄｕｌａｔｏｒｓ ｆｏｒ Ｗｉｄｅ−Ｂａｎｄ
ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＯｐｔｉｃ Ｃｏｒｎｍｕｎｌｃ
ａｔｉｏｎｓ ａｎｄ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓ
ｉｎｇ”ＣｅＳ＠Ｔｓａｉ、ＩＦＶＥＥ Ｔｒａｎｓａ
ｔｉｏｎｓ ｏｎ Ｃ３ｒｃｕｉｔｓ ａｎｄＳｙｓｔ
ｅｍｓ、Ｖｏｌ、 Ｃ’ＡＳ−２６，１０７２−１０９
８（１９７９）に記載されている。
光導波路上に作製されるレンズとしてはルネブルグレン
ズ、ジオデシックレンズ、フレネルレンズ等かめるが、
いづれも作製は容易ではなく、原理上殆ど無収差のもの
でも実際に作製された。揚台には大きな画角にわたって
小さなＦナンバーで使用されると収差の発生が避けられ
ない。
ズ、ジオデシックレンズ、フレネルレンズ等かめるが、
いづれも作製は容易ではなく、原理上殆ど無収差のもの
でも実際に作製された。揚台には大きな画角にわたって
小さなＦナンバーで使用されると収差の発生が避けられ
ない。
これらの素子においては、レンズへ入射してくる光は回
折格子や弾性表面波による導波光の回折光であシ、特に
弾性表面波による回折では回折光は弾性表面波全励振す
るためのくし型電極（ＩＤＴ）に印加される高周波電気
信号に応じて光導波路面内で一定角度範囲内で振れる。
折格子や弾性表面波による導波光の回折光であシ、特に
弾性表面波による回折では回折光は弾性表面波全励振す
るためのくし型電極（ＩＤＴ）に印加される高周波電気
信号に応じて光導波路面内で一定角度範囲内で振れる。
このため、レンズには軸上及び軸外にわたって良好な性
能が請求される。ルネブルグレンズやジオデシックレン
ズは棉波路面に対して垂直な軸のまわりに回転対称の形
状をもち実際に作製されるものでも回転対称性は比較的
容易に達成されるが形状、厚み、屈折率等を設計値＋ｌ
ｆＪ Ｖ）にコント、ロールすることは困難である。と
ころが筒周波信号の周波数によっては回折光の中心光線
がレンズ中心金通らない。この様な回折光に対してはレ
ンズの作製誤差等のために大きな収差が発生し、例えば
回折光全集光した時に微小なスポットが得られなくなる
。
能が請求される。ルネブルグレンズやジオデシックレン
ズは棉波路面に対して垂直な軸のまわりに回転対称の形
状をもち実際に作製されるものでも回転対称性は比較的
容易に達成されるが形状、厚み、屈折率等を設計値＋ｌ
ｆＪ Ｖ）にコント、ロールすることは困難である。と
ころが筒周波信号の周波数によっては回折光の中心光線
がレンズ中心金通らない。この様な回折光に対してはレ
ンズの作製誤差等のために大きな収差が発生し、例えば
回折光全集光した時に微小なスポットが得られなくなる
。
第１図は上記の素子の一例である光スペクトラムアナラ
イザーを示すものであり、光ス４クトラムアナライザー
は信号処理用光導波型素子の代表的なものである。１は
基板である。２は光導波路であり、基板１に対して金属
を拡散させたシ基板１に屈折率の託いｒ＊ ’を蒸着す
る等して作製される。
イザーを示すものであり、光ス４クトラムアナライザー
は信号処理用光導波型素子の代表的なものである。１は
基板である。２は光導波路であり、基板１に対して金属
を拡散させたシ基板１に屈折率の託いｒ＊ ’を蒸着す
る等して作製される。
３は半纏体レーザーであシ、４は入射導波光である。５
はＳＡＷ ６ ｉ励振するためのＩＤＴである。７はコ
リメート用ジオデシックレンズでａｊ’ｌ １１；ｊ集
光用ジオデシックレンズである。９はＳＡＷ ６による
回折光であシ、１０は非回折光である。１１ばＣＯＤ等
の光検出器アレーであり、１２は非回折光１０に幻する
遮光部材である。
はＳＡＷ ６ ｉ励振するためのＩＤＴである。７はコ
リメート用ジオデシックレンズでａｊ’ｌ １１；ｊ集
光用ジオデシックレンズである。９はＳＡＷ ６による
回折光であシ、１０は非回折光である。１１ばＣＯＤ等
の光検出器アレーであり、１２は非回折光１０に幻する
遮光部材である。
半纏体レーザー３からの光はバットカップリングによっ
て光導波路２内に導がれる。入射導波光４は発散しなが
ら伝搬していき、コリメート用ジオデシックレンズ７に
よって平行光となる。ＩＤＴ５には解析すべき高周波信
号が１１ｎ常は局部発振器からの高周波信号とミキシン
グされた後に印加され５ＡＷ６が励振される。５ＡＷ６
は動く回折格子とみなすことができ、入射導波光４を印
加高周波信号の周波数によって定まる方向へ回折せしめ
る。
て光導波路２内に導がれる。入射導波光４は発散しなが
ら伝搬していき、コリメート用ジオデシックレンズ７に
よって平行光となる。ＩＤＴ５には解析すべき高周波信
号が１１ｎ常は局部発振器からの高周波信号とミキシン
グされた後に印加され５ＡＷ６が励振される。５ＡＷ６
は動く回折格子とみなすことができ、入射導波光４を印
加高周波信号の周波数によって定まる方向へ回折せしめ
る。
回折光９及び非回折光１ｏは集光用・ジオデシックレン
ズ８によって基板１の端面に集光せしめられる。非回折
光１ｏは遮光部材゛１２によって遮光される。あるいけ
、ここに光検出器がｉｌｆ＋：かれることもある。回折
光９が淳ζ板１のψＨａ而上面作るスポットの位置は回
折角に１対１に対応し、従って解析すべき高周波１ｄ号
の周波数に１約１に対応する。
ズ８によって基板１の端面に集光せしめられる。非回折
光１ｏは遮光部材゛１２によって遮光される。あるいけ
、ここに光検出器がｉｌｆ＋：かれることもある。回折
光９が淳ζ板１のψＨａ而上面作るスポットの位置は回
折角に１対１に対応し、従って解析すべき高周波１ｄ号
の周波数に１約１に対応する。
基板１の端面には光検出器アレー１１が接着されており
、これにょシ回折尤９のス、ＪＰット位置が検出される
ので解析すべき高周波１画号の）自波数が分る。唸た、
５ＡＷ６による入射導波光４の回折の回折効率はＳＡＷ
のパワーに唸は比例するので、光検出器アレ−１１０出
カ強度から高周波信号の・やワーも副寛できる。
、これにょシ回折尤９のス、ＪＰット位置が検出される
ので解析すべき高周波１画号の）自波数が分る。唸た、
５ＡＷ６による入射導波光４の回折の回折効率はＳＡＷ
のパワーに唸は比例するので、光検出器アレ−１１０出
カ強度から高周波信号の・やワーも副寛できる。
第２図は第１図の光回折部と集光部の詳細図である。９
−１．９−２及び９−３はそれぞれＩＤＴ５に印加され
る異なる周波数の高周波信号に対応した回折光である。
−１．９−２及び９−３はそれぞれＩＤＴ５に印加され
る異なる周波数の高周波信号に対応した回折光である。
また、Ａ点は集光用ジオデシックレンズ８の中心である
。ＩＤ’ｒ ５ ＆よティルテッドフイ７ ｆｆ −チ
ャー７’ ＳＡＷ ＩＤＴと呼ばれるトランスデユーザ
ーであり、全周波数・１（）域にわたってＳＡＷ葡励振
する。従って、ＩＤＴ５によって励振された５ＡＷ６は
、高周波１ｇ−号の周波数によらず、入射導波光４と殆
ど同じ位置で相互作用する。
。ＩＤ’ｒ ５ ＆よティルテッドフイ７ ｆｆ −チ
ャー７’ ＳＡＷ ＩＤＴと呼ばれるトランスデユーザ
ーであり、全周波数・１（）域にわたってＳＡＷ葡励振
する。従って、ＩＤＴ５によって励振された５ＡＷ６は
、高周波１ｇ−号の周波数によらず、入射導波光４と殆
ど同じ位置で相互作用する。
実線で示される回折光９−２の場合は、その光束の中心
光線が集光用ジオデシックレンズ８の中心Ａ点を通過す
るのでレンズの作製誤差が多少あってもその影響は小さ
く微小なスポットが得られる。しかし、点線で示される
回折光９−１あるいは破線で示される回折光９−３の場
合には、光束の中心光線がＡ点を通らず光束の多くの部
分がレンズ周辺部を通過するためにレンズ・の作製誤差
の影響を大きく受け微小なス’ｌ’ｙトが得られない。
光線が集光用ジオデシックレンズ８の中心Ａ点を通過す
るのでレンズの作製誤差が多少あってもその影響は小さ
く微小なスポットが得られる。しかし、点線で示される
回折光９−１あるいは破線で示される回折光９−３の場
合には、光束の中心光線がＡ点を通らず光束の多くの部
分がレンズ周辺部を通過するためにレンズ・の作製誤差
の影響を大きく受け微小なス’ｌ’ｙトが得られない。
以上の如く、従来の光回折を利用した光導波型素子では
全回折光が発散するのでその検出に当シ広い回折角の範
囲１フたって高い性能をもっことは困難であり要求され
ている精度を満足ぜしめることはできない。
全回折光が発散するのでその検出に当シ広い回折角の範
囲１フたって高い性能をもっことは困難であり要求され
ている精度を満足ぜしめることはできない。
本発明は上記従来技術の有する欠点を除去すべくなされ
たものであシ、全回折光をはは一点に収束せしめること
によりその検出に当り広い回折角範囲にわたって十分な
性能ケもっ光導波型素子を提供することを目的とする。
たものであシ、全回折光をはは一点に収束せしめること
によりその検出に当り広い回折角範囲にわたって十分な
性能ケもっ光導波型素子を提供することを目的とする。
以下、図面に基き本発明の詳細な説明する。
本発明の原理金示す第３図において、簡単のために、入
射導波光及び回折光は中心光線で表ゎされ、ＳＡＷは伝
搬°方−向に平行で音束の中心全通る直線で表わされて
いる。２（）は入射導波光である。
射導波光及び回折光は中心光線で表ゎされ、ＳＡＷは伝
搬°方−向に平行で音束の中心全通る直線で表わされて
いる。２（）は入射導波光である。
２１．２２．２３及び２４はＩＤＴであり、各ＩＤＴは
異なる中心周波数をもち且つ入射導波光に対し異なる傾
角をもって光導波路（図示せず）上に作製されている。
異なる中心周波数をもち且つ入射導波光に対し異なる傾
角をもって光導波路（図示せず）上に作製されている。
２５，２６，２７及び２８はそれぞれＩＤＴ ２１ 、
２２ 、２３及び２４にょシ励振されるＳＡＷであシ、
２９，３０．３１及び３２（ｒ：ｉそれぞれ５ＡＷ２５
，２６，２７及び２８による入射導波光２０の回折光で
ある。３３！ｌ−ｉ：ジオデシックレンズ又はルネブル
グレンズ宿・の光導波路上に作製されたレンズでありＢ
Ａはレンズ３３の中心である。Ｃ，Ｄ、Ｅ及び２点はそ
れぞれ入射曽、波光２゜と５ＡＷ２５，２６．２７及び
２８が交差する点であシ、そこで光回折が行われる。こ
の様な光回折を行う部分と回折光の波面変換を行うレン
ズとの組合せは、スペクトラムアナライザー、相臓器、
光偏向器等の多くの光導波型集子に共通のものである。
２２ 、２３及び２４にょシ励振されるＳＡＷであシ、
２９，３０．３１及び３２（ｒ：ｉそれぞれ５ＡＷ２５
，２６，２７及び２８による入射導波光２０の回折光で
ある。３３！ｌ−ｉ：ジオデシックレンズ又はルネブル
グレンズ宿・の光導波路上に作製されたレンズでありＢ
Ａはレンズ３３の中心である。Ｃ，Ｄ、Ｅ及び２点はそ
れぞれ入射曽、波光２゜と５ＡＷ２５，２６．２７及び
２８が交差する点であシ、そこで光回折が行われる。こ
の様な光回折を行う部分と回折光の波面変換を行うレン
ズとの組合せは、スペクトラムアナライザー、相臓器、
光偏向器等の多くの光導波型集子に共通のものである。
ＩＤＴ ２１は全ＩＤＴのうちで一番低い中心周波数音
もち、その中心周波数において入射導波光２０に対して
５ＡＷ２５がブラッグ条件全満足する様に傾けられてい
る。ＳＡＷ ２５は入射導波光２０と０点で交差し回折
光２９が生ずる。ＩＤＴ ２１の中心周波数は低いため
に回折角は小さい。ＩＤＴ ２１ ｔｒ′ｉ回折光２９
の中心光線がレンズ３３の中心Ｂ点ゲはぼ通る様に配置
されている。ＩＤＴ ２２は２番目に低い中心周波数を
もち、その中心周波数において入射導波光２０に対して
５ＡＷ２６がブラッグ条件を満足する様に傾けられてい
る。５ＡＷ２６は入射導波）ＹｌｏとＩ）点で交差し回
折光３０が生ずる。
もち、その中心周波数において入射導波光２０に対して
５ＡＷ２５がブラッグ条件全満足する様に傾けられてい
る。ＳＡＷ ２５は入射導波光２０と０点で交差し回折
光２９が生ずる。ＩＤＴ ２１の中心周波数は低いため
に回折角は小さい。ＩＤＴ ２１ ｔｒ′ｉ回折光２９
の中心光線がレンズ３３の中心Ｂ点ゲはぼ通る様に配置
されている。ＩＤＴ ２２は２番目に低い中心周波数を
もち、その中心周波数において入射導波光２０に対して
５ＡＷ２６がブラッグ条件を満足する様に傾けられてい
る。５ＡＷ２６は入射導波）ＹｌｏとＩ）点で交差し回
折光３０が生ずる。
ＩＤＴ ２２の中心周波数はＩＩ）Ｔ ２１の中心周波
数よシ高いために回折角もよ、り大きい。ＩＤＴ ２２
は回折光３０の中心光線がはｌ’ｆ、 Ｂ点を曲る様に
配置されておシ、このためＤ点（ｒａｔ ｃ点よりレン
ズ３３の近くに位置する。同様にして更に高い中心周波
数をもつＩＤＴ ２３及び全ＩＤＴのうちで最も高い中
心周波数音もつＩＤＴ ２４がいづれもその回折光３１
及び３２の中心光線がほぼＢ点ｋ ｉ！Ｖ］る様に配置
されている。このため、Ｂ点はＤ点より更に２点はＢ点
よす更にレンズ３３の近くに位置する。
数よシ高いために回折角もよ、り大きい。ＩＤＴ ２２
は回折光３０の中心光線がはｌ’ｆ、 Ｂ点を曲る様に
配置されておシ、このためＤ点（ｒａｔ ｃ点よりレン
ズ３３の近くに位置する。同様にして更に高い中心周波
数をもつＩＤＴ ２３及び全ＩＤＴのうちで最も高い中
心周波数音もつＩＤＴ ２４がいづれもその回折光３１
及び３２の中心光線がほぼＢ点ｋ ｉ！Ｖ］る様に配置
されている。このため、Ｂ点はＤ点より更に２点はＢ点
よす更にレンズ３３の近くに位置する。
この様にして、回折光２９，３０．３１及び３２の中心
光線を全てレンズ３３の中心Ｂ点にほぼ通すことにより
、ＩＤＴの全動作周波数帯域にわたってレンズ３３通過
後の回折光はレンズ作製誤差の影＃を殆ど受けず所望の
／待住金得ることがでさる０ 本発明の一実施例である光偏向器を示す第４図において
、４１は基板でありＹカットのＬｉＮｂＯ３である。４
２は光導波路であシ、基板４１にＴＩ全約２００Ｘ蒸着
し約１０００℃で熱拡散することによって作製される。
光線を全てレンズ３３の中心Ｂ点にほぼ通すことにより
、ＩＤＴの全動作周波数帯域にわたってレンズ３３通過
後の回折光はレンズ作製誤差の影＃を殆ど受けず所望の
／待住金得ることがでさる０ 本発明の一実施例である光偏向器を示す第４図において
、４１は基板でありＹカットのＬｉＮｂＯ３である。４
２は光導波路であシ、基板４１にＴＩ全約２００Ｘ蒸着
し約１０００℃で熱拡散することによって作製される。
４３は半導体レーザー光でありプリズムカゾター４４を
介して光導波路４２内に導かれ導波光４５となる。半導
体レーザー光の波長は０．８３μｍであり、プリズムカ
ノター４４としてはＴｌＯ２製のものを使用した。４６
．４７．４８及び４９はそれぞれ異なる中心周波数と異
なる傾角をもつＩＤＴであシ、５０はＳＡＷである。５
１はルネプルグレンズであシ、５２は非回折光であり、
５３は回折光であり、５４は回折光５３の走査方向を示
し、５５は光検出器である。
介して光導波路４２内に導かれ導波光４５となる。半導
体レーザー光の波長は０．８３μｍであり、プリズムカ
ノター４４としてはＴｌＯ２製のものを使用した。４６
．４７．４８及び４９はそれぞれ異なる中心周波数と異
なる傾角をもつＩＤＴであシ、５０はＳＡＷである。５
１はルネプルグレンズであシ、５２は非回折光であり、
５３は回折光であり、５４は回折光５３の走査方向を示
し、５５は光検出器である。
ＩＤＴ ４６ 、４７ 、４８及び４９はＡｔを電極材
として通常のフォ） ＩＪソゲラフイーの技術で作製さ
れておシ、第３図に関し説明した様に、回折角の大きい
よシ高い中心周波数をもつＩＤＴはどルネブルグレンズ
５１に近い側に配置されている。ＳＡＷはＩＤＴ ４６
、４７ 、４８及び４９によって励振され導波光４５
を回折せしめる。非回折光５２及び回折光５３はルネブ
ルグレンズ５１によって集光され、基板４１の端面にス
ポットを結ぶ。ＩＤＴ４６゜４７．４８及び４９に時間
に対してリニアーに周波数の変化する高周波信号を印加
すると１ＩＪ１折光５３の作るスポットは基板４１の端
面で走査方向５４の方向に連続的に走査される。例えば
、ここに光記録媒体装置けば半導体レーザー光４３をオ
ン・オフし変調することによって信号の高密度記録を行
うことができる。第４図においてはＩＤＴ、Ｈ（のみか
ら５ＡＷ５０が励振されている。非回折光５２は光検出
器５５によって検出され、その信号全半導体レーザー光
４３の強度にフィードバックすることによって回折光５
３０強度を常にほぼ一定に保つことができる。
として通常のフォ） ＩＪソゲラフイーの技術で作製さ
れておシ、第３図に関し説明した様に、回折角の大きい
よシ高い中心周波数をもつＩＤＴはどルネブルグレンズ
５１に近い側に配置されている。ＳＡＷはＩＤＴ ４６
、４７ 、４８及び４９によって励振され導波光４５
を回折せしめる。非回折光５２及び回折光５３はルネブ
ルグレンズ５１によって集光され、基板４１の端面にス
ポットを結ぶ。ＩＤＴ４６゜４７．４８及び４９に時間
に対してリニアーに周波数の変化する高周波信号を印加
すると１ＩＪ１折光５３の作るスポットは基板４１の端
面で走査方向５４の方向に連続的に走査される。例えば
、ここに光記録媒体装置けば半導体レーザー光４３をオ
ン・オフし変調することによって信号の高密度記録を行
うことができる。第４図においてはＩＤＴ、Ｈ（のみか
ら５ＡＷ５０が励振されている。非回折光５２は光検出
器５５によって検出され、その信号全半導体レーザー光
４３の強度にフィードバックすることによって回折光５
３０強度を常にほぼ一定に保つことができる。
ルネブルグレンズ５１にｔ、、第５図に断面図が示され
る様に、基板４１上の光導波路４２上にＮｂ２Ｏ５全ス
・ぐツタ−で被着することにより作製された。焦点距離
４０＋＋＋ｍのレンズとなる様に、スＡツタ−の際に光
導波路４２の上方にＮＣ加工のマスクを置き直径１２覇
、中心厚０８２μｍのルネブルグレンズ５１を作製した
。Ｎｂ２Ｏ５のＭｌ折率が設計値よシ０．０１高＜２．
４１となったため、最良像面はルネブルグレンズ５１よ
り３７．７３ｍｍのｌｆＡ離になった。基板４１の屈折
率は２．２５でＴＭｏモード金用金工モードインデック
スは２．２５５と推定される。
る様に、基板４１上の光導波路４２上にＮｂ２Ｏ５全ス
・ぐツタ−で被着することにより作製された。焦点距離
４０＋＋＋ｍのレンズとなる様に、スＡツタ−の際に光
導波路４２の上方にＮＣ加工のマスクを置き直径１２覇
、中心厚０８２μｍのルネブルグレンズ５１を作製した
。Ｎｂ２Ｏ５のＭｌ折率が設計値よシ０．０１高＜２．
４１となったため、最良像面はルネブルグレンズ５１よ
り３７．７３ｍｍのｌｆＡ離になった。基板４１の屈折
率は２．２５でＴＭｏモード金用金工モードインデック
スは２．２５５と推定される。
ＩＤＴの形状の詳細は第６図に示す如くである。
ここで、Ｇ、Ｈ，Ｉ及び５点はそれぞれＩＤＴ ４６
。
。
４７．４８及び４９の中心である。。このＩＤＴアレー
け０．６８５ ＧＨｚから１．４１５ ＧＨｚまでの７
３０ Ｍｌ（ｚのＳＡＷ周波数帯域幅をもち半導体レー
ザー光４３を空き中で約９度の角度差をもって偏向せし
める。
け０．６８５ ＧＨｚから１．４１５ ＧＨｚまでの７
３０ Ｍｌ（ｚのＳＡＷ周波数帯域幅をもち半導体レー
ザー光４３を空き中で約９度の角度差をもって偏向せし
める。
Ｌ ｉ Ｎｂ０３のＸ軸と同一方向であシ、導波光４５
の伝搬方向とほぼ一致している。ｙ軸はＬｉＮｂＯ３の
２軸と同一方向であシ、ＳＡφ５ｏの伝搬方向とほぼ一
致している。（ｘ、ｙ）座標の原点はルネブルグレンズ
５１の中心に置かれているものとする。表１にＩＤＴ
４６ 、、４７ 、４８及び４９の中心周波数νｏ１中
心周波数におけるブラッグ角θ、Ｘ軸に対する傾角φ、
フィンガー交差幅ｗ１ フィンガー線１１鴨ｔ１各ＩＩ
）Ｔの中心（Ｇ、ｆ（、Ｉ及び５点）の座椋（ｘｃ・ｙ
ｃ）を示す。
の伝搬方向とほぼ一致している。ｙ軸はＬｉＮｂＯ３の
２軸と同一方向であシ、ＳＡφ５ｏの伝搬方向とほぼ一
致している。（ｘ、ｙ）座標の原点はルネブルグレンズ
５１の中心に置かれているものとする。表１にＩＤＴ
４６ 、、４７ 、４８及び４９の中心周波数νｏ１中
心周波数におけるブラッグ角θ、Ｘ軸に対する傾角φ、
フィンガー交差幅ｗ１ フィンガー線１１鴨ｔ１各ＩＩ
）Ｔの中心（Ｇ、ｆ（、Ｉ及び５点）の座椋（ｘｃ・ｙ
ｃ）を示す。
ＩＤＴ４６，４７．４８及び４９け全動作周波数帯域の
中心周波数１．０５ ＧＨｚにおいて回折光の中心光線
が完全にルネブルグレンズ５１の中心を通る様な配置に
なっている。また、各ＩＤＴの相対的位置は、同時出願
の特許願「トランスデユーザーアレー」の明細書におい
て開示されている如く、クロスオーバー周波数で回折効
率の低下がない様になっている。また、ＩＤＴ ４９か
ら励振されるＳＡＷの中心線と導波光４５の中心光線と
の交点から５点までの距離は５．０欄である。
中心周波数１．０５ ＧＨｚにおいて回折光の中心光線
が完全にルネブルグレンズ５１の中心を通る様な配置に
なっている。また、各ＩＤＴの相対的位置は、同時出願
の特許願「トランスデユーザーアレー」の明細書におい
て開示されている如く、クロスオーバー周波数で回折効
率の低下がない様になっている。また、ＩＤＴ ４９か
ら励振されるＳＡＷの中心線と導波光４５の中心光線と
の交点から５点までの距離は５．０欄である。
導波光４５の光束幅が４．５ ｍの場合の第４図の光偏
向器の性能につき以下に述べる。
向器の性能につき以下に述べる。
ＩＤＴアレーに異なる高周波信号が印加されて異なる周
波数のＳＡＷが励振される場合の回折光とレンズとの幾
何学的関係を第７図に示す。５６゜５７．５８．５９及
び６０はそれぞれ異なる周波数のＳＡＷに対する回折光
の中心光線であり、ＳＡｗ同波同波数回折光のＸ軸とな
す角ψ（Ｘ軸より反時計回Ｄ’に十にとる）を表２に示
す。
波数のＳＡＷが励振される場合の回折光とレンズとの幾
何学的関係を第７図に示す。５６゜５７．５８．５９及
び６０はそれぞれ異なる周波数のＳＡＷに対する回折光
の中心光線であり、ＳＡｗ同波同波数回折光のＸ軸とな
す角ψ（Ｘ軸より反時計回Ｄ’に十にとる）を表２に示
す。
表 ２
に、、Ｌ、Ｍ及びＮ点はそれぞれ回折光の中心光線５６
．５７．５９及び６ｏあるいはルネブルグレンズ５１へ
の入射後はその延長線がｘ ｎ＋ｌｔ＋と交わる点であ
る。ＳＡＷ周波数１．０５ ＧＴ（ｙ、のときの回折光
の中心光線５８はＸ軸と一致する。Ｋ、 Ｌ、Ｍ及びＮ
点のＸ座標を表３に示す。
．５７．５９及び６ｏあるいはルネブルグレンズ５１へ
の入射後はその延長線がｘ ｎ＋ｌｔ＋と交わる点であ
る。ＳＡＷ周波数１．０５ ＧＴ（ｙ、のときの回折光
の中心光線５８はＸ軸と一致する。Ｋ、 Ｌ、Ｍ及びＮ
点のＸ座標を表３に示す。
表 ３
４エ図に示したテイルデッドフィンガーチャープＳＡＷ
ＩＤＴ を第４図のＩＤＴ ４９の位置に配置した揚
台には全動作周波数帯域において回折光の中心光線は殆
どＸ ＝−９ｍｍでＸ軸と交差１′るので、上記表３全
参照すれば第４図に関し説明した上記実施例においては
回折光がルネブルグレンズ５１のより中心近くを通るこ
とが分る。
ＩＤＴ を第４図のＩＤＴ ４９の位置に配置した揚
台には全動作周波数帯域において回折光の中心光線は殆
どＸ ＝−９ｍｍでＸ軸と交差１′るので、上記表３全
参照すれば第４図に関し説明した上記実施例においては
回折光がルネブルグレンズ５１のより中心近くを通るこ
とが分る。
回折光を集光して得られるスポットの強度分布を第８図
（ａ）及び（ｂ）に示す。６エ及び６２けそれぞれＳＡ
Ｗ周波数が１．０５ ＧＨｚ及び１．４１５ ＧＨｚの
ときのスポットの強度分布である。先に述べた様にＳＡ
Ｗ周波数が１．０５ ＧＨｚのときは回折光の中心光、
ｒ更５３がルネプルグレンズ５１の中心を通るので、１
／ンズ５１の屈折率が作製誤差で０．０１高くなったけ
れどもに社８図（８）で示される如く回折限界近いスポ
ット径４．５μｍ（強度１／ｅ）が得られる。”まだ、
動作周波数帯域の上限であるＳＡＷ周波数１．４１５Ｇ
Ｈ，ｚの場合も回折光の中心光線６０は比較的ルネブル
グレンズ５１の中心近くを通るので、第８図（ｂ）で示
される如くスポット径４．９μｍ（強度１／ｅ）が得ら
れる。同様に、他のＳＡＷ周波数においても微小なスポ
ットが得られる。
（ａ）及び（ｂ）に示す。６エ及び６２けそれぞれＳＡ
Ｗ周波数が１．０５ ＧＨｚ及び１．４１５ ＧＨｚの
ときのスポットの強度分布である。先に述べた様にＳＡ
Ｗ周波数が１．０５ ＧＨｚのときは回折光の中心光、
ｒ更５３がルネプルグレンズ５１の中心を通るので、１
／ンズ５１の屈折率が作製誤差で０．０１高くなったけ
れどもに社８図（８）で示される如く回折限界近いスポ
ット径４．５μｍ（強度１／ｅ）が得られる。”まだ、
動作周波数帯域の上限であるＳＡＷ周波数１．４１５Ｇ
Ｈ，ｚの場合も回折光の中心光線６０は比較的ルネブル
グレンズ５１の中心近くを通るので、第８図（ｂ）で示
される如くスポット径４．９μｍ（強度１／ｅ）が得ら
れる。同様に、他のＳＡＷ周波数においても微小なスポ
ットが得られる。
本発明の他の実施例全示す第９図において、７１は光導
波路であ、９．７２Ｎ−人、射導波光であり、７３．７
４及び７５ ＦｉＩＤＴであシ、７６．７７及び７８は
それぞれＩＤＴ７３．７４及び７５による回折光である
。７９はルネブルグレンズであシ、０点はその中心であ
る。ｓｏ、ｓｉ及び８２は光ファイバーである。光導波
路７１はＹカットＬｉＮｂ０．にＴｉを熱拡散すること
によって作製されており、入射導波光７２は光導波路７
１中を伝搬する。第９図においては簡単のために入射導
波光及び回折光は中心光線で表わされている。
波路であ、９．７２Ｎ−人、射導波光であり、７３．７
４及び７５ ＦｉＩＤＴであシ、７６．７７及び７８は
それぞれＩＤＴ７３．７４及び７５による回折光である
。７９はルネブルグレンズであシ、０点はその中心であ
る。ｓｏ、ｓｉ及び８２は光ファイバーである。光導波
路７１はＹカットＬｉＮｂ０．にＴｉを熱拡散すること
によって作製されており、入射導波光７２は光導波路７
１中を伝搬する。第９図においては簡単のために入射導
波光及び回折光は中心光線で表わされている。
ＩＤＴ ７３ 、７４及び７５に直流電圧全印加すると
電気光学効果によって電極下の光導波路内に位相格子が
生じ、これにより入射導波光７２が回折される。ＩＤＴ
７３ 、７４及び７５はそれぞれ異〜なる電極ピッチ
と傾角をもち、傾角は当該ＩＤＴにより生ぜしめられる
位置格子により入射導波光７２が回折せしめられる様に
ブラッグ条件全満足する如くに定められている。ＩＤＴ
７３に直流電圧が印加されると回折光７６が生ずる。
電気光学効果によって電極下の光導波路内に位相格子が
生じ、これにより入射導波光７２が回折される。ＩＤＴ
７３ 、７４及び７５はそれぞれ異〜なる電極ピッチ
と傾角をもち、傾角は当該ＩＤＴにより生ぜしめられる
位置格子により入射導波光７２が回折せしめられる様に
ブラッグ条件全満足する如くに定められている。ＩＤＴ
７３に直流電圧が印加されると回折光７６が生ずる。
ＩＤＴ ７３の１Ｅ極ピツチは全ＩＤＴのうちで最も大
きいので、回折光７６は最も小さな角度回折せしめられ
ている。
きいので、回折光７６は最も小さな角度回折せしめられ
ている。
ＩＤＴ ７３ Ｆｉ回折光７６の中心光線がルネブルグ
レンズ７９の中心であるＯ点ヲ１１は通る様に配置され
ている。レンズ７９を通過した回折光７６は光導波路７
１の端面に集光され光フアイバー８０内に導かれる。Ｉ
ＤＴ ７４に直流電圧が印加されると回折光７７が生ず
る。ＩＤＴ ７４の電極ピッチはＩＤＴ ７３よシも小
さいので、回折光７７は回折光７６よシも大きな角度回
折せしめられている。
レンズ７９の中心であるＯ点ヲ１１は通る様に配置され
ている。レンズ７９を通過した回折光７６は光導波路７
１の端面に集光され光フアイバー８０内に導かれる。Ｉ
ＤＴ ７４に直流電圧が印加されると回折光７７が生ず
る。ＩＤＴ ７４の電極ピッチはＩＤＴ ７３よシも小
さいので、回折光７７は回折光７６よシも大きな角度回
折せしめられている。
ＩＤＴ ７４も回折光７７の中心光線がルネブルグレン
ズ７９の中心Ｏ点全はぼ通る様に配置されている。従っ
て、ＩＤＴ７４はＩＤＴ ７３よりもレンズ７９の近く
に位置する。レンズ７９全通過した回折光７７は集光さ
れて光フアイバー８１内に導かれる。同様にして、全Ｉ
ＤＴのうちで最も小さい電極ピッチ全有するＩＤＴ ７
５は、回折光７８がレンズ７９の中心０点をほぼ通る様
に、ＩＤＴ ７４よシも更にレンズ７９の近くに配置さ
れている。回折光７８はレンズ７９通過後集光されて光
フアイバー８２内に導かれる。尚、ＩＤＴ ７３ 、７
４及び７５と光導波路７１との間には、電極金属による
入射導波光７２の吸収を防止するため５ＩＯ２等のバッ
ファ層を設けるのが望ましい。
ズ７９の中心Ｏ点全はぼ通る様に配置されている。従っ
て、ＩＤＴ７４はＩＤＴ ７３よりもレンズ７９の近く
に位置する。レンズ７９全通過した回折光７７は集光さ
れて光フアイバー８１内に導かれる。同様にして、全Ｉ
ＤＴのうちで最も小さい電極ピッチ全有するＩＤＴ ７
５は、回折光７８がレンズ７９の中心０点をほぼ通る様
に、ＩＤＴ ７４よシも更にレンズ７９の近くに配置さ
れている。回折光７８はレンズ７９通過後集光されて光
フアイバー８２内に導かれる。尚、ＩＤＴ ７３ 、７
４及び７５と光導波路７１との間には、電極金属による
入射導波光７２の吸収を防止するため５ＩＯ２等のバッ
ファ層を設けるのが望ましい。
上記の第９図に関し示された光導波型素子は、電圧を印
加するＩＤＴ’５７選ぶことによって入射導波光７２ｆ
：異なる光ファイバーに振り分けるマルチプレクサ−と
しての機能金有する。この素子においては電気光学効果
を利用しているため５ＡＷｉ用いた先述の素子に比較し
て偏向点数が少ないが、５ＡＷＯ伝搬時間が不要である
のでアクセスタイムが大幅に減少し高速動作が可能とな
る。この素子においては光フアイバー内に回折光を導け
ばよいため、ルネブルグレンズ７９が光導波路７１の端
面に作るスポットは先述の素子におけるｔｌど微小なも
のは要求されないが、回折光７６．７７及び７８の中心
光線が０点をほぼ通ることがみければルネブルグレンズ
７９の作製公差を厳しくしないと光ファイバー８０．８
１及び８２に効率良く光が導かれない。第９図に示され
た素子においてはＩＤＴ７３，７４及び７５とルネブル
グレンズ７９が、回折光７６．７７及び７８がいづれも
。点をほぼ通る様に配置されているため、ルネブルグレ
ンズ７９の形状及び屈折率等の公差を比較的ゆるくとっ
ても十分な性能が得られる。
加するＩＤＴ’５７選ぶことによって入射導波光７２ｆ
：異なる光ファイバーに振り分けるマルチプレクサ−と
しての機能金有する。この素子においては電気光学効果
を利用しているため５ＡＷｉ用いた先述の素子に比較し
て偏向点数が少ないが、５ＡＷＯ伝搬時間が不要である
のでアクセスタイムが大幅に減少し高速動作が可能とな
る。この素子においては光フアイバー内に回折光を導け
ばよいため、ルネブルグレンズ７９が光導波路７１の端
面に作るスポットは先述の素子におけるｔｌど微小なも
のは要求されないが、回折光７６．７７及び７８の中心
光線が０点をほぼ通ることがみければルネブルグレンズ
７９の作製公差を厳しくしないと光ファイバー８０．８
１及び８２に効率良く光が導かれない。第９図に示され
た素子においてはＩＤＴ７３，７４及び７５とルネブル
グレンズ７９が、回折光７６．７７及び７８がいづれも
。点をほぼ通る様に配置されているため、ルネブルグレ
ンズ７９の形状及び屈折率等の公差を比較的ゆるくとっ
ても十分な性能が得られる。
以上の実施例の説明においては、レンズとして主として
ルネブルグレングを用いて説明したがジオデシックレン
ズ等の他の光導波路レンズを用いた場合も同様である。
ルネブルグレングを用いて説明したがジオデシックレン
ズ等の他の光導波路レンズを用いた場合も同様である。
また、導波光全偏向せしめる手段としてはＳＡＷによる
場合と電気光学効果を用いた回折格１子による場合とに
ついて説明したが、もちろん電気光学効果金用いた内部
全反射やゾリズムによる屈折等の適宜の手段音用いた場
合も同様である。
場合と電気光学効果を用いた回折格１子による場合とに
ついて説明したが、もちろん電気光学効果金用いた内部
全反射やゾリズムによる屈折等の適宜の手段音用いた場
合も同様である。
実施例の説明においては光導波路上にレンズを備えた素
子に関し述べたが、光導波路外にレンズがある場合も同
様な効果が得られる。即ち、回折光の回折角がいかなる
場合にも外部レンズの入射瞳の中心全回折光の中心光線
がほぼ通る様にすることができ、これによシ収差が少な
く良好な光学性能が得られる。
子に関し述べたが、光導波路外にレンズがある場合も同
様な効果が得られる。即ち、回折光の回折角がいかなる
場合にも外部レンズの入射瞳の中心全回折光の中心光線
がほぼ通る様にすることができ、これによシ収差が少な
く良好な光学性能が得られる。
以上、本発明素子として集光用レンズを有するものにつ
き説明したが、集光用レンズ全有せず、たとえば偏向光
を直接検出手段に導くものであっても、全回折光の中心
光線を検出位置においてほぼ１点を通る様にすることに
より検出手段の配置及び検出方法につき種々の利点が生
じ、本発明にはこの様な素子も包含される。
き説明したが、集光用レンズ全有せず、たとえば偏向光
を直接検出手段に導くものであっても、全回折光の中心
光線を検出位置においてほぼ１点を通る様にすることに
より検出手段の配置及び検出方法につき種々の利点が生
じ、本発明にはこの様な素子も包含される。
以上の如く、本発明によれば複数の偏向光がほぼ一点金
通る様に複数の光偏向手段全配置したので、その検出に
当シ光学的に良好な性能が得られる。
通る様に複数の光偏向手段全配置したので、その検出に
当シ光学的に良好な性能が得られる。
第１図は従来の光ス啄りトラムアナライザーの斜視図で
あり、第２図はその光回折部と集光部の詳細図である。 第３図は本発明の原理図であり、第４図は本発明の実が
ｑ例を示す斜視図であシ、第５図はルネプルグレンズの
断面図であり、第６図はＩＩ）Ｔアレーの詳細図であり
、第７図は回折光とルネグルグレンズの幾何学的関係を
示す詳細図である。第８図はスポットの強度分布を示す
グラフである。第９図は本発明の他の実施例を示す概略
図で条る。 ｌ二基板、２：光導波路、３：半導体レーザー、４：入
射導波光、５ ： ＩＤＴ、 ６ ： ＳＡＷ、７ ：
コリメート用ジオデシックレンズ、８：集光用ジオデシ
ックレンズ、９：回折光、１０：非回折光、１１：光検
出器アレー、１２：遮光部材、２０：入射導波光、２１
，２２Ｆ２３，２４：ＩＤＴ、２５゜２６．２７，２８
：ＳＡＷ、２９，３０，３１ 。 ３２：回折光、３３： ンズ、４１：基板、４２：光導
波路、４３：半導体レーザー光、４４：プリズムカゾタ
ー、４５：導波光、４６，４７゜４８．４９： ＩＤＴ
−、５ｏ：ｓｈｗ、５１ ：ルネブルグレンズ、５２：
非回折光、５３：回折光、５５：光検出器％ ５６，５
７，５８，５９，６０：回折光、７１：光導波路、７２
：入射導波光、７３゜７４Ｆ７５：ＩＤＴ、７６．７７
．７８：回折光、７９：ルネプルグレンズ、８０１Ｂ１
，８２：光ファイバー。 第 ７ 図 竿 ８ｍ ｔ邑ＭＩＪスｔ＆Ｉ４１Ｊ 対ｊトイプＬ）ｌａｌ し
：１．０５ＧＨｚ （ｂ）し＝１．４１５ＧＨ２
あり、第２図はその光回折部と集光部の詳細図である。 第３図は本発明の原理図であり、第４図は本発明の実が
ｑ例を示す斜視図であシ、第５図はルネプルグレンズの
断面図であり、第６図はＩＩ）Ｔアレーの詳細図であり
、第７図は回折光とルネグルグレンズの幾何学的関係を
示す詳細図である。第８図はスポットの強度分布を示す
グラフである。第９図は本発明の他の実施例を示す概略
図で条る。 ｌ二基板、２：光導波路、３：半導体レーザー、４：入
射導波光、５ ： ＩＤＴ、 ６ ： ＳＡＷ、７ ：
コリメート用ジオデシックレンズ、８：集光用ジオデシ
ックレンズ、９：回折光、１０：非回折光、１１：光検
出器アレー、１２：遮光部材、２０：入射導波光、２１
，２２Ｆ２３，２４：ＩＤＴ、２５゜２６．２７，２８
：ＳＡＷ、２９，３０，３１ 。 ３２：回折光、３３： ンズ、４１：基板、４２：光導
波路、４３：半導体レーザー光、４４：プリズムカゾタ
ー、４５：導波光、４６，４７゜４８．４９： ＩＤＴ
−、５ｏ：ｓｈｗ、５１ ：ルネブルグレンズ、５２：
非回折光、５３：回折光、５５：光検出器％ ５６，５
７，５８，５９，６０：回折光、７１：光導波路、７２
：入射導波光、７３゜７４Ｆ７５：ＩＤＴ、７６．７７
．７８：回折光、７９：ルネプルグレンズ、８０１Ｂ１
，８２：光ファイバー。 第 ７ 図 竿 ８ｍ ｔ邑ＭＩＪスｔ＆Ｉ４１Ｊ 対ｊトイプＬ）ｌａｌ し
：１．０５ＧＨｚ （ｂ）し＝１．４１５ＧＨ２
Claims (1)
- （１）光導波路と該光導波路を伝搬する光を偏向せしめ
る複数の手段とを有し、該複数の光偏向手段が各光偏向
手段によシ偏向された光束の中心光線がほぼ一点を通る
様に配置せしめられていることを特徴とする、光導波型
素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11708283A JPS6010227A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 光導波型素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11708283A JPS6010227A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 光導波型素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6010227A true JPS6010227A (ja) | 1985-01-19 |
Family
ID=14702942
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11708283A Pending JPS6010227A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 光導波型素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6010227A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07269719A (ja) * | 1993-12-06 | 1995-10-20 | Adams Gmbh & Co Armaturen Kg | 周縁溶接積層体を有するシールリングを備えた弁 |
-
1983
- 1983-06-30 JP JP11708283A patent/JPS6010227A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07269719A (ja) * | 1993-12-06 | 1995-10-20 | Adams Gmbh & Co Armaturen Kg | 周縁溶接積層体を有するシールリングを備えた弁 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5070488A (en) | Optical integrated circuit and optical apparatus | |
| US4468084A (en) | Integrated optical time integrating correlator | |
| JP2644829B2 (ja) | 光情報記録再生装置 | |
| US5007694A (en) | Light wavelength converter | |
| JPS6010227A (ja) | 光導波型素子 | |
| JPH038134A (ja) | 光集積回路及び光学装置 | |
| US5361159A (en) | Angular acousto-optical deflection device and spectrum analyzer using such a device | |
| JP2829411B2 (ja) | 表面弾性波高速光偏向素子 | |
| JPH05323404A (ja) | 光波長変換素子 | |
| JP2599276B2 (ja) | 光集積回路 | |
| GB2135472A (en) | Beam spot scanning device | |
| JPH0234011B2 (ja) | ||
| JPS60213922A (ja) | 光周波数変調器 | |
| JPS60111220A (ja) | 光信号処理装置 | |
| JPS61215533A (ja) | 導波型光・音響スペクトラムアナライザ | |
| RU2017236C1 (ru) | Устройство для многоканальной оптической записи информации | |
| JPH06337446A (ja) | 導波路型音響光学素子 | |
| JPH0453931A (ja) | 光走査装置 | |
| JPH04242728A (ja) | 光偏向素子の動作方法 | |
| JP3781545B2 (ja) | 光ビーム偏向装置および描画装置 | |
| JPS626575A (ja) | 光学読取装置 | |
| JPS61267035A (ja) | 導波型光・音響スペクトラムアナライザ | |
| JPH09171201A (ja) | 光集積回路及び多点光ヘテロダイン計測装置 | |
| JPS6258217A (ja) | 導波型光・音響スペクトラムアナライザ | |
| JPS62244024A (ja) | ２次元光偏向装置 |