JPS6010157A - Through-hole inspecting apparatus - Google Patents
Through-hole inspecting apparatusInfo
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- JPS6010157A JPS6010157A JP11909183A JP11909183A JPS6010157A JP S6010157 A JPS6010157 A JP S6010157A JP 11909183 A JP11909183 A JP 11909183A JP 11909183 A JP11909183 A JP 11909183A JP S6010157 A JPS6010157 A JP S6010157A
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- cylindrical lens
- hole
- lens
- printed board
- mask material
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95692—Patterns showing hole parts, e.g. honeycomb filtering structures
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（１） 発明の技術分野
本発明はシリンドリカルレンズを用いたスルーホール検
査装置に係り、特にシリンドリカルレンズ側に加工を施
したスルーホール検査装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (1) Technical Field of the Invention The present invention relates to a through-hole inspection device using a cylindrical lens, and more particularly to a through-hole inspection device in which the cylindrical lens side is processed.
（２） 技術の背景
両面プリン上板や、多層プリント板には、それら基板に
形成されている表裏プリント配線間や。(2) Background of the technology Double-sided printed circuit boards and multilayer printed boards have gaps between the front and back printed wiring formed on these boards.
各層プリント配線間の電気的接続のために、スルーホー
ルが電気的或いは化学的メッキ法によりメッキされて形
成される。For electrical connection between printed wiring layers, through-holes are formed by electroplating or chemical plating.
このスルーホールのメッキ層が常に良好な状態にあると
は限らず、切れ目、ピンホール等の欠陥が生ずることが
ある。この欠陥はその接続目的を阻害し、プリント板の
信頼性を低下せしめるので。The plating layer of this through hole is not always in good condition, and defects such as cuts and pinholes may occur. This defect defeats the purpose of the connection and reduces the reliability of the printed circuit board.
このような欠陥を予め検査する必要がある。It is necessary to inspect for such defects in advance.
今までにも、各種検査法が開発されているがそれらはな
お、改良する余地があるのが実情である。Various testing methods have been developed so far, but the reality is that there is still room for improvement.
（３） 従来技術と問題点
第１図は従来のスルーホール検査装置の断面斜視図であ
る。同図において、プリント板１に設置したスルーホー
ル２の上端ランド部３にはクロム等の材質の金属反射板
がマスク４として密着して位置する。このマスク４はス
ルーホール２の上端ランド部３からスルーホール２内へ
入射する光を遮断する為のマスクである。照明光５はプ
リント板ｌの真上からプリント板１及びマスク４に入射
する。スルーホール２内の導体６に切裂部７がある場合
、プリント板１に入射した照明光５はプリ７１１を通し
て切裂部７からスルーホール２内に入り込みスルーホー
ル２の下端部がら漏光８を放散する。この漏光８を検出
してスルーホール２内の導体６に切裂７が存在するが否
かを検査する。(3) Prior Art and Problems FIG. 1 is a cross-sectional perspective view of a conventional through-hole inspection device. In the figure, a metal reflective plate made of chrome or the like is placed as a mask 4 in close contact with the upper end land portion 3 of a through hole 2 installed in a printed board 1. This mask 4 is a mask for blocking light entering into the through hole 2 from the upper end land portion 3 of the through hole 2. Illumination light 5 enters printed board 1 and mask 4 from directly above printed board 1. When the conductor 6 in the through hole 2 has a cut section 7, the illumination light 5 incident on the printed board 1 passes through the pre-711 and enters the through hole 2 from the cut section 7, and leaks light 8 from the lower end of the through hole 2. Dissipate. This light leakage 8 is detected to examine whether or not a cut 7 exists in the conductor 6 within the through hole 2.
しかしこの装置で検査する場合、スルーホール２の上端
ランド部３はプリント板ｌより高く突き出しており、マ
スク４をプリント板１に密着して移動した場合マスク４
は平坦面であるので、マスク４とプリント板１及びマス
ク４とスルーホール２の上端ランド部３との間に大きな
摩擦が存在し。However, when inspecting with this device, the upper end land portion 3 of the through hole 2 protrudes higher than the printed board 1, and if the mask 4 is moved in close contact with the printed board 1, the mask 4
Since is a flat surface, large friction exists between the mask 4 and the printed board 1 and between the mask 4 and the upper end land portion 3 of the through hole 2.
マスクが摩耗し、高速でのスルーホール欠陥検査が不可
能であった。The mask was worn out, making it impossible to inspect through-hole defects at high speed.
（４） 発明の目的
本発明は上記従来の欠点に鑑み、スルーホール基板のス
ルーホール内導体の切裂検査を高速で行なう装置を提供
することを目的とするものである。(4) Object of the Invention In view of the above-mentioned drawbacks of the prior art, it is an object of the present invention to provide an apparatus for performing a high-speed tear inspection of conductors in through-holes of a through-hole board.
（５） 発明の構成
そしてこの目的はシリンドリカルレンズを用いたスルー
ホール検査装置において、シリンドリカルレンズとマス
ク材及び保護部材とを有し、該マスク材は該シリンドリ
カ、ルレンズのレンズ最厚部にそって蒸着し、該保護部
材は該マスク材周辺部に位置し該マスク材を保護し、該
シリンドリカルレンズは該保護部材をプリント板に密着
させながらレンズ曲面方向にプリント板と平行に移動し
てなることを特徴とするスルーホール検査装置を提供す
ることによって達成される。(5) Structure and object of the invention is a through-hole inspection device using a cylindrical lens, which includes a cylindrical lens, a mask material, and a protective member, and the mask material extends along the thickest part of the lens of the cylindrical lens. the protective member is positioned around the mask material to protect the mask material, and the cylindrical lens moves parallel to the printed board in the direction of the lens curve while bringing the protective member into close contact with the printed board. This is achieved by providing a through-hole inspection device characterized by:
（６） 発明の実施例 以下本発明の実施例を図面によって詳述する。(6) Examples of the invention Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
第２図は本発明によるスルーホール検査装置の断面斜視
図である。同図において複数個のスルーホール２を有す
るプリント板１上にシリンドリカルレンズ９を軽く押し
つけて置く。シリンドリカルレンズ９にはレンズ補助板
１０が左右に各々１個づつ取り付けてあり、レンズ補助
板１０にはシリンドリカルレンズ９をプリント板１に軽
く挿しつける為の圧縮バネ１１がレンズ補助板１０の上
部に１個づつ取り付けである。照明光５はプリント板１
の上部からプリント板１に対して垂直に照射する。シリ
ンドリカルレンズ９はレンズの曲面方向でプリント板１
に対して水平に可動する。スルーボール２の上端ランド
部３からの照明光５の入射光を遮断する為のマスク材１
２はシリンドリカルレンズ９の下部でプリント板１と接
触する部分に蒸着する。第３図はマスク材１２をシリン
ドリカルレンズ９に蒸着した場合の構造図である。FIG. 2 is a cross-sectional perspective view of a through-hole inspection device according to the present invention. In the figure, a cylindrical lens 9 is lightly pressed onto a printed board 1 having a plurality of through holes 2. A lens auxiliary plate 10 is attached to the cylindrical lens 9, one each on the left and right sides, and a compression spring 11 is attached to the top of the lens auxiliary plate 10 for lightly inserting the cylindrical lens 9 onto the printed board 1. Install them one by one. Illumination light 5 is printed board 1
The light is irradiated perpendicularly to the printed board 1 from above. The cylindrical lens 9 is connected to the printed board 1 in the direction of the curved surface of the lens.
movable horizontally. Mask material 1 for blocking incident light of illumination light 5 from upper end land portion 3 of through ball 2
2 is vapor-deposited on the lower part of the cylindrical lens 9 in contact with the printed board 1. FIG. 3 is a structural diagram when the mask material 12 is deposited on the cylindrical lens 9. As shown in FIG.
シリンドリカルレンズ９がレンズの曲面方向に可動する
場合、摩擦を減少させる為酸化ケイ素等のガラス膜によ
る保護部材１３をマスク材１２の露出部にコーティング
する。したがってシリンドリカルレンズ９はマスク材１
２及び保護部材１３の順に重ねた３層構造となる。この
構造のシリンドリカルレンズ９によってスルーホール２
の欠陥ヲ検査する動作を第４図に示す。第４図は本発明
によるスルーホール検査装置の構成図であり、同図にお
いて、プリント板１．スルーホール２．上端部３．照明
光５．導体６．シリンドリカルレンズ９、レンズ補助板
１０及び圧縮バネ１１の配置は第２図と同一である。プ
リント板Ｉ上をプリント板１に平行に移動しているシリ
ンドリカルレンズ９に蒸着したマスク材１２がスルーホ
ール２の上端部３の真上に位置した場合、スルーホール
２の上部から照明光５はスルーホール２内へ入射しない
。しかし導体６に切裂部７が存在する場合シリントリー
カルレンズ９に照射した照明光５は凸レンズの作用によ
り集光されプリント板１のスルーボール周辺部を強く照
射する。この強い照射光によりプリント板１内へ入射し
た光はプリント板ｌを通してスルーホール２内の導体６
の切裂部７からスル−ホール２内に入射する。この入射
光はスルーホール２の下部から漏光８として放散するこ
とになる。漏光８はスルーホールの下に間隙をあけてプ
リント板１と平行に設置した凸レンズ１４により集光さ
れ、凸レンズ１４の下部に凸レンズ１４に平行に設置し
た光検知器１５で検知する。光検知器１５で検知された
出力はコントローラ１６に入力する。コントローラ１６
は漏光信号すなわちスルーホール２内の導体６゛の欠陥
信号の処理を行なうと共に、コントローラ１６の出オは
Ｘ−Ｙステージ１７に入力し、ｘ−ｙステージの動作を
漏光信号に従って制御する。When the cylindrical lens 9 moves in the direction of the curved surface of the lens, the exposed portion of the mask material 12 is coated with a protective member 13 made of a glass film such as silicon oxide to reduce friction. Therefore, the cylindrical lens 9 is
It has a three-layer structure in which layers 2 and 13 are stacked in this order. Through hole 2 is formed by cylindrical lens 9 with this structure.
The operation of inspecting for defects is shown in FIG. FIG. 4 is a block diagram of a through-hole inspection apparatus according to the present invention, and in the figure, printed board 1. Through hole 2. Upper end 3. Illumination light 5. Conductor 6. The arrangement of the cylindrical lens 9, lens auxiliary plate 10, and compression spring 11 is the same as in FIG. When the mask material 12 deposited on the cylindrical lens 9 moving on the printed board I parallel to the printed board 1 is located directly above the upper end 3 of the through hole 2, the illumination light 5 is emitted from the upper part of the through hole 2. It does not enter through hole 2. However, if the conductor 6 has a cut portion 7, the illumination light 5 irradiated onto the cylindrical lens 9 is condensed by the action of the convex lens and strongly irradiates the peripheral area of the through ball of the printed board 1. The light incident on the printed board 1 due to this strong irradiation passes through the printed board l to the conductor 6 in the through hole 2.
The light enters the through hole 2 from the cut portion 7 of the hole. This incident light will be diffused from the lower part of the through hole 2 as light leakage 8. The leaked light 8 is collected by a convex lens 14 installed parallel to the printed board 1 with a gap below the through hole, and detected by a photodetector 15 installed parallel to the convex lens 14 below the convex lens 14. The output detected by the photodetector 15 is input to the controller 16. controller 16
processes the light leakage signal, that is, the defect signal of the conductor 6' in the through hole 2, and the output of the controller 16 is input to the XY stage 17 to control the operation of the xy stage in accordance with the light leakage signal.
（７） 発明の効果
以上詳細に説明した様に１本発明はスルーホール基板の
スルーホール内導体の欠陥をシリンドリカルレンズの曲
面性を利用することによりプリント板との摩擦を低下さ
せ高速検査を可能とし、シリンドリカルレンズの集光性
を利用することによりスルーボール周辺部を強く照明で
きスルーホール内導体の欠陥がある場合に漏光を確実に
検出できるという効果を有する。(7) Effects of the Invention As explained in detail above, the present invention enables high-speed inspection of defects in the conductor in the through-hole of a through-hole board by utilizing the curved surface of the cylindrical lens to reduce friction with the printed board. By utilizing the light-gathering properties of the cylindrical lens, the periphery of the through-ball can be strongly illuminated, and light leakage can be reliably detected if there is a defect in the through-hole conductor.
第１図は従来のスルーホール検査装置の断面斜視図、第
２図は本発明のスルーボール検査装置の断面斜視図、第
３図は本発明のシリンドリカルレンズの構造図、第４図
は本発明のスルーホール検査装置の模式図である。
１・・・プリント板、 ２・・・スルーホール、 ３−
・・上端ランド部、 ５・・・照明光、 ６・・・導体
、 ７二・・切裂部、 ８・・・漏光、 ９・・・シリ
ンドリカルレンズ、 １０・・・レンズ補助板、 １１
・・・バネ、 １２・・・マスク材、 １３・・・保護
部材。
１４・・・凸レンズ、 １５・・・光検知器。
１６・・・コントローラ、 １７・・・Ｘ−Ｙステージ
第１図
第２図
第３図
１
第４図FIG. 1 is a cross-sectional perspective view of a conventional through-hole inspection device, FIG. 2 is a cross-sectional perspective view of a through-ball inspection device of the present invention, FIG. 3 is a structural diagram of a cylindrical lens of the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional perspective view of the present invention. FIG. 2 is a schematic diagram of a through-hole inspection device. 1...Printed board, 2...Through hole, 3-
...Top land portion, 5.Illumination light, 6.Conductor, 72..Tearing portion, 8.Light leakage, 9.Cylindrical lens, 10.Lens auxiliary plate, 11
... Spring, 12 ... Mask material, 13 ... Protective member. 14... Convex lens, 15... Photodetector. 16... Controller, 17... X-Y stage Fig. 1 Fig. 2 Fig. 3 Fig. 1 Fig. 4
Claims (1)
査装置において、シリンドリカルレンズとマスク材及び
保護部材とを有し、該マスク材は該シリンドリカルレン
ズのレンズ最厚部にそって蒸着し、該保護部材は該マス
ク材周辺部に位置し該マスク材を保護し、該シリンドリ
カルレンズは該保護部材をプリント板に密着させながら
レンズ曲面方向にプリント板と平行に移動してなること
を特徴とするスルーホール検査装置。(1) A through-hole inspection device using a cylindrical lens, which includes a cylindrical lens, a mask material, and a protective member, the mask material is deposited along the thickest part of the cylindrical lens, and the protective member is deposited along the thickest part of the cylindrical lens. A through-hole inspection device, characterized in that the cylindrical lens is located around a mask material and protects the mask material, and the cylindrical lens moves parallel to the printed board in the direction of the curved surface of the lens while bringing the protective member into close contact with the printed board. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11909183A JPS6010157A (en) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | Through-hole inspecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11909183A JPS6010157A (en) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | Through-hole inspecting apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6010157A true JPS6010157A (en) | 1985-01-19 |
Family
ID=14752668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11909183A Pending JPS6010157A (en) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | Through-hole inspecting apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6010157A (en) |
-
1983
- 1983-06-30 JP JP11909183A patent/JPS6010157A/en active Pending
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