JPS5998314A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、コランダム単結晶を基板として用いた薄膜ヘ
ッドに関するものである。

従来の長手方向磁気記録方式の場合、磁性微分末を塗布
した記録媒体が多く用いられている。これに対して垂直
磁気記録方式等ではコバルトクロム薄膜などの金属薄膜
を記録媒体として用いることが考えられている。コバル
トクロム薄膜上で接触型のヘッドを用いた場合、コバル
トクロム薄膜の一部が削取られ、これによって発生した
コバルトク四ムの微分末が、媒体、ヘッドの両方を嚇つ
ける現象が見られる。

また、従来のリング型ヘッドは、その材質として、フェ
ライト、セラミック等が用いられており、薄膜ヘッドの
基板としても、セラミック等が使われている。セラミッ
クの様な焼結体は、微小な領域で一様でないために、表
面をかなり研磨しても空孔や、硬さの一定、で、ない部
分が存在する。

薄膜ヘッドの場合、そ−の基板の表面状態により薄膜の
磁気特性が大きく左右される。ヘッドとしての磁気特性
を損わないためには、基板材料の表面精度のよさが要求
される。

本発明は、かかる点を鑑みてなされたもので、その目的
は、ヘッドの基板の表面性をよくシ、記録媒体とヘッド
との間の摩耗を少なくシ、またヘッドとしての磁気特性
を向上させることにある。

コランダム（ＡｔｘＯｓ）単結晶は、単結晶であるが故
に研磨された表面上では研磨による表面粗さ以上の欠陥
は存在しない。したかりて十分に研磨すれば、かなり表
面性を良くすることが可能である。前に述べた記録媒体
からのコバルトクロム微粉末の発生を、このことにより
少なくすることができる。

摩耗により、一旦コバルトクロム微粉末が発生した場合
、それによって削られないだけの硬さがヘッドには要求
される。コバルトクロム合金の硬度は、ＨＶ７００から
Ｈｖ１２００であり、コランダム単結晶はＨｖ２０００
である。したがってコランダム単結晶は十分な硬度をも
っている。

以上のようなことからコランダム単結晶を用いた垂直磁
気記録用薄膜ヘッドは耐久性にすぐれている。

また、表面性を向上させ得ることにより基板の表面の粗
さによる軟磁性薄膜の透磁率の減少、保磁力の増大とい
う欠点を改善することが可能になった。

次にコランダム単結晶を用いた磁気ヘッドの耐久性試験
の実施例を示す。

実験に用いたヘッドは、接触面を５ＯＲに球面加工した
コランダム単結晶を用い、記録媒体との接触圧を５ｏｏ
ｒ１０ｒｌとし直径約１ｒｒａｎの接触面積を保つよう
にした。比較のためパイレックスガラス、チタン酸バリ
ウムで同型のヘッドを作成して同じ条件で実験を行なっ
た。

次表に実験の結果を示す。時間は記録媒体の薄膜に割れ
が生じた時点で終了とした。フレキシブルディスクの耐
久性は３００万パス（毎分３００回転で１６７時間）の
連続使用に耐えることが必要とされるので、媒体に割れ
が生じなかった場合は、その時点で終了とした。

ヘッド側の出の状態は、コランダム単結晶は浅いｐが数
本つくのに対し、他は、一本あるいは二本の深い傷がつ
くことが多かった。

第１表　耐久性試験 また、それぞれのヘッドの表面を実験前に段差針で調べ
た結果を第１〜３図に示す。

次に、コランダム単結晶、パイレックス、チタン酸バリ
ウムに、パーマロイ（Ｎｉ−Ｆｅ−ＭＯ−Ｍｎ）、コバ
ルト−ニオブ−ジルコニウム非晶質、　コ）＜　ル）　
ｐタンタル非晶質の薄膜をＲＦスパッタ法で作成した場
合の、磁気特性を次表に示す。

第２表 以上のことにより、薄膜ヘッド基板として、コランダム
単結晶を用いることは、ヘッド、記録媒体相方の耐久性
を向上させ、ヘッドとしての磁気特性を値れたものにす
ることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、コランダム単結晶を５０ＯＲに球面加工した
ものを段差計で測定したものである。 同様に第２図はパイレックスガラス、第３１２！Ｊｆｄ
チタン酸バリウムのものである。 各図のａは、縦軸１０万倍、横軸２０倍、ｂは糸ｉｔ　
＋ｉｌ＋　ｓ　ｏ万倍、横１１０５００倍である。 以　　上 第１図 第２１゛：＜ｉ ’；：Ｓ　３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板として、コランダム単結晶を用いたことを特徴とす
   る薄膜磁気ヘッド。