JPS5992164A - はんだづけ装置 - Google Patents
はんだづけ装置Info
- Publication number
- JPS5992164A JPS5992164A JP58190597A JP19059783A JPS5992164A JP S5992164 A JPS5992164 A JP S5992164A JP 58190597 A JP58190597 A JP 58190597A JP 19059783 A JP19059783 A JP 19059783A JP S5992164 A JPS5992164 A JP S5992164A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- support
- vapor
- chambers
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/67034—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for drying
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
- B23K1/012—Soldering with the use of hot gas
- B23K1/015—Vapour-condensation soldering
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S134/00—Cleaning and liquid contact with solids
- Y10S134/902—Semiconductor wafer
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
米国特許第4,077.467号に述べられているよう
に、通常のはんだづけ、ろうづけ、溶着方法は、数多く
の−「稈をスピーディに処理する大量処理には適してい
ない。例えば、プリント回路板のはんだづけにおいては
、通常のはんだつけ方法では、時間かかかり、素早くは
んだづけしなければならない、この神のはんだづけには
不適である。このため、高温の飽和ベーパ(蒸気)を月
jいる方法が提案されている。このような方法によれば
、111j記のベーパかはんだづけなどすべき物品また
は部利に接触すると、はんだ、または、ろうづげヰ4を
溶かす。このような方法の一例は、米国特許第:+、s
e6.:to7′;3に開示してあり、ベーパは被処理
物品1−で凝縮し、該物品をはんだづけ、ろうづけ等に
必要な温)kに加熱する。このような方法を実施する装
置においては、はんだづけ等される物品は適当なエンク
ローノユアに一個または複数個一群の状態で挿入され、
高温の飽和ベーパにより加熱される。熱交換の液体は、
例えば、フルオロカーボン系の液体から選ばれる。
に、通常のはんだづけ、ろうづけ、溶着方法は、数多く
の−「稈をスピーディに処理する大量処理には適してい
ない。例えば、プリント回路板のはんだづけにおいては
、通常のはんだつけ方法では、時間かかかり、素早くは
んだづけしなければならない、この神のはんだづけには
不適である。このため、高温の飽和ベーパ(蒸気)を月
jいる方法が提案されている。このような方法によれば
、111j記のベーパかはんだづけなどすべき物品また
は部利に接触すると、はんだ、または、ろうづげヰ4を
溶かす。このような方法の一例は、米国特許第:+、s
e6.:to7′;3に開示してあり、ベーパは被処理
物品1−で凝縮し、該物品をはんだづけ、ろうづけ等に
必要な温)kに加熱する。このような方法を実施する装
置においては、はんだづけ等される物品は適当なエンク
ローノユアに一個または複数個一群の状態で挿入され、
高温の飽和ベーパにより加熱される。熱交換の液体は、
例えば、フルオロカーボン系の液体から選ばれる。
現在用いられている方法においては、−+ベーパのみの
方法と、−次ベーパの損失を防ぐ二次ベーパを用いる方
法とがある。米国特許第3.9(14,102号および
前記米国特許第3,866.307号によれば、−次、
二次ベーパは、同ヒ貯溜槽内の一次、二次液体の混介液
から供給される。二次ベーパは、より高温で沸脱し、下
部に充満する。しが腰このような一次、二次ベーパをm
いる方法における問題点は、米国特許第4,077.4
67号に述べであるとおり、複次ベーパ・システムの保
守かきbめて難がしく、その操作らシングルベーパ・シ
ステムよりもはるかに難かしい。
方法と、−次ベーパの損失を防ぐ二次ベーパを用いる方
法とがある。米国特許第3.9(14,102号および
前記米国特許第3,866.307号によれば、−次、
二次ベーパは、同ヒ貯溜槽内の一次、二次液体の混介液
から供給される。二次ベーパは、より高温で沸脱し、下
部に充満する。しが腰このような一次、二次ベーパをm
いる方法における問題点は、米国特許第4,077.4
67号に述べであるとおり、複次ベーパ・システムの保
守かきbめて難がしく、その操作らシングルベーパ・シ
ステムよりもはるかに難かしい。
また、[費用されるベーパのコストもきわめて高く、こ
の費用か高いベーパの回収もきわめて重要なことである
。
の費用か高いベーパの回収もきわめて重要なことである
。
ベーパにJ:るはんだ、ろうづけ方法゛に関する米国特
許としては、第2.5+5.489号、第3,8G6,
307号、3゜947.240号、4,022.371
号、4,032,033号、4,055,217号、4
+077+467号、 /I 、 090 、843号
、4,115,601号、4,194゜297号などで
あり、ベーパ回収システムを備えたものは、2,582
,789号、3,078,701号、4,01.2.8
47号、4,029.517号などがある。
許としては、第2.5+5.489号、第3,8G6,
307号、3゜947.240号、4,022.371
号、4,032,033号、4,055,217号、4
+077+467号、 /I 、 090 、843号
、4,115,601号、4,194゜297号などで
あり、ベーパ回収システムを備えたものは、2,582
,789号、3,078,701号、4,01.2.8
47号、4,029.517号などがある。
特に、米国特許第4.264,299号にI5いては、
シングル・ベーパシステムにおいて、−11部域と下部
域とに分け、ベーパ処理を行う1ζ部域において、制波
を行い、ついで−上部域に物品を移し気化液体の発散と
除去を行うようになっている。
シングル・ベーパシステムにおいて、−11部域と下部
域とに分け、ベーパ処理を行う1ζ部域において、制波
を行い、ついで−上部域に物品を移し気化液体の発散と
除去を行うようになっている。
この米■1特許およびVクロース)・・シンクル・ベー
パ・フンテ゛ンセーションlE’l戒1こ大・14−る
テ゛す゛イン考察1と題する著述(E、、1.t4ar
chと、l、Il、Nann1s共者)(+981−(
l°2月発行)によれば、ベーパ処理域にもける刊if
kは必要であり、物品の潜熱によす12部域における発
散か効果的に行われると述べられている。1ト液かベー
パ処理域で行われるm−)の埋111は、物品か−1一
部域へ移されたとき、該物品の熱か該物品にイ・1着し
た凝縮液を発散させるには不足し、物品の凝縮液層が発
散、回収の妨げとなると考えられることによる。また、
制波が−1一部域においで生ずべきであると考えら/l
ているのみならず、1部域のベーパ・ガスは一1〕部域
へ再循環される前に加熱され、発散を促進すべきである
とら考えられている。米国特許第4,264.299″
−j等によれば、下R1(域の高さを十分に高くするこ
とにより、上部域における再発散に先立ち、排液を完全
に行えるとしている。
パ・フンテ゛ンセーションlE’l戒1こ大・14−る
テ゛す゛イン考察1と題する著述(E、、1.t4ar
chと、l、Il、Nann1s共者)(+981−(
l°2月発行)によれば、ベーパ処理域にもける刊if
kは必要であり、物品の潜熱によす12部域における発
散か効果的に行われると述べられている。1ト液かベー
パ処理域で行われるm−)の埋111は、物品か−1一
部域へ移されたとき、該物品の熱か該物品にイ・1着し
た凝縮液を発散させるには不足し、物品の凝縮液層が発
散、回収の妨げとなると考えられることによる。また、
制波が−1一部域においで生ずべきであると考えら/l
ているのみならず、1部域のベーパ・ガスは一1〕部域
へ再循環される前に加熱され、発散を促進すべきである
とら考えられている。米国特許第4,264.299″
−j等によれば、下R1(域の高さを十分に高くするこ
とにより、上部域における再発散に先立ち、排液を完全
に行えるとしている。
溌処す約
この発明によれば、JIJr液は初成および乾燥域から
なる」一部チャンバでのみ行われ、ベーパ処理は初成す
;よび乾燥域の1α下にあるベーパ処理域であるチャン
バで行われる。物品1よ、支持体に載せられてリフト磯
描により1))j記両域内を移動する。前記画成は、排
液およびりと部域の上部および下部を月11−する可動
プレートを備えたシール機構により互いにR54離され
る。詠シーリング機構は、前記画成に出入する支乃木を
備えたリフト機構により作動する。このシール作用を行
うため、ブレニド状のM板が支持体の1一部に位置する
。はんだづけ等が行ノっれる物品は、排液および乾燥域
の」1方において支持体に装置され、ついで支持体は下
降され、この時、6板は排液および乾燥域の」二部に残
されて、支持体がその底部に達すると、排液および乾燥
域の−[―rfl−を月11.する。ついで支持体は、
引続き下降させられ、ベーパ処理域に達し、そこではん
だづけ等が行われるト 排液および乾燥域の底部に当接する可動の底板がベーパ
処理域へ下降する支持体の底部に押されてベーパ処理域
へ下降する。可動の底板は、プーリI3よび重錘、後間
スプリング手段または、適宜の′ト段により41I液I
5よび+′r、燥域の底部をシールする位置へ(11勢
され、これにより慈底部を1」11ル、前記画成を隔離
する。
なる」一部チャンバでのみ行われ、ベーパ処理は初成す
;よび乾燥域の1α下にあるベーパ処理域であるチャン
バで行われる。物品1よ、支持体に載せられてリフト磯
描により1))j記両域内を移動する。前記画成は、排
液およびりと部域の上部および下部を月11−する可動
プレートを備えたシール機構により互いにR54離され
る。詠シーリング機構は、前記画成に出入する支乃木を
備えたリフト機構により作動する。このシール作用を行
うため、ブレニド状のM板が支持体の1一部に位置する
。はんだづけ等が行ノっれる物品は、排液および乾燥域
の」1方において支持体に装置され、ついで支持体は下
降され、この時、6板は排液および乾燥域の」二部に残
されて、支持体がその底部に達すると、排液および乾燥
域の−[―rfl−を月11.する。ついで支持体は、
引続き下降させられ、ベーパ処理域に達し、そこではん
だづけ等が行われるト 排液および乾燥域の底部に当接する可動の底板がベーパ
処理域へ下降する支持体の底部に押されてベーパ処理域
へ下降する。可動の底板は、プーリI3よび重錘、後間
スプリング手段または、適宜の′ト段により41I液I
5よび+′r、燥域の底部をシールする位置へ(11勢
され、これにより慈底部を1」11ル、前記画成を隔離
する。
ベーパ処理域にもけるベーパ処理後、支持14(は、リ
フト(佐構によりに方へ引」−けられ、支持体上の物品
は、排液す5よび乾燥域・\連やかに移され、JiJI
液および乾燥か行われる。支持体が′物品と共に排液お
よび※a燥域へ移動するにつれ、底板は支持14りと共
に上昇し、支持体が上11111の排液および※と部域
へ完全に移ると、底板は、この411液および乾燥域の
底面を封止する。
フト(佐構によりに方へ引」−けられ、支持体上の物品
は、排液す5よび乾燥域・\連やかに移され、JiJI
液および乾燥か行われる。支持体が′物品と共に排液お
よび※a燥域へ移動するにつれ、底板は支持14りと共
に上昇し、支持体が上11111の排液および※と部域
へ完全に移ると、底板は、この411液および乾燥域の
底面を封止する。
この発明によれば、仙液および乾燥域において物品から
除去された液体は、底板の周縁に設けであるチャンネル
に流入し、底板による月11一部を11jシールする液
体シールとして作用する。このような液体シールを完成
させるため、排液および乾燥域の側壁は下方へ延びて前
記チャンネル内に達している。そして、前記チャンネル
の側縁は、上方へ突出しベーパ処理域を構成するチャン
バの上部に固定したがスケントに当接し、機械的シール
を+ivj成する。
除去された液体は、底板の周縁に設けであるチャンネル
に流入し、底板による月11一部を11jシールする液
体シールとして作用する。このような液体シールを完成
させるため、排液および乾燥域の側壁は下方へ延びて前
記チャンネル内に達している。そして、前記チャンネル
の側縁は、上方へ突出しベーパ処理域を構成するチャン
バの上部に固定したがスケントに当接し、機械的シール
を+ivj成する。
ベーパ回収システムが七[液す3よび乾燥域に用いられ
ており、初成および乾燥域がら空買/ベーパ・エアロゾ
ール混合体が回収ボックスへ圧送され、回収ボックスが
ら乾燥空買がυ1液および乾燥域へ再循環される。回収
ボックスは、底部に液体が貯められたチャンバを備え、
該チャンバの−に部に入[]が設けてあり、内部には液
面に達する邪魔板が垂直方向に」一部から垂設されてい
る。貯溜された液体は、=記システムに用いられたベー
パが液体になったもので、冷却コイルが回収ボックスの
外側に設けてあり、これにより液体中のベーパ/エアロ
ゾールの凝縮を促進するようになっている。回収ボ/ク
ス内に設けた垂直方向の邪魔板から水平方向に邪魔板が
設けてあり、迷路か構成されている。
ており、初成および乾燥域がら空買/ベーパ・エアロゾ
ール混合体が回収ボックスへ圧送され、回収ボックスが
ら乾燥空買がυ1液および乾燥域へ再循環される。回収
ボックスは、底部に液体が貯められたチャンバを備え、
該チャンバの−に部に入[]が設けてあり、内部には液
面に達する邪魔板が垂直方向に」一部から垂設されてい
る。貯溜された液体は、=記システムに用いられたベー
パが液体になったもので、冷却コイルが回収ボックスの
外側に設けてあり、これにより液体中のベーパ/エアロ
ゾールの凝縮を促進するようになっている。回収ボ/ク
ス内に設けた垂直方向の邪魔板から水平方向に邪魔板が
設けてあり、迷路か構成されている。
前記水平の邪魔板の上方に当る回収ボックスの1−壁に
は、出口が設けてあり、回収した液体を溜めに戻すため
のオーバーフロー口が回収ボックスに設けである。
は、出口が設けてあり、回収した液体を溜めに戻すため
のオーバーフロー口が回収ボックスに設けである。
ベーパ・エアロゾールは、例えば、10(1’ Fから
140°1:の温度で回収ボックスへ入り、(・と燥空
気け70’ Fから90°Fの温度で回収ボックスから
出る。したかって、411液および乾燥域において蒸発
が行われるため、回収システムにおいて別個に加熱する
必要がない。また、回11Vボンクスには、補助チャン
バを一木に設け1、二のチャンバの底部に酸吸収触媒を
置き、これにより回収した液体の酸中和を行うようにな
っている。このチャンバは、人11と出11を仕切る垂
直の邪魔板が前記触媒の液面に達し回収液体をベーパ処
理域の溜りへ戻す。
140°1:の温度で回収ボックスへ入り、(・と燥空
気け70’ Fから90°Fの温度で回収ボックスから
出る。したかって、411液および乾燥域において蒸発
が行われるため、回収システムにおいて別個に加熱する
必要がない。また、回11Vボンクスには、補助チャン
バを一木に設け1、二のチャンバの底部に酸吸収触媒を
置き、これにより回収した液体の酸中和を行うようにな
っている。このチャンバは、人11と出11を仕切る垂
直の邪魔板が前記触媒の液面に達し回収液体をベーパ処
理域の溜りへ戻す。
排液および乾燥域に対して、ベント・システムが設けて
あり、内部を外気と連通させて支持体の上下4降に対す
る空気抵抗の影響をなくシ、前記蓋板と底板とによる開
放、封止作用時の圧力差のH3tBをなく針。このよう
なベント作用を行わずに、物品を載置した支持体を下降
させるときの圧力抵抗は、15インチ1120オーダー
となる。同様に、物品を1i12itYした支持体に対
する圧力抵抗は、5インチ1(20オーダーとなる。
あり、内部を外気と連通させて支持体の上下4降に対す
る空気抵抗の影響をなくシ、前記蓋板と底板とによる開
放、封止作用時の圧力差のH3tBをなく針。このよう
なベント作用を行わずに、物品を載置した支持体を下降
させるときの圧力抵抗は、15インチ1120オーダー
となる。同様に、物品を1i12itYした支持体に対
する圧力抵抗は、5インチ1(20オーダーとなる。
このような圧力抵抗およびオーバープレ・2シヤを減少
さぜるため、411液および乾燥域は外気とベント・チ
ャンバまたはベントボックスを介して連通しており、こ
のベントボックス内には、邪魔板により迷路が構成され
、この間にプラスウールなどの熱f云導祠が−〕ぬられ
、さらに冷却フィルが縦方向に設けてあり、ベーパ含有
の空気を凝縮し、水滴化し、液化して回収する。
さぜるため、411液および乾燥域は外気とベント・チ
ャンバまたはベントボックスを介して連通しており、こ
のベントボックス内には、邪魔板により迷路が構成され
、この間にプラスウールなどの熱f云導祠が−〕ぬられ
、さらに冷却フィルが縦方向に設けてあり、ベーパ含有
の空気を凝縮し、水滴化し、液化して回収する。
要するに、排液および乾燥域に対しでは、加熱を要しな
い一次ベーパ回収システムと、ベントおよび二次回収シ
ステムとを糺合わせたシステムとが配設されている。
い一次ベーパ回収システムと、ベントおよび二次回収シ
ステムとを糺合わせたシステムとが配設されている。
支持体のリフト1幾構としては、吊支バンドなどにより
支持体を吊下げ、吊支バンドを蓋板に固定のシリンダに
挿通したもので、挿通部分には、下面が面取りされた挿
通溝孔をもったディスクがはめこまれ、これら挿通溝孔
により吊支バンドに11着したベーパを拭去ると共に、
ベーパの−1一部域への逸散を阻止し、ベーパ源として
のけ市なフルオロカーボン液の損失を防ぐようになって
いる。
支持体を吊下げ、吊支バンドを蓋板に固定のシリンダに
挿通したもので、挿通部分には、下面が面取りされた挿
通溝孔をもったディスクがはめこまれ、これら挿通溝孔
により吊支バンドに11着したベーパを拭去ると共に、
ベーパの−1一部域への逸散を阻止し、ベーパ源として
のけ市なフルオロカーボン液の損失を防ぐようになって
いる。
支持体へ物品を載置しまた、支持体から物品を移す手段
として、ベルi−機構が七1液J9よび乾燥域の上方に
設けてあり、ベルl[横により物品の載置、移ΦIJが
自動的に行われるようになっている。
として、ベルi−機構が七1液J9よび乾燥域の上方に
設けてあり、ベルl[横により物品の載置、移ΦIJが
自動的に行われるようになっている。
ベルト機構は、無端ベルトにより形成され、支持体が物
品の載置および移し変えか行われる位置にあるときのみ
作動し、支持1本か下降する時は、作動が停止卜するよ
うな連動関係を有している。そして、処理済みの物品を
載せた支持体が−IJしてきて、前記の位置に達すると
、ベル日j!描は作動して、処理済みの物品を支持体か
ら移送ベルトへ自動的に移し変える。このようなベルト
機構により、物品は支持体へ自動的に載置され、支持体
の下降によりベーパ処理域へ達し、そこでベーパ処理に
、する溶着等が行われた後、再びJ−ui Lで支持体
から移送ベルトへ自動的に送り出されて、はんだづけ、
ろうづけ等の−・サイクルが完了する。
品の載置および移し変えか行われる位置にあるときのみ
作動し、支持1本か下降する時は、作動が停止卜するよ
うな連動関係を有している。そして、処理済みの物品を
載せた支持体が−IJしてきて、前記の位置に達すると
、ベル日j!描は作動して、処理済みの物品を支持体か
ら移送ベルトへ自動的に移し変える。このようなベルト
機構により、物品は支持体へ自動的に載置され、支持体
の下降によりベーパ処理域へ達し、そこでベーパ処理に
、する溶着等が行われた後、再びJ−ui Lで支持体
から移送ベルトへ自動的に送り出されて、はんだづけ、
ろうづけ等の−・サイクルが完了する。
実施例!!2説!すJ
!ll’sIΔ図から第1E図に示すように、ベーパ処
理ユニッ110は、処理すべき物品の導入域14、排液
/乾燥域16および1iij記したベーパ処理域に相当
する溶融/再流動域18を備えたハウノング12から構
成されている。処理すべき物品は、ハウン′ング12の
開口部22から導入域14へ導入され、該導入域には、
ベントボー1・24がル丈(すてあり、5二のボートか
ら残留ベーパが大気中へ放出されるようになっている。
理ユニッ110は、処理すべき物品の導入域14、排液
/乾燥域16および1iij記したベーパ処理域に相当
する溶融/再流動域18を備えたハウノング12から構
成されている。処理すべき物品は、ハウン′ング12の
開口部22から導入域14へ導入され、該導入域には、
ベントボー1・24がル丈(すてあり、5二のボートか
ら残留ベーパが大気中へ放出されるようになっている。
リフト30か導入域14、排水/乾燥域16、溶融/再
流下域18をガ、降するように設置しである。このリフ
トは、物品20を載ぜる支持体32に連結Cたケーブル
、チェーンなどの吊支材34かプーリ3Gを介して駆動
機構38へ連結し、制御機構40により4降か制御され
るようになっている。
流下域18をガ、降するように設置しである。このリフ
トは、物品20を載ぜる支持体32に連結Cたケーブル
、チェーンなどの吊支材34かプーリ3Gを介して駆動
機構38へ連結し、制御機構40により4降か制御され
るようになっている。
俳j夜/′乾燥域と溶融/再流下域は、周縁にシール4
4を備えた蓋板42により月11ニされるようになって
いる。この蓋板42は、吊支材34に取(;Iけである
もので、支持艮4Gに支えられて、支持体32の」−力
に位置し、支持体32とは、所定のτj法をもって離れ
ている。蓋板42の機能は、支持体32が下降したとき
、排液、乾燥域16を封11する。1.″尊こある。
4を備えた蓋板42により月11ニされるようになって
いる。この蓋板42は、吊支材34に取(;Iけである
もので、支持艮4Gに支えられて、支持体32の」−力
に位置し、支持体32とは、所定のτj法をもって離れ
ている。蓋板42の機能は、支持体32が下降したとき
、排液、乾燥域16を封11する。1.″尊こある。
前記したように、蓋板42は可動のらので゛、す7)・
30の支持体32か排水/乾燥域の底部方向へ下降する
と、蓋板・12は導入域+4ヲl−’降L 、 初lI
rLi” 乾(!¥4域の」二部へ達する。
30の支持体32か排水/乾燥域の底部方向へ下降する
と、蓋板・12は導入域+4ヲl−’降L 、 初lI
rLi” 乾(!¥4域の」二部へ達する。
可動の底板50が排液/′乾燥域16の底部52に設け
てあり、環状のシール54により底板50かυ1液/゛
乾燥域16の底面(溶融/再流下域の」−面)を封11
シている。
てあり、環状のシール54により底板50かυ1液/゛
乾燥域16の底面(溶融/再流下域の」−面)を封11
シている。
底板50は、重り58とブーl几0とを組合tλせた(
浅11η56により上下方向へ動くようになっており、
底板50の最下位置は、底部又ペーサ62により規制さ
れる構造になっている。
浅11η56により上下方向へ動くようになっており、
底板50の最下位置は、底部又ペーサ62により規制さ
れる構造になっている。
溶融/′再l!j動域18には、加熱機構に4が設けて
あり、この加熱機構の加熱により溜め66の液体を気化
させる。冷却フィル68溶融/再流動域18の−1一部
に設けてあり、これによりハウノング12の側面のベー
パを凝縮し溜す66へ戻す作用をなす。排液/乾燥域1
6にも冷却コイル70が設けてあり、これによって気化
した液体を凝縮し、シール54へ流して、液体シールと
して作用させるようになっている。
あり、この加熱機構の加熱により溜め66の液体を気化
させる。冷却フィル68溶融/再流動域18の−1一部
に設けてあり、これによりハウノング12の側面のベー
パを凝縮し溜す66へ戻す作用をなす。排液/乾燥域1
6にも冷却コイル70が設けてあり、これによって気化
した液体を凝縮し、シール54へ流して、液体シールと
して作用させるようになっている。
第1E図に示すように、排液/乾燥域16には、回収機
構74が設けてあり、これは、プロ776、回収ボック
ス78および再循環路80から構成され、冷却された乾
燥空気を初成7パ轄燥域16へ戻す。
構74が設けてあり、これは、プロ776、回収ボック
ス78および再循環路80から構成され、冷却された乾
燥空気を初成7パ轄燥域16へ戻す。
実際の操作においては、排液/乾燥域から空気/ベーパ
エフ0ゾール混合体が回収ボックスへ送られ、エアロゾ
ール、/ベーパが除かれ、溶着用のMIG管路84から
溜す66へ送られる。前記画成16.18にI;ける凝
縮とは別に、これが液体再f史用のための回収システl
、であり、この点については、第7.8図との関連で後
述する。
エフ0ゾール混合体が回収ボックスへ送られ、エアロゾ
ール、/ベーパが除かれ、溶着用のMIG管路84から
溜す66へ送られる。前記画成16.18にI;ける凝
縮とは別に、これが液体再f史用のための回収システl
、であり、この点については、第7.8図との関連で後
述する。
11八図に示すように、排液/乾燥域16には、排液(
+S、横90が設けてあり、この機構は管路92を介し
排気、′乾燥域16と連通し、二次回収室と排気ボック
ス94を1liiiえている。このボックスについては
、第6図に関連して後述する。この機構の目的は、排液
/′乾燥域等かリフトの4降により封1にまたは開放さ
れたときの圧力変化を緩和する点にある。初気ボックス
は、大気と連通していると共に管路96を介して溜り6
6・\連通し、回収した液体を溜りへ戻す。
+S、横90が設けてあり、この機構は管路92を介し
排気、′乾燥域16と連通し、二次回収室と排気ボック
ス94を1liiiえている。このボックスについては
、第6図に関連して後述する。この機構の目的は、排液
/′乾燥域等かリフトの4降により封1にまたは開放さ
れたときの圧力変化を緩和する点にある。初気ボックス
は、大気と連通していると共に管路96を介して溜り6
6・\連通し、回収した液体を溜りへ戻す。
液体の回収においては、−次回11M を茂構74およ
び二次回収機構90のいずれも補助加熱手段を備えてお
らず、このように補助加熱なしに4,1lllk 、”
乾燥域16の蒸発お上び乾燥を促進させることか本発
明の利点で゛ある。
び二次回収機構90のいずれも補助加熱手段を備えてお
らず、このように補助加熱なしに4,1lllk 、”
乾燥域16の蒸発お上び乾燥を促進させることか本発
明の利点で゛ある。
さらに、排液/′乾燥域において排液および乾燥か行わ
れるから、底板50の周縁に液体か゛たまり、これかき
わめて効果的な底部側のシールとなる。
れるから、底板50の周縁に液体か゛たまり、これかき
わめて効果的な底部側のシールとなる。
実際の操作ににいて、第11(図に示[ように、物品2
0がバスケン1などの支持体32に載ぜられ、制御機構
40により駆動機構:(8を駆動して支持j4Q 32
を排液、′乾燥域16ヘド降させると、第1C図に示す
ように、支持体:(2は底板50の上に載ると同時に、
基板42か排液/′乾燥域16を仕切る一L壁98に当
接する。蓋板42と支持体42との間の間隔は、支持1
本:(2の底が底板50に接したとき、蓋板42が上J
11て98に接して、七1液小と1ヘトj成16の人1
]を封止するに足る寸法である。
0がバスケン1などの支持体32に載ぜられ、制御機構
40により駆動機構:(8を駆動して支持j4Q 32
を排液、′乾燥域16ヘド降させると、第1C図に示す
ように、支持体:(2は底板50の上に載ると同時に、
基板42か排液/′乾燥域16を仕切る一L壁98に当
接する。蓋板42と支持体42との間の間隔は、支持1
本:(2の底が底板50に接したとき、蓋板42が上J
11て98に接して、七1液小と1ヘトj成16の人1
]を封止するに足る寸法である。
第1D図に示すように、基板42により前記入口を24
+にした状態で支持体32は溶融/′再流動域18方
向へ下降させられる。
+にした状態で支持体32は溶融/′再流動域18方
向へ下降させられる。
底板50は、支持体32の底面か゛当接し、物品20の
荷車と支持体32との自重が重り58による引張力より
もまさることにより、下降し、スペーサ62かスト。
荷車と支持体32との自重が重り58による引張力より
もまさることにより、下降し、スペーサ62かスト。
パ182に当り、そこで体重する(第5C図)。
第1D図に示すように、溶着処理の間、溶融または再流
動は完了し、溶融/′再流動域は互いに連通し、差板4
2か゛両者の1′”l d−(1として作用する。
動は完了し、溶融/′再流動域は互いに連通し、差板4
2か゛両者の1′”l d−(1として作用する。
第11]図に示す蒸着処理後、制御数構40により駆動
機構;)8を作動して’) 7 ト30の支持体32を
排液/乾燥域16へ引上げ、底板50が核酸16の底面
を封止する位置で97):1(lか停止にする。
機構;)8を作動して’) 7 ト30の支持体32を
排液/乾燥域16へ引上げ、底板50が核酸16の底面
を封止する位置で97):1(lか停止にする。
底板50は、支持体32と共に上昇し、これにより七[
液、′乾(ヤ挿釧6のド面の封止か底板50まわりの液
体シール128となって効果的に行える。この点につい
ては、第2図との関連で後述する。液体または月11・
のための液体は、物品20か排液/乾燥域16に位置す
るとぎ、物品20から七1水された液体である。この1
−1的のため、壁104に凝縮した液体は、底板50に
滴下し周縁に向い流れて封11−作用をなす。
液、′乾(ヤ挿釧6のド面の封止か底板50まわりの液
体シール128となって効果的に行える。この点につい
ては、第2図との関連で後述する。液体または月11・
のための液体は、物品20か排液/乾燥域16に位置す
るとぎ、物品20から七1水された液体である。この1
−1的のため、壁104に凝縮した液体は、底板50に
滴下し周縁に向い流れて封11−作用をなす。
111j記のような液体シールに上り制波、・+に・j
・〜1こ域16と溶融/再流動域18とは、完全に11
.悄11さ〕1、高熱ベーパは排水、冷却物から商用1
さJしる。さらに、液体の回収も前記のとjJり動域1
6.18間がl:?、悄1[されているので、トJっめ
で効果11月こ行われる。111f記の封止は、溶融7
)再流動域18内にベーパを留めておく点できわめて重
要なことであり、各板42か開放されると、制波/′乾
燥域16は外部と連通状態となる。
・〜1こ域16と溶融/再流動域18とは、完全に11
.悄11さ〕1、高熱ベーパは排水、冷却物から商用1
さJしる。さらに、液体の回収も前記のとjJり動域1
6.18間がl:?、悄1[されているので、トJっめ
で効果11月こ行われる。111f記の封止は、溶融7
)再流動域18内にベーパを留めておく点できわめて重
要なことであり、各板42か開放されると、制波/′乾
燥域16は外部と連通状態となる。
処理すべき物品か4111液/′乾燥域1ににII冒〆
tしている時は、 乾1!11:空気の再循環j: J
: U lニー1lLIV!4Ql+?774力作動し
空気/ベーパエアロゾール混合体か回収ボックス78へ
吸引され、そこでRhf#、合体から況気分とエアロゾ
ールとか除去される。その結果、残りは、轄・操空気と
なり、り(液/※2燥域16へ戻され、そ、二でベーパ
除去作用を行う。通常の場合、空気、lベーパエアロゾ
ールは、回収ボックスへ100°1:から140゜「の
?晶/Qで入る。そして、フルオロカーホ゛ン・ベーパ
に月して111団Vボツクスから乾燥空気が出る温度は
、70°1:がら90°Fの間の温度であり、排液/′
乾燥域にI;けるφと1−■作用を損しない。前記のと
おり、vl液/÷と部域にI;ける気化作用のため、回
収(幾構には、補助加熱機構を設けていない。このよう
に411液/′乾燥工程において加熱する必要がないこ
とに加え、−1一部域ににいての排液により、装置の全
高を吐くする利点がある。このように、従来装置では、
6i7記した一乙一)の領域の高さ寸法がきわめて高く
なるのに対し、図示実施例の場合は、溶融/再流動域の
底から初成/轄燥域の1一部までの高さ寸法は、3フイ
ンチ台(オーダー)て゛ある。さらに、従来装置におい
ては、vi液はベーパ処理J成のみにおいて専ら生ずる
ようになっていおり、物品はべ°−パ処理後、上刃へv
9つくり動くように要求されており、工程が長びくか、
この発明によれば、排液と乾燥処理は、第二領域にt9
いて行われるので、シングルバッチ処理は、4分台であ
る。
tしている時は、 乾1!11:空気の再循環j: J
: U lニー1lLIV!4Ql+?774力作動し
空気/ベーパエアロゾール混合体か回収ボックス78へ
吸引され、そこでRhf#、合体から況気分とエアロゾ
ールとか除去される。その結果、残りは、轄・操空気と
なり、り(液/※2燥域16へ戻され、そ、二でベーパ
除去作用を行う。通常の場合、空気、lベーパエアロゾ
ールは、回収ボックスへ100°1:から140゜「の
?晶/Qで入る。そして、フルオロカーホ゛ン・ベーパ
に月して111団Vボツクスから乾燥空気が出る温度は
、70°1:がら90°Fの間の温度であり、排液/′
乾燥域にI;けるφと1−■作用を損しない。前記のと
おり、vl液/÷と部域にI;ける気化作用のため、回
収(幾構には、補助加熱機構を設けていない。このよう
に411液/′乾燥工程において加熱する必要がないこ
とに加え、−1一部域ににいての排液により、装置の全
高を吐くする利点がある。このように、従来装置では、
6i7記した一乙一)の領域の高さ寸法がきわめて高く
なるのに対し、図示実施例の場合は、溶融/再流動域の
底から初成/轄燥域の1一部までの高さ寸法は、3フイ
ンチ台(オーダー)て゛ある。さらに、従来装置におい
ては、vi液はベーパ処理J成のみにおいて専ら生ずる
ようになっていおり、物品はべ°−パ処理後、上刃へv
9つくり動くように要求されており、工程が長びくか、
この発明によれば、排液と乾燥処理は、第二領域にt9
いて行われるので、シングルバッチ処理は、4分台であ
る。
第2図1.t、前記した液体シール機構の詳細を示すも
ので、底板50の周側縁には、図示されているように突
縁112で囲んだ溝110か設げである11図示の例で
は、バスケット状の支持体32が底板50に接面し、底
板50は受台114に支えられ、受台114は案内レー
ル+16により案内される。受台114とスペーサーカ
ラー118は矢r旧20方向・\前記した千9例fiv
7により動き、11η記した突縁112カリ;;状のシ
ール木120(0リングなと)に当接する。このシール
1本は、溶融、1すlIコ動域18を構成するチャンバ
の−1”、t+22に設けられている。図示のように、
第1図の冷却コイル70は−1−壁122側にまで延長
されている。
ので、底板50の周側縁には、図示されているように突
縁112で囲んだ溝110か設げである11図示の例で
は、バスケット状の支持体32が底板50に接面し、底
板50は受台114に支えられ、受台114は案内レー
ル+16により案内される。受台114とスペーサーカ
ラー118は矢r旧20方向・\前記した千9例fiv
7により動き、11η記した突縁112カリ;;状のシ
ール木120(0リングなと)に当接する。このシール
1本は、溶融、1すlIコ動域18を構成するチャンバ
の−1”、t+22に設けられている。図示のように、
第1図の冷却コイル70は−1−壁122側にまで延長
されている。
実際の操作においては、ベーパの凝縮による水滴124
か物品20と側壁104の両者から矢印126方向へ滴
F L 71fJI IOに溜まり、貯溜液128とな
る。図示のように、側壁104の下端130は、溝11
0内に達し、液体シール磯?lηを構成する。このよう
な構造にJ、って、貯l留液128から熱を′僚い、貯
溜液の両賞化を・防ぐ。支持体:(2は網状またはグリ
ル状のものとすることができ、このよらな構造によって
液体を溝110へ排液する。
か物品20と側壁104の両者から矢印126方向へ滴
F L 71fJI IOに溜まり、貯溜液128とな
る。図示のように、側壁104の下端130は、溝11
0内に達し、液体シール磯?lηを構成する。このよう
な構造にJ、って、貯l留液128から熱を′僚い、貯
溜液の両賞化を・防ぐ。支持体:(2は網状またはグリ
ル状のものとすることができ、このよらな構造によって
液体を溝110へ排液する。
第:3図は、第1図の装置の具体構造例を示すらので、
同一部分には、同一符号が付しである。第3図に示すよ
うに、支持体32はラック状、格子状、網状などになっ
ており、四点支持の吊下バンド34により吊支され、該
バンドはハウジング12の−に板140、点線て゛示1
若板42に通されている。
同一部分には、同一符号が付しである。第3図に示すよ
うに、支持体32はラック状、格子状、網状などになっ
ており、四点支持の吊下バンド34により吊支され、該
バンドはハウジング12の−に板140、点線て゛示1
若板42に通されている。
苓板42には、シリンダまたは角形のチャンネルト14
の上端が固定され、それらの下端は支持1本32に固定
されて、両者の開が所定の寸法分あけられている。この
\J法は、支持14ご(2が排液/乾燥域16の底に達
すると、蓋板42か゛その上部に位置する寸法関係にな
っている。
の上端が固定され、それらの下端は支持1本32に固定
されて、両者の開が所定の寸法分あけられている。この
\J法は、支持14ご(2が排液/乾燥域16の底に達
すると、蓋板42か゛その上部に位置する寸法関係にな
っている。
吊支バンド34はシリンダ144に挿通されて物品を1
・父性する支持体に連結しており、これらバンドがシリ
ンダ144に旧市状態に挿通されメ描造は、第4図に示
すように、ディスク150の挿通溝孔+52に通される
もので、これら挿通溝孔152の底部154は面取りさ
れている。これらディスク150は、複数枚が車なって
シリンダ1伺の一1〕端(蓋板42と接する部分)に位
置し、一枚のディスク150゛がシリング1伺の底部側
にある。この底部に位置するディスク150゛とシリン
ダ144の底縁156とが、前記支持体と当接し、その
動きを阻11.シている。かくして、リフト機構により
物品を載せる支持体か下降する間、シリンダの底部と支
持体の上面との捏擦係合により、特にディスク150゛
により前記バンドか購揺れしないようにされて、支持体
は所定のイ装置を保つ。第5Δ〜511図に示すように
、蓋板42は物品導入域を(1−成するハウノング内に
水qJに保たれ、その卜′側にシリンダ144と支持体
とが位置し、支持[4りが下降すると底板に当接する。
・父性する支持体に連結しており、これらバンドがシリ
ンダ144に旧市状態に挿通されメ描造は、第4図に示
すように、ディスク150の挿通溝孔+52に通される
もので、これら挿通溝孔152の底部154は面取りさ
れている。これらディスク150は、複数枚が車なって
シリンダ1伺の一1〕端(蓋板42と接する部分)に位
置し、一枚のディスク150゛がシリング1伺の底部側
にある。この底部に位置するディスク150゛とシリン
ダ144の底縁156とが、前記支持体と当接し、その
動きを阻11.シている。かくして、リフト機構により
物品を載せる支持体か下降する間、シリンダの底部と支
持体の上面との捏擦係合により、特にディスク150゛
により前記バンドか購揺れしないようにされて、支持体
は所定のイ装置を保つ。第5Δ〜511図に示すように
、蓋板42は物品導入域を(1−成するハウノング内に
水qJに保たれ、その卜′側にシリンダ144と支持体
とが位置し、支持[4りが下降すると底板に当接する。
底板は案内レール116とカラー118とにより水1月
こ保たれている。
こ保たれている。
ディスク150の挿通溝孔152は、底部154が面取
りされてす;す、この部分で゛iij記ハンドに1・1
着した蒸着用のt良木を駆手刷幾構;)8により引1−
げ゛られる111j記バンドから拭い収る。この作用は
、−1・側のディスク150゛の部分におけるものか最
も重要である。また、前記バンドは、挿通溝孔152に
ぴったり接しており、これにより排液/゛乾燥域からの
ベーパまたは液体の逃散を防ぐ。
りされてす;す、この部分で゛iij記ハンドに1・1
着した蒸着用のt良木を駆手刷幾構;)8により引1−
げ゛られる111j記バンドから拭い収る。この作用は
、−1・側のディスク150゛の部分におけるものか最
も重要である。また、前記バンドは、挿通溝孔152に
ぴったり接しており、これにより排液/゛乾燥域からの
ベーパまたは液体の逃散を防ぐ。
第5Δ〜50図に示す実施例においては、蓋板42は、
リフト1幾も青により支持されているものであるが1、
iY 却1にいえば、支持体160に当接しているシリ
ンブト14に支えられている。そして蓋板42と支持体
160とは、シリング1伺の長さ分だけ離れている。こ
の実施例においては、剃ぐ5図の例と同じ構造部分には
、同一・彷号か1・1しである。
リフト1幾も青により支持されているものであるが1、
iY 却1にいえば、支持体160に当接しているシリ
ンブト14に支えられている。そして蓋板42と支持体
160とは、シリング1伺の長さ分だけ離れている。こ
の実施例においては、剃ぐ5図の例と同じ構造部分には
、同一・彷号か1・1しである。
’55 /を図に示すように、物品導入域14のチャン
バの側壁164に各板42の位置決めストッパ162か
設けてあり、蓋板42の1−限位置が定められ、シリン
グ1伺は、各1一端166かZi板42に設けた取11
1板168に溶接などの手段で固定されている。吊支バ
ンド34は、ディスク150を介してシリンダ144内
に挿通され、該ディスクにより前記バンドの挿通部分に
隙間か生しないようになっている。吊支バンド34の下
端170は、ディスク150゛に挿通され、支持体16
0に連結されている。このような構造によって、支持体
34は横揺れしないようになっている。
バの側壁164に各板42の位置決めストッパ162か
設けてあり、蓋板42の1−限位置が定められ、シリン
グ1伺は、各1一端166かZi板42に設けた取11
1板168に溶接などの手段で固定されている。吊支バ
ンド34は、ディスク150を介してシリンダ144内
に挿通され、該ディスクにより前記バンドの挿通部分に
隙間か生しないようになっている。吊支バンド34の下
端170は、ディスク150゛に挿通され、支持体16
0に連結されている。このような構造によって、支持体
34は横揺れしないようになっている。
第5Δ図に示すように、重り58か案内ボスト172に
、上下方向にスライド可能に装着されている。この重り
58には、市りを−に下させるストランド174の一端
か結ひ゛つけてあり、その辿端はカラー118に連結し
ている。図示の実施例では、ストランド174の中間部
分は、半円形の受体176に支えられている。溶融/再
流動域18には、冷却コイル177が内蔵され、ベーパ
の回収をIjl進するようになっている。
、上下方向にスライド可能に装着されている。この重り
58には、市りを−に下させるストランド174の一端
か結ひ゛つけてあり、その辿端はカラー118に連結し
ている。図示の実施例では、ストランド174の中間部
分は、半円形の受体176に支えられている。溶融/再
流動域18には、冷却コイル177が内蔵され、ベーパ
の回収をIjl進するようになっている。
第51(図に示すように、支持体160は、蓋板42を
制波7)乾燥域16のに部を1111ユする状態に残し
て溶融/パ1■f流動域18へ下降する。蓋板42によ
る月11は、第1図のシール伺に相当する0リングシー
ル180により行われる。下降した支持体1()0は、
底板50と受部114とを押圧し、支持体160は、底
板50との当接により水平に保たれる。溶着用の液)4
; I 8(+内にヒータ64か位置している。第5C
図に示tように、ストッパ182に支持体160のカラ
ー118か1系合腰支持木160の下限位置か定められ
、支持1本100と液体180の液面との開に−・定の
スペースか確保される。
制波7)乾燥域16のに部を1111ユする状態に残し
て溶融/パ1■f流動域18へ下降する。蓋板42によ
る月11は、第1図のシール伺に相当する0リングシー
ル180により行われる。下降した支持体1()0は、
底板50と受部114とを押圧し、支持体160は、底
板50との当接により水平に保たれる。溶着用の液)4
; I 8(+内にヒータ64か位置している。第5C
図に示tように、ストッパ182に支持体160のカラ
ー118か1系合腰支持木160の下限位置か定められ
、支持1本100と液体180の液面との開に−・定の
スペースか確保される。
第5D図に示すように、−口2、溶融/′再)Iコ動域
18へ下降した支持14C+ 60は、再びクト液/乾
燥↑・・題6へ1−?1し、底板50か溶融/再流動域
ISをJ4’ +I: L、品&42が排液/乾燥域1
6の」二部を封止する。この状態ににいては、排液/乾
燥域16は、溶融/再流動域18および物品導入域16
から完全に隔離される。
18へ下降した支持14C+ 60は、再びクト液/乾
燥↑・・題6へ1−?1し、底板50か溶融/再流動域
ISをJ4’ +I: L、品&42が排液/乾燥域1
6の」二部を封止する。この状態ににいては、排液/乾
燥域16は、溶融/再流動域18および物品導入域16
から完全に隔離される。
第5E図の実施例においては、第5八〜5D図の実施例
にす;ける重錘による底板の昇降機構に代って、スプリ
シダシフ降磯溝が採用されてり・る。この機構によれば
、4個のスプリングイ・1勢によるブー1月84か排液
/+′r、燥域16のチャンバの側壁に設けてあり、こ
れらのプーリ(1−Δ+oeLek型8LI2に42J
なとのらの)には、吊支ハ゛ンド186が巻きつけてあ
り、これらノくンドの下端188は底板50に連結して
゛あり、常時、巻キー1−げ方向に付勢されている。こ
の構造であると、下側の域18には、yl、降機能か設
けていないので、保守が簡単となる。
にす;ける重錘による底板の昇降機構に代って、スプリ
シダシフ降磯溝が採用されてり・る。この機構によれば
、4個のスプリングイ・1勢によるブー1月84か排液
/+′r、燥域16のチャンバの側壁に設けてあり、こ
れらのプーリ(1−Δ+oeLek型8LI2に42J
なとのらの)には、吊支ハ゛ンド186が巻きつけてあ
り、これらノくンドの下端188は底板50に連結して
゛あり、常時、巻キー1−げ方向に付勢されている。こ
の構造であると、下側の域18には、yl、降機能か設
けていないので、保守が簡単となる。
第6図に示すベント機構においては、ベントポ・ンクス
ハウンング200に人口202、外気と連通する出11
204および回収用1]207が図示のように設けであ
る。ハウジング200内には、複数枚の邪魔板206を
縦ノJ向に互い違いに設けてなる迷路が形成してあり、
この迷路および邪魔板と人r1202との間に、プラス
ウールその池の熱伝導材208がつめこまれている。
ハウンング200に人口202、外気と連通する出11
204および回収用1]207が図示のように設けであ
る。ハウジング200内には、複数枚の邪魔板206を
縦ノJ向に互い違いに設けてなる迷路が形成してあり、
この迷路および邪魔板と人r1202との間に、プラス
ウールその池の熱伝導材208がつめこまれている。
入口202と図において左側の邪魔板との間にベーパを
凝縮して液化する冷却コイル209が縦方向に設けであ
る。溶融/゛再流動域18が圧力を回復する間、空気流
210が外部へ流れ、液化した水滴212は回収用r、
I207から溜りへ戻される。
凝縮して液化する冷却コイル209が縦方向に設けであ
る。溶融/゛再流動域18が圧力を回復する間、空気流
210が外部へ流れ、液化した水滴212は回収用r、
I207から溜りへ戻される。
11j記したベント機構は、外部と連通しているので゛
、オーバプレッシャは、すべて外部・\放出される。
、オーバプレッシャは、すべて外部・\放出される。
同様に、支持体す;よび関連部分の1−下動に月する空
気抵抗は、入口202へ空気か流れることにより緩和さ
れる。このようなベント機構により、ハウソングの構造
を強化して、封圧構造とする必要がなく、シール、ガス
ケット部分のノJ命を艮くすることかでト、内圧の増大
に月処する手段を設けずにすむ。
気抵抗は、入口202へ空気か流れることにより緩和さ
れる。このようなベント機構により、ハウソングの構造
を強化して、封圧構造とする必要がなく、シール、ガス
ケット部分のノJ命を艮くすることかでト、内圧の増大
に月処する手段を設けずにすむ。
第7図に示す実施例は、−次ベーパ回収(代描に関する
もので、第1図の回収ボックス78の訂細を示tもので
゛ある。該ボックスのハウン゛ング220iこ(土、人
口222と出口224が1−壁に設けである。人112
22の近くに、邪魔板226が設けてあり、その下端は
液面228下に達している。1B魔板226と側壁23
2とから一外〕の邪魔板2:(0,2:(0かI7.い
違いの状態で水平に張り出しており、液面を一定にする
ため、オーバー70(1226かハウソング200の側
壁232に設けである。
もので、第1図の回収ボックス78の訂細を示tもので
゛ある。該ボックスのハウン゛ング220iこ(土、人
口222と出口224が1−壁に設けである。人112
22の近くに、邪魔板226が設けてあり、その下端は
液面228下に達している。1B魔板226と側壁23
2とから一外〕の邪魔板2:(0,2:(0かI7.い
違いの状態で水平に張り出しており、液面を一定にする
ため、オーバー70(1226かハウソング200の側
壁232に設けである。
入口222から+00°Fから140°Fの温度で入り
こんだエアロゾール(u4合体は矢印236の)ガこれ
となって液体27(8へ;イこ入し、液体中に移された
ベーパ水滴を攪はんし、11i B、乾燥空気は70°
1:から90°Fの温度で出口224から放出される。
こんだエアロゾール(u4合体は矢印236の)ガこれ
となって液体27(8へ;イこ入し、液体中に移された
ベーパ水滴を攪はんし、11i B、乾燥空気は70°
1:から90°Fの温度で出口224から放出される。
このように乾燥空気は出11224から放出され、ベー
パは液体238内に移される。
パは液体238内に移される。
第8図は酸中和室240の構造を示すもので、回収ボッ
クス78のオーバー70−1丁1226の近く(ニ一体
に設けてあり、その内部は邪魔板242により区分され
、該邪魔板の下端は酸吸収触媒層246’jm達してい
る。冷却フィル232が外側に設けてあり、オーバーフ
ロート]244か溜りと連通している。蓋(=10部2
48は、前記触媒の交換1−1である。このような酸中
和(幾構により、酸の増加と、これによる腐食を可及的
に防ぐ。
クス78のオーバー70−1丁1226の近く(ニ一体
に設けてあり、その内部は邪魔板242により区分され
、該邪魔板の下端は酸吸収触媒層246’jm達してい
る。冷却フィル232が外側に設けてあり、オーバーフ
ロート]244か溜りと連通している。蓋(=10部2
48は、前記触媒の交換1−1である。このような酸中
和(幾構により、酸の増加と、これによる腐食を可及的
に防ぐ。
第9八・〜9D図は、支持体:(2へ物品20を無端ベ
ルト250.252.254により自動的に移し乗せる
は横を示すもので、ベル) 250は、ハウソング12
の開n部22に臨んでおり、物品20をベルト252へ
移しかえる。ベル)250は適当な駆動手段で動き、物
品20をベルI252側へ移動する。ベルト252はモ
ータ258などにより動く駆動ロール256によi)動
かされる5、物品20かスイッチ260を押tと、駆動
(阻1■:(8か作動して支持体32を物品の乗降位置
から1・降させる。19c図に示すように、ベルI25
2か駆動ロール256から離れると第9C図)、その動
きは市より、前記した溶着工程が始まる。この]−稈時
における状態は、第911図に示すとおりである。]−
稈が完了すると、支持体:(2はリフト機構により引き
−1−げられ、ベルト252が駆動ロール256に接し
、再び回動して、溶着された物品20をベルト254へ
移乗さぜる。ベルト25イの駆動機構は、公知のものが
用いられる。ベルト250.254は連続的に動くよう
になっているものでもよい。また、ベルト250はスイ
ッチ260が接触したとき停止するようになっていても
よい。さらに、ベルト254は、支持体252が1−昇
したとき動くようになっていてらよい。
ルト250.252.254により自動的に移し乗せる
は横を示すもので、ベル) 250は、ハウソング12
の開n部22に臨んでおり、物品20をベルト252へ
移しかえる。ベル)250は適当な駆動手段で動き、物
品20をベルI252側へ移動する。ベルト252はモ
ータ258などにより動く駆動ロール256によi)動
かされる5、物品20かスイッチ260を押tと、駆動
(阻1■:(8か作動して支持体32を物品の乗降位置
から1・降させる。19c図に示すように、ベルI25
2か駆動ロール256から離れると第9C図)、その動
きは市より、前記した溶着工程が始まる。この]−稈時
における状態は、第911図に示すとおりである。]−
稈が完了すると、支持体:(2はリフト機構により引き
−1−げられ、ベルト252が駆動ロール256に接し
、再び回動して、溶着された物品20をベルト254へ
移乗さぜる。ベルト25イの駆動機構は、公知のものが
用いられる。ベルト250.254は連続的に動くよう
になっているものでもよい。また、ベルト250はスイ
ッチ260が接触したとき停止するようになっていても
よい。さらに、ベルト254は、支持体252が1−昇
したとき動くようになっていてらよい。
前記実施例は、この発明を限定するものではなす1゜
第1八図から第11)図は、それぞれこの発明に係る装
置の実施例の説明図、 第2図は、液化シール部の構成を示す要部拡大断面図、 13図は、この発明の一実施例における装置のリフト機
構を示す説明図、 第4図は、す7ト桟構にナタける要部拡大説明図、第5
八図から第5D図は、それぞれ第3図に示した装置の断
面構成の説明図、 第5E図は、スプリングイ・1勢によるプーリを備えた
実施例の断面構成の説明図、 第6図は、第1、:(,5図の装置に1−1設されるベ
ント機構の断面図、 第7図は、第1図のベーパ回収ボックスの拡大断面図、 第8図は、第7図のベーパ回収ボックスに酸中和(幾構
を配設したチャンバの断面図、 第9八図から第9D図は、それぞれ物品の自動移送ベル
ト(幾構を示す説明図である。 10・・・ベーパ処理ユニット 12・・・ハウソング 14・・・物品樽人域16・・
・排液/乾燥域 18・・・ベーパ処理域20・・・処
理すべき物品 :(0・・・リフ) Bl措32・・・
蓋板 50・・・底板1Jh−1名 Fig5A Rν5C Rg、50 F7gz Sりθ Rg、 94 Fig、 9C Fig、 98 8g 90
置の実施例の説明図、 第2図は、液化シール部の構成を示す要部拡大断面図、 13図は、この発明の一実施例における装置のリフト機
構を示す説明図、 第4図は、す7ト桟構にナタける要部拡大説明図、第5
八図から第5D図は、それぞれ第3図に示した装置の断
面構成の説明図、 第5E図は、スプリングイ・1勢によるプーリを備えた
実施例の断面構成の説明図、 第6図は、第1、:(,5図の装置に1−1設されるベ
ント機構の断面図、 第7図は、第1図のベーパ回収ボックスの拡大断面図、 第8図は、第7図のベーパ回収ボックスに酸中和(幾構
を配設したチャンバの断面図、 第9八図から第9D図は、それぞれ物品の自動移送ベル
ト(幾構を示す説明図である。 10・・・ベーパ処理ユニット 12・・・ハウソング 14・・・物品樽人域16・・
・排液/乾燥域 18・・・ベーパ処理域20・・・処
理すべき物品 :(0・・・リフ) Bl措32・・・
蓋板 50・・・底板1Jh−1名 Fig5A Rν5C Rg、50 F7gz Sりθ Rg、 94 Fig、 9C Fig、 98 8g 90
Claims (16)
- (1)少なくとも」1下方向に配置された二つのチャン
バと、はんだづけすべき物品を載置する支持体と、この
支持体をl1下に昇降するり7ト機構と、前記両チャン
バを14市するシーリング手段とを備え、前記ラヤンバ
の−・方は、排液および乾燥域を構成し池フ゛、7ナヤ
ンバは、一方のチャンバの下位に位置してベーぺ処理域
を構成しており、前記リフト(幾構は、前記支持体を1
iii記一方のチャンバから前記池方のチャンバへ下降
させると共に、前記両チャンバから引十げる構成になっ
ており、前記シーリング機構は、可動の蓋板と底板とか
ら構成され、該蓋板と底板とは、少なくとも前記一方の
チャンバの上面と下面との間隔分に相当する寸法をもっ
てに下方向に対向しており、前記支持体が前記−・方の
チャンバ内に下降すると、前記蓋板が該チャンバの」二
面を旧市し、前記底板が該チャンバの下面を旧市する構
成になっていることを特徴とするはんだづけ装置。 - (2)排液および乾燥域はベント機構により外気と連通
し凝縮ベーパ回収手段と連通している特許請求の範囲第
1項記載の装置。 - (3)ベント(幾構は、凝縮ベーパ回j1y手段をJf
E iwてに; l) 、内部に迷路を構成する邪魔板
を設けたチャンバを備え、このチャンバは水平に設置さ
れて、ベーパ含有空気の入口と、ベーパ回収後の乾燥空
気の出口とか前記チャンバに設置してあり、前記迷路に
は熱伝導材がつめこまれ、前記チャンバに冷却コイルが
設けである特許請求の範囲第2項記l・kの装置。 - (4)ベーパ含有空気を回収するため、前記第一のチャ
ンバに一次ベーパ回収手段が結合され、ベーパ含有空気
を回収する(幾構および乾燥し、再加熱されない空気を
前記第一のチャンバへ戻す手段を備えている特許請求の
範囲第1項記載の装置斤。 - (5)ベーパ回収手段は、土壁に入口と出1]とが設け
であるチャンバを備え、該チャンバの底部には、液体か
貯めてあり、該チャンバの内部に迷路が形成しである1
、テ許請求の範囲第1項記載の装置。 - (6)前記ベーパ回収手段に酸中和手段としての触媒が
納められた補助チャンバが結合している特許8!11求
の範囲piSS項記載の装置。 - (7)可動の底板には、周縁に液体シール部を構成する
環状のチャンネルが設けてあり、前記第一と第二のチャ
ンバは、互いに隔離される構成になっている特許請求の
範囲第1項記載の装置。 - (8)前記環状のチャンネルには、側壁が設けてあり、
前記第一のチャンバの側壁下端が前記チャンネルに当接
して、液体シール部を構成する特許請求の範囲第1項記
+1・kの装置。 - (9)前記蓋板には、シリンダ状の筒体°の上端か固定
し、その下端は11j記支持体に当接する特許請求の範
囲第1項記載の装置。 - (10)リフト(幾構の吊支バンドが前記筒体に挿通さ
れて、上下に移動しかつ、挿通部分は、該吊支バントと
挿通溝孔との密接により気密状になっている特許請求の
範囲第9項記載の装置。 - (11)前記挿通部分に〃スケットが設けである特許請
求の範囲第10項記載の装置。 - (12)前記挿通溝孔の下面は而取りされている特許請
求の範囲第11項記載の装置。 - (13)前記J&板は、プーリと重錘とにより上下方向
に可動するように構成されている特許請求の範囲第1項
記載の装置。 - (14)前記底板は、スプリングにより1・1勢された
プーリにより−1−下方向に可動するように#+’lj
I&されている特許請求の範囲第1項記載の装置。 - (15)少なくとも上下方向に配置された二つのチャン
バと、はんだづけすべき物品を載置する支持体と、この
支持体を1−下に昇降するりフト機構と、前記両チャン
バを月面するシーリング手段とを備え、前記チャンバの
一方は、排液および乾燥域を構成し、他方のチャンバは
、一方のチャンバの下位に位置してベーパ処理域を構成
しており、前記リフト機構は、前記支持体を前記一方の
チャンバか゛ら前記他方のチャンバへ下降させると共に
、面記両チャンバから引」―ける構成になっており、前
記シーリング敗(1隻は、前記画チャンバを互し)に隔
離させ、かつ、物品がベーパ処理域にあるときは、両チ
ャンノ\を連通状態とする構成になっていることを特徴
とするはんだづけ装置。 - (16)処理すべき物品を前記支持体へ自動的に載置し
、かつ、移し変えるベルト機構を備えてしする少なくと
も、1−下方向に配置された二つのチャン1(と、はん
だづけすべき物品を載置する支持体と、この支持体を一
1ユ下に昇降するり7ト磯構と、前記両チャンバを封1
トするシーリング手段とを備えてνする特この発明は、
高温ベーパを用いて物品のはんだづけ、ろうづけ、溶着
を行う方法と装置りに関するものである。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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US06/433,662 US4558524A (en) | 1982-10-12 | 1982-10-12 | Single vapor system for soldering, fusing or brazing |
US433662 | 1999-11-04 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5992164A true JPS5992164A (ja) | 1984-05-28 |
Family
ID=23721055
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP58190597A Pending JPS5992164A (ja) | 1982-10-12 | 1983-10-12 | はんだづけ装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4558524A (ja) |
EP (3) | EP0106295B1 (ja) |
JP (1) | JPS5992164A (ja) |
CA (1) | CA1220382A (ja) |
DE (1) | DE3365693D1 (ja) |
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