JPS5986273A - 高速ホトカプラ− - Google Patents

高速ホトカプラ−

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Publication number
JPS5986273A
JPS5986273A JP57196382A JP19638282A JPS5986273A JP S5986273 A JPS5986273 A JP S5986273A JP 57196382 A JP57196382 A JP 57196382A JP 19638282 A JP19638282 A JP 19638282A JP S5986273 A JPS5986273 A JP S5986273A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
light emitting
receiving element
forming
emitting element
Prior art date
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Pending
Application number
JP57196382A
Other languages
English (en)
Inventor
Keiji Kamazaki
鎌崎 啓二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP57196382A priority Critical patent/JPS5986273A/ja
Publication of JPS5986273A publication Critical patent/JPS5986273A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/12Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof structurally associated with, e.g. formed in or on a common substrate with, one or more electric light sources, e.g. electroluminescent light sources, and electrically or optically coupled thereto
    • H01L31/16Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof structurally associated with, e.g. formed in or on a common substrate with, one or more electric light sources, e.g. electroluminescent light sources, and electrically or optically coupled thereto the semiconductor device sensitive to radiation being controlled by the light source or sources
    • H01L31/167Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof structurally associated with, e.g. formed in or on a common substrate with, one or more electric light sources, e.g. electroluminescent light sources, and electrically or optically coupled thereto the semiconductor device sensitive to radiation being controlled by the light source or sources the light sources and the devices sensitive to radiation all being semiconductor devices characterised by at least one potential or surface barrier

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、高速ホトカプラーに関する。
〔発明の技術的背景及びその問題点〕
従来、高速ホトカプラーの発光素子としては、高発光効
率(外部発光効率(η〕は3〜10チ程度)を有する活
性領域にシリコンをドープした所謂GaAs LEDが
使用されている。しかし、その動作速度は遅く(光減衰
時(りは約0.5μsec )、高速応答を必要とする
ホトカプラーには、不適当であった。このため、活性領
域がGaAs(、−x) Px(x= 0.2〜0.4
 )からなるLEDが低発光率(ηは0.1〜1%)な
がら、その動作速度が速い((τ)は約30 n5ec
 )ことから使用されていた。而して、GaA s L
EDと同程度の電流伝達比を得るためには、受光素子の
感度(増幅度)を高くしたり、発光−受光作用による光
結合を強くする必要があった。受光素子の感度を上ける
には、一般に受光部の光電変換領域を増したり、増幅器
の増幅度を増す(例えは、増幅トランジスタの電流増幅
率を高くする。)等の手段が採用されている。このよう
な手段は、受光素子の応答速度を遅くするばかシでなく
、外界からのノイズによりホトカプラーが誤動作を起こ
し易くなる欠点を有している。
発光−受光作用による光結合を強くするために、一般に
、発光素子と受光素子の間隔を近づけることが行われて
いる。しかし、ホトカブ′う−に要求される主要な特性
に、入出力間の絶縁耐圧があり、発光素子と受光素子の
間隔を近づけると、この絶縁耐圧が低下する。このため
、従来の高速ホトカプラーはは、第1図に示す如く、発
光素子1と受光素子2間に絶縁フィルム3を介在してい
る。その結果、組立工程が複雑になると共に、製造コス
トを高くする欠点があった。なお、図中、4.5は、発
光素子1及び受光素子2の夫々に接続されたアウターリ
ードである。
〔発明の目的〕
本発明は、組立工程が簡単であり、しかも、高速応答、
高電流伝達率を有する高速ホトカブラ−を提供すること
をその目的とするものである。
〔発明の概要〕
本発明は、発光素子を活性層がGaAtAsの三元結晶
からなり、発光波長が700〜800 nmの発光ダイ
オードで形成し、受光素子にその出力の増幅回路を設け
たことにより、組立工程が簡単で、しかも、高速応答で
しかも高電流伝達率を備えた高速ホトカプラーである〇 〔発明の実施例〕 以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
第2図は、本発明の一実施例の断面図である。
図中20は、リードフレーム21に装着された発光素子
である。22は、リードフレーム23に装着された受光
素子である。発光素子20と受光素子22は、所定間隔
を設けて対設され、透光性樹脂で形成された透光性部材
24で一体に封止されている。また、リードフレーム2
1゜23は、アウターリード25の部分を導出するよう
にして不透光性部月26で一体に樹脂封止されている。
ここで、発光素子2θは、例えば第3図に示す発光ダイ
オード20aで構成されている。この発光ダイオード2
0hは、Znドーゾのp ”G aA @基板20b上
に、Zniドーグしたp−”(1−x)AtXAs層2
0a、Tefドープしたn−Ga(1−y)AlyAs
 ’p 2θdを順次液相成長法にてyt層してP、 
−N接合を形成し、混晶比x f O,1〜0.28と
なるように制御したシングルへテロ構造を有している。
混晶比x f O,1〜0.28としたのは、発光波長
を700〜800nmとするためである。
n −Ga(4−y) AtyAs層20t層上0tl
側型!’ts2’ezp”−GaAa基板20bにはp
側電極20fの夫々が形成されている。ここで、発光波
長を700〜800 nmに設定したのは、次の理由に
よる。
第6図は、GaAtAs IJDについての発光波長と
応答速度(周波数帯域を測定したものである。)の関係
を示している。同図から明らかなように、GaAtAg
 LEDの発光波長が長波長になるにeって、応答速度
は速くなっていく。GaAsP LEDめ周波数帯域は
、同一条件の測定で7 MHz〜10MHzであり、G
aAtAs LEDにてGaAsP  と同等の特性を
イ:4るためには、発光波長は700 nm以上でなけ
ればならない。また、第7図は、同様に発光波長と発光
効率の関係を示している。
発光波長が長波長になるに従って、発光効率は向上する
が、その程度はおよそ730 nmで飽和する。ホトカ
プラーとして高感度を得るためには、受光素子22の受
光部の分光感度と発光素子20の発光波長が適合するこ
とが必要である。
第5図にて後述する受光素子22の分光感度と第7図の
発光効率との積を相対的に示したものが、第8図の受光
分光感度×発光効率の特性図テアシ、GaAtAs L
EDを使用した高速ホトカブラ−の光結合効率の発光波
長依存性を示している。同図から明らかなように、波長
700 nmを1とすると800 nmで0.5となり
、これよりも長波長側では、さらに光結合効率は低下す
る。
つまり、発光、受光素子20 、22間の距離を従来の
GaAC31LEDを使用した^速ポトヵプラーと同程
度にしたまた、GaAsP LEDを使用した高速ホト
カプラーと同様の受光感度を得るには、GaAtAgs
 LEDの発光波長は、800 nm以下にする必要が
ある。
また、第4図は、受光素子22の一例を示す断面図であ
る。この受光素子22は、高速応答を達成するため、受
光部22dのホトダイオード(又はPINホトダイオー
ド)と、電流伝達比を上げるだめの増幅回路を構成する
増幅部22bとを同一のp基板22c上にP−N接合に
より分離して形成したものである。この受光素子22は
、接合分離を行うため、受光部22aの光電変換領域の
深さを大きくできず(一般には、素子表面より10μ程
度)、受光素子22の材質カシリコンの場合、シリコン
の光吸収係数の関係から、受光部22mの分光感度特性
社、およそ第5図に示す曲線で表わされている。
上述の如く、構成された高速ホトカゾラー葺は、GaA
jAs LEDが高速かつ高効率の発光素子20となり
、また、受光素子22の受光部22aの分光感度と発光
波長をおよそ一致させることができるため、従来のGa
As:Si LEDを用いた場合と同様な構造で、しか
も、高′th:流伝達率で高速動作を達成できる。その
結果、入出力間絶縁剛圧の低下対策として、入出力間に
絶縁フィルムを介在する必要がなく、簡単な構造にして
組立てを容易に行うことができる。また、発光素子20
と受光素子22間の間隔を大きくできるので、入出力間
の容量を小さくして、容量結合による誤信号の伝達を阻
止できる。
〔発明の効果〕
以上説明した如く、本発明に係る高速ホトカブラ−によ
れば、組立工程が簡単であり、シフ5)も、高速応答、
高電流伝達率を有する等顕著な効果を有するものである
【図面の簡単な説明】
第1図は、従来の高速ホトカノラーのiJt面図、第2
図は、本発明の一実施例の断面図、第3図は、発光素子
を構成する発光ダイオードの断面図、第4図は、受光素
子の断面図、第5図は、同受光素子の分光感度特性を示
す特性図、第6図は、発光素子の発光波長と周波数帯域
との関係を示す11〒性図、第7図は、発光系子の発光
波長と発光効率との関係を示す慣性図、第8図は、発光
素子の発光波長と受光分光感度×発光効率との関係を示
す特性図である。 20・・・発光素子、21.23・・リードフレーム、
22・・・受光素子、24・・・透光性部材、25・・
・アウターリード、26・・・不透光性部利、す・・・
高速ホトカプラー。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)活性層がGaAtAsの三元結晶からなる発光波
    長が700〜800 nmの発光ダイオードで形成され
    た発光素子と、該発光素子に透光性部材を介して対設さ
    れた受光素子とを具備することを特徴とする高速ホトカ
    プラー。
  2. (2)受光素子に出力増幅用の増幅回路が接続されてい
    る特許請求の範囲第1項記載の高速ホトカプラー。
JP57196382A 1982-11-09 1982-11-09 高速ホトカプラ− Pending JPS5986273A (ja)

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